JPS6227632A - 偏光度測定方法および装置 - Google Patents
偏光度測定方法および装置Info
- Publication number
- JPS6227632A JPS6227632A JP16734985A JP16734985A JPS6227632A JP S6227632 A JPS6227632 A JP S6227632A JP 16734985 A JP16734985 A JP 16734985A JP 16734985 A JP16734985 A JP 16734985A JP S6227632 A JPS6227632 A JP S6227632A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polarization
- measured
- polarized light
- degree
- imax
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、実時間で偏光度を測定する高速偏光度測定方
法およびこの方法を実行する装置に関する。
法およびこの方法を実行する装置に関する。
本発明は、被測定楕円偏光の直線偏光成分の光強度を測
定して偏光度Pを演算により求める偏光度測定方法にお
いて、 三つの異なる偏向角度で直線偏光成分の光強度を測定し
、この結果を楕円の方程式に基づいて演算することによ
り、 可動部分のない装置で高速に偏光度Pを求めるものであ
る。
定して偏光度Pを演算により求める偏光度測定方法にお
いて、 三つの異なる偏向角度で直線偏光成分の光強度を測定し
、この結果を楕円の方程式に基づいて演算することによ
り、 可動部分のない装置で高速に偏光度Pを求めるものであ
る。
楕円偏光の偏光度を測定するためには、被測定楕円偏光
を検光子に入射させ、この検光子の主軸と一致する直線
偏光成分だけを透過させて光検出器で検出する。従来の
測定方法では、検光子の主軸を回転させ、透過した光強
度の最大値1 maxおよび最小値1 minを記録し
、偏光度Pを、により演算していた。
を検光子に入射させ、この検光子の主軸と一致する直線
偏光成分だけを透過させて光検出器で検出する。従来の
測定方法では、検光子の主軸を回転させ、透過した光強
度の最大値1 maxおよび最小値1 minを記録し
、偏光度Pを、により演算していた。
しかし、従来の測定方法では検光子を常に回転させる必
要があり、高速に偏光度を測定できない欠点があった。
要があり、高速に偏光度を測定できない欠点があった。
高速で測定するために、検光子を高速で回転させ、光強
度の変化を交流信号として測定する方法も考えられてい
るが、検光子の光軸が振動しないような回転駆動装置を
製作することは困難であり、また、装置の規模が大きく
なる欠点があった。
度の変化を交流信号として測定する方法も考えられてい
るが、検光子の光軸が振動しないような回転駆動装置を
製作することは困難であり、また、装置の規模が大きく
なる欠点があった。
本発明は、可動部分なしに実時間で偏光度を測定するこ
とのできる偏光度測定方法および装置を提供することを
目的とする。
とのできる偏光度測定方法および装置を提供することを
目的とする。
本発明の偏光度測定方法は、被測定楕円偏光の直線偏光
成分の光強度を測定し、 上記光強度の最大値+ maxと最小値1 minとか
ら偏光度Pを Imax + lm1n の演算により求める偏光度測定方法において、X、y直
交座標系に対して被測定楕円偏光の直線偏光成分の光強
度が最大となる軸がy軸となす角度をφとし、X軸との
なす角度が 0≦θ1〈θ2〈θ3〈π −−−−−−−(
21の三つの角度θ1、θ2、θ3における直線偏光成
分の光強度■1、2、I3を測定し、Xとy■ との値の組として x−11cosθ1 、y” I 1 Sinθ+
’−’−’−’(3)x=I2cosθ2 、)’=
123inθZ −−−−−−−(4)X=I3CO
5θ3、y=1.、sinθ3−−−−−−(5)を被
