JPS62271026A - 真のピン毎のテスタのア−キテクチヤ−を持つた自動テスト方式 - Google Patents

真のピン毎のテスタのア−キテクチヤ−を持つた自動テスト方式

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JPS62271026A
JPS62271026A JP61295048A JP29504886A JPS62271026A JP S62271026 A JPS62271026 A JP S62271026A JP 61295048 A JP61295048 A JP 61295048A JP 29504886 A JP29504886 A JP 29504886A JP S62271026 A JPS62271026 A JP S62271026A
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pin
circuit
test
memory
channel
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 本発明は電子回路の自動テスト用の方法及び装置に関す
るものである。特に、本発明はプリント回路基板上の電
子回路の自動的機能テストに関するものである。
機能テスタは、自動テスト装置の固定台に挿入すると回
路基板と接続されるエツジコネクタによって、プリント
回路基板の入出力コネクタへ接続される。この機能テス
タは該基板を機能させてその意図した環境でプリント回
路基板の実際の機能をシミュレートさせる。該テスタは
プリント回路基板回路の出力を表すデータを測定し、そ
れらを予定する結果と比較し、且つ該プリント回路基板
がその意図した環境で適切に機能しているか田舎を判別
する。従って、「機能テスタ」と呼ばれる。
第1図は、テスト中のユニット(tJtJT)146を
機能的にテストする為の大略100で示した従来の装置
を示している0図示を明確化する為に。
テスタ100は3つのチャンネルのみを有するものとし
て示しであるが、256又は512個のチャンネルを持
ったテスタは一般的である。0.1及びNとして示した
テスタの各ピンはUUTのコネクタ上の対応するピンと
接触する。各ピンはインターフェース回路140,14
2.又は144の出力へ接続され折、該回路は該ピンを
所定の信号を駆動する為のドライバ及び該ピンからのデ
ータを受け取る為のレシーバ即ち受取器を持っている。
このインターフェース回路は、当該技術において、「ピ
ンエレクトロニクス」として知られている。ピンエレク
トロニクスは、デジタルrlJ又は「0」を表す高又は
低のいずれかであるデジタル信号で該ピンを駆動するこ
とが可能である。
更に、該ドライバ回路は高インピーダンス出力状態にさ
せることが可能であり、且つレシーバ回路を動作させて
該ピン上のデータを測定して該ピン上の電圧が高である
か又は低であるか即ちデジタル「1」又は「0」を表す
かをを判別することが可能である。
該ピンエレクトロニクス140.142.144は各々
出力バス134.136.138によって夫々チャンネ
ル制御回路126.128.130へ接続されている。
該チャンネル制御回路の動作は、ピン制御ランダムアク
セスメモリ(RAM)L12.L12.118内に格納
される命令によって指示され、該テスタの各チャンネル
に対してこの様なメモリが1つ存在する。該ピン制御R
AM内に格納されているテスト命令が、該ピンが駆動さ
れるか又は、データ入力が該ピンから取られるかを決定
する。更に、それは該ピンが高又は低へ駆動されるべき
かを決定し、又は、データを受け取るべき場合には、該
データが高又は低に予定されるかを決定する。ピンRA
Mからのテスト命令も、後に詳述する如く、特定のピン
において出力を発生するか又は入力を受け取る為にグロ
ーバルタイミング信号のどれを使用するかを決定する。
ピンRAMはグローバルシーケンスコントロールプロセ
サ104によって制御され、該プロセサは・該テスタ内
の全てのピンRAMへ接続されているアドレスバス11
2上のアドレスを発生する。該グローバルシーケンスコ
ントロールプロセサ104はバス106を介してシーケ
ンスRAM102によって制御され、シーケンスコント
ロールRAM102内に格納されるテストプログラムを
実行する。シーケンスコントロールRAM102内のプ
ログラムの命令は、グローバルシーケンスコントロール
プロセサをして新たなアドレスを発生させ、それは全て
のピンRAMを新たなアドレスへサイクル動作させて、
該テスタの全てのチャンネルに関して状態変化を可能と
させる。全てのRAMが同時的に同一の次のアドレスへ
サイクル動作する単一のメモリとして該ピンRAMが機
能するという事実は、幾つかの従来のテスタが個別的な
ピンRAMの代わりに単一のメモリ回路を使用すること
を可能としていた。このメモリ回路に関する唯一の条件
は、各チャンネルコントロール回路の入力を同時的に並
列して与える為に、所要数の制御ピットtBを与えるの
に十分に長いワード(即ち、メモリr幅」)を持つこと
である。シーケンスコントロールRAM102内に格納
されているテストプログラムは、例えば、与えられた回
数繰り返される一連のステップを有している。これらの
プログラム命令は、グローバルシーケンスコントロール
プロセサをして、これらのステップの繰返しを実行する
アドレスのシーケンスを発生する。アドレスバス112
も又シーケンスコントロールRAM102の入力及びタ
イミングコントロールRAMI 11の入力に接続され
ている。このバス上に存在するアドレスは、グローバル
シーケンスコントロールプロセサ104を制御する為に
RAM102から次の命令をフェッチし、且つグローバ
ルタイミングコントロール発生器110の動作を制御す
る為にRAMIIIがら次の命令をフェッチする為に使
用される。RAM111からのセレクト命令はバス10
8を介して発生器110へ供給される。
グローバルシーケンスコントロールプロセサ104は、
グローバルタイミングコントロール発生器110によっ
て発生され且つライン109によってグローバルシーケ
ンスコントロールプロセサへ供給されるクロック信号と
同期して動作する。
このクロック信号は、各インターバル即ち間隔で各ピン
に対してチャンネルコントロール回路126.128.
130へ与えられるメモリワードを変化させる為にタイ
ミングコントロールRA M 111内に格納されてい
るタイミングコントロール情報によって制御される。動
作状態における変化の間の時間の最小量は通常ピンRA
Mにおけるメモリのサイクル時間によって制限され、そ
れは実際上1サイクル内において所要の機能柔軟性を可
能とするには長過ぎる。従って、動作における変化は、
グローバルタイミングコントロール発生器110によっ
て発生され且つタイミング信号バス132によってチャ
ンネルコントロール回路へ供給される一連のタイミング
信号によって制御される。典型的なグローバルタイミン
グコントロール発生器は、8組の8つの異なった信号を
発生させ゛ることが可能であり、各々その8つの組の内
の1つのみが成る与えられた時間に発生される。
従って、タイミング信号バス132は8ライン幅で、任
意の時間に存在する8つのタイミング信号を持っている
。任意の時間に発生すべき特定の組のタイミング信号の
選択は、タイミングコントロールRAMI 11格納さ
れるセレクト情報の制御下において「大急ぎ」で変更可
能である。この選択はセレクトバス108を介してなさ
れる。従って、ピンRAM内に含まれる命令はピンの動
作状態における変化を支配するだけでなく、実際の状態
変化が発生するタイミングパルスを特定する。
即ち、該メモリ内の命令は、8つのタイミングパ  。
ルスの選択した1つの選択した遷移で該ピンの動作状態
における変化を発生させる。例えば、タイミング情報は
タイミング信号3で高となることが可能であり、このこ
とは、タイミング信号3の低から高への遷移で該ピンが
高状態へ駆動されることを意味する。
テストシーケンスに対するプログラム柔軟性は。
タイミングコントロールRAMIII内に格納されてい
る命令によって発生されるタイミングパルスの組及びメ
モリサイクル間の時間の長さを制御させることによって
与えられる。このことは、任意の与えられたピンの状態
を変化させる能力を不当に制限すること無しに、メモリ
サイクル当り全てのピンに関して行われることの可能な
多数の機能を最大とさせることを可能とする。
成る従来のテスタにおいては、テストシーケンスを行う
に当りより大きな柔軟性を与える為に、タイミング信号
は各チャンネルコントロール回路内において発生される
。然し乍ら、使用可能なタイミング信号の数が少ないこ
とは、テスト中のユニットの実際の操作環境をシミュレ
ートする為のテスタの能力に制限を課すものである。
このタイプのアーキテクチャ−を使用する機能テスタは
、幾つかの主要な欠点を持っている。最初に、駆動/読
取信号を、プリント回路基板に関する通常の動作の間に
予定される信号と正確に対応させることが望ましい。単
に8つの(又はその他の少ない数)タイミング信号が使
用可能であるに過ぎないという事実は、該回路のテスト
の全体に渡全ての所望のタイミング機能に十分に近い信
号を発生する上で妥協をせねばらないことを意味してい
る。例えば、1つの動作をクロックパルスの5ナノ秒後
に行い且つ別の動作をクロックパルスの4ナノ秒後に行
うことが必要であり且つこれらの動作の両方を制御する
為に使用せねばならない残りのタイミング信号が1つだ
けである場合、妥協をせねばならない。どのタイミング
間隔が該回路の動作にとってより一層重要であるかを決
定せねばならないか、又は、多分妥協として、例えば4
.5ナノ秒の間隔を選択せねばならない。8つの信号よ
りも多数であったとしても、該テストをプログラムする
上で明らかに妥協をせねばならない。このことは、不必
要に、テストのλ生を複雑化し、特に大型又は複雑な回
路基板の場合にそうである。種々の利益考量の可能性に
よって形成される暗示の複雑性の為に、機能的テスタに
対するテストのプログラム化は手作業として残っている
。大型/複雑な回路の対して精密なテストを手作業でプ
ログラム化することは時間がかかり且つ実際性をこえる
費用高となる。従って、多少テストの精度を落ちても、
通常は妥協を行って労力及び費用を減少させる。この問
題は、将来の−N!J複雑な回路基板によって一層悪化
される。メモリサイクルの仇医に行うことの可能な動作
数を増加すると1問題は軽減されるが、より多くのワー
ド当りのピット数が必要とされ、従ってメモリの寸法を
増大させる。
この従来技術の別の欠点は、多くの場合に、ピンはテス
トの一部の帰還中に非常にアクティブであり且つ該テス
トの残部の帰還中は比較的静かであるということである
。然し乍ら、全てのピンに対するメモリアドレスは一連
のピンイベントのみならず単一のピンイベントに対して
もアップデートされねばならないので、これらの比較的
静かなピンに対するメモリ位置は動作無しくノーオペレ
ーション、即ちno−op)で埋めねばならない。
このことは高価なメモリ空間を極めて浪費することとな
る。更に、これらのテストをプログラム化する効率を改
良する為に、テストプログラムをループ化を行うのが通
常である。このことは、スタティックランダムアクセス
メモリ(SRAM)を使用することを必要とするが、該
メモリを比較的高価である。低廉なダイナミックランダ
ムアクセスメモリ(DRAM)を使用するテスタにおい
ては、プログラムの一部は典型的に秋季的にSRAMに
ロードして実行する。このアーキテクチャ−の更に別の
