KR20110059162A

KR20110059162A - 기판 코팅 장치

Info

Publication number: KR20110059162A
Application number: KR1020090115811A
Authority: KR
Inventors: 현재일
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2009-11-27
Filing date: 2009-11-27
Publication date: 2011-06-02

Abstract

기판 코팅 장치는 기판 이송 유닛과 노즐 유닛을 포함한다. 기판 이송 유닛은 기판을 부양시키기 위해 기판의 하부면으로 에어를 공급하는 제1 영역과 에어의 공급이 이루어지지 않는 제2 영역을 갖는 에어 블로워 및 에어 블로워의 양측에 배치되며 플로팅된 기판을 수평 방향으로 이동시키기 위한 구동부를 포함한다. 노즐 유닛은 기판 이송 유닛의 상부에서 수평 방향에 대하여 수직하는 다른 수평 방향으로 각각 연장하고, 기판을 이송하는 동안 제2 영역 상에서 기판으로 포토레지스트 조성물을 공급하는 슬릿 노즐을 갖는다.

Description

기판 코팅 장치{Apparatus for coating a substrate}

본 발명은 기판 코팅 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 포토레지스트 조성물을 제공하여 기판을 코팅하는 기판 코팅 장치에 관한 것이다.

평판 디스플레이 장치의 제조에서 실리콘 또는 유리로 이루어진 기판 상에는 전기적인 회로 패턴들이 형성될 수 있다. 상기 회로 패턴들은 증착 공정, 포토리소그래피 공정, 식각 공정 및 세정 공정 등과 같은 일련의 단위 공정들을 수행함으로써 형성될 수 있다.

상기 포토리소그래피 공정은 상기 기판 상에 포토레지스트 막을 형성하기 위한 포토레지스트 코팅 공정과, 상기 포토레지스트 막에 포함된 용제의 휘발(volatilization)과 상기 포토레지스트 막을 경화하기 위한 소프트(soft) 베이크 공정과, 상기 소프트 베이크 공정을 통해 고체화된 포토레지스트 막 상에 포토 마스크 패턴(photo mask pattern)을 전사하기 위한 노광 공정과, 상기 노광 공정을 수행하는 동안 상기 반도체 기판으로 조사되는 광의 산란에 의한 해상도 저하를 방지하기 위한 노광 후 베이크(post exposure bake) 공정과, 상기 노광 처리된 포토레지스트 막을 부분적으로 제거하여 포토레지스트 패턴을 형성하기 위한 현상 공정 과, 상기 현상된 포토레지스트 패턴의 강화를 위한 하드(hard) 베이크 공정 등을 포함할 수 있다.

상기 포토레지스트 코팅 공정은 기판 코팅 장치를 이용하여 이루어진다. 예를 들면, 상기 기판 코팅 장치의 이송부가 상기 기판을 플로팅하여 이송하면서 노즐에서 상기 기판으로 포토레지스트 조성물을 공급하여 상기 기판을 코팅한다.

상기 이송부는 상기 기판을 플로팅하기 위해 상기 기판의 하부면으로 에어를 공급하고, 상기 기판 하부면의 에어를 흡입한다. 상기 에어의 공급과 흡입으로 인해 발생하는 기류가 상기 노즐에서 공급되는 조성물에 영향을 미친다. 또한, 상기 에어의 공급과 흡입으로 인해 상기 기판에 변형이 발생하고, 상기 변형된 기판으로 상기 조성물이 공급된다. 그러므로, 상기 조성물이 상기 기판 상에 균일하게 형성되지 않는 문제점이 있다.

본 발명은 기판 상에 포토레지스트 조성물을 균일하게 도포하는 기판 코팅 장치를 제공한다.