測定楕円偏光を表す方程式 %式%(6) に代入して最大値1 maxおよび最小値r minを
演算により求め、これらの最大値Imaxおよび最小値
lm1nO値を上記(1)式に代入して被測定楕円偏光
の偏光度を求めることを特徴とする。
成分の光強度を測定し、 上記光強度の最大値+ maxと最小値1 minとか
ら偏光度Pを Imax + lm1n の演算により求める偏光度測定方法において、X、y直
交座標系に対して被測定楕円偏光の直線偏光成分の光強
度が最大となる軸がy軸となす角度をφとし、X軸との
なす角度が 0≦θ1〈θ2〈θ3〈π −−−−−−−(
21の三つの角度θ1、θ2、θ3における直線偏光成
分の光強度■1、2、I3を測定し、Xとy■ との値の組として x−11cosθ1 、y” I 1 Sinθ+
’−’−’−’(3)x=I2cosθ2 、)’=
123inθZ −−−−−−−(4)X=I3CO
5θ3、y=1.、sinθ3−−−−−−(5)を被
測定楕円偏光を表す方程式 %式%(6) に代入して最大値1 maxおよび最小値r minを
演算により求め、これらの最大値Imaxおよび最小値
lm1nO値を上記(1)式に代入して被測定楕円偏光
の偏光度を求めることを特徴とする。
直線偏光成分を測定する角度の値はOないしπであり、
この値域外の角度は値域内の角度と等価である。
この値域外の角度は値域内の角度と等価である。
三つの角度θ1、θ2、θ3を、
θ1 =01θ2=π/4、θ3・π/ 2 −(71
と設定した場合には、偏光度Pを、 G=21+”lz” II”12” r2”Iz”
−−−QυH=I+”L” Iz”l:+”
−−−−−−=(2)により演算することが
できる。
と設定した場合には、偏光度Pを、 G=21+”lz” II”12” r2”Iz”
−−−QυH=I+”L” Iz”l:+”
−−−−−−=(2)により演算することが
できる。
また、本発明の偏光度測定装置は、上記の方法を実現す
るための装置であり、被測定楕円偏光を三つの光路に分
岐する手段と、この三つの光路上に、それぞれ、一つの
直線偏光成分を透過させる検光子と、この検光子を透過
した直線偏光成分の光強度を測定するための光検出器と
を備え、上記検光子の被測定楕円偏光に対する主軸角が
それぞれ異なる角度に設定され、上記三つの光路上の各
光検出器の電気信号から被測定楕円偏光の偏光度を演算
する演算手段を備えたことを特徴とする。
るための装置であり、被測定楕円偏光を三つの光路に分
岐する手段と、この三つの光路上に、それぞれ、一つの
直線偏光成分を透過させる検光子と、この検光子を透過
した直線偏光成分の光強度を測定するための光検出器と
を備え、上記検光子の被測定楕円偏光に対する主軸角が
それぞれ異なる角度に設定され、上記三つの光路上の各
光検出器の電気信号から被測定楕円偏光の偏光度を演算
する演算手段を備えたことを特徴とする。
本発明の偏光度測定方法は、三つの異なる偏向角度の直
線偏光成分の光強度を測定し、この結果を楕円の方程式
に基づいて演算して偏光度Pを得る。これは、原理的に
、原点から三方向の距離を求めることにより、原点を中
心とする楕円の形状を求めることに等価である。
線偏光成分の光強度を測定し、この結果を楕円の方程式
に基づいて演算して偏光度Pを得る。これは、原理的に
、原点から三方向の距離を求めることにより、原点を中
心とする楕円の形状を求めることに等価である。
本発明では、直線偏光成分の光強度が最大となる軸とy
軸とのなす角度φを求めていないが、これを求めること
も可能である。この角度φを求めた場合には、被測定楕
円偏光の形状を完全に知ることができる。
軸とのなす角度φを求めていないが、これを求めること
も可能である。この角度φを求めた場合には、被測定楕
円偏光の形状を完全に知ることができる。
上述の演算を簡略化するため、許容できる誤差範囲内で
近似してもよい。
近似してもよい。
第1図は本発明実施例偏光度測定装置のブロック構成図
である。
である。
被測定楕円偏光は半透鏡1によりその一部が反射される
