JPS6226741A - カラ−陰極線管の螢光面形成方法 - Google Patents
カラ−陰極線管の螢光面形成方法Info
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- JPS6226741A JPS6226741A JP16632785A JP16632785A JPS6226741A JP S6226741 A JPS6226741 A JP S6226741A JP 16632785 A JP16632785 A JP 16632785A JP 16632785 A JP16632785 A JP 16632785A JP S6226741 A JPS6226741 A JP S6226741A
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、カラー陰極線管の螢光面形成方法、特にその
光吸収領域の形成方法に関する。
光吸収領域の形成方法に関する。
本発明は、ブラックマトリックス方式のカラー陰極線管
の螢光面形成方法において、相反則不軌特性を有する感
光剤による所定パターンのレジスト層とその一ヒの光吸
収物質層を除去するに際し、光吸収物質層の表面に水を
噴霧し、次で注水処理してから、反転剤を注入するごと
によって、光吸収物質層の剥離を生せしめることなく、
且つ反転剤の注入跡むらをなくして高精度の光吸収領域
を形成するようにしたものである。
の螢光面形成方法において、相反則不軌特性を有する感
光剤による所定パターンのレジスト層とその一ヒの光吸
収物質層を除去するに際し、光吸収物質層の表面に水を
噴霧し、次で注水処理してから、反転剤を注入するごと
によって、光吸収物質層の剥離を生せしめることなく、
且つ反転剤の注入跡むらをなくして高精度の光吸収領域
を形成するようにしたものである。
ブラックマトリックス方式のカラー陰極線管における螢
光面は次のようにして形成される。先ず、陰極線管のパ
ネル内面に感光外股を塗布し、乾燥後、色選択電極又は
所要の光学用マスクを用いて露光し、水洗等で現像処理
して爾後形成すべき赤、縁及び青の螢光体層に対応した
位置に感光性レジスト層を形成する。次にこのレジスト
層を含む全面にカーボンスラリーを塗布し、乾燥後、反
転剤を注入してレジスト層をエツチングするごとにより
、その上のカーボン層を除去して光吸収領域を形成する
。しかる後、例えば緑色の螢光体スラリーを塗布し、乾
燥後、色選択電極又は所定の光学用マスクを介して露光
し、現像処理して光吸収領域の形成されない所定部分に
緑色螢光体層を形成し、以ド同様にして夫々他の光吸収
領域の形成されない部分に青色及び赤色螢光体層を形成
してブラックマドリンクのカラー螢光面が形成される。
光面は次のようにして形成される。先ず、陰極線管のパ
ネル内面に感光外股を塗布し、乾燥後、色選択電極又は
所要の光学用マスクを用いて露光し、水洗等で現像処理
して爾後形成すべき赤、縁及び青の螢光体層に対応した
位置に感光性レジスト層を形成する。次にこのレジスト
層を含む全面にカーボンスラリーを塗布し、乾燥後、反
転剤を注入してレジスト層をエツチングするごとにより
、その上のカーボン層を除去して光吸収領域を形成する
。しかる後、例えば緑色の螢光体スラリーを塗布し、乾
燥後、色選択電極又は所定の光学用マスクを介して露光
し、現像処理して光吸収領域の形成されない所定部分に
緑色螢光体層を形成し、以ド同様にして夫々他の光吸収
領域の形成されない部分に青色及び赤色螢光体層を形成
してブラックマドリンクのカラー螢光面が形成される。
従来の感光性レジスト層はポリビニルアルコール（ＰＶ
Ａ）と宙クロム酸アンモニウム（Ａ Ｄ Ｃ）からなる
ＰＶＡ感光剤が用いられる。この場合の一反転剤は濃度
０．０１％８５１０ｇ溶液であり、カーボンスラリーは
アクアダック（商品名）を用いたカーボンスラリーが使
用される。この反転剤の注入に際しては、特願昭５１−
７７９５号に示されるようにカーボンスラリーを塗布し
、乾燥後、水を噴霧してから反転剤を注入している。こ
れはカーボンスラリーを塗布、乾燥後に直ちに反転剤を
注入するとカーボン層の剥離が発生ずるために、予めカ
ーボン乾燥面を湿潤させてから反転剤を注入するという
ものである。又、反転剤の注入跡むらに関しても、上記
