JPS62281440A - ケ−ス収納箱 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 本発明は、半導体材料、装置等を保有したケースの輸送
及び保管をなすためのケース収納箱に関するものであり
、特にウェー／蔦を複数保有した包装ケースの輸送及び
保管をなすのに好適に使用し得るケース収納箱に関する
ものである。

′　　　　　びロ　へ ウェーハのような半導体材料、装置等は極めて脆く破損
され易く、又雰囲気により汚染され易いためにその輸送
及び保管に当っての取扱いには細心の注意が必要とされ
る。

従来、斯るウェーハの輸送及び保管に際しては、先ず複
数のウェーハを小型の包装容器（ケース）に収容し、次
いで、該ケースを大型のケース収納箱に収めて輸送及び
保管がなされた。

従来、斯るケース収納箱は、（１）蓋付の収納箱内に所
定厚みのスポンジのクッションを複数枚敷き、その間に
ウェーハケースを配置しウェーハケースの衝撃を緩和せ
んとする構成のもの、或いは（２）蓋付の収納箱内に矩
形状の穴を穿設した所定厚みのスポンジのクッションを
設け、該大向にウェーハケースを配置し、ウェー７１ケ
ースと穴との空隙には更にスポンジを充填してウェー７
１ケースへの衝撃を緩和せんとする構成のものが提案さ
れている。

しかしながら、上記従来のいずれの構成のケース収納箱
も、塵、はこり等を吸着又は吸収し易いスポンジを使用
しており、そのためにスポンジからの汚染を嫌うクリー
ンルームに該ケース収納箱ごとウェーハケースを持込む
ことができなかった。又、従来の該ケース収納箱は、収
納されるつ工−ハケースの個数により、又はウェー７１
ケースの大きさ、形状等の相違によりスポンジの量を様
々に調整する必要があり、煩雑であった。更には、ケー
ス収納箱自体が例えばブリキ板のような金属板にて形成
されており、箱の中に収容されたウェーハケースの個数
及び状態を蓋を開けることなく外部から観察することは
不可能であり、実際の使用に当り不便であった。

兄」ＬＱ」Ｌω 本発明の目的は、種々の大きさ及び形状のウェーハケー
ス等のケース類を受容し得、クリーンルームへの持込み
をも回旋とした、塵、はこりを発生することの極めて少
ないケース収納箱を提供することである。

本発明の他の目的は、衝撃を緩和する能力に優れ、従っ
て脆い物品を保有したケースを好適に収納し得るケース
収納箱を提供することである。

本発明の他の目的は、蓋を開けることなく外部より内部
の状態を観察し得る。極めて好便なケース収納箱を提供
することである。

本発明の更に他の目的は、ウェーハを保有したウェーハ
ケースの輸送、保管に最適なケース収納箱を提供するこ
とである。

、　占　　　　るための 上記諸口的は本発明に係るケース収納箱にて完全に達成
される。要約すれば本発明は、半導体材料、装置等を保
有したケースの輸送及び保管をなすための収納箱であっ
て、底壁、前及び後壁並びに両側壁を有し、頂部が開口
した横断面形状が概略矩形とされる箱状の外側ハウジン
グと、該箱状外側ハウジングの開口部を覆う蓋部材と、
該外側ハウジング内に着脱自在に収納され前記ケースを
保持するための内側ケース支持体とをＸ備し、該内側ケ
ース支持体は、可撓性薄板部材を横断面が概略三角形と
なるように折り曲げることにより構成され、該薄板部材
には前記ケースを受容し得る大きさの組をなす開口部が
少なくとも一組以上長手方向に沿って形成され、且つ該
各組をなす各開口部には該開口部に適合されたケースを
弾性的に保持するための弾性部材が配置されたことを特
徴とするケース収納箱である０本発明の好ましい実施態
様によると横断面が概略三角形である内側ケース支持体
は、中央部が外側ハウジングの底壁から離間するように
湾曲して形成された底板と、該底板に一端が夫々連結さ
れた両側板と、該各側板の他端に一方の端部が連結され
、他方の端部は外側ハウジングの側壁に当接し、前記各
側板の他端が互いに接近するように構成された上板とを
有する。