。半透鏡1により反射された被測定楕円偏光は、検光子
2を通過して光検出器3に入射する。半透鏡1を透過し
た被測定楕円偏光は、半透鏡4によりさらにその一部が
反射される。半透鏡4により反射された被測定楕円偏光
は、検光子5を通過して光検出器6に入射する。半透鏡
4を透過した被測定楕円偏光は、検光子7を通過して光
検出器8に入射する。
。半透鏡1により反射された被測定楕円偏光は、検光子
2を通過して光検出器3に入射する。半透鏡1を透過し
た被測定楕円偏光は、半透鏡4によりさらにその一部が
反射される。半透鏡4により反射された被測定楕円偏光
は、検光子5を通過して光検出器6に入射する。半透鏡
4を透過した被測定楕円偏光は、検光子7を通過して光
検出器8に入射する。
図示していないが、光検出器3.6および8は電気信号
処理装置および計算機に接続される。
処理装置および計算機に接続される。
半透鏡1.4は、三つに分離された被測定楕円偏光がほ
ぼ等しい光強度になるように、その反射率が設定されて
いる。また、偏光依存性を小さくするために、半透鏡1
.4による反射角度を小さくする。さらに、電気信号処
理装置または計算機により、各光検出器3.6および8
の検出した光強度を重み付けにより補正する。
ぼ等しい光強度になるように、その反射率が設定されて
いる。また、偏光依存性を小さくするために、半透鏡1
.4による反射角度を小さくする。さらに、電気信号処
理装置または計算機により、各光検出器3.6および8
の検出した光強度を重み付けにより補正する。
第2図は本発明の原理を示す図である。
被測定楕円偏光の偏光度Pは、その直線偏光成分の光強
度の最大値I maxおよび最小値1 minにより、 と定義される。しかし、本発明は、最大値1 maxお
よび最小値I minを測定するのではなく、これらを
未知数として取り扱う。
度の最大値I maxおよび最小値1 minにより、 と定義される。しかし、本発明は、最大値1 maxお
よび最小値I minを測定するのではなく、これらを
未知数として取り扱う。
第2図に示すようにx、y直交座標を定義する。
ここに、最大値r maxの軸がy軸から角度φだけ傾
いた被測定楕円偏光νが入射したとする。この被測定楕
円偏光νは、x、y直交座標上で、と表される。(6)
式において、最大値Imax、最小値1m1nおよび角
度φが未知数である。したがって、これらの未知数を一
義的に定めるには、三方向について直線偏光成分の光強
度を測定すればよいことがわかる。
いた被測定楕円偏光νが入射したとする。この被測定楕
円偏光νは、x、y直交座標上で、と表される。(6)
式において、最大値Imax、最小値1m1nおよび角
度φが未知数である。したがって、これらの未知数を一
義的に定めるには、三方向について直線偏光成分の光強
度を測定すればよいことがわかる。
そこで、検光子2.5および7のそれぞれの主軸al、
aZおよびa3を、X軸に対してそれぞれ角度θ1、θ
2およびθ3傾ける。ここで、0≦θ1〈θ2〈θ3く
π −・・・−(2)とする。主軸a、 、a
Zおよびa3の角度の値域は口ないしπであり、この範
囲外の角度は値域内の角度と等価であるのでここでは除
外する。
aZおよびa3を、X軸に対してそれぞれ角度θ1、θ
2およびθ3傾ける。ここで、0≦θ1〈θ2〈θ3く
π −・・・−(2)とする。主軸a、 、a
Zおよびa3の角度の値域は口ないしπであり、この範
囲外の角度は値域内の角度と等価であるのでここでは除
外する。
このとき、光検出器3.6および8が検出する光強度を
1+ 、IzおよびI3とすると、三つの座標点 (1,cosθ、、1.sinθ1)、(Izcosθ
z、Izsinθ2)、および (1、cosθ、、、l3sinθ3)が(6)式で示
される楕円上の点となる。
1+ 、IzおよびI3とすると、三つの座標点 (1,cosθ、、1.sinθ1)、(Izcosθ
z、Izsinθ2)、および (1、cosθ、、、l3sinθ3)が(6)式で示
される楕円上の点となる。
したがって、Xとyの値の組として
