JPS62275519A - アモルフアス金属薄膜の広巾シ−ト材料の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明はアモルファス金属の広巾シート材料の製造方法
に関するものである。更に詳しく述べるならば、本発明
は、アモルファス金属の薄膜リボンからその広巾シート
を製造する方法であって、屈曲や衝撃などによる亀裂な
どの裂損に対して抵抗性が高く、かつ取り扱いが容易で
あって、巻き取り工程に耐え、かつ機械的屈曲や衝撃を
伴う加工工程にも使用可能な広巾シート材料を製造する
方法に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、繊維シートを基布とし、その少くとも１面を可撓
・防水性樹脂で被覆して得られる防水シートは天幕地、
構造物膜体、或は被覆用シート材料などとして知られて
いる。

近年エレクトロニクス機器の発達および普及に伴い、こ
れらの機器を、静電気および／又は電磁波の悪影響から
保護するためのシート材料が必要になってきた。従来、
エレクトロニクス機器を静電気から保護するためには、
カーボン粉末又は繊維、或は金属箔又は粉を含有する導
電性材料を含有する導電性シートが用いられているが、
このような従来の導電性シートは、電磁波からエレクト
ロニクス機器を保護するためには十分に効果的であると
は云えないものであった。

そこで、アモルファス（非晶質）金属の薄膜を利用して
静電気および電磁波の両方に対して十分な遮蔽および保
護効果を有する積層シート材料或は前記遮蔽および保護
効果に加えて防水性を有する積層シート材料を提供しよ
うとする試みがなされている。しかしながらアモルファ
ス金属の薄膜はもろいものであり、かつリボン状材料と
して供給されているので、その加工において多くの解決
すべき問題点が生じている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前述のようにアモルファス金属の薄膜材料は、その製造
法に伴う制約によって巾２〜２０ｃｍ程度のリボン状薄
膜として市場に供給されている。従ってこのようなリボ
ン状薄膜を、前述のようなシート状積層体の製造に使用
するためには、複数個のリボン状薄膜を並列に配置し、
これらを接着して一枚の広巾シートに形成し、これを巻
き取って、巻きロールとし、この巻きロールを、シート
状積層体の製造工程に送る必要がある。ところがアモル
ファス金属の薄膜は比較的粗剛であって伸びにく＼、屈
曲や衝撃、などによって容易に破断又は裂断するという
特性を有している。このため、リボンの接着により歪を
生じたり、リボン自体の反り、巻きぐせなどの不均斉が
ある場合、リボンを接着して得られた広巾シートに屈曲
や巻き取り操作が施されると、広巾シート上の上述の不
均斉が局部的に集中集約され、このため広巾シートに局
部的折損、亀裂或は裂損を生じ穴があくという欠点を頻
発することが認められた。このような欠点を有する広巾
シートはもはや積層体シートなどの製造には利用できな
いものである。

そこで巻き取り操作や、或は、屈曲や衝撃などの外力の
負荷を伴う加工工程に耐え、折損、亀裂或は、裂損を生
ずることのないアモルファス金属薄膜の広巾シート材料
の製造方法の提供がアモルファス金属薄膜の工業的利用
上極めて重要な問題点となっている。

〔問題点を解決するための手段・およびその作用〕本発
明のアモルファス金属薄膜の広巾シート材料の製造方法
は、複数枚のアモルファス金属薄膜リボンを、並列に配
列し、互に隣接する前記リボンの側縁を接着して広巾シ
ートを形成し、これを巻き取る方法において、 前記並列配置および接着工程により形成された広巾シー
トに対し、これに裂損を生じさせない条件下で、その少
なくとも１面上に、可撓性重合体材料からなる保護被覆
薄層を形成し、その後に、得られた広巾積層体に所望の
巻き取り工程を施すことを特徴とするものである。

最近アモルファス金属が、その特性に基いて植種の用途
に利用することが試みられている。一般にアモルファス
金属は巾２．５４〜１０．１６ｃｍのリボン状材料とし
て供給されており、近い将来、巾２０．３２ＣＯｔのも
のが供給されることが期待されているが、その製法上の
制約により、これ以上に広巾のものの供給を期待するこ
とは殆んど不可能であると考えられているが、このよう
なリボン状、又は小中材料を、被覆用シート材料に利用
することは殆んど不可能と考えられていた。

