JPS62279328A - 液状レジスト塗布方法 - Google Patents

液状レジスト塗布方法

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JPS62279328A
JPS62279328A JP12281686A JP12281686A JPS62279328A JP S62279328 A JPS62279328 A JP S62279328A JP 12281686 A JP12281686 A JP 12281686A JP 12281686 A JP12281686 A JP 12281686A JP S62279328 A JPS62279328 A JP S62279328A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
printed wiring
screen
resist
wiring board
liquid resist
Prior art date
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Pending
Application number
JP12281686A
Other languages
English (en)
Inventor
Tsugunori Masuda
増田 二紀
Hiromi Umeda
梅田 博美
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tamura Corp
Original Assignee
Tamura Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Tamura Corp filed Critical Tamura Corp
Priority to JP12281686A priority Critical patent/JPS62279328A/ja
Publication of JPS62279328A publication Critical patent/JPS62279328A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16Coating processes; Apparatus therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、プリント配線基板が露光処即される直前にお
いて、スクリーン印刷機を用いてプリント配線基板の露
光面に感光剤としての液状レジスト(フォトレジスト)
を均一に塗布するための液状レジスト塗布方法に関する
ものである。
(従来の技術) 従来、第5図(a)に丞されるようにスクリーン印刷機
のスキージ−11によってスクリーン(メツシュ)12
を介してプリン1〜配a塁板Pの露光面に液状レジスト
14が均一に塗布される液状レジスト塗布方法がある。
プリント配線基板Pは搬送台15によってスクリーン1
2の下側に搬入され、また搬出される。
このような液状レジスト塗布方法においては、第5図(
r■から(ハ)への変化で示されるように、プリント配
線基板ρのスルーホールHに対向されていたスクリーン
下面に液状レジストの溜り14aが生ずる。
ざらに従来は、第5図(C)に示されるように11tの
プリント配線基板Pと同一形状の次のプリント配線W、
PiiP aが前のプリント配線基板と同一位置に搬入
されるので、このプリント配線基板paのスルーホール
Haが前回の塗布で生じた溜り14aと合致されること
になる。
(発明が解決しようどする問題点) この状態でスキージ−11によって同様にレジスト塗布
がなざ机ると、前記溜り14aが第5図りに示されるよ
うに成長して大きな溜り141)となる。
このようにして同−IQ青のスルーホールに対応するス
クリーン部分にレジスト溜りが蓄積していき、10〜1
5枚のプリント配線基数にレジスト?布がなされると、
最大限に成長したレジスト溜りが第5図(e)に示され
るように前記搬送台15上に落ら、その液状レジスト1
4cによって′m送台15の上面が汚れるとともに、こ
の搬送台15上に搬送されたプリント配線基板pbの下
面が汚れることになる。
このようにしてプリント配線基板pbの下面にg・1着
した液状レジスト14cは基板とともに露光台に搬入さ
れ、露光台に剛着された状態で露光用紫外線によって便
化し、露光台土でのプリント配置2基板の高精度の位置
決めが狂わされるおそれがある。
そのため、従来は10〜15枚のプリント配線基板に前
記液状レジストが塗布されると、前記スクリーン12の
下面に剛着された液状レジスト溜りが手作業によって拭
き取られている。したがって、その間は装置が停止され
、装置の稼動率が良くない。
