JPS62264427A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPS62264427A JPS62264427A JP10791586A JP10791586A JPS62264427A JP S62264427 A JPS62264427 A JP S62264427A JP 10791586 A JP10791586 A JP 10791586A JP 10791586 A JP10791586 A JP 10791586A JP S62264427 A JPS62264427 A JP S62264427A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は６〃気記録媒体に関するもので、と（に磁気記
録層が薄膜であるようなカード状、テープ状あるいはデ
ィスク状の磁気記録媒体に関する。
録層が薄膜であるようなカード状、テープ状あるいはデ
ィスク状の磁気記録媒体に関する。
従来の技術
磁気記録媒体は磁性層の様態から塗布型媒体と薄膜型媒
体とに大別できる。また、磁性層の強磁性素材の面から
みて金属系磁性材から成るものと化合物系磁性材から成
るものとにわけられる。
体とに大別できる。また、磁性層の強磁性素材の面から
みて金属系磁性材から成るものと化合物系磁性材から成
るものとにわけられる。
多種の磁性素材がテープ、ディス先カードの形態で多様
な使われ方をして来た。塗布型媒体の素材として、酸化
鉄やコバルト変成酸化鉄はすでに多量に使われており、
金属粉、バリウムフェライト粉、窒化鉄粉、炭化鉄粉等
も使われている。
な使われ方をして来た。塗布型媒体の素材として、酸化
鉄やコバルト変成酸化鉄はすでに多量に使われており、
金属粉、バリウムフェライト粉、窒化鉄粉、炭化鉄粉等
も使われている。
これら素材の多くは薄膜型媒体にも使用できることが知
られている。薄膜型の化合物系の磁性層をもつ磁気記録
媒体に限って言えば、酸化鉄、窒化鉄あるいはバリウム
フェライト等が知られている。
られている。薄膜型の化合物系の磁性層をもつ磁気記録
媒体に限って言えば、酸化鉄、窒化鉄あるいはバリウム
フェライト等が知られている。
これまでの磁気記録媒体の発展の主たる流れは記録密度
の向上にあり、記録密度の点では薄膜型媒体の方が塗布
型媒体より存利とされていることがら、今後もなおより
優れた薄膜型磁気記録媒体の実現が強くのぞまれている
。一般的に言って金属系材は磁気的特性の面で酸化物系
材より優れているが大気中では徐々に酸化されて劣化し
てゆく欠点をもつ。化学的に安定である窒化鉄や炭化鉄
は磁気的特性が金属系材に比肩し得るとされ、前者につ
いては塗布型媒体および薄膜型媒体ともに知られている
。炭化鉄については塗布型媒体のための粉体としてたと
えば特許出願公開昭６０−７１５０９号公報や米国特許
３５７２９９３号公報などが開示されているが、この素
材の薄膜型媒体は知られていない。
の向上にあり、記録密度の点では薄膜型媒体の方が塗布
型媒体より存利とされていることがら、今後もなおより
優れた薄膜型磁気記録媒体の実現が強くのぞまれている
。一般的に言って金属系材は磁気的特性の面で酸化物系
材より優れているが大気中では徐々に酸化されて劣化し
てゆく欠点をもつ。化学的に安定である窒化鉄や炭化鉄
は磁気的特性が金属系材に比肩し得るとされ、前者につ
いては塗布型媒体および薄膜型媒体ともに知られている
。炭化鉄については塗布型媒体のための粉体としてたと
えば特許出願公開昭６０−７１５０９号公報や米国特許
３５７２９９３号公報などが開示されているが、この素
材の薄膜型媒体は知られていない。
発明が解決しようとする問題点
以上のような事情を背景として、情報を高密度にかつ高
い信頼性をもって記録するための磁気記録媒体は（１）
薄膜型であること、（２）金属系材と同等以上の磁気的
特性をもっていること、（３）化学的に安定であること
、（４）工業的に容易に高速で膜形成が可能であること
等の要件をみたすべきであるとの見地に立って検討を行
なった結果、発明者はその製造法をも含めた新規な磁気
記録媒体をここに開示するものである。
い信頼性をもって記録するための磁気記録媒体は（１）
薄膜型であること、（２）金属系材と同等以上の磁気的
特性をもっていること、（３）化学的に安定であること
、（４）工業的に容易に高速で膜形成が可能であること
等の要件をみたすべきであるとの見地に立って検討を行
なった結果、発明者はその製造法をも含めた新規な磁気
記録媒体をここに開示するものである。
問題点を解決するための手段