又、上記に係るケース収納箱は、矩形状とされる底板と
、該底板の両側に折線を介してＭ接された矩形状の側板
と、該各側板の他側に折線を介して接続された矩形状の
上板と、該上板の外側端部に形成された細長形状のフラ
ップとを具備し、底板の幅は外側ハウジングの底壁の輻
より大きくされ、又側板の幅は外側ハウジングの高さよ
り大きくされ、更に上板のフラップまでの幅は外側／＼
ウジングの幅の１／２より小さくされ、前記底板にはＨ
型の切溝を形成し、底板開口部と底板弾性部材とが形成
され、又側板には、前記底板のＨ型切溝と整列するよう
な態様でＮ型の切溝が形成され、それにより側板の開口
部及び側板弾性部材が形成されることを特徴とするケー
スを保持するための内側ケース支持体作製用ブランクに
て好適に作製される。

支呈遣 次に１図面を参照して本発明に係るケース収納箱の一実
施例について更に詳しく説明する。

第１図から第３図を参照すると、本発明に係るケース収
納箱１は、底壁２、前及び後壁３．４並びに両側壁５．
６を有し、頂部が開口した横断面形状が概略矩形とされ
る箱状の外側ハウジング７と、該箱状外側ハウジング７
の開口部を覆う蓋部材８と、該外側ハウジング７内に着
脱自在に収納され１例えばウェーハ等の半導体材料、装
置等を保有したケース１００を保持するための内側ケー
ス支持体１０とを具備する。外側ハウジング７及び内側
ケース支持体１０は好ましくは透明材料にて形成される
。

内側ケース支持体１０は、中央部が外側ハウジングの底
壁２から離間するように湾曲して形成された底板１１を
有する。つまり、該底板１１の側縁部１１ａ、ｌｌｂは
外側ハウジング７の底壁２と側壁５．６との交差角縁部
に当接し、従って該底板１１の中央部は山型状に湾曲し
て底壁２より上方に位置している。８該底板１１の側縁
部１１ａ、ｌｌｂには両側板１２．１３の一端１２ａ、
１３ａが夫々連結される。該側板１２．１３の他端１２
ｂ、１３ｂには上板１４．１５の一方の端部１４ａ、Ｌ
５ａが連結され、他方の端部１４ｂ、１５ｂは外側ハウ
ジングの側壁５．６に当接する０本実施例で上板の該他
方の端部１４ｂ、１５ｂは側壁に沿って折り曲げられ、
細長のフラップとされる。又、上板１４．１５が外側ハ
ウジング内に装着されると、前記各側板１２．１３の他
端１２ｂ、１３ｂは互に接近し、第３図で理解されるよ
うに、内側ケース支持体１０の断面形状は概略三角形状
とされる。

第３図に最も良く図示されるように、内側ケース支持体
１０は外側ハウジング７内に長手方向に通在して配置さ
れ、前記底板１１及び両側板１２．１３には協働してウ
ェーハケース１００を受容し得る大きさの組をなす開口
部２０．２２，２４が少なくとも一組以上、該内側支持
体１０の長手方向に沿って形成される０本実施例にては
最大１０個のウェーハケース１００を受容するべく開口
部２０．２２．２４から成る開口部の組は１０組設けら
れるが、これに限定されるものではなく、用途に合せて
任意の数が形成される。更に、該組をなす各開口部２０
．２２．２４には第２図及び第８図に図示されるように
、該開口部に適合されたケース１００を弾性的に保持す
るための弾性部材３０．３２．３４．３６．３８．４０
が配置される（第３図をも参照せよ）、該弾性部材につ
いては後で更に詳しく説明する。

次に、更に詳しく内側ケース支持体ｌＯを説明する＃第
４図は内側ケース支持体１０のブランクの一実施例を示
す、該内側ケース支持体１０は薄板状の且つ弾性を有し
たプラスチック材にて形成され、好ましくは厚み０．２
〜１．０ｍｍの、例えば塩化ビニール、スチロール樹脂
の如き材料が使用される。

第４図を参照すると、上述の任意の材料にて概略矩形状
に切断されたブランクＩＯＡは、矩形状とされる底板１
１を有し、該底板１１の両側には矩形状の側板１２．１
３が連接して配置される。