欠点は、並列アドレス及びタイミングバスが全てのピン
に対する全てのエレクトロニクスに接続されねばならな
ので、それらがテスタエレクトロニクスの全体に渡って
走行しており、従ってより高いメモリ速度においてこれ
らのライン内のピット間に時間的スキューの問題を発生
することである。
本発明は、以上の点に鑑みなされものであって、上述し
た如き従来技術の欠点を解消し、改良した自動テストシ
ステムアーキテクチャ−を持ったテスト装置及び方法を
提供することである。
本発明の上述した目的及びその他の目的、利点及び特徴
は、複数個のテスタチャンネルを持った電子回路テスト
用の装置によって達成される。該テスタの各チャンネル
は、テスト中のユニットのテスト点と接触するテストピ
ン手段、前記ピンに接続されており前記ピンの動作状態
を制御する為のチャンネル制御回路手段、及び前記チャ
ンネル制御回路の動作シーケンスを指示するテスト命令
を格納するピンメモリ回路手段、を有しており、前記ピ
ンメモリ回路手段は前記チャンネル制御回路手段によっ
て制御されてそのチャンネルに対して新たなテスト命令
が必要とされる時にのみ前記ピンメモリ手段をサイクル
動作させる。
本発明の別の側面は、各チャンネルにおいてテスト中の
ユニットのテスト点と接触するテストピン及び前記テス
トピンの動作状態を決定する命令を格納するピンメモリ
回路を持った電子回路用のマルチチャンネルテスタを動
作させる方法に関するものである。該ピンメモリ回路は
、そのチャンネルの動作状態を変化させる為に新たなテ
スト命令が必要とされる場合にのみ、次のアドレスヘサ
イクル動作される。
本発明の更に別の側面は、各チャンネル内においてテス
ト中のユニットのテスト点と接触する為のテストピン及
び前記テストピンの動作状態を決定する命令を格納する
ピンメモリ回路を持っている電子回路用のマルチチャン
ネルテスタに関するものである。チャンネル制御回路は
、前記テストピンと前記ピンメモリ回路の出力との間に
接続されている。該チャンネル制御回路は、前記ピンメ
モリの出力に接続されており前記出力において表れる命
令をデコード手段、前記デコード手段に接続されており
前記デコード手段からの制御信号に応答して前記ピンの
動作状態を制御する手段、及び前記デコード手段に接続
されており前記ピンメモリ内に次の命令のアドレスを発
生する手段、を有している。該アドレス発生器は、その
チャンネルの動作状態を変化させる為に新たな命令が必
要とされる時にのみ前記メモリを前記法のアドレスへサ
イクル動作させる。
本発明の更に別の側面は、各チャンネルにおいてテスト
中のユニットのテスト点と接触するテストピン及び前記
テストピンの動作状態を決定するテスト命令を格納する
ピンメモリ回路を有する電子回路用マルチチャンネルテ
スタに関するものである。チャンネル制御回路は、前記
テストピンと前記ピンメモリ回路の出力との間に接続さ
れている。該チャンネル制御回路は、前記ピンメモリの
出力に応答して前記テストピンの現在の動作状態と前記
ピンの次の動作状態との間に所望の間隔をタイミング即
ち計時する手段、及前記計時手段に接続されており前記
ピンメモリ内の次の命令のアドレスを発生する手段、を
有している。該メモリは、前記プログラムされた時間の
終わりにおいて前記次のアドレスへサイクル動作される
本発明の更に別の側面は、各チャンネルにおいてテスト
中のユニットのテスト点と接触するテストピン及び前記
テストピンの動作状態を決定するテスト命令を格納する
ピンメモリ回路、及び前記テストピンと前記ピンメモリ
回路の出力との間に接続されたチャンネル制御回路を有
する電子回路用マルチチャンネルテスタを動作させる方
法に関するものである。前記テストピンの現在の動作状
態と前記ピンの次の動作状態との間に所望のインターバ
ル即ち間隔を計時する為に、前記ピンメモリ回路の前記
出力に表れる命令を使用してタイマがプログラムされる
。該ピンメモリ回路は、前記テストピンの次の動作状態
に対する新たなテスト命令に対し次のアドレスへサイク
ル動作される。
本発明の更に別の側面に拠れば、複数個のテスタチャン
ネルを持った電子回路をテストする装置が提供される。
各チャンネルは、テスト中のユニットのテスト点と接触
するテストピン手段、前記テストピンの動作状態を指示
するテスト命令を格納するピンメモリ回路手段、前記ピ
ンと前記ピンメモリ手段の出力との間に接続されており
前記ピンメモリ出力に表れるテスト命令に応答して前記
ピンの動作状態を制御するチャンネル制御回路手段、を
有しており、前記チャンネル制御回路手段は、前記ピン
メモリ手段出力に表れる命令tこ応答し前記テストピン
の現在の動作状態と前記ピンの次の動作状態との間に所
望の間隔を掲示するプログラム可能なタイマー手段、及
び前記タイミング即ち計時手段に接続されており前記ピ
ンメモリ手段内に次の命令のアドレスを発生する手段、
を有しており、前記メモリ、は前記プログラムされた時
間の終わりに前記次のアドレスへサイクル動作される。
本発明の更に別の側面に拠れば、複数個のテスタチャン
ネルを持った電子回路をテストする装置が提供され、各
チャンネルは夫々のメモリ回路内に格納されるテスト命
令のシーケンスに応答して前記チャンネルの動作状態を
制御するチャンネル制御回路を有している。該メモリ回
路は、前記テスト命令を格納する為にダイナミックラン
ダムアクセスメモリ(DRAM)、及び前記DRAM回
路及び前記チャンネル制御回路に接続されており前記D
RAM回路からのテスト命令のシーケンスを可能する為
のキャッシュメモリ回路手段、を有しており、前記チャ
ンネル制御回路は前記DRAM回路をリフレッシュする
一方前記キャッシュメモリ手段内に格納されているテス
ト命令から前記チャンネルの動作を制御し、その際に前
記テスト命令のシーケンス内に逆ループを許容する。
本発明の更に別の側面に拠れば、複数個のチャンネルを
持った電子回路用のマルチチャンネルテスタを動作させ
る方法が提供され、各チャンネルは夫々のダイナミック
ランダムアクセスメモリ(DRAM)回路内に格納され
ているデス1−命令のシーケンスに応答して前記チャン
ネルの動作状態を制御する為のチャンネル制御回路を持
っている。前記テスト命令シーケンス内のバックワード
即ち逆のループは、前記DRAM回路からのテスト命令
のサブシーケンス即ちシーケンスの一部をキャッシュメ
モリ回路内に格納し且つ前記D RAM回路をリフレッ
シュするのと同時的に前記キャッシュメモリなテスト命
令から前記チャンネルを動作させることによって可能と
される。
本発明の更に別の側面に拠れば、電子回路用のマルチチ
ャンネルテスタを動作させる方法が提供され、各チャン
ネルはメモリ回路内に格納されるテスト命令シーケンス
によって制御される。該メモリは、次のアドレスへサイ
クル動作されて新たなテスト命令を獲得し、且つ該新た
なテスト命令はデコードされてチャンネルによって次の
動作状態を決定し、前記デコード動作はそのチャンネル
の現在の動作状態に依存する。
本発明の更に別の側面に拠れば、電子回路用のマルチチ
ャンネルテスタが提供され、各チャンネルはメモリ回路
内に格納されるテスト命令シーケンスによって制御され
る。新たなテスト命令を得るために前記メモリを次のア
ドレスへサイクル動作させる手段が設けられている。チ
ャンネルによって次の動作状態を決定する為に前記新た
なテスト命令をデコードする手段が設けられており、前
記デコード動作はそのチャンネルの現在の動作状態に依
存する。
以下、添付の図面を参照して、本発明の具体的実施の態
様に付いて詳細に説明する。
第2図を参照すると、本発明に基づく機能テスタが大略
200として示されている。第1図における如く1本テ
スタは、図示を明瞭とする為に、3つのチャンネルO,
l、Nを持つものとして示しであるが、256,512
、又はそれ以上のチャンネルを具備するテスタとするこ
とが通常である0本テスタも、各チャンネルがその夫々
のピンRAMチャンネル制御回路及びピンエレクトロニ
クスを持つ様に構成されている。従って、ピンRAM2
10は、命令バス222及びアドレスバス220を介し
て、チャンネル制御器224へ接続されており、且つチ
ャンネル制御器224は、ライン240,242,24
4を介してピンエレクトロニクス238へ接続されて、
チャンネル0を形成している。同様に、ピンRAM21
2は、命令バス228及びアドレスバス226を介して
チャンネル制御器230へ接続されており、且つチャン
ネル制御器230は、ライン254,256゜258を
介して、ピンエレクトロニクス252へ接続されており
、チャンネル1を形成しており、ピンRAM214は、
命令バス234及びアドレスバス232を介して、チャ
ンネル制御器236へ接続されており、且つチャンネル
制御器236は、ライン268,270,272を介し
て、ピンエレクトロニクス266へ接続されており、チ
ャンネルNを形成している。各チャンネル制御回路は、
夫々のコネクタピンへ接続されており、該コネクタピン
はテスト中のユニット(UUT)280のコネクタと接
触される。従って、ピンエレクトロニクス238はライ
ン250を介してピン0へ接続されており、ピンエレク
トロニクスはライン264を介してピン1へ接続されて
おり、且つピンエレクトロニクス166はライン278
を介してピンNへ接続されている。
図示した実施例においては、該ピンエレクトロニクスは
、TTL又はCMO3の如きシンク/ソース論理回路に
適している。各々は高インピーダンス(3状態)出力状
態とさせることの可能なドライバ回路、及びレシーバ即
ち受取回路を有している。その他のロジックファミリは
異なったピンエレクトロニクスを必要とすることがある
第2図に示した実施例においては、チャンネルO用のピ
ンエレクトロニクス238は、ライン244によってチ
ャンネル制御器224へ接続された3状態ドライバ24
6を有している。ドライバ246は、ライン242上の
信号によって高インピーダンス出力状態とさせることが
可能である。
データレシーバ248はライン250によってピ   
′ン0へ接続され且つライン240によってチャンネル
制御器224へ接続される。同様に、チャンネル1用の
ピンエレクトロニクス252は、ドライバ268及びレ
シーバ262を有している。ドライバ268はライン2
58によってチャンネル制御器230へ接続されており
且つライン256上の信号によって高インピーダンス状
態とさせることが可能である。データレシーバ262は
ライン264によってピンへ接続されており且っライン
254によってチャンネル制御器230へ接続されてい
る。チャンネルN用のピンエレクトロニクス266はド
ライバ274及びレシーバ276を有している。ドライ
バ274はライン272を介してチャンネル制御器23
6へ接続されており且つライン270上の信号によって
高インピーダンス状態とさせることが可能である。
ピンエレクトロニクス238,252,266は、第2
図に図示した技術の代わりにコード化した命令を担持す
るラインによってチャンネル制御器224,230,2
36へ接続させることが可能である。何故ならば、該ピ
ンエレクトロニクスは駆動又は受診信号の一体性を保持
する為にUUTへ非常に近接して位置させており、一方
該エレクトロニクスの残部はテスタの別の部分とし且つ
高動作速度の観点からは比較的長いケーブルによって該
ピンエレクトロニクスへ接続させることが可能である。
該コード化した信号はデコードされ且つ第2図に示した
ものと同一の機能を行う。この様な構成の詳細は当業者
等に公知であり、従ってその説明は割愛する。
各ピンRAM210,212,214は命令バス208