本発明は、有機金属化合物のひとつであるフェロセン（
ビスシクロペンタジェニル鉄；Ｆｅ（Ｃ５Ｈ５）２）を
気相分解化学反応せしめて得られる鉄炭化物より成る強
磁性薄膜を記録層とする磁気記録媒体であって、ここに
気相分解化学反応は熱ＣＶＤならびにプラズマＣＶＤで
ある。また本発明による磁気記録媒体の構成は、フェロ
センを気化しこの気体をプラズマ中での化学的気相析出
法（ＣＶＤ法）にかけて非磁性基材表面に薄膜状に析出
せしめた鉄炭化物を磁気記録層とすることをもって特徴
づけられる 作用 上述の気相分解化学反応（法）とはいわゆるＣ Ｖ Ｄ
（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｕｒ Ｄｅｐｏｓｉｔ
ｉｏｎ）法を指し、化学気相成長法とも呼ばれているも
ので、形成しようとする薄膜材を構成する元素を含んだ
気体（単体あるいは化合物）を反応容器に導き入れ、化
学反応により薄膜を形成させるものである。このとき化
学反応を起させるためにエネルギーを加える必要があり
、本発明による磁気記録媒体の磁性層形成には熱を利用
するＣＶＤ法と放電などにより生成するイオンや励起種
を利用するプラズマＣＶＤ法が使用できる。
ビスシクロペンタジェニル鉄；Ｆｅ（Ｃ５Ｈ５）２）を
気相分解化学反応せしめて得られる鉄炭化物より成る強
磁性薄膜を記録層とする磁気記録媒体であって、ここに
気相分解化学反応は熱ＣＶＤならびにプラズマＣＶＤで
ある。また本発明による磁気記録媒体の構成は、フェロ
センを気化しこの気体をプラズマ中での化学的気相析出
法（ＣＶＤ法）にかけて非磁性基材表面に薄膜状に析出
せしめた鉄炭化物を磁気記録層とすることをもって特徴
づけられる 作用 上述の気相分解化学反応（法）とはいわゆるＣ Ｖ Ｄ
（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｕｒ Ｄｅｐｏｓｉｔ
ｉｏｎ）法を指し、化学気相成長法とも呼ばれているも
ので、形成しようとする薄膜材を構成する元素を含んだ
気体（単体あるいは化合物）を反応容器に導き入れ、化
学反応により薄膜を形成させるものである。このとき化
学反応を起させるためにエネルギーを加える必要があり
、本発明による磁気記録媒体の磁性層形成には熱を利用
するＣＶＤ法と放電などにより生成するイオンや励起種
を利用するプラズマＣＶＤ法が使用できる。
フェロセンは鉄、炭素および水素の３元素より成る安定
な化合物で融点は約１７３℃であるが固相でも相当の蒸
気圧をもつ。すなわち、２５℃で０、０１℃ｍｔ１ｇ、
５０℃で０．０８讃曹Ｎｇ、１５°Ｃで０ 、 ５
０ ｉｓｔｌｇの蒸気圧をもつのでＣＶＤ法にかける材
料として好適である。フェロセン上に加熱さた不活性ガ
スを送って蒸発させ、このフェロセンを含む気体をＣＶ
Ｄ反応槽に送り込むことか容易であり、また、反応槽内
の１角にフェロセンを置いて反応槽を真空にすることだ
けでも充分で、この場合にもしも必要ならば適当な加熱
手段によりフェロセンを加熱してその蒸気濃度を濃くす
ることも容易である。フェロセン蒸気をＣＶＤ法により
処理すると反応槽内に酸素の如き鉄と化合し易い元素が
存在しない限り炭化鉄より成る薄膜が形成される。熱Ｃ
ＶＤ法を用いる場合には５００℃以上の加熱が必要であ
る。プラズマＣＶＤ法を用いる場合には熱条件は大幅に
緩和される。プラズマを発生させるためにはＤＣ放電で
もよいが後述する実施例の如く高周波放電が好適である
。この時高周波エネルギーにより反応系の温度が上昇し
、これ以外の特別な外部からの加熱は本来不要であるが
生成した薄膜と支持基材との付着強度を確保するために
基板加熱手段を併用することが有効である。
な化合物で融点は約１７３℃であるが固相でも相当の蒸
気圧をもつ。すなわち、２５℃で０、０１℃ｍｔ１ｇ、
５０℃で０．０８讃曹Ｎｇ、１５°Ｃで０ 、 ５
０ ｉｓｔｌｇの蒸気圧をもつのでＣＶＤ法にかける材
料として好適である。フェロセン上に加熱さた不活性ガ
スを送って蒸発させ、このフェロセンを含む気体をＣＶ
Ｄ反応槽に送り込むことか容易であり、また、反応槽内
の１角にフェロセンを置いて反応槽を真空にすることだ
けでも充分で、この場合にもしも必要ならば適当な加熱
手段によりフェロセンを加熱してその蒸気濃度を濃くす
ることも容易である。フェロセン蒸気をＣＶＤ法により
処理すると反応槽内に酸素の如き鉄と化合し易い元素が
存在しない限り炭化鉄より成る薄膜が形成される。熱Ｃ
ＶＤ法を用いる場合には５００℃以上の加熱が必要であ
る。プラズマＣＶＤ法を用いる場合には熱条件は大幅に
