JPS6228261A - サ−マルヘツド用発熱体の製造方法 - Google Patents
サ−マルヘツド用発熱体の製造方法Info
- Publication number
- JPS6228261A JPS6228261A JP60166771A JP16677185A JPS6228261A JP S6228261 A JPS6228261 A JP S6228261A JP 60166771 A JP60166771 A JP 60166771A JP 16677185 A JP16677185 A JP 16677185A JP S6228261 A JPS6228261 A JP S6228261A
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- JP
- Japan
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- layer
- thermal head
- heating
- heating element
- light
- Prior art date
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- Pending
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- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明はサーマルヘッド用発熱体の製造方法に関する。
サーマルヘッドはコンピュータ、ワードブ四セッサ等の
プリンタにおける熱転写印字ヘッドとして広く用いられ
ている。サーマルヘッド用発熱体は一般に第１図に示さ
れるように基板１の表面にガラスグレーズ層２を設け、
その表面にホウ素ドープポリシリコン等の発熱抵抗体層
３を設け、電極４．４１を設ける。抵抗体層３はｉ！電
極、４ｌ間の部分が発熱体として作用する。最後に表面
全体゛に５ｌ−０−Ｂ−Ｎ系等の耐熱耐摩耗性層５を形
成する。図から分るように、サーマルヘッドの発熱部分
は凹入しているから、熱転写リボンを介在して印刷用紙
に熱転写を行うとき、他の部分に比して押圧力が不足し
て印字効率が下がる。またサーマルヘッドの表面凹凸が
あると応力集中部分が生じるので望ましくない。
プリンタにおける熱転写印字ヘッドとして広く用いられ
ている。サーマルヘッド用発熱体は一般に第１図に示さ
れるように基板１の表面にガラスグレーズ層２を設け、
その表面にホウ素ドープポリシリコン等の発熱抵抗体層
３を設け、電極４．４１を設ける。抵抗体層３はｉ！電
極、４ｌ間の部分が発熱体として作用する。最後に表面
全体゛に５ｌ−０−Ｂ−Ｎ系等の耐熱耐摩耗性層５を形
成する。図から分るように、サーマルヘッドの発熱部分
は凹入しているから、熱転写リボンを介在して印刷用紙
に熱転写を行うとき、他の部分に比して押圧力が不足し
て印字効率が下がる。またサーマルヘッドの表面凹凸が
あると応力集中部分が生じるので望ましくない。
従って本発明の目的は、表面が平らなサーマルヘッド用
発熱体を提供することにある。
発熱体を提供することにある。
本発明のより具体的な目的は、電極と発熱抵抗体を同一
の平面内に形成して表面が平らなサーマルヘッドを提供
することにある。
の平面内に形成して表面が平らなサーマルヘッドを提供
することにある。
本発明は、アニール感応性の発熱抵抗体の膜を形成し、
発熱部となるべき部分を除いて発熱抵抗体を発熱温度よ
りも十分に高いアニール温度でアニールしてその部分を
低抵抗の導電体に変換することにより、サーマルヘッド
の発熱部及び電極部を形成することを特徴とする。
発熱部となるべき部分を除いて発熱抵抗体を発熱温度よ
りも十分に高いアニール温度でアニールしてその部分を
低抵抗の導電体に変換することにより、サーマルヘッド
の発熱部及び電極部を形成することを特徴とする。
本発明によると、サーマルヘッドの表面は平らに形成で
き、すぐれた印字効率と耐久性のサーマルヘッドを提供
することができる。
き、すぐれた印字効率と耐久性のサーマルヘッドを提供
することができる。
本発明に用いることができる発熱抵抗体はアニールによ
り電気抵抗を大幅に低下できる材料から任意に選択でき
る。サーマルヘッド用の発熱抵抗体として知られている
ホウ素ドープ型ポリシリコンはこのような条件を満足す
る材料であり、例えば膜厚７００人で電気抵抗６００Ω
程度であるが高温度でアニールすることにより５Ωのよ
うな低い値まで抵抗値を下げることができる。この材料
は好ましいとは言え、本発明の技術思想の面からは上に
述べた条件を満足するかぎり素材を制限する必要がない
ことは発明の技術思想から明らかである。
り電気抵抗を大幅に低下できる材料から任意に選択でき
る。サーマルヘッド用の発熱抵抗体として知られている
ホウ素ドープ型ポリシリコンはこのような条件を満足す
る材料であり、例えば膜厚７００人で電気抵抗６００Ω
程度であるが高温度でアニールすることにより５Ωのよ
うな低い値まで抵抗値を下げることができる。この材料
は好ましいとは言え、本発明の技術思想の面からは上に
述べた条件を満足するかぎり素材を制限する必要がない
ことは発明の技術思想から明らかである。
本発明でアニールに用いられるべき熱源は任意のもので
良く、レーデ光、高強度水銀ランプ等が使用できる。
良く、レーデ光、高強度水銀ランプ等が使用できる。
発熱抵抗体は発熱部を構成すべき部分を除いてアニール
工程にかけられて導電体となり、引出電極の一部を構成
