JPS62271336A

JPS62271336A - 電子顕微鏡像表示装置

Info

Publication number: JPS62271336A
Application number: JP11424286A
Authority: JP
Inventors: Masashi Kamimura; 上村　昌司
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1986-05-19
Filing date: 1986-05-19
Publication date: 1987-11-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】３発明の詳細な説明（発明の利用分野）本発明は電子顕微鏡におけろ画儂表示装置して関し，特
に、試料の電子顕９鏡像、試料名，観察・撮影条件（加
速電圧、倍率など）、録画像およびンミュレーシッン像
などの中から、任意のものを適宜選択して、ＣＲＴ（ブ
ラウン管）上に分別して多画面表示できろようにした電
子顕微鏡儂表示装＃に関する。

（従来の技術）従来の電子顕微鏡（以下、電顕と略する）装置では、螢
光板に撮し出された儂、すなわち現在観察中の１！顕偉
を、テレビカメラでテレビ画像としてＣＲＴで観察する
のみであった。

（発明が解決しようとする問題点）従来は、現在観察中の電顕像をただテレビ画像として表
示する機能しかＬかりたので、つぎのような問題点があ
った。

（１）過去に観察した電顕像、倍率の異なる電Ｂ儂。

コンピュータによるシミエレーシ冒ンｉ＃などと対比観
察することが困難である。

（２）同じ試刺点をくり返し観察する場合、その都１Ｊ
ｆ１！子線照射を行なわなければならないので、試料の
損傷やｆ質を生じ易い。

（３）同−試訓上の異なる点を比較観察する場合。

その都關試ｆＡを移動して試料位置設定をしなければｙ
ｊ　！−１７Ｊ：いので、操作ｖｃ２練と長時間を要す
るばかりでなく、試料の損傷や変′ｆＸを生じ易い。

本発明は、＠顕像安示装謹をテレビシステムとして構成
し、上記問題点を解決することを目的とする。

（問題点を解決する手段）本発明では、現在視察中の電ｇ像のテレビ画像をリアル
タイムで表示する手段に加え、観察・撮影条件、強面像
、シュミレーシ１ン像などの他の情報を表示する手段、
およびこれらの情報を容易に切り換え、または同時表示
する手段を設けている。

（作　用）リアルタイムで、現在観察中の電顕像を表示する手段が
、電顕に内蔵したＴＶカメクとＣＲＴＩＣよって実現で
きろことは、既に公知である。

前に述べたような種々の他の情報を表示する手段として
は、ＶＴＲがある。これは電顕像を録画・再生する機能
と、別途録画された電顕の取扱い方法、保守メインテナ
ンス方法などを再生する機能を有する。

ＶＴＲ以外にも、別置のテレビカメラあるいはキャラク
タ−ジェネレータにより、ＣＲＴに電顕像を表示しよう
とする試料名、撮影条件、分析に関する元素周期律表な
どを撮影し、ＣＲＴＫ同時表示することができろ。その
他に表示する情報としては、大形コンビエータによる物
質構造のシミエレーン３ン偉信号が考えられろ。

上記実画像と他の情報とを切り換えろ手段は、通常愛用
されているビデオ信号を切り換えるスイッチで十分であ
る。また、前記実画像と選択された他の情報とを、多画
面として同時表示する手段は、ＣＲＴの任意の位置をス
プリットして複数画面を同時表示する画像合成袋（ｉ！
（市販品もある）を使用することにより容易に実現でき
る。

（発明の実施例）以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。

電子顕微鏡１には電子線２３を発生するフィラメント２
がある。電子線２３は収束レンズ３により収束されて試
Ｕ４１Ｃ照射される。試料４を透過した電子線は、結像
レンズ系５により像拡大され、点線位置にある螢光板６
上に、電顕像の実画像を形成する。