x=1.cosθ、 、y= I、sinθ+
”−’−’(3)x=I2 cosθ2 、y= T、
sinθ2 −−−−−−(4)x=1.cosθ3
、y= [z sinθ3 ’−−−−−−
”(5)を上記の(6)式に代入して、最大値1 ma
xおよび最小値1 minを演算し、さらにこれらの値
を(1)式に代入して偏光度Pを求めることができる。
”−’−’(3)x=I2 cosθ2 、y= T、
sinθ2 −−−−−−(4)x=1.cosθ3
、y= [z sinθ3 ’−−−−−−
”(5)を上記の(6)式に代入して、最大値1 ma
xおよび最小値1 minを演算し、さらにこれらの値
を(1)式に代入して偏光度Pを求めることができる。
ここで、角度θ6、θ2およびθ3の値を任意に選択す
ると、(3)、(4)および(5)式を(6)弐に代入
した連立方程式を数値計算により求めるために、通常の
計算機では数百ミリ秒の時間を要する。演算時間を短縮
するためには、角度θ1、θ2およびθ3を適切な値に
選択することが望ましい。このような値として、 θ1=0、θ2=π/4、θ3−π/ 2 −(7)を
選択する。この場合には、(3)、(4)および(5)
式を(6)式に代入した連立方程式は簡略化され、・・
−−−−−−46) ’ となる。この連立方程式により、偏光度Pは、G=21
+J、+” IIJz” IzJ:+” −・−
0υH= II”lZ” 1g”I32 −
−−−−一・(2)により得られる。したがって、角度
θ1、θ2およびθ3を任意に選択した場合に比べて、
非常に高速で演算を行うことができる。
ると、(3)、(4)および(5)式を(6)弐に代入
した連立方程式を数値計算により求めるために、通常の
計算機では数百ミリ秒の時間を要する。演算時間を短縮
するためには、角度θ1、θ2およびθ3を適切な値に
選択することが望ましい。このような値として、 θ1=0、θ2=π/4、θ3−π/ 2 −(7)を
選択する。この場合には、(3)、(4)および(5)
式を(6)式に代入した連立方程式は簡略化され、・・
−−−−−−46) ’ となる。この連立方程式により、偏光度Pは、G=21
+J、+” IIJz” IzJ:+” −・−
0υH= II”lZ” 1g”I32 −
−−−−一・(2)により得られる。したがって、角度
θ1、θ2およびθ3を任意に選択した場合に比べて、
非常に高速で演算を行うことができる。
以上説明したように、本発明の偏光度測定方法および装
置は、検光子を固定したままで偏光度の測定が可能であ
る。また、測定に要する時間は演。
置は、検光子を固定したままで偏光度の測定が可能であ
る。また、測定に要する時間は演。
算時間だけであり、高性能のマイクロプロセッサを用い
て高速に偏光度を測定できる。
て高速に偏光度を測定できる。
したがって、本発明は、光源と光回路との結合や偏波保
持光ファイバの接続等の、偏光度を測定しながら行う作
業の効率を高める効果がある。また、検光子を固定して
いるので、光回路の集積化により、非常に小型の偏光度
測定装置を実現できる効果がある。
持光ファイバの接続等の、偏光度を測定しながら行う作
業の効率を高める効果がある。また、検光子を固定して
いるので、光回路の集積化により、非常に小型の偏光度
測定装置を実現できる効果がある。
第1図は本発明実施例偏光度測定装置のブロック構成図
。 第2図は本発明の原理図。 l、4・・・半透鏡、2.5.7・・・検光子、3.6
.8・・・光検出器。 特許出願人 日本電信電話株式会社 イー、代理人 弁
理士 井出直孝 −゛゛ 手続補正書 昭和61年1月31日 特許庁長官 宇 賀 道 部 ’Ml 嘉艮
1、事件の表示 昭和60年特許願第167349号 2、発明の名称 偏光度測定方法および装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区内幸町1丁目1番6号名 称
(422)日本電信電話株式会社代表者 真 藤
恒 4、代理人 〒177 !! 03−928−5673
住 所 東京都練馬区関町北二丁目26番18号2.