のレジスト層と反転剤の組合せの場合は、水の噴霧のめ
の湿潤で充分であり、反転剤の注入跡むらは生じない。
Ａ）と宙クロム酸アンモニウム（Ａ Ｄ Ｃ）からなる
ＰＶＡ感光剤が用いられる。この場合の一反転剤は濃度
０．０１％８５１０ｇ溶液であり、カーボンスラリーは
アクアダック（商品名）を用いたカーボンスラリーが使
用される。この反転剤の注入に際しては、特願昭５１−
７７９５号に示されるようにカーボンスラリーを塗布し
、乾燥後、水を噴霧してから反転剤を注入している。こ
れはカーボンスラリーを塗布、乾燥後に直ちに反転剤を
注入するとカーボン層の剥離が発生ずるために、予めカ
ーボン乾燥面を湿潤させてから反転剤を注入するという
ものである。又、反転剤の注入跡むらに関しても、上記
のレジスト層と反転剤の組合せの場合は、水の噴霧のめ
の湿潤で充分であり、反転剤の注入跡むらは生じない。
近年、カラー陰極線管においては、カラー螢光面の超微
細ピンチ化が進められている。この超微細ピッチのカラ
ー螢光面の形成に一部使用される感光性レジスＨｍとし
ては相反則不軌特性を有する感光剤例えばポリビニルピ
ロリドン（ＰＶＰ）と４，４′−ジアジスチルベン−２
，２′ −ジスルホン酸ナトリウム（ＤＡＳ）からな
るＰＶＰ感光剤が注目されている。ごのＰＶＰレジスＭ
Ｗの反転剤は濃度４．９％！＋２０２ ＋スルファミン
［１２％の溶液であり、カーボンスラリーは例えばヒタ
ゾルＧＡ−６６Ｍ（商品名）が用いられる。ところで、
この反転剤はＰＶＰレジスＩ−１５に対するエツチング
が強力であるために、反転剤注入前の湿潤が水の噴霧の
みでは反転剤の注入跡むらが生じてしまう。すなわち、
反転剤注入に際して、第２図に示すようにパネル（１）
内に反転剤が最初に注入される部分（２２）と、後に拡
がる部分（２３）との間にエツチング量の差が生じ、そ
の境界線（２４）が注入跡むらとして現れる。
細ピンチ化が進められている。この超微細ピッチのカラ
ー螢光面の形成に一部使用される感光性レジスＨｍとし
ては相反則不軌特性を有する感光剤例えばポリビニルピ
ロリドン（ＰＶＰ）と４，４′−ジアジスチルベン−２
，２′ −ジスルホン酸ナトリウム（ＤＡＳ）からな
るＰＶＰ感光剤が注目されている。ごのＰＶＰレジスＭ
Ｗの反転剤は濃度４．９％！＋２０２ ＋スルファミン
［１２％の溶液であり、カーボンスラリーは例えばヒタ
ゾルＧＡ−６６Ｍ（商品名）が用いられる。ところで、
この反転剤はＰＶＰレジスＩ−１５に対するエツチング
が強力であるために、反転剤注入前の湿潤が水の噴霧の
みでは反転剤の注入跡むらが生じてしまう。すなわち、
反転剤注入に際して、第２図に示すようにパネル（１）
内に反転剤が最初に注入される部分（２２）と、後に拡
がる部分（２３）との間にエツチング量の差が生じ、そ
の境界線（２４）が注入跡むらとして現れる。
一方、特公昭５９−２２３４０号において、反転剤の注
入前にノズルより水を注入することによって反転剤の注
入跡むらを防止する方法が示されている。
入前にノズルより水を注入することによって反転剤の注
入跡むらを防止する方法が示されている。
しかし、実際には、このようにカーボン乾燥面に直接ノ
ズルより水を注入した場合にはカーボン層の剥離が生・
し、全面に均一な光吸収領域を形成することが困難であ
る。
ズルより水を注入した場合にはカーボン層の剥離が生・
し、全面に均一な光吸収領域を形成することが困難であ
る。
本発明は、上述の点に鑑み、カラー螢光面における光吸
収領域の形成において、特に感光性レジストとして相反
則不軌特性を有する感光剤を用いた場合の反転剤の注入
跡むらを防１トし、且つカーボン層の剥離も防止し°ζ
全面均一な光吸収領域を形成できるようにしたカラー陰
極線管の螢光面形成方法を提供するものである。
収領域の形成において、特に感光性レジストとして相反
則不軌特性を有する感光剤を用いた場合の反転剤の注入
跡むらを防１トし、且つカーボン層の剥離も防止し°ζ
全面均一な光吸収領域を形成できるようにしたカラー陰
極線管の螢光面形成方法を提供するものである。
本発明は、パネル（１）の内面に相反則不軌特性を有す
る感光剤による所定パターンのレジスト層（２）を形成
して後、このレジスＩ・１ｍ （２１を含んで全曲に光
吸収物質層（３）を塗布形成する。次に、乾燥後、光吸