によって中央処理装置f!202へ接続されている。中
央処理装置202は又制御ライン204によてクロック
発生器206へ接続されている。
該クロック発生器206はクロック信号を発生し、その
クロック信号はライン216上に存在し且つ本テスタ内
の全てのチャンネル制御回路へ供給される6クロツク発
生器206は又同期(s y n c)信号を発生し、
それはライン218上に存在し且つ本テスタ内の全ての
チャンネル制御回路へ供給される。
各ピンRAMは、第1図に示した回路と同様に、全ての
RAMに共通なバスから入力を受け取るが、注意すべき
ことは、第2図中の共通バスは命令バスであり、一方第
1図中の共通バスはアドレスバスであるということであ
る。第2図中に示した命令バスは本テスタによって行わ
れるべきテスト前に使用される。この動作フェーズ中、
テスト中に実行されるべき命令を各ピンRAM内にロー
ドさせることが必要である。中央処理袋U202は、不
図示の手段によって各ピンRAMをアドレスし且つ所望
のテストを行う命令をピンRAM内にロードする。別法
としては、バス208を全てのチャンネル制御器へ接続
し且つ該チャンネル制御器によって該命令を該ピンRA
M内ヘロードさせることが可能である。命令バス208
上に与えられる命令は、中央処理装置202と連動する
メモリから来ることも可能であるが、より一般的には、
磁気テープ又はディスクから来るものであり、又その他
の供給源を使用することも可能である。中央処理装置2
02が命令をテスタ内の全てのピンRAM内にロードし
た後、命令バス208はテスタの動作において何等その
一部を担うことはない。
更に注意すべきことであるが、第1図に示したテスタも
この命令を初期的にピンRAM内にロードする手段を必
要とするものではあるが、図面を簡単化する為に第1図
には省略しである。
従って、テスタ200がテストプログラムでロードされ
ると、ピンRAMから命令をフェッチする為に使用され
るアドレスに関しては何部センタラライズした即ち中央
化した制御は存在しない。
各ピンRAM用のアドレスはその夫々のアドレスバス上
へその夫々のチャンネル制御回路から送られる。例えば
、チャンネル0においては、ピンRAM210用のアド
レスがチャンネル制御器224からアドレスバス220
上へ送られる。従って、チャンネルO用のアドレスの発
生は本テスタ内のその他の全てのチャンネルに対すムア
ドレス発生とは独立的である。このことは、所要のテス
トシーケンスを発生する為に各ピンRAMをサイクル動
作させることの必要性を取り除いている。従って、チャ
ンネル制御器は、そのチャンネルの状態を変化させる為
の新たな命令を得ることが必要である時にのみ該メモリ
をサイクル動作させ、そのことはテストシーケンスを発
生する為に本テスタ内に格納せわばならないデータ量を
著しく減少させている。チャンネル制御回路の詳細な動
作を第3図乃至第6図を参照して説明する。各チャンネ
ルを独立的に動作させ、従ってそのチャンネルの動作状
態を修正する為に新たなテスト命令を得ることが必要で
ある時にのみ該メモリをサイクルさせるという能力は、
各チャンネルを、実際上、独立的なテスタとさせている
。従って、このテスタのアーキテクチャ−即ち構成は、
「真のピン毎のテスタ」構成と言うことが可能である。
本テスタの各チャンネルは同一の態様で動作するが独立
的である。1例としてチャンネル0を参照すると、チャ
ンネル制御回路224は、チャンネル0の動作状態を変
更する為にピンRAM210から新たな命令をフェッチ
することが必要な時に、バス220上にアドレスを発生
する。この新たな命令は、ピンRAM210から命令バ
ス222を介してチャンネル制御器224へ送られる。
チャンネル制御器224は命令をデコードして、ピンド
ライバ246を起動させるべきか否かを決定する。ドラ
イバ246を起動して該ピンを高又は低状態へ駆動する
場合、適宜の信号がドライバの入力に与えられ、且つ該
ピンはテスト命令によって要求される如く高又は低状態
のいずれかへ駆動される。該ドライバが起動されるべき
でないがデータがレシーバ248を介して受け取られる
べき場合には、信号がライン242上に与えられて該3
状態論理ドライバ246の出力をその高インピーダンス
状態とさせる。この状態において、ドライバ246はデ
ータレシーバ248によって受け取られる信号には何等
の影響も与えない。データが受け取られるべき場合には
、それはそのデータの予定される値と比較され且つその
結果が不図示の手段によって中央処理装置へ送られる。
各チャンネルは独立的に動作するが、全てのチャンネル
はライン216上に与えられるクロック信号と同期して
動作する。第2図に示したクロック信号は典型的なクロ
ック信号であり、それは、例えば、高状態の5ナノ秒の
セグメントと低状態の5ナノ秒のセグメントとを有する
100MHzの速度を持ったこのシステム使用すること
が可能である。この信号は連続的に発生され且つ全ての
メモリサイクルはライン216上のクロック信号の先端
で発生する。明らかに同期が必要である。何故ならば、
データは該回路のプロトコル(操作条件)に従って変化
することが必要だからであり。
特に電子回路基板上に使用される集積回路論理及びマイ
クロプロセサの場合にはそうである。クロック信号が連
続的に発生されると、全てのピン上のテストシーケンス
が同期して開始又は停止されることが必要である。従っ
て、ライン218には同期信号が与えられ、該同期信号
は制御ライン204を介して中央処理装置202の制御
の下でクロック発生器206によって発生される。テス
トシーケンスは、クロック帰還の中間で発生する同期信
号の先端で全てのチャンネルに対して開始され、従って
全てのチャンネルは次のクロックのエツジで開始する。
クロック発生器206内の時間モニタがテストの長さを
監視し且つ同期信号の状態を変化させることによってテ
ストシーケンスを停止させる。注意すべきことであるが
、2つの短いパルス、即ちその1つはテストを開始させ
且つ他の1つはテストを停止させるパルスを図示した単
一の長井パルスの代わりに使用することが可能である。
第3図は、大略300で示した如く、チャンネル制御回
路224,230,236の詳細なブロック線図である
。チャンネル制御回路はRAMデータデコーダ304を
示してあり、該デコーダは命令バス302を介してピン
RAMへ接続されている。命令バスは第2図中のバス2
22,228゜234に対応する。RAMデータデコー
ダ304もライン301を介してメモリアドレス発生器
308へ接続されている。メモリアドレス発生器308
は、例えば、バス220,226,232に対応するア
ドレスバス306を介して、RAM210.212,2
14の如きピンRAMへ接続されている。RAMデータ
デコーダ304はデータバス312及び314を介して
ピン制御回路320へ接続されている。ピン制御回路3
20はライン3222,324,326を介してピンエ
レクトロニクス334へ接続されている。該ピンエレク
トロニクスは、ライン326を介してピン制御回路32
0へ接続されているピンドライバ330を有している。
ドライバ330の3状態入力はライン324を介してピ
ン制御回路320へ接続されている。ピン制御器320
はライン322を介してデータレシーバ328からのデ
ータを受け取る。データレシーバ328及びピンドライ
バ33Oはライン332を介して共通接続されており、
該ライン332は又そのチャンネルの夫々のテストピン
へ接続されている。RAMデータデコーダ304、メモ
リアドレス発生器308.及びピン制御器320はライ
ン316を介してクロック発生器206へ接続されてい
る。RAMデータデコーダ304及びメモリアドレス発
生器308は又ライン318を介してクロック発生器2
06な同期信号発生器へ接続されている。
RAMデータデコーダ304は命令バス302を介して
ピンRAMの出力からワードを受け取る。
このワードはそのチャンネルに対するテストシーケンス
内の次の命令であり、且つそのチャンネルのみの動作状
態を変化させる。RAMデータデコーダ304はこのワ
ードをデコードしてデータワードを発生し、該データワ
ードは本テスタのそのチャンネルに接続されているピン
上で行われるイベント即ち事象のタイプを決定する。R
AMデータデコーダ304は又命令をデコードして1口
述する如きイベントのタイミングを決定するワードを発
生する。デコーダ304の動作をは第4図を参照して以
下に詳細に説明する。ピン制御器320はイベントデー
タワード及びタイミングデータワードを使用して、信号
をピンエレクトロニクス334へ発生し、UUTへ接続
されているピンを駆動するか、又はUIJTからデータ
を受け取る。
ピン制御器320と、従来技術のチャンネル制御回路の
対応する部分との間の主要な差異は、各ピンイベントに
対して所要のタイミング情報を発生する為にピン制御器
320はプログラム可能であるということである。従来
技術においては、エレクトロニクスが所定数のタイミン
グ信号の1つを選択し、該タイミング信号はテスタの全
てのチャンネルに対して外部的に発生されたものである
か、又はテストの開始時に各チャンネル内ロードされた
命令に従ってテスタの各チャンネルに対して内部的に発
生されたものである。従って、従来技術のいずれもが、
テストシーケンスにおけるいずれのその他のピンイベン
トと独立的な各ピンイベントに対するタイミングを持つ
という柔軟性を与えるものではなかったゆテスタがUU
Tに対して必要とされるテストパターンを正確に追従し
且つ上述したメモリの縮小を可能とするのは正にこの柔
軟性である。テスタの1つのピンに対する典型的なテス
トシーケンスの発生に付いて第5図及び表1を参照して
以下に説明する。
メモリアドレス発生器308は、そのチャンネルに対し
てピンRAMから検索されるべき次の命令のアドレスを
発生する。このアドレスはバス306を介してピンRA
Mへ接続され、該バスは、例えば、第2図のバス220
,226,232に対応する。メモリアドレス発生器は
、次のメモリアドレスを発生する為に、ライン310を
介して接続されているRAMデータデコーダ304から
の信号に応答する。図示した実施例においては、シーケ
ンスの一部が所定の回数繰り返される様にするテストシ
ーケンス内のループ動作は与えられない。このことは、
第6図に関して説明する。
第4図は、大略400で示した、RAMデータデコーダ
304の詳細なブロック線図である。データバス302
はバス402として示してあり、それは、図示した如く
、80ビツト幅である。データバス402の幅は、ピン
RAMのサイクル時間及び所望の時間分解能によって決
定される。例えば、80ナノ秒のサイクル時間を持って
いるDRAMを使用することが所望され且つピット当り
1ナノ秒の分解能を所望する場合、これは80ビツトの
ワード幅を与える。幅広のワードが必要とされるが1本
システムは非常に廉価なりRAMメモリ回路を使用する
ことを可能とするので1本システムは未だ費用効果性は
高い。SRAMはより一層高速のサイクル時間を持って
おり且つより短いワード幅を使用することを可能とする
が、その費用が高いのでシステムの費用効果性はより低
くなる。ピンイベントを断続的に変化させる場合には、
80ビツトワードはメモリがサイクル動作するのと同じ
速度でワードを読みだすことを可能とする一方、テスト
シーケンスの1ナノ秒を表すワードの1ビツトの所望の
分解能を維持する。”80ビツトワードはライン406
上の信号によって並列でシフトレジスタ404内にクロ
ック入力される。ライン406上の信号は、クロックラ