螢光板６を　９０°上方に回転して、実線位置まで立上
げろと、半透明のテレビ用螢光板７に前記実画像が結像
されろ。前記螢光板７上の実画像すなわち、現在観察中
の電顕像は、テレビカメラ８により１！気的なビデオ信
号に変換され、制＠　Ｎ　１０に供給される。

キャラクタ−ジェネレータ９は、前記電顕ｇｌを得るの
に必要な加速電圧、倍率値など、５Ａ画像と同時に表示
するための文字信号を発生し、これらを前記制御部１０
ｆ−供給する。

前記文字信号および電顕像のビデオ信号は、制御部１０
において、公知の適宜の手法により。

ＣＲＴ上に同時表示されるように編集加工され。

スイッチ１３を通り、さらに操作卓１６を経由してＣＲ
Ｔ１７に実画像および文字として表示される。

また、前述のように編集加工されたビデオ信号は、必要
に応じてＶＴＲ１１に供給され公画されろことができる
。

なお、第１図では、第２のテレビカメラ１２および、物
質構造のシミュレーション像信号を発生するコンピュー
タ２１などが装備されているが、これらについては後で
詳細に述べろ。

第２図は、第１図における点線枠内の像表示系２０のみ
を示したもので、ＶＴＲ１１により録画偉をＣＲＴ１７
上に表示する動作モードを説明するものである。

前述のように、テレビカメラ８からの電顕像信号、およ
びキャラクタ−ジェネレータ９からの文字信号は、制御
ｍ１０；’Ｊｒ経由して’ＶＴＲ１１で録画される。ｆ
＆画された像はスイッチ１５および１４を通り、ざらに
操作卓１６を経由してＣＲＴ１７に表示される。

その他にも、ＶＴＲ１１にｄ々の情報（たとえば電顕の
操作法や保守法など）を９画したテープを装填すれば、
ＣＲＴ１７　Ｋｆｉ顕画信以外の情報も表示することが
できろ。

第３図は、電顕の実画像と、ＶＴＲ１１からの他情報と
を同時表示する動作モードを示す、第２図と同掃の図で
ある。

電顕の実ｌ１ｋｉ儂は、第１図の場合と同じく、テレビ
カメラ８から制御部１０に供給され、さらにスイッチ１
３から操作卓１６を経由してＣＲＴ　１７に表示されろ
。また一方、’ｉ’ＴＲ１１からは、実画像以外の情報
（ｌｌｌｉ儂も含む）がスイッチ１５゜１４を経由し、
操作卓１６を経由してＣＲＴ　１７に供給され、そのエ
リア１９に同時表示される。

な２、操作卓１６には、第３図中に示してＲ１表示１８
のように、同時表示するエリア１９を設定する機能を持
たせることができ、前記エリアの寸法および表示場所は
自由に変えることができる。

また、第２のテレビカメラ１２によって、電顕に関する
諸条件、たとえば試料名、撮影日時・条件などを撮影し
、ＣＲＴ１７の画面エリア１９の部分に表示することも
できろ。

ざらに、テレビカメｙ１２の他に、大形コンピュータ２
１において試料の物質構造のシミュレーション像信号を
演算作成し、これを前記ＣＲＴ１７の画面エリア１９に
表示することも可能である。

なお、前記のシミニレ−２１フ手法としては、既知の適
宜のものが利用可能である。

以上では、現在観察中の実画像（電顕像）およびキャラ
クタ−ジェネレータからの文字信号の切換え、ならびに
ＶＴＲＩＩ、テレビカメラ１２お　　　　゛よびコンビ
エータ２１の信号の選択切換えを別個のスイッチ１３〜
１５で行ない、またビデオ信号の処理なども制御部１０
および操作卓１６に分散された例について述べたが、第
４図に示すように、選択切換えおよびビデオ信号処理機
能などを統合することも容易である。