収物質１ｉｙｊ （３＋の表面に一耳水（５）を噴霧し
てから水（７）を注入して湿潤させる。次で、反転剤（
９）を注入して、レジスト！！ ＋２１をエツチングし
、レジスト層（２）と共に、その上の光吸収物質層（３
）を除去して所定パターンの光吸収領域（１１）を形成
する。その後は第１色螢光体スラリーを塗布し、色選択
電極又は所定の光学マスクを介して露光し・現像処理し
て第１色螢光体層を形成し、以上同様にして第２色及び
第３色の螢光体層を形成して１」的のブラックマトリッ
クス方式のカラー螢光面を形成する。
る感光剤による所定パターンのレジスト層（２）を形成
して後、このレジスＩ・１ｍ （２１を含んで全曲に光
吸収物質層（３）を塗布形成する。次に、乾燥後、光吸
収物質１ｉｙｊ （３＋の表面に一耳水（５）を噴霧し
てから水（７）を注入して湿潤させる。次で、反転剤（
９）を注入して、レジスト！！ ＋２１をエツチングし
、レジスト層（２）と共に、その上の光吸収物質層（３
）を除去して所定パターンの光吸収領域（１１）を形成
する。その後は第１色螢光体スラリーを塗布し、色選択
電極又は所定の光学マスクを介して露光し・現像処理し
て第１色螢光体層を形成し、以上同様にして第２色及び
第３色の螢光体層を形成して１」的のブラックマトリッ
クス方式のカラー螢光面を形成する。
上記の相反則不軌特性をもつ感光剤としては例えばＰＶ
ＰとＤＡＳからなる感光剤を用い得る。
ＰとＤＡＳからなる感光剤を用い得る。
反転剤としでは、例えば過酸化水素（１１２０２）とス
ルファミン酸を含む溶液、過酸化水素（＋１２０２ ＞
と硫酸を含む溶液又は次亜塩素酸ナトリウム溶液等を用
い得る。カーボンスラリーとしては、ピタゾルＯＡ−６
６Ｍ（商品名）、アクアダック（商品名）等によるカー
ボンスラリーを用い得る。
ルファミン酸を含む溶液、過酸化水素（＋１２０２ ＞
と硫酸を含む溶液又は次亜塩素酸ナトリウム溶液等を用
い得る。カーボンスラリーとしては、ピタゾルＯＡ−６
６Ｍ（商品名）、アクアダック（商品名）等によるカー
ボンスラリーを用い得る。
光吸収物質層の反転現像に際し、予め水（５）を噴霧し
てから水（７）を注入し、次いで反転剤（９）を注入す
るごとにより、注入直後の反転剤（９）の濃度が下がり
、レジストＨに対するエツチングの進行が遅れて徐々に
均一にエツチングが進行する。従って注入跡むらが生じ
ないで均一な光吸収領域（１１）が形成される。又、予
め水（５）を噴霧することにより、光吸収物質層（３）
の表面が湿気を帯び、その後に注入される水（７）、反
転剤（９）がなじみ易くなり、光吸収物質層（３）を一
様に浸透し、必要部分の光吸収物質層を剥離することが
ない。
てから水（７）を注入し、次いで反転剤（９）を注入す
るごとにより、注入直後の反転剤（９）の濃度が下がり
、レジストＨに対するエツチングの進行が遅れて徐々に
均一にエツチングが進行する。従って注入跡むらが生じ
ないで均一な光吸収領域（１１）が形成される。又、予
め水（５）を噴霧することにより、光吸収物質層（３）
の表面が湿気を帯び、その後に注入される水（７）、反
転剤（９）がなじみ易くなり、光吸収物質層（３）を一
様に浸透し、必要部分の光吸収物質層を剥離することが
ない。
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する
。
。
先ず第１図Ａに示すように回転支持部（１０）に支持し
たパネル（１）の内面に相反則不軌特性を有する感光股
部ちＰＶＰ感光ｆｆＱ（ＰＶＰとＤＡＳからなる）を塗
布し、乾燥後、色選択電極又は所要の光学用マスクを用
いて露光し、水洗等で現像処理して爾後形成すべき赤、
緑及び青の螢光体ストライプに対応した位置にストライ
プ状の感光性レジスｌ−）ｉ！ｉ （２＋を形成する。
たパネル（１）の内面に相反則不軌特性を有する感光股
部ちＰＶＰ感光ｆｆＱ（ＰＶＰとＤＡＳからなる）を塗
布し、乾燥後、色選択電極又は所要の光学用マスクを用
いて露光し、水洗等で現像処理して爾後形成すべき赤、
緑及び青の螢光体ストライプに対応した位置にストライ
プ状の感光性レジスｌ−）ｉ！ｉ （２＋を形成する。
次いで全面に例えばヒタゾルＧＡ−６６Ｍ（商品名）を
用いたカーボンスラリーを塗布し、乾燥してカーボン層
（３）を形成する。
用いたカーボンスラリーを塗布し、乾燥してカーボン層