イン432及び同期ライン430上の信号に応答してコ
ントローラ即ち制御器424によって発生される。クロ
ックライン432は、第2図のクロックライン216に
対応し、且つ同期ライン430は第2図の同期ライン2
18に対応する。1ナノ秒当り1ビツトの速度でデータ
ワードを処理する為に、1GHzのクロック信号が通常
必要とされる。この様な高周波数のクロック信号を発生
することは、当業者等に公知の如く困髪な作業である。
更に、数百のチャンネルを持ったテスタの如き大型のシ
ステムにおいては、このグローバルタイミング発生器か
らのこの信号を該チャンネルの各々へ供給するのに必要
なケーブルの長いラインによって導入される時間スキュ
ー即ち時間歪はこの問題を悪化させる6本発明は、各ク
ロック遷移で並列的に10ビツトワードをシフトさせる
為にライン4089で100MHzのクロックを使用す
ることによって、この問題を解消している。この10ビ
ツトワードは、バス402上に存在する80ビツトワー
ドの10個の隣接するピットから構成される。この10
ビツトワードは10ピット幅バス410を介して、論理
回路412ヘシフトされる。10ナノ秒毎に10ビツト
ワードをシフトさせることにより、IGHzクロックの
必要性及びそれに関連する問題を発生すること無しに、
1ナノ秒当り1ビツトの等価の分解能が得られる。
論理回路412は、10ビツトワードの情報及び前野1
0ピットワード内に存在していたかもしれない情報をデ
コードし、バス416上に3ビツトイベントワードを発
生し、且つバス414上に4ビツトタイミングワードを
発生し、これらのワードは、第3図に示した如く、ピン
制御回路320へ供給される。バス414上の4ビツト
タイミングワードは、10ビツトワード内の命令に位置
に従ってイベントを所定の時間に位置させるタイミング
発生器(不図示)からの信号を選択する為に使用される
。例えば、フラッグピットであって且つ常に「1」 (
第5図及び表1参照)である該命令の1番目のピットが
、10ビツトワードなの7番目の位置にある場合、10
チヤンネルマルチプレクサを動作させる為に4ビツトを
使用することによって信号が選択され、それはその10
ビツトワードが論理回路412によって処理された後7
ナノ秒後にその命令を開始させる。この機能を実行する
ことの可能な論理回路は従来公知であり且つここでの説
明は割愛する。該データがコード化されて所望のイベン
トタミングを発生させる態様に付いて第5図及び表1を
参照して説明する。論理回路412は、ライン420及
び422上に存在する双フェーズクロック信号を使用し
て、バス410からそれに供給される情報を処理する。
ライン422上の信号はライン420上のクロック信号
と位相が180度異4る。バス416上のイベントが時
間遅延(以後、「ホールドオフ」とも呼称する)である
場合、このことはデコーダ回路418によって検知され
、そのことはライン426上の信号によって制御器42
4へ信号を送る。
ホールドオフは時間遅延の値(第5図及び表1を参照)
を制御器424内のプログラム可能なカウンタ内ヘロー
ドさせる。このカウンタはライン432上のクロック信
号によってクロック動作されて、ライン428上に信号
を発生し、該信号は該ホールドオフの期間の間、メモリ
アドレス発生器308の動作を停止させる。該ホールド
オフのプログラム動作は、第5図及び表1の説明を参照
すると最も良く理解される。
第5図は信号50oを示しており、それは本テスタの1
つの特定のチャンネルに関して所望と去れるイベントの
シーケンスを表している。理解すべきことであるが、こ
の信号を発生する為に命令を処理することに関連した時
間遅延と、チャンネル回路とピンとの間のワイヤの長さ
に関連する時間遅延とがある。然し乍ら、各チャンネル
の時間遅延が同一である様に、例えば100ナノ秒、本
テスタを注意深く設計することによって、全てのピンで
の相対的なタイミングは同じとなり且つこのファクタを
無視することが可能である。同様に。
理解すべきことは、信号の異なった状態間の遷移は図面
に示した如くゼロ時間においては発生しない。説明の便
宜上、これら遷移は十分に迅速に発生し、従ってそれら
は瞬時的に発生するものと考えることが可能であると仮
定されている。信号5oOは、ゼロ時間で開始するもの
として示されており且つ450ナノ秒の時間軸を超えて
継続している。おの時間軸は50ナノ秒の増分で目盛っ
てあり、且つ全ての遷移はそれらの発生の実際のランニ
ング時間で示しである。
セグメント502で示した如く、この波形は高インピー
ダンス状態でゼロ時間で開始する。上述した如く、この
状態は、3状態ドライバをその高インピーダンス状態へ
スイッチングした結果である。例えば、第2図において
、チャンネルOのドライバ246はライン242上の信
号によって高インピーダンス状態とさせることが可能で
ある。
この状態において、該ドライバは、ピンを高又は低のい
ずれにも駆動することが無く、従って該ピンの状態は、
所望により、該ド゛ライバからの干渉無しに測定するこ
とが可能である。然し乍ら、セグメント502に示した
如く、測定は行われない。
本テスト開始後21ナノ秒後に、セグメント504で示
した如く1本テスタがUUTのピンを低状態へ駆動する
ことが所望される。該テスタはこの状態に53ナノ秒留
まり、それは本テストの開始後74ナノ秒に対応する。
この時間において、セグメント506で示した如く、高
インピーダンス状態に対しての測定を行うことが所望さ
れる。この状態において、本テスタは、UUT回路の3
状態出力によって与えられるそのチャンネルに関して高
インピーダンスを測定する。本テスタは、162の時間
迄、88ナノ秒の間この状態に留まる。
本テストの開始後162ナノ秒後に、セグメント510
で示した如く、UUTは該ピンを高へ駆動することが予
定されている。然し乍ら、UUT内の信号の伝播遅延に
おける変動の為に、162ナノ秒の時間から179ナノ
秒の時間へのセグメント508として示した17ナノ秒
の不確定性期間があることが知られている。この不確定
性期間は、例えば、tJUTの回路を解析するシミュレ
ーションプログラムによって、計算することが可能であ
る。従って、高インピーダンス状態に対する測定は、こ
の不確定性期間の開始において停止され。
且つ本テスタのチャンネルは高インピーダンス状態に留
まり且つ単に17ナノ秒が経過するのを待つ。セグメン
ト510の期間中、本テスタは該ピンにおける予定され
る高状態に対して測定する。
テストの開始から295ナノ秒において、UUTは該ピ
ンを駆動することを停止することが予定される。再度、
究極的にこの状態を発生する信号の伝播遅延の変動の為
に、テストの開始から295乃至335ナノ秒の間の4
0ナノ秒の不確定性期間がある。再度、そのチャンネル
は、高インピーダンス状態に入るべく命令されることに
よって、この不確定性期間が経過することを待つにの不
確定性期間の終了後、即ちテストの開始から335ナノ
秒において、セグメント514で示した如く、該ピンを
再度高インピーダンス状態測定へ復帰させることが望ま
しい。本テスタはテストの開始から422ナノ秒となる
87ナノ秒の間の二の状態に留まり、その時点で、セグ
メント516で示した如く、テスタがtJtJTのピン
を駆動させることが所望される。
表1は第5図に示した信号500を発生するのに必要な
命令のリストである。必要な命令は、ワード1及び2と
示した2つの完全な80ビツトワード及びワード3とし
て示した第3のワードの一部を必要とする。これらのワ
ードは80ビツトワードであり、それらはピンRAMに
よって発生され且つ第4図に示したデータバス402上
に表れる。説明の簡潔さの為に、ワードの各々は8つの
10ビツトセグメントに分割されており、a乃至りとし
て示してあり、該セグメントにおけるピットの各々はO
乃至9として示しである。これらのセグメントは10ビ
ツトセグメントに対応し、それは第4図中のバス410
ヘシフトレジスタ404からシフト動作される。更に、
「パケット」として知られる5ビツトのグループの周り
に括弧を付しており、それは第4図中の論理回路412
によって解釈される命令又はデータを有している。
明確化する為に、命令を表すこれらのパケットの5ビツ
トに対して5文字の二−モニツクを置換しである。注意
すべきであるが、文脈依存コード化技術を使用すること
により、これらの命令を単に3つのピットを使用してコ
ード化することを可能部、その他のピットは将来の目的
の為に留保される。この文脈依存コード化は表2を参照
して後述する。更に注意すべきことは、括弧は読者がパ
ケットを識別することの助けとして設けられており、勿
論実際のピット列内には表れない。各パケ′ットは常に
「1」によって先導されており、それはそのパケットが
デコーダに存在することを意味している。従って、パケ
ットは実際には6個のピットを必要とする。
第5図及び表1を参照すると、第5図に示した所望のテ
ストシーケンスを発生する為にどのようにして表1の命
令が使用されるかを理解することが可能である。テスタ
はセグメント502によって表される高インピーダンス
状態においてテストシーケンスを開始する。このことは
、テストが実行される前に、不図示の手段によって、チ
ャンネル制御回路内にプログラムされる。テストシーケ
ンス内の最初の遷移はテストの開始後21ナノ秒で発生
する。従って、テスタは最初の21ナノ秒の間、高イン
ピーダンス状態に留まるべく命令される。前述した如く
、命令ワードの各ピットはテストシーケンスの1ナノ秒
を表す。従って、21ナノ秒の遅延は21ビツトを使用
する。テストシーケンスの最初の10ビツトは表1内の
ワード1のセグメントaのものである。このセグメント
は全てのゼロから構成されている。同様に、ワード1の
セグメントbはすべて0がら構成されている。
これら2つのセグメントは、全部で20ナノ秒の遅延を
与える。1番目のピットであるセグメントCのピットO
は0であり、それは最終的なナノ秒の21ナノ秒の遅延
を与える。セグメントCの2番目のピットであるピット
番号1は1であり、それは次の5ビツトがパケットであ
ることを表すフラッグである。このパケットは括弧で識
別されており、ここでは二一モニックrGOLOWJと
して示した。低へ移行の命令に対するデジタルコードを
有している。この命令は、第4図の論理回路412によ
てデコードされて、バス416上に3ビツトコードを発
生し、それはチャンネル制御回路を起動させて、そのチ
ャンネルに対するピンエレクトロニクスをを指示してそ
のチャンネルのピンを低へ駆動する。
紅 ピット セグメント ワード1   a    0000000000b  
 ooooooooo。
e   01(GOLOW)1()10d   0FF
)l(00000)1 e   (00010)00000 f   O0001(M  S  HI  Z)g  
1(HDOFF)L(000 h    00)1(00110)00’7−F2  
a    001(SMHIZ)00b    ooo
oooooot c   (MSFHI)1(HDOF d    F)1(Oo  o  o  o)1(o 
 la    001)001(SMSH f    I)1(HD  OF  F)1(00g 
   000)1(00001)Oh    0000
01(MS)II ワード3   a    Z)1(l(D  OF  
F)1(OOb    000)1(00110)Oc
    001(GOHIG)00 本テスタは、53ナノ秒の期間の間、該ピンを低状態に
駆動し続ける。従って、該ピンの状態を変化させる為の
次の命令は53ナノ秒の間は発生しない。それに付随す