本発明においては、リボン状アモルファス金属薄膜材料
を所望の巾のシート状体に形成して使用するものである
。

本発明の広巾シート製造方法においてアモルファス金ｉ
薄膜は、アモルファス金属単独から形成されたものであ
ってもよいし、アモルファス金属からなる基層と、その
少なくとも１面を被覆している導電性金属メッキ層とか
らなるものであってもよい。メッキ用導電性金属として
は、例えば銅、ニッケル、コバルト、鉄、アルミニウム
、金、銀、錫、亜鉛およびこれらから選ばれた２種以上
の合金などを用いることができる。

本発明方法に用いられるアモルファス金属の種類につい
ては、それが、その用途に適した特性、例えば静電気お
よび電磁波から、エレクトロニクス機器を保護する効果
を有している限り、格別の限定はなく、市販材料から選
択することができるが一般には鉄を主成分とし、これに
ホウ素、硅素、炭素、ニッケル、コバルト、およびモリ
ブデンなどから選ばれた１種以上を添加して得られるア
モルファス合金から選ばれることが好ましい。例えば、
アライド社の商品名ＭＥＴＧＬＡＳ　Ｎ１２６０５ＳＣ
（Ｆｅ　：８１％、Ｂ　：　１３．５％、Ｓｉ：３．５
％、Ｃ：２％のアモルファス合金）　、ｍ２６０５ｓ−
２（Ｆｅ　：　７８％、Ｂ；１３％、Ｓｉ：９％のアモ
ルファス合金）　、Ｎａ２６０５−Ｃｏ（Ｆｅ　：８７
部、Ｂ：１４部、Ｓｉ：１部、Ｃｏ　：　１８部のアモ
ルファス合金）　、ｍ２８２６−ＭＢ（Ｆｅ　：　４０
％、Ｎｔ：３８％、Ｍｏ：４％、Ｂ：１８％のアモルフ
ァス合金）などを用いることができる。

また上記鉄を主成分とする合金系の外にコバルトを主成
分とする合金系（例えばＣｏ、。Ｚｒ＋。、ＣｏｙｅＳ
ｉ＋ｏＢ＋ｚ　、Ｃｏ５６ＣｒｚｉＣ＋ｓ　％　Ｃｏａ
ａＦＩＯｚｈＣｚｏ、Ｃｏｔ４Ｃｒｚ＊ＭＯｚｏＣ＋ｓ
　、）ニッケルを主成分とする合金系（例えばＮｉｑ。

Ｚｒ＋ｏ、Ｎｉｔ＠Ｓｉ＋ｏＢ＋ｚ、Ｎｉ＊４ＣｒｚＪ
ｏｚａＣ＋ａ）、およびその他の金属を主成分とする合
金系（例えばＰｄａｏＳｉｚｏ、Ｃｕ１ｏＺｒｚｏ、Ｎ
ｂＳ。Ｎｉ５゜、Ｔｉ５゜Ｃｕ５゜）等も利用すること
ができる。

以上のアモルファス金属は、いずれも磁性体であって、
磁界に対してすぐれたシールド効果を有している。

これらのアモルファス金属材料は、前述のようにリボン
又は小中シートの形状で供給されているので、本発明の
広巾シートに、これらを使用するためには、複数個のリ
ボン状又は小中シート状アモルファス金属材料を互に並
列に配列し、互に隣接するリボンの対向する側縁部を接
着剤又は半田により接着して、所望の巾を有するシート
状体とする。

このとき接着剤は、導電性であることが好ましい。

アモルファス金属薄膜からなる基層の少なくとも１面上
に導電性金属をメッキすると、得られるメッキ薄膜はア
モルファス金属の具有する磁界シールド性に、メッキ層
による電界シールド性が加算され、薄膜全体として、低
周波から高周波までの広範囲の電磁波に対して、すぐれ
たシールド効果を示すことができる。また、導電性金属
メッキ層は、アモルファス金属シートの半田又は接着剤
接着性を向上させる効果も有している。