본 발명에 따른 기판 코팅 장치는 기판을 부양시키기 위해 상기 기판의 하부면으로 에어를 공급하는 제1 영역과 상기 에어의 공급이 이루어지지 않는 제2 영역을 갖는 에어 블로워 및 상기 에어 블로워의 양측에 배치되며 상기 플로팅된 기판을 수평 방향으로 이동시키기 위한 구동부를 포함하는 기판 이송 유닛 및 상기 기판 이송 유닛의 상부에서 상기 수평 방향에 대하여 수직하는 다른 수평 방향으로 각각 연장하고, 상기 기판을 이송하는 동안 상기 제2 영역 상에서 상기 기판으로 포토레지스트 조성물을 공급하는 슬릿 노즐을 갖는 노즐 유닛을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제2 영역은 상기 다른 수평 방향으로 연장하여 배치되며, 상기 제2 영역의 폭은 상기 슬릿 노즐의 토출구 폭보다 클 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 에어 블로워는 다수의 제1 개구들이 형성된 상기 제1 영역과 상기 제1 개구들이 형성되지 않은 상기 제2 영역을 갖는 플레이트 및 상기 플레이트 상에 기판을 플로팅시키기 위해 상기 제1 개구들을 통해 상기 기판의 하부면으로 에어를 공급하는 에어 공급부를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 플레이트는 상기 제1 영역의 제1 개 구들 사이에 제2 개구들을 더 가지며, 상기 에어 블로워는 상기 제2 개구들을 통해 상기 기판의 하부면으로 공급된 에어를 흡입하는 에어 흡입부를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 기판 코팅 장치는 기판이 이송되는 수평 방향을 따라 서로 이격되어 배치되며 각각 다수의 개구들을 갖는 두 개의 플레이트들과, 상기 플레이트들 상에 기판을 플로팅시키기 위해 상기 개구들를 통해 상기 기판의 하부면으로 에어를 공급하는 에어 공급부 및 상기 플레이트의 양측에 배치되며 상기 플로팅된 기판을 상기 수평 방향으로 이동시키기 위한 구동부를 포함하는 기판 이송 유닛 및 상기 기판 이송 유닛의 상부에서 상기 수평 방향에 대하여 수직하는 다른 수평 방향으로 각각 연장하고, 상기 기판을 이송하는 동안 상기 플레이트들 사이의 상방에서 상기 기판 상으로 포토레지스트 조성물을 공급하는 슬릿 노즐을 갖는 노즐 유닛을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 플레이트들 사이 간격은 상기 슬릿 노즐의 토출구 폭보다 클 수 있다.

본 발명에 따른 기판 코팅 장치는 슬릿 노즐이 포토레지스트 조성물을 도포하는 위치에 대응하는 영역을 제외한 나머지 영역으로 에어 블로워의 에어 공급이 이루어진다. 따라서, 상기 에어 블로워의 에어로 인한 기류가 상기 슬릿 노즐의 조성물 도포에 영향을 미치지 않으며, 상기 기류로 인해 이송되는 기판의 변형을 최소화할 수 있다. 그러므로, 상기 조성물을 상기 기류의 영향없이 상기 기판으로 균 일하게 도포할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 코팅 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치(100)를 설명하기 위한 평면도이고, 도 2는 도 1의 기판 코팅 장치(100)를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 기판 코팅 장치(100)는 상기 기판(10)을 수평 방향으로 이송하기 위한 기판 이송 유닛(102)과 상기 기판(10) 상으로 포토레지스트 조성물을 공급하기 위한 노즐 유닛(104)을 포함할 수 있다.

상기 기판 이송 유닛(102)은 상기 기판(10)을 부양시키기 위하여 상기 기판(10)의 하부면 상으로 에어를 공급하는 에어 블로워(air blower; 110)와 상기 부양된 기판(10)을 상기 수평 방향으로 이동시키기 위한 구동부(120)를 포함할 수 있다.

상기 에어 블로워(110)는 상기 에어를 공급하기 위한 다수의 제1 개구들(112a) 및 다수의 제2 개구들(112b)을 갖는 플레이트(perforated plate; 112)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제1 개구들(112a) 및 제2 개구들(112b)은 교대로 배치될 수 있다.