又、側板工２．１３の他側には矩形状とされる上板１４
．１５が夫々連結され、該上板１４．１５の外側端部１
４ｂ、１５ｂは細長形状のフラップとされる。ここで、
底板の輻Ｗ１は外側ハウジングの幅Ｗ（第２図）より大
きくされ、又側板１２．１３の＃Ａｗ２は外側ハウジン
グの高さＨより大きくされ、又上板１４．１５の外側端
部１４ｂ、１５ｂまでの幅Ｗ３は外側ハウジングの１！
＠Ｗの１７２より小さくされる。

底板１１、両側板１２．１３、上板１４．１５、及びフ
ラップ１４ｂ、１５ｂの連接部並びに底板１１の中央部
１１ｃは、断続した切溝や穿孔又は連続した刻み線から
成る折線５０〜５５及び５６が形成され、各板の連接部
分の折り曲げ作用を容易ならしめる。又各折線５０〜５
５及び５６の両端部に相、当するブランクＩＯＡ部分は
三角形状５７に切断され、各板の連接部分の折り曲げ作
用を容易ならしめ、且つ、組立後の長手方向の弾性を向
Ｈせしめる。

底板１１にはＨ型の切溝６０ａ、ｂ、ｃから成る開口２
０が複数個１本実施例では１０個形成される。同時に、
該切溝８０ａ、ｂ、ｃを設けることにより、底板弾性部
材３０．３２が形成される。中央の横切溝Ｂｏａは、限
定されるものではないが底板の中央部１１ｃに一致せず
いずれかの方向に、本実施例では右側の方向へとずれて
形成されるのが好ましい、このように横切溝６０ａをず
れて形成することにより、第２図に図示されるように、
折立てられ外側ハウジング７内に収容された時、弾性部
材３０．３２が互いに重なり合う態様となり、弾性部材
としての機能を向上せしめることができる。又、斯る構
成により第７図に示されるようにウェーハケース１００
の収納又は取出し作業時にはウェーハケース１００を側
板１２側に整列せしめることとなるので作業性も向上す
る。

側板１２には、底板１１のＨ型切溝と整列するような態
様でＮ型の切溝６２ａ、ｂ、ｃが形成され、それにより
側板の開口２２及び側板弾性部材３４．３６が形成され
る０両側切溝８２ｂ、ｃを斜めに横断する斜向切溝６２
ａにより弾性部材３４．３６は互いに隣接した逆向きの
三角形状とされるが、側板１２にも例えば上述の底板１
１と同じようにＨ型の切溝を形成することも可能である
。側板１３にも前記側板１２と同様にＮ型の切溝６４ａ
、ｂ、ｃが形成され、それにより側板の開口２４及び側
板弾性部材３８．４０が形成される。尚、Ｎ形の切溝は
ウェーハケース１００の厚さが切通の幅より薄い場合で
も収容し易い点でＨ形のもより優れている。

前記側板１２．１３の各弾性部材３４〜４０の先端鋭角
部分３４ａ〜４０ａは、オペレータを突刺する恐れがあ
るために切除するか、或はＲにするのが好ましい。

上板１４、工５には好ましくは第４図に図示されるよう
に、内側支持体ブランクＩＯＡが折重てられ、且つウェ
ーハケース１００等が該内側ケース支持体１０の開口部
に装着され外側ハウジング７内に収容された時、収容さ
れたケース１００を正しく整列せしめる作業をより容易
とするために、操作窓７０を任意の間隔にて配設するの
が好ましい０本実施例では上板１４．１５にて窓７０の
配置ピッチを相互に異なるように形成されている。

次に、上記構成のブランクＩＯＡの折重て方法及びウェ
ーハケース１００の収納方法について第４図〜第７図を
参照して説明する。

先ず、底板１１に対し折線５０の回りに側板１２、上板
１４が一体として、第５図にて矢印入方向、つまり内側
方向へと大略直角に折り曲げられる。同様に、側板１３
及び上板１５も折り曲げられる１次いで、上板１４．１
５が夫々側板１２．１３に対し折線５２．５３の回りに
、第５図で矢印Ｂ方向、つまり外側方向へと大略直角に
折り曲げられる。

該状態にて、第６図に図示されるように、側板１２．１
３を側方から矢印Ｃ方向に力を加えると、底板１１は折
線５６から折り曲げられ、且つ外方へと湾曲した状態と
なる。底板１１の幅を外側ハウジング７の開口部より小
さい状態にまで圧縮した状態にて、該内側支持体は外側
ハウジング７内へと挿入される（第７ｒｇＪ）。