る時間遅延は、テストの開始とテスタが該ピンを低へ駆
動する為の命令の間の21ナノ秒遅延に対して行った如
く、ゼロを挿入することによって発生されることがある
。然し乍ら、この時間遅延はここでは第2の手法によっ
て与えられており、その手法は大きな時間遅延に対して
著しく減少した数のピットを使用するので、より長い時
間遅延にとって一層有用である。「G○LOWJの命令
を有するパケットに続いて、3つの付加的なパケット情
報がある。1番目のパケットは、ここでは二−モニツク
rHDoFFJで示されている「ホールドオフ」が発生
する命令を有している。2番目及び3番目のパケットは
該ホールドオフの時間の長さが10ナノ秒の間隔を有し
ている。セグメントdのピット4乃至8を有するパケッ
トは、時間遅延を導入することが無く、一方セグメント
eのピット0乃至4を有するパケットは20ナノ秒の時
間遅延を導入する。これらの一連のパケットに9つのゼ
ロが続き、それらは付加的に9ナノ秒の時間遅延を導入
し、ここで、時間シーケンスにおいて1ビツトは1ナノ
秒に等しい。最初は、この一連の命令によって単に29
ナノ秒の時間遅延のみが導入される如くに思われる。然
し乍ら、該命令中の各ピットは該タイムシーケンスにお
いて1ナノ秒を表すことを銘記せねばならない、セグメ
ントCのピット番号1から開始し且つセグメントeのピ
ット番号4迄のピット数をカウントすると、命令自身が
24ビツトを使用している。これらの24ビツトは、全
体で53ナノ秒の時間遅延の命令及びゼロによって導入
される29ナノ秒の遅延とは無関係に、24ナノ秒の時
間遅延を表す。この手法を使用することによって、単に
27個の付加的なピットを使用することによって53ナ
ノ秒の遅延を導入することが可能であったということで
ある。然し乍ら、注意すべきことは、これは、必要とさ
れるピット数に関して最悪の場合であり、即ち適切な遅
延を得るためにホールドオフ命令の後に9個のゼロが必
要であったということである。理解すべきことは、ホー
ルドオフ命令に続く2つのパケット内の10ビツトは最
大210=1,024X10ナノ秒、即ち10.024
0ナノ秒の時間遅延を理論的には可能とするということ
である。ホールドオフ時間を指定する為に使用されるパ
ケット数を増加することによってより長い時間遅延を与
えることが可能である。この手法の意味するところは、
3個のパケット+最大9ピット、即ちそれは27ビツト
と等しいが、はテストシーケンスにおいて使用すること
のある最大10,240ナノ秒迄の任意の時間遅延対し
て必要とされる全てであるということである。このこと
は、単に別のno−op即ち動作無し命令を受け取る為
に該メモリをサイクル動作させることは必要ではないこ
とを意味している。
従って、このことは、特定のテストプログラムを実行す
る為に必要な多数の命令を圧縮することに貢献している
。唯一の実際的な制限は、最小の時間遅延は3パケット
情報即ち18ビツトであり、それは18ナノ秒に等しい
ということである。18ナノ秒よりも短い遅延は、その
時間遅延を作成゛する為にゼロストリング即ちゼロ列を
使用することを必要とする。
53ナノ秒遅延の終わりにおいて、テスタはセグメント
fのピット番号4にあり、それはここでは二一モニック
のrMsHIZ」で表しである高インピーダンス状態測
定へ移行すべくテスタへの命令のパケットの開始である
。本テスタは88ナノ秒の期間の間、この状態を維持す
る。この時間遅延は、セグメントgにおける1ビツト、
ピット番号Oで開始するパケットによって開始される。
このパケットは、セグメントg、ピット番号6及びセグ
メントh、ピット番号2の如くスタートする次の2つの
パケットによって定義される時間遅延でホールドオフを
開始する。1番目のパケットはOの時間遅延を持ってお
り、且つ2番目のパケットは6の又は60ナノ秒の時間
遅延を持っている。命令自身が24ピット即ち24ナノ
秒取るので、全体の時間遅延は84ナノ秒である。所要
の88ナノ秒の時間遅延を得るために、4つのゼロを、
セグメントh、ピット8および9において且つワード2
において、セグメントa、ピット0及び1において付加
されている。
テストの開始から162ナノ秒において、テストは17
ナノ秒の最初の不確定性期間に入る。この期間の開始に
おいて、テスタはワード2、セグメントa、ピット2に
おいて開始するパケット内のニモニックrsMHIZJ
によって表される高インピーダンス状態に対する測定を
停止すべく命令される。この命令は、該チャンネルを高
インピーダンス状態とさせ、且つ6ビツト即ち6ナノ秒
の時間を必要とする。従って、17ナノ秒遅延を発生す
る為に11個のゼロが続く、注意すべきことであるが、
「ホールドオフ」技術は最小で18ナノ秒の遅延を与え
るので、ここでは使用することは不可能である。ワード
2、セグメントb、ピット9は、UUTが駆動すると予
定されるのでテスタが高信号に対し測定させる命令を有
する別のパケットに信号を送る。これは、このパケット
において、二一モニツクrMsFHIJとして表されて
いる。テスタは116ナノ秒の期間の間、この状態を維
持する。この時間遅延は、ワード2゜セグメントC、ピ
ット5で開始するホールドオフによって与えられる。こ
のホールドオフの値は。
9又は90ナノ秒の値を持った。ワード2.セグメント
d、ピット番号7において開始するパケットによって表
されている。これらの命令は4このパケット又は24ビ
ツトを取り、それは24ナノ秒の時間遅延を与える。こ
のホールドオフによって与えられる24ナノ秒及び90
ナノ秒は114ナノ秒の待機時間を与える。従って、4
つのパケットに2つのゼロが続き、それは所要の116
ナノ秒の時間遅延の残りの2ナノ秒を与える。
この不確定性期間の終わりにおいて、即ち本テストの開
始から335ナノ秒において、本テスタはセグメント5
14を発生する為に高インピーダンス状態に対する測定
へ移行するべく命令される。
この命令を有するパケットは、ワード番号2の最後の5
ビツトで開始し且つワード番号3の最初のピットで終了
する。この命令も二−モニツク「MSHIZJによって
表される。この命令にはワード3、セグメント1.ピッ
ト1で開始するパケットが続き、それは、続く2つのパ
ケットによって60ナノ秒と決定されているホールドオ
フを開始する。該4つのパケットは24ビツト又は24
ナノ秒を使用し、それは60ナノ秒ホールドオフ及び該
4つのパケットに続く3つのゼロと結合して、セグメン
ト514に対して87ナノ秒の時間遅延を発生する。
テストの開始後422ナノ秒において、テスタはセグメ
ント516によって示される如<OUTを駆動する。コ
マンドはワード、セグメントC、ピット2で開始し、且
つ高へ移行すべきことを表す二−モニツクrGOHIG
Jによって表される。
ワード3のセグメントCを完成する2つのゼロは、単に
例示的なものである。何故ならば、セグメント516の
終端は図示されていないからである。
従って、これで、本テスタの特定のチャンネルに対して
8つの別々の状態を包含しており且つ格納されている命
令の190ビツトのみを使用して422ナノ秒を超えて
発生させるテストシーケンスが発生された。更に、テス
タのその特定のチャンネルに関する操作は、該テスタの
その他のチャンネルに関するその他の動作とは完全に独
立的である。従って、本テスタのそのチャンネルは本テ
スタのその他の全てのチャンネルから別個にプログラム
することが可能であり、且つ該プログラムは最も近いナ
ノ秒の範囲内でそのチャンネルに対する所望のテストパ
ターンに正確に追従することが可能である。実際に、実
行すべき命令を識別する為に必要の無い5ビツトパケツ
ト内に2つの「予備jピットがある。これらの「予備」
ピットは、最近接250ピコ秒迄の分解能を与える微細
調整機能として使用することが可能である。明らかに、
この手法は、略任意の所望の分解能を与えるべく拡張さ
せることが可能である。
種々のチャンネルの動作と事実上任意の所望の分解能を
持つ能力との間の妥協を取り除くことは、特定のテスト
に対してのプログラムをコンピュータによって発生させ
ることが可能である。典型的に、UUTの回路は、部品
の典型的な且つ最悪の場合の交差を使用して1回路の実
際の動作をシミュレートするシミュレーションプログラ
ムによって解析される。この様なシミュレーションプロ
グラムの出力は別のプログラムによって使用して、UU
T用のテストシーケンスを発生させることが可能であり
、該シーケンスは機能テスタ内に直接的にエンターさせ
ることが可能である。このことは、多大のプログラム化
の時間を節約し、プログラムを容易に変化させて緊急的
な回路への変更又は部品の公差における変更を受け入れ
ることを可能年、且つテストシーケンスにおいてエラー
を発生させることのある人手の介入の必要性を取り除い
ている。その結果、一層迅速に且つ一層低コストでプロ
グラムされるより良いテストが得られる。
テストシーケンスを発生させるのに必要とされる格納さ
れる命令の量を減少させる別の技術は、ルーピング乃至
はループ動作を使用することである。テストル・−プに
おいては、与えられた命令シーケンスは、特定のチャン
ネルに関して所定の回数繰返し行われる0例えば、クロ
ック信号は規則的な周波数で状態を変化させる。クロッ
ク信号の高及び低状態が同一であると仮定して、連続的
なクロック信号を発生する為のプログラムは3つの命令
のみを有している。最初の命令は「状態変化」である、
2番目の命令は、クロックサイクルの半分に対しての時
間の長さに対して適宜の時間遅延を与え、且つ3番目の
命令は1番目の命令へ復帰させるものである。これを、
全テストシーケンスに対してコンスタントな状態の変化
及びコンスタントな遅延を与える一連の命令と対比して
みる。
多くの場合に、所要の命令数はクロックに対してなすこ
とが可能である様に著しく減少させることは不可能であ
るが、この手法は、そのチャンネルに対してのテストシ
ーケンスの成る部分に対してのプログラミングの量を減
少させる為に使用することが可能である。
ルーピングを使用する場合の問題の1つは、従来技術は
比較的高価なSRAMを使用することを必要としていた
。何故ならば、ルーピング状態においてDRAMをリフ
レッシュすることを保証することが不可能だからである
。DRAMにおいては、各ピット情報は、典型的に「水
平」な行とr垂直」な列とを持った2次元マトリクス内
に格納される。該情報は、典型的に4ミリ秒である非常
な短い期間の間にそのマトリクス上の特定の位置に存在
する電荷として格納される。メモリは、少なくとも最小
時間程度の頻度でその特定のピットに対しての格納個所
を形成するコンデンサを再充電することによって「リフ
レッシュ」されねばならない。このことは、少なくとも
特定の行におけるピットの全てをリフレッシュする頻度
で「水平」行をアクセスすることを必要とする。テスタ
を適切に設計することによって、プログラムがリニアな
態様で進行する場合には、与えられた期間内に全ての行
がアクセスされることを保証することが可能である。然
し乍ら、プログラムがルーピングを許容する場合、この
ことは保証されず、従ってプログラムが喪失することが
ある。SRAMはリフレッシュを必要としないので、そ
の問題を解消しているが、記憶ピット当りのコストは極
めて高価である。
本発明はD RA Mを使用して[パックルーピング(
逆ループ)」を使用することを可能としている。パック
ルーピングは、ループは前の命令へのみ復帰することが
可能であり且つ将来の命令へジャンプすることが出来な
いことを意味する。この1つの規則を付帯して、DRA
Mを使用してルーピングが許容されるテスタを構成する