상기 플레이트(112)는 상기 제1 개구들(112a) 및 제2 개구들(112b)이 배치되는 제1 영역(a)과 상기 제1 개구들(112a) 및 제2 개구들(112b)이 배치되지 않는 제2 영역(b)을 갖는다. 이때, 상기 제2 영역(b)은 상기 수평 방향으로 일정한 폭을 가지며, 상기 수평 방향과 수직하는 다른 수평 방향으로 연장한다.

상기에서는 상기 제2 영역(b)이 상기 제1 영역(a) 중간에 배치되는 것으로 도시되었지만, 상기 제2 영역(b)은 상기 제1 영역(a)의 일측에 배치될 수도 있다.

상기 플레이트(112)는 상기 노즐 유닛(104)의 아래에 배치될 수 있으며 에어 공급부(114) 및 에어 흡입부(116)와 연결될 수 있다.

예를 들면, 상기 플레이트(112)의 제1 개구들(112a)은 에어 공급부(114)와 연결될 수 있다. 상기 에어 공급부(114)는 에어를 상기 제1 개구들(112a)을 통해 상기 기판(10)의 하부면으로 공급할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 에어 공급부(114)는 공압 펌프와 에어 탱크를 포함할 수 있으며, 제1 에어 배관(114a)을 통해 상기 제1 개구들(112a)과 연결된다. 또한, 상기 에어 공급부(114)는 상기 제1 에어 배관(114a)에 배치되어 상기 플레이트(112)를 통해 공급되는 에어의 유량을 조절하기 위한 밸브(미도시)를 더 포함할 수 있다.

상기 플레이트(112)의 제2 개구들(112b)은 에어 흡입부(116)와 연결될 수 있다. 상기 에어 흡입부(116)는 상기 기판(10)의 하부면으로 공급된 에어를 상기 제2 개구들(112b)을 통해 흡입할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 에어 흡 입부(116)는 공압 펌프를 포함할 수 있으며, 제2 에어 배관(116a)을 통해 상기 제2 개구들(112b)과 연결된다. 또한, 상기 에어 흡입부(116)는 상기 제2 에어 배관(116a)에 배치되어 상기 플레이트(112)로부터 흡입되는 에어의 유량을 조절하기 위한 밸브(미도시)를 더 포함할 수 있다.

상기 플레이트(112)는 알루미늄과 같은 금속으로 이루어질 수 있으며, 상기 제1 및 제2 개구들(112a, 112b)은 약 0.1 내지 2.3mm 정도의 직경을 가질 수 있다. 또한, 교대로 배치되는 상기 제1 및 제2 개구들(112a, 112b) 사이의 간격은 약 10 내지 150mm 정도일 수 있다. 한편, 상기 제1 및 제2 개구들(112a, 112b)의 직경이 2.3mm보다 큰 경우 상기 제1 및 제2 개구들(112a, 112b)과 인접하는 기판(10) 부위들의 온도가 변화될 수 있으며, 이에 따라 상기 기판(10) 상에 형성되는 포토레지스트막의 두께가 불균일해질 수 있다.

상기에서는, 상기 제1 및 제2 개구들(112a, 112b)을 갖는 플레이트(112)가 기판(10)을 부양시키기 위하여 사용되고 있으나, 다공성 물질로 이루어지는 다공성 플레이트가 상기 기판(10)을 부양시키기 위하여 사용될 수도 있다. 상기 다공성 플레이트는 다공성 물질을 소결하여 이루어질 수 있다. 상기 다공성 물질로는 탄소, 니켈, 세라믹 등을 들 수 있다. 상기 다공성 플레이트는 약 10 내지 100㎛ 정도의 기공을 가질 수 있다.