本発明の広巾シートにおいて、アモルファス金属薄膜は
、１０〜７０μｍ程度の厚さを有することが好ましく、
２０〜４０μｍの厚さを有することがより好ましい、 また、アモルファス金属基層上に形成される導電性金属
メッキ層は０．１μｍ以上の厚さを有することが好まし
く、０．１〜５μｍ程度の厚さを有することがより好ま
しい。

アモルファス金属薄膜の厚さが７０μｍより大きくなる
と、その剛性が過大となり、長尺にわたり巻き取ること
が困難になることがある。この様にして半田接着された
広巾シートは、全体として導電性を存し、シールド性の
すぐれたものである。

半田接着は、連続的に、又は、スポット的に行うことが
好ましい。またリボンを導電性接着剤で連続的に又はス
ポット的に接着してもよい。リボンを単にその側縁部を
重ねるだけで導電性接着をしない場合又は非導電性接着
剤等で接着した場合は、電気的薄膜の電気的接触が不十
分となり電界シールド性が不十分となる。上述のように
、複数枚のリボンを接着して広巾シートを形成するとき
、各々のリボン毎に篠状に歪みが生じ、また接着部分に
おいて、接着歪みを生する。すなわち、アモルファス金
属薄膜は伸びが小さいこと、剛直なこと、およびリボン
には、巻き取りにより生じた形状歪みが残っていること
等により、リボンの変形自由度は著しく低く、一般の広
巾平板シートに較べ、屈曲や変形に対し、極めて裂損を
生じ゛やすいものである。

このため、リボンを接着して形成した広巾シートを巻き
取ったり、或は、これを屈曲、変形、又は衝撃を伴う工
程に供すると、亀裂、折損、又は裂損を生じやすい。

このため本発明方法においては、複数枚のアモルファス
金属薄膜リボンを並列に配置し、互に隣接するリボンの
対向する側縁部を接着して広巾シートに形成した後、こ
の広巾シートに裂損等を生じさせるような外力や変形を
加えることなく、この広巾シートの少なくとも１面上（
片面又は両面上）に可撓性重合体材料からなる保護被覆
薄層を形成する。この保護被覆薄層の形成は、広巾シー
トを静止させて施してもよく、又は、走行させながら施
してもよく、或は、広巾シートを平坦な基台上に置き、
又はそれに沿って走行させながら施してもよく、又は、
広巾シートをゆるやかな曲面基台上に置き、又は、それ
に沿って走行させながら施してもよい。いづれにしても
広巾シートに対し、裂損（折損、亀裂を含む）を生ずる
ような外力、又は変形が与えられないことが重要である
。

保護被覆薄層は、可撓性重合体材料によって形成され、
従って屈曲や変形によって容易に損傷を受けることはな
い。このような可撓性重合体材料としては天然ゴム、ネ
オプレンゴム、クロロプレンゴム、シリコーンゴム、ハ
イパロンその他の合成ゴム、またはＰｖＣ樹脂、エチレ
ン−酢酸ビニールコポリマー（ＥＶＡ）樹脂、ポリアク
リル樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエ
チレン（Ｐ　Ｅ）樹脂、ポリプロピレン（ＰＰ）樹脂、
ポリエステル樹脂、フッ素樹脂、ポリアミド樹脂、サー
リン樹脂などの合成樹脂、および、場合によっては再生
セルロース樹脂（セロファン）又はセルロースアセテー
トなどを用いることができる。

本発明の保護被覆薄層は、アモルファス金属薄ｌりの広
巾シートの、折り曲げ、巻き取り、或は衝撃などによる
裂損、折損、亀裂を防止し、或は、これらが発生しても
、その拡大を防止し、アモルファス金属薄膜の局部的脱
落を防止することができる。

本発明の保護被覆薄層は、上記の効果に加えて、防水性
、難燃性、防炎性およびその他所型の特性・効果を具備
していてもよいし、或は、所要添加剤を混合したもので
あってもよい。