（３）を形成する。
次に、第１図Ｂに示すようにパネル（１）を所定速度で
回転させながら、カーボン層（３）の表面全面にスプレ
ーガン（４）等により水（５）を噴霧させて微粒状の水
滴を付着させる。このときカーボンＭ（３）の表面は湿
気を帯びる。
回転させながら、カーボン層（３）の表面全面にスプレ
ーガン（４）等により水（５）を噴霧させて微粒状の水
滴を付着させる。このときカーボンＭ（３）の表面は湿
気を帯びる。
次に第１図Ｃに示すようにパネルを回転させながらパネ
ル（１）内にノズル（６）より純水（７）を注入してカ
ーボン層（３）の全面を湿潤させる。
ル（１）内にノズル（６）より純水（７）を注入してカ
ーボン層（３）の全面を湿潤させる。
次に第１図りに示すようにパネル（１）を回転させなが
らパネル（１）内にノズル（８）より例えば■２０２と
スルファミン酸を含む溶液による反転剤（９）を注入し
てレジスト層（２）をエツチングし、レジスト層（２）
とその上のカーボン層（３）を除去して所要のカーボン
ストライプ（１１）を形成する（第１図Ｅ参照）。
らパネル（１）内にノズル（８）より例えば■２０２と
スルファミン酸を含む溶液による反転剤（９）を注入し
てレジスト層（２）をエツチングし、レジスト層（２）
とその上のカーボン層（３）を除去して所要のカーボン
ストライプ（１１）を形成する（第１図Ｅ参照）。
以上の工程の後、図丞せざるも通電の工程を経て赤、緑
、青の各色蛍光体ストライブを形成して目的のブラック
マトリックス型のカラー螢光面を得る。
、青の各色蛍光体ストライブを形成して目的のブラック
マトリックス型のカラー螢光面を得る。
このように、反転剤（９）の注入に際し、先ず水（５）
を噴霧してから水（７）を注入し、次いで反転剤（９）
を注入することにより、ＰＶＰレジスト１１！！ｉ＋２
１のエツチングが徐々に均一に進行し、注入跡むらを防
止することができる。また予め水（５）を噴霧すること
によってその後に注入される水（７）及び反転剤（９）
が一様にカーボン層（３）に？３Ｊ：透し、必要部分の
カーボンｌ’＊ （３１を剥離することがない。従って
、超微細ピッチの場合も、面積むらのない高精度のカー
ボンストライプ（１１）が得られ、画面全体に均一なカ
ラー螢光面が得られる。
を噴霧してから水（７）を注入し、次いで反転剤（９）
を注入することにより、ＰＶＰレジスト１１！！ｉ＋２
１のエツチングが徐々に均一に進行し、注入跡むらを防
止することができる。また予め水（５）を噴霧すること
によってその後に注入される水（７）及び反転剤（９）
が一様にカーボン層（３）に？３Ｊ：透し、必要部分の
カーボンｌ’＊ （３１を剥離することがない。従って
、超微細ピッチの場合も、面積むらのない高精度のカー
ボンストライプ（１１）が得られ、画面全体に均一なカ
ラー螢光面が得られる。
向、上側ではストライプ状のカラー螢光面の形成に通用
したが、ドツト状のカラー螢光面の形状にも通用できる
。
したが、ドツト状のカラー螢光面の形状にも通用できる
。
上述の如く本発明によれば、カラー螢光面の光吸収領域
の形成に於て、相反則不軌特性を有する感光剤による所
定パターンのレジスト１−とその上の光吸収物質層を除
去する際に、先ず光吸収物質層の表面に水を噴霧し、次
いで水を注入してから反転剤を注入するごとにより、必
要部分の光吸収物質層を剥離することなく、ｈつ反転剤
の注入跡むらを生ぜしめることなく、高精度に光吸収領
域を形成することができる。従って、本発明は、特に相
反則不軌特性を有する感光性レジストを使って超微粒ピ
ッチのブランクマトリックス型カラー螢光面を形成する
場合に適用して好適ならしめるものである。
の形成に於て、相反則不軌特性を有する感光剤による所
定パターンのレジスト１−とその上の光吸収物質層を除
去する際に、先ず光吸収物質層の表面に水を噴霧し、次
いで水を注入してから反転剤を注入するごとにより、必
要部分の光吸収物質層を剥離することなく、ｈつ反転剤
の注入跡むらを生ぜしめることなく、高精度に光吸収領
域を形成することができる。従って、本発明は、特に相
反則不軌特性を有する感光性レジストを使って超微粒ピ
ッチのブランクマトリックス型カラー螢光面を形成する
場合に適用して好適ならしめるものである。
し１面の簡単な説明
第１１３！ＩＡ−Ｅは本発明の螢光面形成方法の一例を