本発明の目的は、スクリーン印刷機を用いてプリント配
線基板に露光用の液状レジストが塗布される場合に、プ
リント配線基板のスルーボールに対応するスクリーンに
部分的にレジスト塗布りが蓄積されるおそれを防止する
液状レジスト塗缶方γ去を提供することにある。
〔発明の構成] (問題点を解決するための手段) 本発明は、スクリーン印刷機のスクリーン29を介して
プリント配線基板Pの露光面に液状レジスト32が均一
に塗布される液状レジスト塗布方法に関するものであっ
て、前記スクリーン29の下側にプリント配線基板Pが
供給される毎に、前記スクリーン29と前記プリント配
tfAa板Pとの水!毬方向の相対的位置関係を変化さ
せるものである。
(作用) 本発明は、前記スクリーン29ど前記プリント配線基板
Pとの相対的位置関係が基板供給毎に変化されるから、
第1回のレジスト@缶と第2回のレジスト塗布とで(ニ
ブリンl” Ai! B基板Pのスルーホール位置が異
なり、したがって第1回のレジスト塗布でスルーホール
対応スクリーン]・面に削着されたレジスト溜り32a
は、第2回のレジスト塗布特にプリント配線基板Paの
上面に塗布されて消滅し、新たなスルーホールト1aに
対応するレジスト溜りがスクリーンの不側に形成される
が、これら次回のレジスト塗布でなくなる。
(実施例) 以下、本発明を第1図乃至第3図に示される一実施例お
よび第4図に丞される他の実施例を参照して詳細に説明
する。
第2図に示されるレジスト塗布装置は、装置本体部21
の一側部に搬入部22が設けられ、他側部に搬出部23
が設けられ、また前記搬入部22の上部にて一対の基板
位置決め台24が間隔を介して1;Ωけられ、前記装置
本体部21の上部にて一対の固定台25が間隔を介して
設けられ、そして館記一対の位置決め台24の間には前
記一対の固定台25の間まで移送される基板搬出用搬送
台26が設けられ、前記一対の固定台25の間には前記
搬出部23の上部まで移送される基板搬出用搬送台27
が設けられている。
この両方の1lI2送台26.27は、一体向【こ連結
されて同時に水平移送され、プリン1−配線基板Pの搬
入と搬出どを同11;旨こtrうどともに、図示しない
胃降槻構によって同時に上下IIされる。前記名分21
1゜25、26.27にはプリント配線五(板Pを負圧
によ・〕で吸着するtこめの多数の小孔が設けられてい
る。
さらに前記装置本体部21の上部には、図示しないri
?降機溝機構って基板搬入および1qz出時に上下動さ
れる版枠28が設けられ、この版枠28の下面にスクリ
ーン(メツシュ)29が張設されている。
このスクリーン29の土面には第2図矢印方向に水平移
動されるスキージ−30(第1図に示される)が設けら
れている。
そうして、前記基板位置決め台24によって水平移動調
整されて正確な位置に(シ首決めされたプリント配線基
板Pは、前記位置決め台24より上界する草根搬入用搬
送台26に移載され、この搬送台26によって前記スク
リーン29の下側に搬入され、この位置で)降される搬
送台26から前記固定台25に移載される。
このような基板搬入において、前記草根搬入用搬送台2
6の搬入浮止位置は、第3図に示されろように前回が八
位置であれば今回はC位置であり、今回がC117置で
あれば次回1よ△位置となるように、2位置の間で交互
に繰返される。
その場合、プリン1〜配線基板Pの周縁部のデッドスペ
ースDは10m以上あるが、このデッドスペースDの範
囲内で基板の搬入停止位置を変動さゼる必要があるから
、前記八位置とC位置との間の間隔は10mm以下に設
定する。この搬入停止位置の1没定は、前記搬送台26
を水平移動する移送機構31(第2図)の駆動部に使用
されるサーボモータの制御プログラムにおいて行ない、
このサーボモータの基板搬送時作動侶の相違によりレジ
スト塗布時の基板停止位置が10M以下の和囲内で変化
するように前記プログラムを絹む。したがって前記A位
置J3よびC位置は前記プログラムの相持えによって容
易に変更できる。
そうして、第1図に丞されるように前記スキージ−30
によってスクリーン29を介してプリント配線基板Pの
露光面に液状レジスト32が塗fl+される揚台、第1
図(A)から(B)への変化で示されるように、プリン
ト配線基板Pのスルーホール1」に対向されていたスク
リーン下面に液状レジストの溜り32aが生ずるが、第
1図(Qに示されるように次のプリント配線基板paが
前のプリント配線基板Pとは異なる位置に搬入されるの
で、このプリント配線基板paのスルーホールHaは前
回の塗布で牛じた溜り32aと合致しない。この前回の
レジメ・ト塗布でスルーホール対応スクリーン部分に困
着されたレジスト溜り32aは、(C)のレジスト塗布
時にプリント配線W、根paの上面に塗布されて消滅し
、新たなスルーホール1−1aに対応するレジスト溜り