保護被覆薄層の厚さには、それが所望の目的を達成でき
る限り格別の限定はないが一般には１〜７０μｒｓＩｌ
ｌの範囲内にあることが好ましく、３〜３０μｍの範囲
内にあることが、より一層好ましい。

保護被覆薄層は所望の可撓性重合体材料よりなる薄膜の
貼着により形成されたものであってもよく、或は、可撓
性重合体材料を含む液体（溶液又はエマルジョン、ラテ
ックス等）を塗布し、この塗布液層を固化することによ
って形成されたものであってもよい。

保護被覆薄層と、アモルファス金属薄膜広巾シートとは
、直接接合していてもよく、或は接着剤を介して接着さ
れていてもよい。

一般に上記の接着剤として用いられる接着材料の種類に
は格別の限定はなく、イソシアネート系接着材料、エポ
キシ系接着材料、ポリアクリル系接着材料、ポリウレタ
ン系接着材料、ポリアミド系接着材料、ゴム系（特に合
成ゴム系）接着材料などのいづれを用いてもよい。また
、アミノ基、イミノ基、エチレンイミン残基、アルキレ
ンジアミン残基を含むアクリレート、アジリジニル基を
含有するアクリレート、アミノエステル変性ビニル重合
体−芳香族エポキシ接着剤、アミノ窒素含有メタクリレ
ート重合体、なども好ましい接着材料であるがその他の
接着剤を併用してもよい。

上述のように、保護被覆薄層形成のために、可撓性重合
体材料の溶液、ペースト、ストレート、又はエマルジョ
ンに公知の方法、例えば、トッピング、コーティング、
ディッピング、ラミネーティング、押出しコーティング
、スプレーイング、カレンダリングなどの方法を適用す
ることができる。また保護被覆薄層は可塑剤、安定剤、
着色剤、紫外線吸収剤、防炎剤、難燃剤その他の機能付
与剤が含まれていてもよく、またアモルファス金属薄膜
表面上に防錆剤、腐食防止剤などが塗布されていてもよ
い。

また、本発明方法において、リセ′ン接合により形成さ
れたアモルファス金属広巾シートは、必ずしも平旦なも
のではなく、多くの場合、波状にうねっており、また、
接合部分にも凹凸段差が生じている。このような凹凸や
ウェーブのある広巾シートに、保護被覆薄層を形成する
と、保護被覆薄層と、アモルファス金属シート表面との
間に、多数の気泡を生ずることがある。このような気泡
の存在は、保護被覆薄層に局部的浮き上りや凹凸を生じ
、また、保護被覆薄層とアモルファス金属シート表面の
密着性および接着強度を低下させまた、外観を損うおそ
れがある。このような気泡の形成を防止するために、保
護被覆薄層に脱気孔を形成することが好ましい。脱気孔
の大きさや形成密度には格別の限定はなく、適宜に設定
することができるが、脱気孔の大きさは直径０．１〜１
ｍｌ＋で、１００−の面積当り１０〜１００個の密度で
形成されることが好ましい。このような脱気孔を形成す
るためには、保護被覆薄層を形成する可撓性重合体材料
のフィルムに予じめ脱気孔を形成しておいてもよく、ま
た、保護被覆薄層を形成するときに、気泡に吸引処理を
施して、脱気孔を形成させてもよい。

保護被覆薄層を有する広巾シートは、所望の巻きロール
を形成するように巻き取られる。

本発明方法は、連続的（間歇的を含む）に実施されるこ
とが好ましい。このため、本発明方法を連続的に実施す
るための装置は、順次に配置されたリボン巻戻し装置、
リボン並列配列装置、リボン接着装置、保護被覆薄層形
成装置（貼着機、塗布機、乾燥機、熱処理機等を含む）
および巻き取り機を含むものである。この装置は冷却装
置、例えば冷却ロール、又はドラムを含んでいてもよい
。

上述の方法により製造されたアモルファス金属薄膜広巾
シート材料は所定の長さの巻きロールの状態で保管され
、所望の時機に所望の加工工程に送られるその前駆体材
料として使用される。