2、氏名 弁理士(7823)井出直孝、、、、、、;
、。 5、補正命令の日付 自発補正 6、補正により増加する発明の数 な し8、補正の
内容 (l)「特許請求の範囲」を別紙のとおり補正する。 (2)明細書第7頁(9)式 と補正する。 〔別 紙〕 特願昭60−167349
〔特許請求の範囲〕 (1) 被測定楕円偏光の直線偏光成分の光強度を測
定し、 上記光強度の最大値1 maxと最小値1m1nとから
偏光度Pを P−(Imax −1m1n ) / (Imax +
Th1n )−・・・・(11 の演算により求める 偏光度測定方法において、 x、y直交座標系に対して被測定楕円偏光の直線偏光成
分の光強度が最大となる軸がy軸となす角度をφとし、 X軸とのなす角度が 0≦θ1くθ2〈θ3〈π −・−(21の三
つの角度θ1、θ2、θ、における直線偏光成分の光強
度1+ 、It、[3を測定し、Xとyとの値の組とし
て x=I、cosθ、、y=I、sinθ、 −−−−
−−−(31x=Izcosθ2 、y= l2sin
θ2 −一一一−−141x=I3cosθ、 、
y= 1.sinθ、 −(5)を被測定楕円偏光
を表す方程式 に代入して最大値[waxおよび最小値[minを演算
により求め、 これらの最大値Imaxおよび最小値1 minの値を
上記(1)式に代入して被測定楕円偏光の偏光度を求め
る ことを特徴とする偏光度測定方法。 (2)三つの角度θ3、θ2、θ3はそれぞれ、θ1
=0、θ2=π/4、θ3=π/ 2 −(71であり
、 偏光度Pを、 lll1in II′13’CG=21+”
Is” I+”lz” 12”I3” ”−
−011H= r l” I z” T z” I
s” −−−−−@の演算により求
める 特許請求の範囲第(11項に記載の偏光度測定方法。 (3)被測定楕円偏光を三つの光路に分岐する手段(1
,4)と、 この三つの光路上に、それぞれ、 一つの直線偏光成分を透過させる検光子と、この検光子
を透過した直線偏光成分の光強度を測定するための光検
出器(3,6,8)とを備え、 上記検光子の被測定楕円偏光に対する主軸角がそれぞれ
異なる角度に設定され、 上記三つの光路上の各光検出器の電気信号から被測定楕
円偏光の偏光度を演算する演算手段を備えた ことを特徴とする偏光度測定装置。
。 第2図は本発明の原理図。 l、4・・・半透鏡、2.5.7・・・検光子、3.6
.8・・・光検出器。 特許出願人 日本電信電話株式会社 イー、代理人 弁
理士 井出直孝 −゛゛ 手続補正書 昭和61年1月31日 特許庁長官 宇 賀 道 部 ’Ml 嘉艮
1、事件の表示 昭和60年特許願第167349号 2、発明の名称 偏光度測定方法および装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区内幸町1丁目1番6号名 称
(422)日本電信電話株式会社代表者 真 藤
恒 4、代理人 〒177 !! 03−928−5673
住 所 東京都練馬区関町北二丁目26番18号2.