ことが可能である。
第6図は、大略600で示してあり、第3図のチャンネ
ル制御回路と同様なチャンネル制御回路の詳細なブロッ
ク線図である。第3図に示した特徴事項と同一の特徴事
項は同一の参照符号で示しであるが1頭に「6」を付け
である。チャンネル制御回路600は第2図中のチャン
ネル制御回路224.230,236とすることが可能
である。
RAMデータデコーダ、ピン制御器、ピンエレクトロニ
クス、及びメモリアドレス発生器は第3図に示したもの
と同一である。従って、該チャンネル制御回路は、命令
バス602を介してピンRAMに接続されるRAMデー
タデコーダ604を持っている。命令バスは第2図中の
バス222,228.234に対応する。RAMデータ
デコーダ604は又バス610を介してメモリアドレス
発生器608へ接続されている。注意すべきことである
が、第3図において、ライン310は単一の制御ライン
を有していたが、第6図においては、それはマルチピッ
ト幅のバスである。メモリアドレス発生器は、例えば、
第2図中のバス220゜226.232に対応するアド
レスバス606を介してRAM210,212,214
等のピンRAMへ接続されている。RAMデータデコー
ダ604は、データバス612及び614を介してピン
エレクトロニクス664へ接続されている。ピン制御回
路620はライン622.624,626を介してピン
エレクトロニクス664へ接続されている。該ピンエレ
クトロニクスは、ライン626を介してピン制御回路6
20へ接続されている。ドライバ630の3状態入力は
ライン624を介してピン制御回路620へ接続されて
いる。
ピン制御器620はライン622を介してデータレシー
バ628からデータを受け取る。データレシーバ628
及びピンドライバ630はライン632を介して共通接
続されており、該ライン632は又そのチャンネルの夫
々のテストピンへ接続されている。RAMデータデコー
ダ604、メモリアドレス発生器608及びピン制御器
620はライン616を介してクロック発生器206へ
接続されている。RAMデータデコーダ304及びメモ
リアドレス発生器608もライン618を介して同期信
号発生器及びクロック発生器206へ接続されている。
更に、チャンネル制御回路600は、双方向バス636
によってRAMデータデコーダ604へ接続されており
且つバス638によってメモリアドレス発生器608へ
接続されているキャッシュメモリ640を有している。
ループのプログラム化は、ループが繰り返されるべき回
数のみならずループ内の最初及び最後の両方の命令のア
ドレスをメモリアドレス発生器608内に格納すること
を必要とする。テストシーケンスにおける正に最初のル
ープに対して、この情報は不図示の手段によってテスト
の開始前にメモリアドレス発生器へ与えられる。メモリ
アドレス発生器がループの最初のアドレスに到着すると
それは、該ループ内の最後の命令に到達する迄。
この命令及びキャッシュメモリ640内の次続の全ての
命令を格納する。これらの命令はバス636上をRAM
デーダデコーダ604からバス638上に発生されるア
ドレスの制御下においてキャッシュメモリへ与えられる
。該ループ内の最後の命令に到着すると、メモリアドレ
ス発生器はそれがプログラムされている回数、キャッシ
ュメモリ内に格納されている命令を繰り返す。このこと
は、バス638上にアドレスを発生させることを方眼紙
、該アドレスはキャッシュメモリをして命令を双方向バ
ス636上をRAMデータデコーダ604内へ送らせる
。該ループの期間中、RAMデータデコーダはバス60
2上の命令ではなく、バス636上に到着する命令をデ
コードする。然し乍ら、1つの付加的なワードがバス6
02を介してピンメモリからRAMデータデコーダ60
4内へアクセスされ、且つそこからバス610を介して
メモリアドレス発生器608内へアクセスされる。
こカワードは80ビツトを有しており、最初と最後の命
令及び該プログラム内の次のループに対する繰返し回数
を命令する為に使用される。この命令は、RAMデーダ
デコーダがキャッシュメモリ内の命令から離れて動作す
る間にアクセスすることが可能であるので、それはプロ
グラムに対して「透明」であり、即ち、それはその特定
のチャンネルのタイミングに影響を与えることは無い。
このことは、該命令がテストを実行する為の命令と同一
のメモリ内における順番であっても、該当する。
ループサイクルが十分に長く、従ってピンRAM内に格
納されるデータがメモリのリフレッシュ動作が欠乏する
為に喪失されるかも知れない場合、メモリアドレス発生
器608内のリフレッシュカウンタが起動されて、「ダ
ミー」アドレスを発生し、それはピンRAMをリフレッ
シュする為に使用される。これらのダミーアドレスは、
そのデータをリフレッシュする為にピンRAM内の「水
平」行の各々をアドレスする。最小リフレッシュ時間が
4ミリ秒で1,024個の「水平」行を持ったピンRA
Mにおいて、データの有効性を保証する為にはラインの
各々は約4マイクロ秒毎にアドレスされねばならない。
従って、ループサイクルが4マイクロ秒の長さに近づく
と、リフレッシュカウンタが起動される。より短いルー
プの場合、リフレッシュ機能を実行することは必要では
ない。
このリフレッシュサイクルは又、ピンRAMにおいてデ
ータの喪失を回避する為に長井ホールドオフサイクルの
期間中に使用される。
更に注意すべきことであるが、長さが制限されないルー
プを使用することが可能であるが、そのループに必要と
される命令数はキャッシュメモリには適合しない、この
場合には、キャッシュメモリ内の命令数が無くなりピン
RAM内の命令へ復帰してループを完了する迄、RAM
データデコーダはキャッシュメモリからランする。この
ことは、DRAMのサイクル時間が長い為に起こること
の、自炊の命令へ瞬時にアクセスすることの必要性、及
び次のループに対するサイクル数及びアドレスをフェッ
チし且つロードするための必要な時間を与えることの問
題を解消している。
サイクル内の次のループに対する開始アドレスに到着す
ると、これらの命令は、ループ内の最後の命令に到達し
、上述した処理が繰り返される迄、メモリアドレス発生
器608によってキャッシュメモリ内へロードされる。
所要のピンRAMの量を減少させる為の別の技術は1文
脈従属コード化を使用することである。
第5図の説明において、テスタの特定の命令を指名する
為に5ビツトパケツトの内3つのピットのみが使用され
ることを述べた。該パケットの他の残りの2ビツトは予
備ピットであり、それは、例えば、所望により、250
ピコ秒の分解能を与えるために使用することが可能であ
る。然し乍ら。
当業者によって容易に認識される如く、命令を指名する
のに3ビツトを使用することは8つの可能な命令を可能
とするに過ぎない。このことは、テスタの通常の動作を
可能とするのには少な過ぎる。
文脈従属コーディングはこの問題を解消するものである
表2は4つの可能なマシン状態の各々に対する0乃至7
とラベルを付した8つの可能な命令を示している。現在
迄のところ、UUTのピンの状態を言及してきた。テス
タの各チャンネルは独立的なテスタとして機能する。こ
れらのチャンネルの各々は、割り当てられた作業を実行
する有限の状態マシンを有している。有限状態マシンは
当業者等に公知であり、その説明は割愛する。然し乍ら
、ピン状態とマシン状態との間の混乱を回避する為に、
後者は大文字で表すこととする。即ち、例えば、DRI
VE状態である。表2において、いずれかの状態におい
て同一の命令数を持った命令は同一の二進コードを持っ
ている。即ち、二進0乃至二進7である。命令数及び二
進数の右側には、どの特定のコードがテスタによって中
断されたかを意味する説明である。種々の状態に対する
命令を比較すると分かるが、テスタのそのチャンネルが
現在いる状態に依存して異なった命令として同一の二進
コードが中断される。従って、テスタは命令をデコード
する場合にテスタ動作の文脈を利用する。例えば、二進
コードroOOJを持った命令番号0は、高インピーダ
ンス状態のいて「DRIVE状態へ移行」することを意
味し、この命令は何部意味をなさない。DRIVE状態
において、同一の命令二進「000」は「高入力をトグ
ルし且つDRIVE状態に留まる」ことを意味する。従
って、この文脈従属コーディングは、テスタのそのチャ
ンネルの状態を、実際上、該コードの一部として使用す
ることによって、特定の命令を指定する為の減少したピ
ット数を与える。このことは、与えられた数の可能な命
令に対して必要とされるピット数を減少させる。例えば
、テスタがその各々が8つの可能な命令を持っている8
つの可能な状態を持っていると、64の可能な命令が存
在する。
メL礼 命令番号 二進コード    命令 高インピーダンス(HIZ)状態     2o   
 000  駆動状態へ移行 1   001  次のパケットはホールドオ  3フ
カウントを具備し、1目IZ 状態に維持         4 2    010   条件付ループ、低テスト、  
 5HIZ状態に維持 3   011−条件付ループ、高テスト、   6H
IZ状態に維持 4   100  条件付ループ、テスト無、   7
旧2状態を維持 5   101  低測定、測定状態にエンタ  06
   110  高測定、′/S定状態にエンタ  1
7    111   HIZ状態測定に移行    
  2駆動状態 o     ooo   高山カドグル、駆動状態を維
持            3 1   001  次のパケットはホールドオ  4フ
カウントを具備し、 )IIZ 状態に維持 010  条件付ループ、テスト無。
駆動状態維持 011   HIZ状態へ移行、トグル出出 100   旧2状態へ移行、出力不変110   H
IZ状態測定へ移行、トグル出力 110   )IIZ状態測定へ移行、出力不変 111  予備 測定状態 OoO遷移無しチェック 001 1遷移チエツク 010   次のパケットはホールドオフカウントを具
備し、測定 状態維持 011  条件付ループ 100   駆動状態へ移行 5    101   HIZ状態へ移行6    1
10   HIZ状態測定へ移行7   111  予
備 HIZ状態測定 0    000   )IIZ状態へ移行1    
001   駆動状態へ移行2   010  次のパ
ケットはホールドオフカウントを具備し、測定 状態維持 3   011  条件付ループ 4   100  予備 5   101  予備 6   110  予備 7   111  予備 これらの命令をコード化するのには、通常、5ビツト又
はパケット内の全てのピットを必要とする。本発明にお
いては、2つのピットはその他の目的の為に自由とされ
ており、例えばテスタを種々の状態へコマンドする能力
において何部ロスを発生すること無しに、より大きなタ
イミング分解能を提供している。
表2内の命令を表1内の二−モニックと比較すると分か
るが、正確な一致は存在しない。例えば。
表1における最初の命令はワード1、セグメントC、ピ
ット2−6、rGOLOWJで発生している。表2には
この様な命令は存在しない。何故ならば、テスタは、3
状態が使用されているという事実を利用しているからで
ある。このタイプの論理において、高インピーダンス出
力の起動は、ドライバ回路への入力をオーバーライド即
ち優越し、且つドライバ出力は高インピーダンス状態に
維持される。従って、ドライバは、その信号入力におけ
る信号に無関係に、高インピーダンス状態にある。表1
内に示したテストの開始前に、該チャンネルは高インピ