本発明のアモルファス金属薄膜広巾シート材料は、巻き
取り、巻き戻し、或は所望の加工工程において折損、裂
損或は亀裂を生ずることはなく有利に使用される。

また、アモルファス金属薄膜シート自体は、切断、例え
ば鋏による切断のときに多方向に亀裂を生じたり、或は
裂断を生じたりして切り口が平滑でなく、所謂ギザギザ
に異状切断することがある。

しかし、本発明の広巾シートにおいては、アモルファス
金属’ＦＩＭシートば可撓性の保護被覆薄層により被覆
されているので上記の亀裂や裂断がなく、切り口は平滑
となり作業員の手や指に負傷することが防止される。

本発明の広巾シートにおいて、その用途や、要求される
性能に応じて、保護被覆薄層、および接着剤層などの１
つ以上を、導電性、又は半導電性化してもよく、或は、
絶縁性にしてもよい。或は、各層に異る導電性ないし絶
縁性を付与して、これらを組合せてもよい。このように
することによって種々な特性又は性能を有する製品を得
ることができる。

〔実施例］ 本発明を実施例により更に説明する。

スＪ１１Ｌ アモルファス合金（Ｆｅ　：　８１％、Ｂ　：　１３．
５％、Ｓｉ：３．５％、Ｃ：２％、商標：肝ＴＧＬＡＳ
患２６０５ＳＣ。

アライド社製、巾７．６２ｃｍ、　ｒ￥さ２５μｍのリ
ボン状体）の全表面に、厚さ１μｍの銅メッキを施した
。

この銅メンキされたアモルファス合金リボンの１３枚を
、互に並列に配列し、それぞれの側縁端を半田接合して
巾約１ｍの広巾シートを作成した。

この広巾シートを連続的に水平に送り出し、その上面に
合成ゴム系接着剤（商標：　ＳＣ１２Ｎ、ソニーケミカ
ル社製）を塗布して乾燥し、この面にポリ塩化ビニル樹
脂溶液を、乾燥厚さが１５μｍになるように塗布し、乾
燥し、熱処理し、冷却して保護被覆薄層を形成し、得ら
れた広巾シート材料を１００ｍの長さに巻き取り、これ
を次の加工工程の前駆体とした。この前駆体を巻き戻し
、更にポリ塩化ビニル被覆層および繊維性基布を積層し
て電磁波シールド性工業用シート材料を作成した。この
加工工程において、アモルファス金属薄膜に亀裂は殆ん
ど発生せず、アモルファス金属薄膜の欠損欠落もなく、
従って亀裂部、欠損部が工業用シート材料製造工程でガ
イドロールやドクター等に接触して処理不能のトラブル
を引き起こすことはなかった。比較例として、前記と同
一のアモルファス金属薄膜リボンを半田接合し、形成さ
れた広巾シート１００ｍを直接巻取って前述の前駆体と
して用いたところ巻戻しただけで亀裂が甚だしく発生し
ており、部分的に亀裂が集中した所はアモルファス金属
片の飛散欠落があり、そのま＼では電磁波シールド工業
用シート材料製造工程に供することは到底出来ないもの
であった。

大上五１ 実施例１と同様にして、アモルファス金属薄膜リボンよ
り巾約１ｍの半田接合広巾シートを作成しこの広巾シー
トを連続的に水平に引出しこのシートの両面から、離型
紙にナイロン１２樹脂を２μの厚さに片面塗布しである
転写紙をナイロン１２の塗布面をアモルファス金属薄膜
面に向けてサンドウィッチの形に重ね合わせ、この積層
物を加熱ロールで両面から加熱圧着してナイロン１２樹
脂を溶融転写し、離型紙を剥離して両面に各々厚さ２μ
ｍの保護被覆薄層を有する広巾長尺のアモルファス金属
薄膜シート材料を作成し、これを２００ｍの長さに巻き
取った。このようにして得られた前駆体は、実施例１同
様の積層工程で好ましい結果を与えた。しかし、比較の
ために保護被覆薄層を形成しなかったものは、品質管理
の面から工業的には使用し得ないものであった。