示す工程図、第２図は本発明の説明に供する反転剤の注
入跡の状態を示す平面図である。
示す工程図、第２図は本発明の説明に供する反転剤の注
入跡の状態を示す平面図である。
（１）はパネル、（２）は感光性レジスト層、（３）は
光吸収物質層、（５）は水の噴霧、（７）は水の注入、
（９）は反転剤、（１１）は光吸収領域である。
光吸収物質層、（５）は水の噴霧、（７）は水の注入、
（９）は反転剤、（１１）は光吸収領域である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 パネル内面に相反則不軌特性を有する感光剤による所定
パターンのレジスト層を形成して後、全面に光吸収物質
層を塗布する工程と、 該光吸収物質層の表面に水を噴霧してから注水処理する
工程と、 しかる後、反転剤を注入する工程を有することを特徴と
するカラー陰極線管の螢光面形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16632785A JPS6226741A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | カラ−陰極線管の螢光面形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16632785A JPS6226741A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | カラ−陰極線管の螢光面形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6226741A true JPS6226741A (ja) | 1987-02-04 |
Family
ID=15829301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16632785A Pending JPS6226741A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | カラ−陰極線管の螢光面形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6226741A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51142965A (en) * | 1975-06-04 | 1976-12-08 | Hitachi Ltd | Production method of fluorescent screen for color tv picture tubes |
| JPS5291369A (en) * | 1976-01-27 | 1977-08-01 | Sony Corp | Formation of light absorption region in color crt |
| JPS58218726A (ja) * | 1982-06-14 | 1983-12-20 | Toshiba Corp | ストライプ型ブラツクマトリツクスカラ−受像管の製造方法 |
-
1985
- 1985-07-26 JP JP16632785A patent/JPS6226741A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51142965A (en) * | 1975-06-04 | 1976-12-08 | Hitachi Ltd | Production method of fluorescent screen for color tv picture tubes |
| JPS5291369A (en) * | 1976-01-27 | 1977-08-01 | Sony Corp | Formation of light absorption region in color crt |
| JPS58218726A (ja) * | 1982-06-14 | 1983-12-20 | Toshiba Corp | ストライプ型ブラツクマトリツクスカラ−受像管の製造方法 |
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