상기 구동부(120)는 상기 에어 블로워(110)에 의해 부양된 기판(10)의 하부면 양측 에지 부위들을 파지할 수 있으며, 상기 기판(10)을 상기 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 플레이트(112)는 상기 기판(10)의 폭보다 좁은 폭을 가질 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 구동부(120)는 상기 기판(10)의 하부면 에지 부위들을 진공압을 이용하여 파지하는 다수의 진공척들(122)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 진공척들(122)은 상기 플레이트(112)의 양측에 배치된 리니어 모터들(124)에 의해 상기 수평 방향으로 이동될 수 있다. 이와 다르게, 상기 진공척들(122)은 리니어 모션 가이드(linear motion guide), 볼 스크루 및 볼 블록을 포함하는 구동 기구에 의해 이동될 수도 있다. 한편, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 구동부(120)는 프레임(140)에 장착될 수 있다.

상기 노즐 유닛(104)은 슬릿 노즐(130)을 포함한다. 상기 슬릿 노즐(130)은 상기 기판 이송 유닛(102)의 상부에서 상기 수평 방향에 대하여 수직하는 다른 수평 방향으로 연장할 수 있다. 상기 슬릿 노즐(130)은 상기 포토레지스트 조성물을 상기 기판(10) 상으로 공급하기 위한 슬릿 형태의 토출구(미도시)를 가질 수 있다. 상기 토출구는 상기 슬릿 노즐(130)의 연장 방향을 따라 연장할 수 있으며, 상기 포토레지스트 조성물은 상기 기판(10)이 상기 수평 방향으로 이송되는 동안 상기 토출구를 통해 상기 기판(10) 상으로 각각 공급될 수 있다.

이때, 상기 슬릿 노즐(130)의 폭은 상기 제2 영역(b)의 폭과 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서, 상기 토출구의 폭은 상기 제2 영역(b)의 폭보다 작을 수 있다.

상기 슬릿 노즐(130)은 상기 에어 블로워(110) 상부에 배치되는 갠트리(gantry; 142)에 의해 지지될 수 있다. 상기 갠트리(142)는 상기 프레임(140) 상 에서 수평 방향으로 각각 이동할 수 있다. 상기 갠트리(142)의 암(arm)(144)은 상기 에어 블로워(110)의 상부에서 상기 수평 방향에 대하여 수직하는 수평 방향으로 연장할 수 있으며, 상기 슬릿 노즐(130)은 상기 갠트리 암(144)의 하부에 연결될 수 있다. 또한, 상기 슬릿 노즐(130)은 상기 갠트리 암(144)에 수직 방향(vertical direction), 즉 상하 방향으로 이동 가능하도록 장착될 수 있다. 예를 들면, 상기 슬릿 노즐(130)은 모터와 볼 스크루에 의해 수직 방향으로 이동될 수 있다.

상기 코팅 공정이 수행되지 않는 동안, 상기 슬릿 노즐(130)은 상기 이송부(102)의 상부 전단인 제1 위치에 대기하고, 상기 코팅 공정이 수행되면, 상기 슬릿 노즐(130)은 포토레지스트 공급 위치인 제2 위치로 이동한다. 상기 제2 위치는 상기 플레이트(112)의 제2 영역(b)의 상방일 수 있다. 따라서, 상기 슬릿 노즐(130)은 상기 플레이트(112)의 제2 영역(b)의 상방에서 상기 포토레지스트 조성물을 상기 기판(10)으로 분사한다.

도시되지는 않았으나, 상기 제1 위치에는 상기 슬릿 노즐(130)을 세정하기 위한 세정 유닛(미도시)들이 배치될 수 있다.