がスクリーン29の下側に形成されるが、これも次回の
レジスト塗布でなくなる。
以上は、前記スクリーン2つを基帛に前記プリント配r
A基板Pの搬入停止位置が変化される実施例であるが、
第4図に足される実施例のよう【ご前記固定台25上へ
の基板の搬入停止が常に同一位置でなされるようにし、
その同−搬入位置のプリント配線基板Pを塁へtl、:
前記スクリーン2つのセット位置が変化されるようにし
てもよい。
すなわち第4図に示されるように、固定台25の上側に
おいて、図丞しない臂降殿構により上下動される外枠4
1の内部に架設されたガイド42に版枠43がスライド
部44を介し摺仙山召に設けられ、また前記外枠41の
一側部に取付板45を介してアクチュエータ(シリンダ
またはパルスモータ)46が取付けられ、このアクチュ
エータ46によって作動IT (ピストンロッドまたは
送りねじ)47を介し前記版枠43がプリン]へ配線基
板Pの供給毎に実線(装置と2点鎖線位防とに交互にス
ライドされ、この版枠43の1・面に張設されたスクリ
ーン2つが基板のデッドスペース壕囲内で左右に移ir
!!+される。
〔発明の効果〕
本発明によれば、スクリーン印刷様のスクリーンの1・
側にプリン1−配線基板が供給される毎に、前記スクリ
ーンと前記プリント配線基板との水平り向の相対的位置
関係を変化させるようにしlζから、プリント配線基板
のスルーホールが常にスクリーンの同一部分に対向する
ことがなく、このためスルーホール対向スクリーン下面
にて液状レジメ1〜の溜りが蓄積されることもなく、従
来のように蓄積されて落下した液状レジストがプリント
配線基板の下面および露光合着をこの液状レジメ1〜で
汚すおそれがなく、またレジスト塗布装置を停止してス
クリーン印刷様のレジスト溜りを千1/12で拭き取る
必要もないから、本発明の方法によれば装置を右動に稼
動ひきる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の液状レジスト塗布方法の一実施例を示
す断面図、第2図はその塗布装置の斜視図、第3図はそ
の搬送台の作動を示す平面図、第4図は本発明の他の実
施例を示す断面図、第5図は従来の液状レジスト塗布方
法を示す断面図である。 P・・プリント配線基板、29・・スクリーン、32・
・液状レジスト。 ]1仁Δ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)スクリーン印刷機のスクリーンを介してプリント
    配線基板の露光面に液状レジストが均一に塗布される液
    状レジスト塗布方法において、前記スクリーンの下側に
    プリント配線基板が供給される毎に、前記スクリーンと
    前記プリント配線基板との水平方向の相対的位置関係を
    変化させることを特徴とする液状レジスト塗布方法。
  2. (2)前記スクリーンを基準に前記プリント配線基板の
    搬入位置を変化させることを特徴とする特許請求の範囲
    第1項記載の液状レジスト塗布方法。
  3. (3)前記プリント配線基板を基準に前記スクリーンの
    セット位置を変化させることを特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載の液状レジスト塗布方法。
JP12281686A 1986-05-28 1986-05-28 液状レジスト塗布方法 Pending JPS62279328A (ja)

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JPS62279328A true JPS62279328A (ja) 1987-12-04

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0680247A1 (de) * 1994-04-30 1995-11-02 Blaupunkt-Werke GmbH Siebdruckverfahren zur Herstellung gedruckter Schaltungen sowie Anordnung zur Durchführung des Verfahrens

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0680247A1 (de) * 1994-04-30 1995-11-02 Blaupunkt-Werke GmbH Siebdruckverfahren zur Herstellung gedruckter Schaltungen sowie Anordnung zur Durchführung des Verfahrens

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