第７図の状態にて、つまり側板１２．１３が外側ハウジ
ング７の側壁に沿って直立し、上板１４．１５が未だ外
側ハウジング７の外方へと位置せしめられている状態に
て、ウェーハケース１００等が該内側ケース支持体１０
内へと挿入され、底板及び側板の開口部２０．２２．２
４に適合される０次いで、上板１４．１５に第７図にて
矢印り方向に力が付与され、第７図二点鎖線にて示され
るように、外側ハウジング７の中央部へと、つまり側板
工２．１３の先端１２ｂ、１３ｂが近寄り、内部に収容
したウェーハケース１００を囲包するように変形される
。

上板１４．１５が内方へと変形されるに伴ない、ウェー
ハケース１００は下方へと押下され、それにより弾性部
材３０．３２．３４，３６．３８．４０を外方へと変形
させる。最終的に上板１４．１５のフラップ１４ｂ、１
５ｂが外側ハウジング７の内壁５．６に当接すると、ウ
ェーハケースｌＯＯは、第２図及び第８図に図示される
ように、内側支持体の開口部２０．２２．２４に適合し
且つ弾性部材により弾性的に保持された状態となる。ウ
ェーハケース１００はこのように弾性部材により弾性的
に保持されると共に、内側支持体自体が弾性材であるた
めに１例え外側ハウジング７に衝撃力が加わったとして
も、内部のウェーハケース１００への衝撃は該内側支持
体にて吸収され、該ウェーハケースに衝撃が加わること
はない。

上記態様にて所望のウェーハケースが内側支持体に収容
されると、オペレータは所望に応じ上板の窓７０からウ
ェーハケース１００を操作し整頓せしめ、その後蓋部材
８が外側ハウジング開口部に適合され、密封される。

上記説明にて、ウェーハケース等１００は円形のものと
して説明したが、本発明に係るケース収納箱によると弾
性部材の作用により１円形のものに限定されず、矩形の
ケース、その他種々の形状寸法のケース等も好適に収納
することができる。

久」Ｌの」Ｌ里 以上の如くに構成される本発明に係るケース収納箱は１
種々の大きさ及び形状のウェーハケース等のケース類を
受容し得て、且つ塵、はこりを発生することが極めて少
なく、クリーンルームへの持込みも可能であるという利
益を提供する。又。

本発明の収納箱は、内側支持体にてケース類を弾性的に
保持するために、衝撃を緩和する能力に優れ、従って脆
い物品を保有したケースを好適に収納し得るという大き
な特長を有する。