する。例えば細長い条片状の発熱抵抗体の一様な膜を用
意し発熱部となるべき中央部分の表面に光マスクを配置
し光マスクの上から照射光を抵抗体に当てる。それによ
り光が当った個所の導電率が大きくなり、一定の膜厚で
中央部分が発熱体でそれに繋る両延長部分が引出電極と
なる。その上にさらに保護膜を被りすれば一定膜厚の発
熱体が得られる。
工程にかけられて導電体となり、引出電極の一部を構成
する。例えば細長い条片状の発熱抵抗体の一様な膜を用
意し発熱部となるべき中央部分の表面に光マスクを配置
し光マスクの上から照射光を抵抗体に当てる。それによ
り光が当った個所の導電率が大きくなり、一定の膜厚で
中央部分が発熱体でそれに繋る両延長部分が引出電極と
なる。その上にさらに保護膜を被りすれば一定膜厚の発
熱体が得られる。
実施例
第２図は本発明の実施例によるサーマルヘッド用発熱体
の製造方法を例示する。
の製造方法を例示する。
第２図（ａ）のように先ずグレーズ蓄熱層２を有する基
板の上に、例えば膜７００人程度の細長い発熱抵抗体の
層３をＣＶＤ法等により形成する。層３は例えばホウ素
ドープ型ポリシリコンから成る。
板の上に、例えば膜７００人程度の細長い発熱抵抗体の
層３をＣＶＤ法等により形成する。層３は例えばホウ素
ドープ型ポリシリコンから成る。
次いで、第２図（ｂ）のように発熱抵抗体層３の中央部
分に１〜１Ｑｍｍのような隙間を保って遮光マスク４を
配置し、その上から高強度ランプ５により照射する。こ
のときアニール湿度は約９００℃に達する。なおアニー
ルは減圧下またはＨｅ雰囲気中で行なう。これにより層
３の光照射部分は導電体６．７となり、中央部分を元の
発熱抵抗体より成る発熱部８として残す。最後に第２図
（Ｃ）のように公知の耐摩耗性保護膜例えばＢＯＮＳｉ
系の膜９を表面に形成する。
分に１〜１Ｑｍｍのような隙間を保って遮光マスク４を
配置し、その上から高強度ランプ５により照射する。こ
のときアニール湿度は約９００℃に達する。なおアニー
ルは減圧下またはＨｅ雰囲気中で行なう。これにより層
３の光照射部分は導電体６．７となり、中央部分を元の
発熱抵抗体より成る発熱部８として残す。最後に第２図
（Ｃ）のように公知の耐摩耗性保護膜例えばＢＯＮＳｉ
系の膜９を表面に形成する。
以上のように、本発明の方法によると、凹凸のない平ら
なサーマルヘッド用発熱体が製造できる。
なサーマルヘッド用発熱体が製造できる。
従って、この発熱体の表面に接触する転写紙及び印刷用
紙の接触圧力は場所によって変動することがなく常に一
定で且つ充分な値に保持でき、大きい印字効率を達成す
ることができる。
紙の接触圧力は場所によって変動することがなく常に一
定で且つ充分な値に保持でき、大きい印字効率を達成す
ることができる。
第１図は従来のサーマルヘッドの発熱体の構造を示す断
面図、及び第２図は本発明のサーマルヘッド発熱体の製
造工程と完成した発熱体を示す断面図である。 １：基板 ２：グレーズ層 ６．７：導電部 ８：発熱部 ９：耐摩耗性
面図、及び第２図は本発明のサーマルヘッド発熱体の製
造工程と完成した発熱体を示す断面図である。 １：基板 ２：グレーズ層 ６．７：導電部 ８：発熱部 ９：耐摩耗性
Claims (1)
- １、基板面に発熱抵抗体を条片状に成膜し、発熱部とな
るべき部分をマスクして他の部分を高温度でアニールす
ることにより導電体に変換して引出電極を構成し、次い
で耐摩耗性保護膜を形成することより成る、段差のない
サーマルヘッド用発熱体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60166771A JPS6228261A (ja) | 1985-07-30 | 1985-07-30 | サ−マルヘツド用発熱体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60166771A JPS6228261A (ja) | 1985-07-30 | 1985-07-30 | サ−マルヘツド用発熱体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6228261A true JPS6228261A (ja) | 1987-02-06 |
Family
ID=15837385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60166771A Pending JPS6228261A (ja) | 1985-07-30 | 1985-07-30 | サ−マルヘツド用発熱体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6228261A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05147248A (ja) * | 1991-10-30 | 1993-06-15 | Alps Electric Co Ltd | サ−マルヘツド及びその製造方法 |
-
1985
- 1985-07-30 JP JP60166771A patent/JPS6228261A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05147248A (ja) * | 1991-10-30 | 1993-06-15 | Alps Electric Co Ltd | サ−マルヘツド及びその製造方法 |
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