상기 제2 영역(b)의 폭과 상기 슬릿 노즐(130)의 폭이 실질적으로 동일하고 상기 제2 영역(b)에는 상기 제1 개구들(112a) 및 제2 개구들(112b)이 배치되지 않는다. 상기 에어의 공급과 흡입으로 인한 기류가 상기 제2 영역(b)에서 거의 발생하지 않고, 상기 기류가 발생하더라도 상기 슬릿 노즐(130)의 조성물 도포에 영향을 미치지 않는다. 따라서, 상기 조성물이 상기 기류의 영향없이 상기 슬릿 노즐(130)에서 상기 기판(10)으로 도포될 수 있다. 또한, 상기 제2 영역(b)에서 상기 에어의 공급과 흡입으로 인해 발생하는 상기 기판(10)의 변형을 최소화할 수 있다. 그러므로, 상기 기판(10) 상에 상기 조성물을 균일하게 도포할 수 있다. 즉, 상기 기판(10) 상에 형성되는 포토레지스트 막의 균일도를 향상시킬 수 있다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 코팅 장치(200)의 개략적인 단면도이다.

도 3을 참조하면, 상기 기판 코팅 장치(200)는 상기 기판(20)을 수평 방향으로 이송하기 위한 기판 이송 유닛(202)과 상기 기판(20) 상으로 포토레지스트 조성물을 공급하기 위한 노즐 유닛(204)을 포함할 수 있다.

상기 기판 이송 유닛(202)은 상기 기판(20)을 부양시키기 위하여 상기 기판(20)의 하부면 상으로 에어를 공급하는 에어 블로워(210)와 상기 부양된 기판(20)을 상기 수평 방향으로 이동시키기 위한 구동부(220)를 포함할 수 있다.

상기 에어 블로워(210)는 상기 기판(20)이 이송되는 수평 방향을 따라 일정 간격(d)만큼 서로 이격되어 배치되는 두 개의 플레이트들(212)을 포함한다. 상기 플레이트들(212)은 각각 상기 에어를 공급하기 위한 다수의 제1 개구들(212a) 및 다수의 제2 개구들(212b)을 갖는다. 이때, 상기 제1 개구들(212a) 및 제2 개구들(212b)은 상기 각 플레이트(212) 전체 영역에 걸쳐 교대로 배치될 수 있다.

상기 플레이트(212)는 상기 노즐 유닛(204)의 아래에 배치될 수 있으며 에어 공급부(214) 및 에어 흡입부(216)와 연결될 수 있다. 상기 에어 공급부(214) 및 에어 흡입부(216)에 관한 구체적인 설명은 도 1 및 도 2를 참조한 에어 공급부(114) 및 에어 흡입부(116)에 대한 설명과 실질적으로 동일하므로 생략한다.

상기 구동부(220) 및 상기 노즐 유닛(204)에 대한 구체적인 설명은 도 1 및 도 2를 참조한 구동부(120) 및 노즐 유닛(104)에 대한 설명과 실질적으로 동일하므로 생략한다.

다만, 상기 노즐 유닛(204)의 슬릿 노즐(230)의 폭은 상기 플레이트들(212) 사이의 간격(d)과 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서, 상기 토출구의 폭은 상기 플레이트들(212) 사이의 간격(d)보다 작을 수 있다. 또한, 상기 슬릿 노즐(230)은 상기 플레이트들(212) 사이의 상방에서 상기 포토레지스트 조성물을 상기 기판(20)으로 분사한다.

상기 플레이트들(212) 사이의 간격(d)과 상기 슬릿 노즐(230)의 폭이 실질적으로 동일하고 상기 플레이트들(212) 사이에는 상기 제1 개구들(212a) 및 제2 개구들(212b)이 존재하지 않는다. 상기 에어의 공급과 흡입으로 인한 기류가 상기 플레이트들(212) 사이에서 거의 발생하지 않고, 상기 기류가 발생하더라도 상기 슬릿 노즐(230)의 조성물 도포에 영향을 미치지 않는다. 따라서, 상기 조성물이 상기 기류의 영향없이 상기 슬릿 노즐(230)에서 상기 기판(20)으로 도포될 수 있다. 또한, 상기 플레이트들(212) 사이에서 상기 에어의 공급과 흡입으로 인해 발생하는 상기 기판(20)의 변형을 최소화할 수 있다. 그러므로, 상기 기판(20) 상에 상기 조성물을 균일하게 도포할 수 있다. 즉, 상기 기판(20) 상에 형성되는 포토레지스트 막의 균일도를 향상시킬 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 코팅 장치는 슬릿 노즐이 기판으로 포토레지스트 조성물을 도포하는 위치에 대응하는 영역을 제외한 나머지 영역으로 에어 블로워의 에어 공급이 이루어진다. 따라서, 상기 에어 블로워의 에어로 인한 기류가 상기 슬릿 노즐의 조성물 도포에 영향을 미치지 않으며, 상기 기류로 인해 이송되는 기판의 변형을 최소화할 수 있다. 그러므로, 상기 조성물을 상기 기류의 영향없이 상기 기판으로 균일하게 도포할 수 있다. 나아가 상기 기판 코팅 장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치를 설명하기 위한 평면도이다.