更に、本発明のケース収納箱は透明のプラスチック材料
にて構成することができ、従って蓋を開けることなく外
部より内部の状態を観察することができ、実用上極めて
好便である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係るケース収納箱の一実施例の斜視
図である。 第２図は、第１図のケース収納箱の横断面図である。 第３図は、第１図のケース収納箱の内側支持体のみを示
す斜視図である。 第４図は、第１図の内側支持体を作製するブランクの一
実施例の上面図である。 第５図から第７図は、第４図のブランクの折重て方法及
びケースの収納方法を説明する説明図である。 第８図は、ケースを収納した内側支持体を受容した状態
を示す内側支持体の部分斜視図である。 ２：底壁 ３：前壁 ４：後壁 ５．６：側板 ７：外側ハウジング ８：蓋 １０：内側支持体 １１：底板 １２．１３＋側板 １４．１５：上板 １４ｂ、１５ｂ：フラップ ２０．２２．２４：開口部 ３０　、３２　、３４　、３６． ３８．４０：弾性部材 ７０：窓 １００：ケース 代理人　　弁理士　　倉　橋　　暎 第１図 、仔 二と 第３図 第５図 ８　　　　　　　　　　　　　Ｂ 第６図 手続補正書 昭和６１年　８月２８日 特許庁長官　黒　１）明　雄　殿 １、事件の表示　　昭和６１年特許願第１２３７３９号
？１発明の名称　　ケース収納箱 ３、補正をする者 事件との関係　　　特許出願人 名　称　　　　　　日本鉱業株式会社 ４、代理人 〒１０５ 住　所　東京都港区新橘５丁目１４番２号鈴エビル５階
　（電話　４５９−８３０９）氏　名　（７５６３）弁
理士　倉　橋　　暎　　−−＼゛。 （外１名）　ぎ二 ５、補正の対象 （−）図面（第４図） （−）「図面」を次のように補正する。 「第４図」において、ここに添付した第４図Ｃ写しに未
配するように参照番号「１４」をｒ１４ｂ」に訂正をす
る。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）半導体材料、装置等を保有したケースの輸送及び保
   管をなすための収納箱であって、底壁、前及び後壁並び
   に両側壁を有し、頂部が開口した横断面形状が概略矩形
   とされる箱状の外側ハウジングと、該箱状外側ハウジン
   グの開口部を覆う蓋部材と、該外側ハウジング内に着脱
   自在に収納され前記ケースを保持するための内側ケース
   支持体とを具備し、該内側ケース支持体は、可撓性薄板
   部材を横断面が概略三角形となるように折り曲げること
   により構成され、該薄板部材には前記ケースを受容し得
   る大きさの組をなす開口部が少なくとも一組以上長手方
   向に沿って形成され、且つ該各組をなす各開口部には該
   開口部に適合されたケースを弾性的に保持するための弾
   性部材が配置されたことを特徴とするケース収納箱。 ２）横断面が概略三角形である内側ケース支持体は、中
   央部が外側ハウジングの底壁から離間するように湾曲し
   て形成された底板と、該底板に一端が夫々連結された両
   側板と、該各側板の他端に一方の端部が連結され、他方
   の端部は外側ハウジングの側壁に当接し、前記各側板の
   他端が互いに接近するように構成された上板とを有しし
   ている特許請求の範囲第１項記載のケース収納箱。 ３）外側ハウジングは透明プラスチックにて作製される
   特許請求の範囲第１項又は第２項記載のケース収納箱。 ４）内側ケース支持体は薄板状の且つ弾性を有した透明
   のプラスチックにて作製されて成る特許請求の範囲第１
   項、第２項又は第３項記載のケース収納箱。 ５）底板及び両側板のケースを受容するための開口部及
   び該各開口部に適合して設けられた弾性的にケースを保
   持するための弾性部材は、底板及び両側板にそれぞれＨ
   型及びＮ型の切溝を設けることにより形成されて成る特
   許請求の範囲第１項から第４項のいずれかの項に記載の
   ケース収納箱。 ６）上板には内側ケース支持体に支持されたケースに接
   近し得るための操作窓が配設されて成る特許請求の範囲
   第１項から第５項のいずれかの項に記載のケース収納箱
   。 ７）半導体材料、装置等を保有したケースの輸送及び保
   管をなすために、底壁、前及び後壁並びに両側壁を有し
   、頂部が開口した横断面形状が概略矩形とされる箱状の
   蓋付き外側ハウジング内に着脱自在に収納され前記ケー
   スを保持するための内側支持体を作製するためのブラン
   クであって、矩形状とされる底板と、該底板の両側に折
   線を介して連接された矩形状の側板と、該各側板の他側
   に折線を介して接続された矩形状の上板と、該上板の外
   側端部に形成された細長形状のフラップとを具備し、底
   板の幅は外側ハウジングの底壁の幅より大きくされ、又
   側板の幅は外側ハウジングの高さより大きくされ、更に
   上板のフラップまでの幅は外側ハウジングの幅の１／２
   より小さくされ、前記底板にはＨ型の切溝を形成し、底
   板開口部と底板弾性部材とが形成され、又側板には、前
   記底板のＨ型切溝と整列するような態様でＮ型の切溝が
   形成され、それにより側板の開口部及び側板弾性部材が
   形成されることを特徴とするケースを保持するための内
   側ケース支持体作製用ブランク。 ８）底板のＨ型切溝にて形成される対をなす二つの底板
   弾性部材はその長さが異なるようにされて成る特許請求
   の範囲第７項記載のブランク。 ９）側板のＮ型切溝にて形成される対をなす二つの側板
   弾性部材は互いに隣接した逆向きの三角形状とされる特
   許請求の範囲第７項又は第８項記載のブランク。 １０）各折線及び底板中央部は、断続した切溝又は連続
   した刻み線にて形成されて成る特許請求の範囲第７項、
   第８項又は第９項記載のブランク。