ーダンス状態へ移行し且つ低出力を供給すべくプログラ
ムされている。高インピーダンス状態が支配的となり且
つ出力は高インピーダンス値へ移行する。テスト内の最
初の命令、即ち出力が低へ移行すること、に到達すると
、使用される実際の命令は二進roOOJである。テス
タは高インピーダンス状態にあるので、この命令は「駆
動状態へ移行」として解釈される。テスタが高インピー
ダンス状態から出ると、オーバライドが取り消され、且
つドライバは該ピンを低へ駆動する。表1中の次の命令
は、テスタのチャンネルに対しての高インピーダンス状
態の測定することである。適切な命令に関し決定する前
に、テスタが駆動する次の時間を捜索する。このことは
、図示したテストシーケンスの最後において発生し且つ
テスタはこの時間に高へ駆動する。従って、次の命令二
進rloIJ  (命令番号5)を選択し、それはテス
タが高インピーダンス測定状態へ移動し且つ出力をトグ
ルする。これにより、テスタのこのチャンネルが駆動状
態へエンターする次の時期に出力を高状態とさせる0次
の命令は高インピーダンス状態に対する測定を停止し且
っテスタのチャンネルを高インピーダンス状態とさせる
。表2の高インピーダンス測定状態の欄を見ると分かる
が、最初の命令、即ち二進roOOJは、テスタを高イ
ンピーダンス状態とさせる。テストの次のフェーズは、
UUTが駆動することが予定され且つ1が予定される。
従って、そのチャンネルに対するピン上に関するUUT
の出力によって与えられる高を測定を開始することが望
まれる。高インピーダンス状態にあるので、可能性のあ
る命令を探し、そこで、命令番号6、即ち二進rllO
Jが「高を測定し且つ測定状態をエンター」であること
が分かる。この測定を行うに必要な期間の終ねりに、再
度、高インピーダンス状態をエンターして不確定性期間
を受け入れる。現在は測定状態にあるので、可能性のあ
る命令をテーブルで探し且つ命令番号5がチャンネルを
、再度、高インピーダンス状態とさせることが分かる。
テストの次のフェーズはテスタのそのチャンネルに対し
て高インピーダンス出力に対しての測定を行うことであ
る。高インピーダンス状態にはないので、命令番号7が
高インピーダンス測定出力状態とさせることが分かる。
最後に、テスタのそのチャンネルはUUTを高へ駆動せ
ねばならず、それは命令番号2の高インピーダンス測定
状態である「駆動状態へ移行」によって達成される。出
力状態をトグルすることによって命令番号2でドライバ
を高出力状態とさせたことを思い起こすと、駆動状態に
エンターするや否や出力は自動的に高となる。
以上、本発明の具体的実施の態様に付いて詳細に説明し
たが、本発明はこれら具体例にのみ限定されるべきもの
では無く、本発明の技術的範囲を逸脱すること無しに種
々の変形が可能であることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の資源共用システムのブロック線図、第2
図は本発明に基づくシステムの1実施例のブロック線図
、第3図は第2図に示した本発明に元図区チャンネル制
御回路の詳細なブロック線図、第4図は第3図に示した
RAMデータデコーダのブロック線図、第5図は本発明
に基づくテスタの1つのピンに関する典型的なテストシ
ーケンスを示したタイミング線図、第6図はキャッシュ
メモリを包含するチャンネル制御回路のブロック線図、
である。 (符号の説明) 200 :機能テスタ 202:中央プロセサ 206:クロック発生器 210.212,214:ピンRAM 224.230,236:チャンネル制御器2381.
252,266:ピンエレクトロニクス 238:テスト中のユニット(UUT)特許出願人  
  フェアチャイルド セミコンダクタ コーポレーシ
ョ ン ヒ”?RM朽                  ピ
ンRA−へ11トピンへ 手続補正書(オj′:) 昭和62年6月1111日 特許庁長官  黒 1)明 雄 殿 1、事件の表示   昭和61年 特 許 願 第29
5048号3、補正をする者 事件との関係   特許出願人 4、代理人 5、補正命令の日付

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、電子回路をテストする装置において、複数個のテス
    タチャンネルを持っており、各チャンネルが、テスト中
    のユニットのテスト点と接触する為のテストピン手段、
    前記ピンの動作状態を制御する為に前記ピンに接続され
    ているチャンネル制御回路手段、前記チャンネル制御回
    路の動作シーケンスを指示するテスト命令を格納するピ
    ンメモリ回路手段、を有しており、前記ピンメモリ回路
    手段はそのチャンネルに対して新たなテスト命令が必要
    とされる解きにのみ前記チャンネル制御回路手段によっ
    て制御されて前記ピンメモリ手段を次のアドレスへサイ
    クルさせることを特徴とする装置。 2、特許請求の範囲第1項において、チャンネル制御回
    路手段は、前記ピンを所定の信号で駆動する為のピンド
    ライバ、前記テスト点からデータを受け取る為のデータ
    受取器、を有することを特徴とする装置。 3、特許請求の範囲第2項において、前記ピンドライバ
    回路は3状態論理回路であり、前記チャンネル制御回路
    が前記テスト点からデータを受け取るべく指示された時
    に高インピーダンス出力状態が選択されることを特徴と
    する装置。 4、特許請求の範囲第2項において、各チャンネル制御
    回路へ供給されるクロック信号を発生するクロック発生
    回路手段を有しており、各チャンネル制御回路は、所要
    の場合に、前記クロック信号と同期して前記メモリをサ
    イクル動作させることを特徴とする装置。 5、特許請求の範囲第4項において、前記クロック発生
    器は本装置の動作を制御する中央処理装置に接続されて
    おり、前記中央処理装置は前記クロック発生器回路を制
    御してすべてのチャンネルに対してテストシーケンスを
    開始させる信号を発生することを特徴とする装置。 6、特許請求の範囲第1項において、各ピンメモリ回路
    手段はランダムアクセスメモリ(RAM)であることを
    特徴とする装置。 7、特許請求の範囲第6項において、各ピンメモリ回路
    手段はダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM
    )であることを特徴とする装置。 8、特許請求の範囲第7項において、前記ピンメモリ手
    段の寸法は各チャンネルに対して同一ではないことを特
    徴とする装置。 9、特許請求の範囲第2項において、前記テストピンは
    デジタル信号で駆動され且つ前記受け取ったデータはデ
    ジタル信号であることを特徴とする装置。 10、各チャンネル内においてテスト中のユニットのテ
    スト点と接触する為のテストピン及び前記テストピンの
    動作状態を決定する命令を格納するピンメモリ回路を持
    った電子回路に対するマルチチャンネルテスタを動作さ
    せる方法において、そのチャンネルの動作状態を変化さ
    せる為に新たなテスト命令が必要とされる場合にのみ前
    記ピンメモリ回路を次のアドレスへサイクル動作させる
    ことを特徴とする方法。 11、特許請求の範囲第10項において、前記動作状態
    は、前記ピンを所定の信号で駆動すること、及び前記テ
    スト点からデータを受け取ることを包含することを特徴
    とする方法。 12、特許請求の範囲第11項において、クロック信号
    を発生し、所要の場合に前記クロック信号と同期して前
    記メモリ回路をサイクル動作させることを特徴とする方
    法。 13、特許請求の範囲第12項において、すべてのチャ
    ンネルに対してテストシーケンスを開始させ且つすべて
    のチャンネルに対して前記テストシーケンスを停止させ
    る信号を発生することを特徴とする方法。 14、特許請求の範囲第13項において、前記所定の信
    号及び前記受け取ったデータはデジタル信号であること
    を特徴とする方法。 15、各々チャンネルにおいてテスト中のユニットのテ
    スト点と接触する為のテストピン及び前記テストピンの
    動作状態を決定する命令を格納するピンメモリ回路を持
    った電子回路用のマルチチャンネルテスタ用のチャンネ
    ル制御回路において、前記チャンネル制御回路は前記テ
    ストピン及び前記ピンメモリ回路の出力との間に接続さ
    れており、且つ前記ピンメモリの出力に接続されており
    前記出力に表れる命令をデコードする手段、前記デコー
    ドする手段に接続されており前記デコードする手段から
    の制御信号に応答して前記ピンの動作状態を制御する手
    段、前記デコードする手段に接続されており前記ピンメ
    モリ内に次の命令のアドレスを発生する手段、を有して
    おり、前記アドレス発生器は、そのチャンネルの動作状
    態を変化させる為に新たな命令が必要な場合にのみ前記
    次のアドレスへ前記メモリをサイクル動作させることを
    特徴とする回路。 16、特許請求の範囲第15項において、前記ピン制御
    手段は、前記ピンを所定の信号で駆動するピンドライバ
    、及び前記テスト点からのデータを受け取るデータ受取
    器、を有することを特徴とする回路。 17、特許請求の範囲第16項において、前記ピンドラ
    イバ回路は3状態論理回路であり、前記チャンネル制御
    回路が前記テスト点からデータを受け取るべく指示され
    る場合に高インピーダンス出力状態に選択されることを
    特徴とする回路。 18、特許請求の範囲第15項において、前記メモリア
    ドレス発生器は、前記テスタのすべてのチャンネルに共
    通なクロック信号と同期して前記メモリをサイクル動作
    させることを特徴とする回路。 19、特許請求の範囲第18項において、前記デコーダ
    及びピン制御器は前記クロック信号と同期して動作する
    ことを特徴とする回路。 20、特許請求の範囲第19項において、前記デコーダ
    及び前記アドレス発生器は開始/停止信号に応答し、該
    開始/停止信号は前記開始/停止信号と同期して前記ピ
    ンメモリ内の一連のテスト命令からなるテストシーケン
    スを開始させ且つ前記テスタの全てのチャンネルにおい
    て前記開始/停止信号と同期して前記テストシーケンス
    を停止させることを特徴とする回路。 21、特許請求の範囲第20項において、前記ピンメモ
    リはダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)
    回路であることを特徴とする回路。 22、特許請求の範囲第19項において、前記クロック
    信号の周波数は実質的に100MHzであることを特徴
    とする回路。 23、各チャンネルにおいてテスト中のユニットのテス
    ト点と接触する為のテストピン及び前記テストピンの動
    作状態を決定するテスト命令を格納するピンメモリ回路
    を持った電子回路用のマルチチャンネルテスタ用のチャ
    ンネル制御回路において、前記チャンネル制御回路は前
    記テストピンと前記ピンメモリ回路の出力との間に接続
    されており、且つ前記ピンメモリの出力に応答し前記テ
    ストピンの現在の動作状態と前記ピンの次の動作状態と
    の間を所望の間隔でタイミングを取るプログラム可能な