１上炭主 実施例２と同一の操作を行った。但し、厚さ２μｍのナ
イロン１２樹脂フィルムは、直径約０．３龍の微小孔を
、面積１００Ｌ：ｄ当り約２５個の密度で形成したもの
であった。得られたアモルファス金属薄膜シート材料に
は気泡はほとんど認められず、平滑平旦な表面と良好な
外観を有し、殆んど保護被覆薄層の存在を感じさせない
ものであった。

〔発明の効果〕

本発明方法は、アモルファス金属薄膜リボンを接着して
広巾シートを形成し、これを巻き取るに当り、その亀裂
や裂損、折損を防止しながら、しかもこれらの損傷に対
し抵抗の高い広巾シート材料を製造することができる。

本発明の広巾シート材料は巻き取り、巻き戻し、或は種
々の積層加工工程において損傷を生ずることなく容易に
使用することができるので、良好な品質、例えばすぐれ
た電磁波シールド性を有する積層体の製造、或はこのよ
うな積層体を使用する簡易シールドルーム、広域シール
ド床材、テント、被覆シートなどの製造用′途に有利に
使用することができる。従って、アモルファス金属薄膜
の利用は、本発明方法により一段と拡大される。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数枚のアモルファス金属薄膜リボンを並列に配置
   し、互に隣接する前記リボンの側縁を接着して広巾シー
   トを形成し、これを巻き取る方法において、 前記並列配置および接着工程により形成された広巾シー
   トに対し、これに裂損を生じさせない条件下で、その少
   なくとも１面上に、可撓性重合体材料からなる保護被覆
   薄層を形成し、その後に、得られた広巾積層体に所望の
   巻き取り工程を施すことを特徴とする、アモルファス金
   属薄膜の広巾シート材料の製造方法。 ２、前記アモルファス金属薄膜リボンが、アモルファス
   金属からなる薄膜と、その少なくとも１面を被覆してい
   る導電性金属メッキ層とからなる、特許請求の範囲第１
   項記載の方法。 ３、前記接着工程において、前記並列配置されたアモル
   ファス金属薄膜リボンの側縁部に半田接着が施される、
   特許請求の範囲第１項記載の方法。 ４、前記接着工程において、前記並列配置されたアモル
   ファス金属薄膜リボンの側縁部に、導電性接着剤による
   接着が施される、特許請求の範囲第１項記載の方法。 ５、前記アモルファス金属薄膜が７０μｍ以下の厚さを
   有する、特許請求の範囲第１項記載の方法。 ６、前記アモルファス金属薄膜中の導電性金属メッキ層
   が０．１μｍ以上の厚さを有する、特許請求の範囲第２
   項記載の方法。 ７、前記アモルファス金属薄膜がＦｅを主成分とし、こ
   れにＢ、Ｓｉ、Ｃ、Ｃｏ、ＮｉおよびＭｏから選ばれた
   少なくとも１種が添加されたアモルファス金属からなる
   、特許請求の範囲第１項記載の方法。 ８、前記保護被覆薄層が天然ゴム、合成ゴム、ポリ塩化
   ビニール樹脂、エチレン−酢酸ビニール共重合体樹脂、
   ポリアクリル樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン樹脂
   、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエステ
   ル樹脂、ポリアミド樹脂、フッ素含有重合体樹脂、サー
   リン樹脂、再生セルロース樹脂およびセルロースアセテ
   ート樹脂から選ばれた少なくとも１種からなる、特許請
   求の範囲第１項記載の方法。 ９、前記保護被覆薄層が、１〜７０μｍの厚さを有する
   、特許請求の範囲第１項記載の方法。 １０、前記保護被覆薄層が、前記接着形成されたアモル
   ファス金属薄膜広巾シートに接着剤により接合されてい
   る、特許請求の範囲第１項記載の方法。 １１、前記保護被覆薄層が、前記可撓性重合体材料より
   なる薄膜の貼着により形成される、特許請求の範囲第１
   項記載の方法。 １２、前記保護被覆薄層が、前記可撓性重合体材料含有
   液体を塗布し、この塗布液層を固化することによって形
   成される、特許請求の範囲第１項記載の方法。 １３、前記保護被覆薄層が、脱気孔を有している、特許
   請求の範囲第１項記載の方法。