도 2는 도 1의 기판 코팅 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 개략적인 단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

100 : 기판 코팅 장치 102 : 기판 이송 유닛

104 : 노즐 유닛 110 : 에어 블로워

112 : 플레이트 114 : 에어 공급부

116 : 에어 흡입부 120 : 구동부

122 : 진공척 124 : 리니어 모터

130 : 슬릿 노즐 140 : 프레임

142 : 갠트리 144 : 갠트리 암

10 : 기판

Claims

기판을 부양시키기 위해 상기 기판의 하부면으로 에어를 공급하는 제1 영역과 상기 에어의 공급이 이루어지지 않는 제2 영역을 갖는 에어 블로워 및 상기 에어 블로워의 양측에 배치되며 상기 플로팅된 기판을 수평 방향으로 이동시키기 위한 구동부를 포함하는 기판 이송 유닛; 및

상기 기판 이송 유닛의 상부에서 상기 수평 방향에 대하여 수직하는 다른 수평 방향으로 각각 연장하고, 상기 기판을 이송하는 동안 상기 제2 영역 상에서 상기 기판으로 포토레지스트 조성물을 공급하는 슬릿 노즐을 갖는 노즐 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 장치.
제1항에 있어서, 상기 제2 영역은 상기 제1 영역 사이에서 상기 다른 수평 방향으로 연장하여 배치되며, 상기 제2 영역의 폭은 상기 슬릿 노즐의 토출구 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 기판 코팅 장치.
제1항에 있어서, 상기 에어 블로워는,

다수의 제1 개구들이 형성된 상기 제1 영역과 상기 제1 개구들이 형성되지 않은 상기 제2 영역을 갖는 플레이트; 및

상기 플레이트 상에 기판을 플로팅시키기 위해 상기 제1 개구들을 통해 상기 기판의 하부면으로 에어를 공급하는 에어 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 장치.
제3항에 있어서, 상기 플레이트는 상기 제1 영역의 제1 개구들 사이에 제2 개구들을 더 가지며,

상기 에어 블로워는 상기 제2 개구들을 통해 상기 기판의 하부면으로 공급된 에어를 흡입하는 에어 흡입부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 장치.
기판이 이송되는 수평 방향을 따라 서로 이격되어 배치되며 각각 다수의 개구들을 갖는 두 개의 플레이트들과, 상기 플레이트들 상에 기판을 플로팅시키기 위해 상기 개구들를 통해 상기 기판의 하부면으로 에어를 공급하는 에어 공급부 및 상기 플레이트의 양측에 배치되며 상기 플로팅된 기판을 상기 수평 방향으로 이동시키기 위한 구동부를 포함하는 기판 이송 유닛; 및

상기 기판 이송 유닛의 상부에서 상기 수평 방향에 대하여 수직하는 다른 수평 방향으로 각각 연장하고, 상기 기판을 이송하는 동안 상기 플레이트들 사이의 상방에서 상기 기판 상으로 포토레지스트 조성물을 공급하는 슬릿 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 장치.
제5항에 있어서, 상기 플레이트들 사이 간격은 상기 슬릿 노즐의 토출구 폭보다 큰 것을 특징으로 기판 코팅 장치.