    タイミング手段、前記タイミング手段に接続されており
    前記ピンメモリ内に次の命令のアドレスを発生する手段
    、を有しており、前記メモリは前記プログラムした時間
    の終わりにおける前記次のアドレスへサイクル動作され
    ることを特徴とする回路。 24、特許請求の範囲第23項において、前記チャンネ
    ル制御回路が、前記ピンを所定の信号で駆動するピンド
    ライバ、前記テスト点からのデータを受け取る為のデー
    タ受け取り器、を有することを特徴とする回路。 25、特許請求の範囲第24項において、前記ピンドラ
    イバ回路は3状態論理回路であって、高インピーダンス
    出力状態は前記チャンネル制御回路が前記テスト点から
    データを受け取るべく指示される解きに選択されること
    を特徴とする回路。 26、特許請求の範囲第23項において、前記メモリア
    ドレス発生器は、前記テスタの全てのチャンネルに共通
    なクロック信号と同期して前記メモリをサイクル動作さ
    せることを特徴とする回路。 27、特許請求の範囲第26項において、前記チャンネ
    ル制御回路は、前記ピンメモリの出力に接続されており
    前記出力に表れる命令をデコードするデコーダ及び前記
    デコーダからの制御信号に応答して前記ピンの動作状態
    を制御するピン制御器を有しており、前記デコーダ及び
    ピン制御器は前記クロック信号に同期して動作すること
    を特徴とする回路。 28、特許請求の範囲第27項において、前記デコーダ
    及び前記アドレス発生器は開始/停止信号に応答し、該
    開始/停止信号は前記開始/停止信号と同期して前記ピ
    ンメモリ内の一連のテスト命令からなるテストシーケン
    スを開始させ且つ前記テスタの全てのチャンネルにおい
    て前記開始/停止信号に同期して前記テストシーケンス
    を停止させることを特徴とする回路。 29、特許請求の範囲第23項において、前記ピンメモ
    リはダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)
    であることを特徴とする回路。 30、特許請求の範囲第27項において、前記クロック
    信号の周波数は実質的に100MHzであることを特徴
    とする回路。 31、各々のチャンネルにおいてテスト中のユニットの
    テスト点と接触するテストピン及び前記テストピンの動
    作状態を決定するテスト命令を格納するピンメモリ回路
    を持った電子回路用のマルチチャンネルテスタを動作さ
    せる方法において、チャンネル制御回路が前記テストピ
    ンと前記ピンメモリ回路の出力との間に接続されており
    、前記テストピンの現在の動作状態と前記ピンの次の動
    作状態との間に所望の間隔を計時する為に前記ピンメモ
    リ回路の前記出力に表れる命令を使用してタイマをプロ
    グラムし、前記テストピンの前記次の動作状態に対する
    新たなテスト命令に対する次のアドレスへ前記ピンメモ
    リ回路をサイクル動作させることを特徴とする方法。 32、特許請求の範囲第31項において、前記動作状態
    は、前記ピンを所定の信号で駆動すること、及び前記テ
    スト点からデータを受け取ることを包含することを特徴
    とする方法。 33、特許請求の範囲第32項において、前記ピンはピ
    ンドライバ回路によって駆動され、且つ前記チャンネル
    制御回路が前記テスト点からデータを受け取るべく指示
    された時に前記ピンドライバ回路を高インピーダンス状
    態とさせることを特徴とする方法。 34、特許請求の範囲第31項において、前記メモリは
    前記テスタの全てのチャンネルに対して共通なクロック
    信号と同期してサイクル動作されることを特徴とする方
    法。 35、特許請求の範囲第34項において、前記デコーダ
    及びピン制御器は前記クロック信号と同期して動作する
    ことを特徴とする方法。 36、特許請求の範囲第35項において、開始/停止信
    号は前記同期信号と同期して前記ピンメモリ内の一連の
    テスト命令からなるテストシーケンスを開始させ且つ前
    記テスタの全てのチャンネルにおいて前記同期信号と同
    期して前記テストシーケンスを停止させることを特徴と
    する回路。 37、電子回路をテストする装置において、複数個のテ
    スタチャンネルを持っており、各チャンネルが、テスト
    中のユニットのテスト点と接触する為のテストピン手段
    、前記テストピンの動作状態を指示するテスト命令を格
    納するピンメモリ回路手段、前記ピンと前記ピンメモリ
    手段の出力との間に接続されており前記ピンメモリ出力
    に表れるテスト命令に応答して前記ピンの動作状態を制
    御するチャンネル制御回路手段であって前記テストピン
    の現在の動作状態と前記ピンの次の動作状態との間に所
    望の間隔を掲示する為に前記ピンメモリ手段出力に表れ
    る命令に応答するプログラム可能なタイマー手段を具備
    するチャンネル制御回路手段、前記タイミング手段に接
    続されており前記ピンメモリ手段なの次の命令のアドレ
    スを発生させる手段、を有しており、前記メモリは前記
    プログラムした時間の終わりに次のアドレスへサイクル
    動作させることを特徴とする回路。 38、特許請求の範囲第37項において、前記チャンネ
    ル制御回路手段は、前記ピンを所定の信号で駆動する為
    のピンドライバ、前記テスト点からデータを受け取る為
    のデータレシーバ、を有することを特徴とする回路。 39、特許請求の範囲第38項において、前記ピンドラ
    イバ回路は3状態論理回路であって、高インピーダンス
    出力状態は前記チャンネル制御回路が前記テスト点から
    データを受け取ることを指示された時に選択されること
    を特徴とする回路。 40、特許請求の範囲第37項において、前記メモリア
    ドレス発生器は前記テスタの全てのチャンネルに共通な
    クロック信号と同期して前記ピンメモリ手段をサイクル
    動作させることを特徴とする回路。 41、特許請求の範囲第40項において、前記チャンネ
    ル制御回路は、前記ピンメモリの出力に接続されており
    前記出力に表れる命令をデコードする為のデコーダ及び
    前記デコーダからの制御信号に応答して前記ピンの動作
    状態を制御する為のピン制御器、を有しており、前記デ
    コーダ及びピン制御器は前記クロック信号と同期して動
    作することを特徴とする回路。 42、特許請求の範囲第41項において、前記デコーダ
    及び前記アドレス発生器は同期信号に応答し、該同期信
    号は前記同期信号と同期して前記ピンメモリ内の一連の
    テスト命令からなるテストシーケンスを開始させ且つ前
    記テスタの全てのチャンネルにおいて前記開始/停止信
    号と同期して前記テストシーケンスを停止させることを
    特徴とする回路。 43、特許請求の範囲第37項において、前記ピンメモ
    リ手段はダイナミックランダムアクセスメモリ(DRA
    M)であることを特徴とする回路。 44、特許請求の範囲第41項において、前記クロック
    信号の周波数は実質的に100MHzであることを特徴
    とする回路。 45、特許請求の範囲第37項において、前記ピンメモ
    リ手段の出力を並列形式から直列形式へ変換させる手段
    を有しており、前記プログラム可能なタイミング手段に
    接続されるピット列を発生させることを特徴とする回路
    。 46、複数個のテスタチャンネルを持った電子回路をテ
    ストする装置用のメモリ回路において、各チャンネルは
    前記夫々のメモリ回路内に格納されている一連のテスト
    命令に応答して前記チャンネルの動作状態を制御する為
    のチャンネル制御回路を持っており、前記メモリ回路は
    、前記テスト命令を格納する為のダイナミックランダム
    アクセスメモリ(DRAM)回路手段、前記DRAM回
    路及び前記チャンネル制御回路へ接続されており前記D
    RAM回路からのテスト命令のシーケンスの一部を可能
    する為のキャッシュメモリ回路手段、を有しており、前
    記チャンネル制御回路は前記DRAM回路をリフレッシ
    ュする一方前記キャッシュメモリ手段内に格納されるテ
    スト命令から前記チャンネルの動作を制御し、その際に
    前記テスト命令のシーケンスにおいて逆ループを許容す
    ることを特徴とする回路。 47、特許請求の範囲第46項において、前記DRAM
    回路は該メモリの行をアドレスすることによってリフレ
    ッシュされることを特徴とする回路。 48、特許請求の範囲第46項において、前記DRAM
    回路は、そのチャンネルに対して新たなテスト命令が必
    要とされる時にのみサイクル動作されることを特徴とす
    る回路。 49、複数個のチャンネルを持った電子回路用のマルチ
    チャンネルテスタを動作させる方法において、各チャン
    ネルは夫々のダイナミックランダムアクセスメモリ(D
    RAM)回路内に格納されているテスト命令のシーケン
    スに応答して前記チャンネルの動作状態を制御するチャ
    ンネル制御回路を持っており、前記方法は前記テスト命
    令のシーケンスにおいて逆ループを可能とさせるもので
    あって、前記DRAMからのテスト命令のシーケンスの
    一部をキャッシュメモリ回路内に格納し、前記キャッシ
    ュメモリ内のテスト命令から前記チャンネルを動作し一
    方同時的に前記DRAM回路をリフレッシュさせること
    を特徴とする方法。 50、特許請求の範囲第49項において、前記リフレッ
    シュするステップが前記DRAMメモリの1行をアドレ
    スすることを包含することを特徴とする方法。 51、特許請求の範囲第49項において、前記DRAM
    回路は、そのチャンネルの動作状態を変化させる為に新
    たなテスト命令が必要とされる場合にのみ次のアドレス
    へサイクル動作されることを特徴とする方法。 52、電子回路用のマルチチャンネルテスタを動作する
    方法において、各チャンネルはメモリ回路内に格納され
    ているテスト命令のシーケンスによって制御されるもの
    であって、新たなテスト命令を得る為に次のアドレスへ
    前記メモリをサイクル動作させ、前記新たなテスト命令
    をデコードしてチャンネルによって次の動作状態を決定
    し、前記デコード動作はそのチャンネルの現在の動作状
    態に依存することを特徴とする方法。 53、電子回路用のマルチチャンネルテスタにおいて、
    各チャンネルはメモリ回路内に格納されるテスト命令の
    シーケンスによって制御されるものであって、新たなテ
    スト命令を得る為に次のアドレスへ前記メモリをサイク
    ル動作させる手段、チャンネルによって次の動作状態を
    決定する為に前記新たなテスト命令をデコードする手段
    、を有しており、前記デコード動作はそのチャンネルの
    現在の動作状態に依存することを特徴とするマルチチャ
    ンネルテスタ。
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