2、氏名 弁理士(7823)井出直孝、、、、、、;
、。 5、補正命令の日付 自発補正 6、補正により増加する発明の数 な し8、補正の
内容 (l)「特許請求の範囲」を別紙のとおり補正する。 (2)明細書第7頁(9)式 と補正する。 〔別 紙〕 特願昭60−167349
〔特許請求の範囲〕 (1) 被測定楕円偏光の直線偏光成分の光強度を測
定し、 上記光強度の最大値1 maxと最小値1m1nとから
偏光度Pを P−(Imax −1m1n ) / (Imax +
Th1n )−・・・・(11 の演算により求める 偏光度測定方法において、 x、y直交座標系に対して被測定楕円偏光の直線偏光成
分の光強度が最大となる軸がy軸となす角度をφとし、 X軸とのなす角度が 0≦θ1くθ2〈θ3〈π −・−(21の三
つの角度θ1、θ2、θ、における直線偏光成分の光強
度1+ 、It、[3を測定し、Xとyとの値の組とし
て x=I、cosθ、、y=I、sinθ、 −−−−
−−−(31x=Izcosθ2 、y= l2sin
θ2 −一一一−−141x=I3cosθ、 、
y= 1.sinθ、 −(5)を被測定楕円偏光
を表す方程式 に代入して最大値[waxおよび最小値[minを演算
により求め、 これらの最大値Imaxおよび最小値1 minの値を
上記(1)式に代入して被測定楕円偏光の偏光度を求め
る ことを特徴とする偏光度測定方法。 (2)三つの角度θ3、θ2、θ3はそれぞれ、θ1
=0、θ2=π/4、θ3=π/ 2 −(71であり
、 偏光度Pを、 lll1in II′13’CG=21+”
Is” I+”lz” 12”I3” ”−
−011H= r l” I z” T z” I
s” −−−−−@の演算により求
める 特許請求の範囲第(11項に記載の偏光度測定方法。 (3)被測定楕円偏光を三つの光路に分岐する手段(1
,4)と、 この三つの光路上に、それぞれ、 一つの直線偏光成分を透過させる検光子と、この検光子
を透過した直線偏光成分の光強度を測定するための光検
出器(3,6,8)とを備え、 上記検光子の被測定楕円偏光に対する主軸角がそれぞれ
異なる角度に設定され、 上記三つの光路上の各光検出器の電気信号から被測定楕
円偏光の偏光度を演算する演算手段を備えた ことを特徴とする偏光度測定装置。
Claims (3)
- (1)被測定楕円偏光の直線偏光成分の光強度を測定し
、 上記光強度の最大値Imaxと最小値Iminとから偏
光度Pを P=(Imax−Imin)/(Imax+Imin)
………(1)の演算により求める 偏光度測定方法において、 x、y直交座標系に対して被測定楕円偏光の直線偏光成
分の光強度が最大となる軸がy軸となす角度をφとし、 x軸とのなす角度が 0≦θ_1<θ_2<θ_3<π………(2)の三つの
角度θ_1、θ_2、θ_3における直線偏光成分の光
強度I_1、I_2、I_3を測定し、xとyとの値の
組として x=I_1cosθ_1、y=I_1sinθ_1……
…(3)x=I_2cosθ_2、y=I_2sinθ
_2………(4)x=I_3cosθ_3、y=I_3
sinθ_3………(5)を被測定楕円偏光を表す方程
式 [(xcosφ+ysinφ)^2/Imin^2]+
[(ycosφ−xsinφ)^2/Imax^2]=
1………(6)に代入して最大値Imaxおよび最小値
Iminを演算により求め、 これらの最大値Imaxおよび最小値Iminの値を上
記(1)式に代入して被測定楕円偏光の偏光度を求める ことを特徴とする偏光度測定方法。 - (2)三つの角度θ_1、θ_2、θ_3はそれぞれ、
θ_1=0、θ_2=π/4、θ_3=π/2………(
7)であり、 偏光度Pを、 P=[Imax/(Imin−1)]/[Imax/(
Imin+1)]………(8)Imax/Imin=[
(I_3^2−I_1^2C)/(I_1^2+I_3
^2C)]^1^/^2………(9)C={[H+√(
H^2+G^2)]/G}^2………(10)G=2I
_1^2I_3^2−I_1^2I_2^2−I_2^
2I_3^2………(11)H=I_1^2I_2^2
−I_2^2I_3^2………(12)の演算により求
める 特許請求の範囲第(1)項に記載の偏光度測定方法。 - (3)被測定楕円偏光を三つの光路に分岐する手段(1
、4)と、 この三つの光路上に、それぞれ、 一つの直線偏光成分を透過させる検光子と、この検光子
を透過した直線偏光成分の光強度を測定するための光検
出器(3、6、8)と を備え、 上記検光子の被測定楕円偏光に対する主軸角がそれぞれ
異なる角度に設定され、 上記三つの光路上の各光検出器の電気信号から被測定楕
円偏光の偏光度を演算する演算手段を備えた ことを特徴とする偏光度測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16734985A JPH068755B2 (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | 偏光度測定方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16734985A JPH068755B2 (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | 偏光度測定方法および装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6227632A true JPS6227632A (ja) | 1987-02-05 |