第４図において、ビデオ信号切換処理装置２５は、制御
部ｌＯおよび操作４１６の両者の機能を備えている。

すなわち、前記切換処理装置１２５はビデオカメラ８．
キャラゲタ−ジェネレータ９．ＶＴＲＩＩ。

テレビカメラ１２．コンピュータ２１の中の、所望の１
個または複数個を選択してその動作を制御すると共に、
そのビデオ出力信号を適当に処理し、予定の画面区画に
、第３図のＣＲＴＩ示１８のようＶＣ表示したり、ＶＴ
ＲＩＩによって録画したりすることができろ。

このようなビデオ信号の選択、処理の手段１手法は種々
知られており、それらの中から任意に採用することがで
きろ。

（発明の効果）本発明によれば、現在観察中の電顕像をテレビ画像とし
てＣＲ’ＴＩＣ表示するだけでなく、過去に観察・録画
した電顕像やその他の試刺儂を、同時にＣＲＴＫ表示し
て比較検討を行ったり、実画儂と録画像とを切り換えて
観察したりすることが、極めて容易にできろ。

このように、過去に観察・＠画した電顕像などを随４　
Ｃ，ＲＴに再生して観察できるので、観察の為の試料へ
の電子線照射は１回だけで済み、電子線による試料の損
傷を最少限に止めろことができるのみならず、試料の交
換や観察位置の再設定などの必要性がなくなるので、操
作を簡略化し、観察能率を向上することができろ。

また、ＣＲＴには電顕像だけでなく、あらかじめＶＴＲ
に録画した他の情報を切り換えによって表示することが
できろ。他の情報例としては、電子顕微鏡の操作方法、
保守点検方法、試料作成方法などが考えられろ。

従来は、上記の諸情報はすべて、書類に記載されたもの
をいちいち読んで理解した上で、処理または操作しなけ
ればならなかったが、本発明によれば、１！顕のＣＲＴ
Ｋ表示されるため、容易に理解することができ、作業能
″４を向上するごとができろ。

また第３図のＣＲ７表示１８の如く、を顕像とそれに関
する試料名、撮影条件などを、ＶＴＲＩＩあるいはテレ
ビカメラ　１２からのビデオ信号により、ＣＲＴ上Ｋｌ
ｑ時表示することができる。さらに、操作卓１６ＶＣＶ
ＴＲ機能を内蔵すれば、これらＣＲＴ１７に表示された
画像を録画することもできろ。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の１実施例による電顕像表示装置の概略
４成を示すブロックダイヤプラムである。第２図および第３図は前記実施例の他の動作モードを説
明するためのブロックダイヤプラムである。第４図は本発明の他の実施例のブロックダイヤグラムで
ある。８　テレビカメｙ（１！顕像用）、ｌＯ・・制＠部、１１・・・ＶＴＲ（［顕像の録画・再生と各種録画情報
の再生用）。１２・・テレビカメラ（試料名、撮影条件などの撮影用
）、１６・・・操作卓。１７　表示用ＣＲＴ、２１　・・・コンピュータ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）電子線を加速・収束して試料に照射するレンズ系
、前記試料を透過した電子線を拡大して結像させる結像
レンズ系、および結像された試料の実画像をテレビ画像
としてＣＲＴに表示する手段を有する電子顕微鏡像表示
装置において、前記試料の実画像を録画するＶＴＲ装置と、前記実画像
以外の他の情報のビデオ信号を発生する手段と、前記実画像、ＶＴＲ装置の再生出力および他の情報のビ
デオ信号の少なくとも１つを選択して、前記ＣＲＴに表
示する手段とを具備したことを特徴とする電子顕微鏡像
表示装置。
（２）他の情報は、過去に観察・録画した試料像、電子
顕微鏡の加速電圧、倍率などの作動条件、電子顕微鏡の
操作・保守法、試料名、撮影条件、試料の物質構造のシ
ミュレーション像などのうちの、少なくとも１つである
ことを特徴とする前記特許請求の範囲第１項記載の電子
顕微鏡像表示装置。
（３）試料像は、試料を透過した電子線による電子顕微
鏡像であることを特徴とする前記特許請求の範囲第１項
または第２項記載の電子顕微鏡像表示装置。