JPH068755B2 JPH068755B2 (ja) | 1994-02-02 |
Family
ID=15848078
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16734985A Expired - Lifetime JPH068755B2 (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | 偏光度測定方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH068755B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63243728A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-11 | Anritsu Corp | 偏光度測定装置 |
JPH04297835A (ja) * | 1991-03-27 | 1992-10-21 | Otsuka Denshi Kk | 偏光測定方法及びその方法を用いた偏光測定装置 |
JPH06211507A (ja) * | 1991-06-19 | 1994-08-02 | Elf Atochem Sa | アルミナの炭窒化による窒化アルミニウムの連続製造方法 |
CN114252150A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-03-29 | 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 | 芯片偏振测试系统 |
-
1985
- 1985-07-29 JP JP16734985A patent/JPH068755B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63243728A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-11 | Anritsu Corp | 偏光度測定装置 |
JPH04297835A (ja) * | 1991-03-27 | 1992-10-21 | Otsuka Denshi Kk | 偏光測定方法及びその方法を用いた偏光測定装置 |
JPH06211507A (ja) * | 1991-06-19 | 1994-08-02 | Elf Atochem Sa | アルミナの炭窒化による窒化アルミニウムの連続製造方法 |
CN114252150A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-03-29 | 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 | 芯片偏振测试系统 |
CN114252150B (zh) * | 2021-12-31 | 2023-09-01 | 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 | 芯片偏振测试系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH068755B2 (ja) | 1994-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SG50599A1 (en) | Optical gap measuring apparatus and method | |
JPH0663867B2 (ja) | 波面状態検出用の干渉装置 | |
JPS6227632A (ja) | 偏光度測定方法および装置 | |
US4906097A (en) | Imaging and inspection apparatus and method | |
JP2003315017A (ja) | 厚み計測装置 | |
JPS6183911A (ja) | 光学式変位測定装置 | |
JP2721812B2 (ja) | 表面形状測定方法 | |
CN104848928A (zh) | 基于宽谱光源干涉原理的高速振动测量系统及方法 | |
JPS587506A (ja) | 物体を識別しかつその位置および向きを測定する方法および装置 | |
JPS62201328A (ja) | 偏光度測定方法および装置 | |
JPS5940277A (ja) | 偏波面保存光フアイバ形磁界センサ | |
JPS60104270A (ja) | 磁界測定装置 | |
JPH01250039A (ja) | 液体屈折率測定装置 | |
JPH04127004A (ja) | エリプソメータ及びその使用方法 | |
CN110375643B (zh) | 一种基于激光连续扫频的三维坐标测量装置及测量方法 | |
JPH05264687A (ja) | 光式磁界センサ | |
JPS633236A (ja) | 光フアイバの波長分散測定器 | |
JPH02116736A (ja) | 結晶方位決定方法およびその装置 | |
JPS60263866A (ja) | 光電界センサ | |
JPS61134641A (ja) | 定偏波フアイバ消光比測定法 | |
JPH032401B2 (ja) | ||
JPS61223821A (ja) | 光学式測定装置 | |
JPS60173429A (ja) | 偏波分散測定方法および装置 | |
JPS6182179A (ja) | 磁界計測方法 | |
JPH0252827B2 (ja) |