緩和される。プラズマを発生させるためにはＤＣ放電で
もよいが後述する実施例の如く高周波放電が好適である
。この時高周波エネルギーにより反応系の温度が上昇し
、これ以外の特別な外部からの加熱は本来不要であるが
生成した薄膜と支持基材との付着強度を確保するために
基板加熱手段を併用することが有効である。
ＣＶＤ法による薄膜の形成には具体的にはいろいろのや
り方があり、膜形成条件はそれぞれのやり方に応じて適
切に設定されるべきである。本発明による磁気記録媒体
の＋ｆｉ性層形層形成いては炭素の析出に注意を払うべ
き事が必要で、この炭素の析出はＣＶＤ装置の基本的設
計と装置の動作条件とが適切であれば装置内の記録媒体
を得るのに必要な領域以外の部分に限定せしめることが
可能である。
り方があり、膜形成条件はそれぞれのやり方に応じて適
切に設定されるべきである。本発明による磁気記録媒体
の＋ｆｉ性層形層形成いては炭素の析出に注意を払うべ
き事が必要で、この炭素の析出はＣＶＤ装置の基本的設
計と装置の動作条件とが適切であれば装置内の記録媒体
を得るのに必要な領域以外の部分に限定せしめることが
可能である。
実施例
次に本発明の具体的実施例を示す。
実施例１
内径１２０■膳、長さ１ｍの透明石英管を反応槽とする
。この管の一端に内径１ ｃ＋＋＋のフェロセン蒸気供
給管を配置し、該供給管の他の端には加熱可能なフェロ
セン容器を接続する。該供給管は全長にわたって凝集防
止のための加熱保温手段が設けられている。透明石英管
の他端は真空排気装置に接続されている。厚さ３００μ
ｍ、直径８９Ｍ諺の酸化皮膜つきシリコン単結晶板をア
ルミナ製の均熱用プレートに載せ、これを透明石英管内
のフェロセン供給管口より３０ｃｍの位置に置く、市販
のフェロセン結晶粉末をフェロセン容器に入れ、装置全
体を真空に排気しつつ該容器ならびに供給管を８５℃に
加熱する。なお真空排気はこの時点より最後の試料取り
出しの直前まで継続する。一旦、フェロセン供給管を閉
鎖し、均熱用プレート上のシリコン基板を６５０℃に加
熱する。この実施例では、加熱は石英管の外部に設けら
れたカンタル線ヒーターにより行なわれる。所定の温度
に達したのちフェロセン供給管を開くとフェロセン蒸気
が反応管内に入りＣＶＤが開始される。ＣＶＤ時間５分
の後フェロセンの供給を停止し、続いて反応管の加熱を
も停止する。
。この管の一端に内径１ ｃ＋＋＋のフェロセン蒸気供
給管を配置し、該供給管の他の端には加熱可能なフェロ
セン容器を接続する。該供給管は全長にわたって凝集防
止のための加熱保温手段が設けられている。透明石英管
の他端は真空排気装置に接続されている。厚さ３００μ
ｍ、直径８９Ｍ諺の酸化皮膜つきシリコン単結晶板をア
ルミナ製の均熱用プレートに載せ、これを透明石英管内
のフェロセン供給管口より３０ｃｍの位置に置く、市販
のフェロセン結晶粉末をフェロセン容器に入れ、装置全
体を真空に排気しつつ該容器ならびに供給管を８５℃に
加熱する。なお真空排気はこの時点より最後の試料取り
出しの直前まで継続する。一旦、フェロセン供給管を閉
鎖し、均熱用プレート上のシリコン基板を６５０℃に加
熱する。この実施例では、加熱は石英管の外部に設けら
れたカンタル線ヒーターにより行なわれる。所定の温度
に達したのちフェロセン供給管を開くとフェロセン蒸気
が反応管内に入りＣＶＤが開始される。ＣＶＤ時間５分
の後フェロセンの供給を停止し、続いて反応管の加熱を
も停止する。
かくして形成された薄膜試料は黒灰色の光沢をもち、段
差計により膜厚は２５００人、振動試料型［１カ計によ
る磁気的特性はＨｃ ＝ ５５００ ｅ 。
差計により膜厚は２５００人、振動試料型［１カ計によ
る磁気的特性はＨｃ ＝ ５５００ ｅ 。
δＳ ＝ ｌ １０Ｃｍｕ／ｃｃ （最大磁場１０ＫＯ
ｅ）。
ｅ）。
δｒ／δｓ＝０．７８を示した。これらの値よりこの薄
膜は磁気記録用の強磁性層として優れている事がわかる
。なお、得られた薄膜の正確な化学的組成、構造は同定
できていないがＸ−線的には主たるＦ ｅ ３Ｃと少量
の不明相より成ると判断される。
膜は磁気記録用の強磁性層として優れている事がわかる
。なお、得られた薄膜の正確な化学的組成、構造は同定
できていないがＸ−線的には主たるＦ ｅ ３Ｃと少量
の不明相より成ると判断される。
実施例２
この例ではＲＦプラズマＣＶＤ法による場合を示す。使
用する装置は基本的には実施例１で用いたものと共通で
あるがただし実施例１のカンタル線ヒーターの代りに透
明石英管の外周に１３．５６Ｍ ｌｌｚ電源に接続され
たＲＦコイルを設ける点が異なる。操作の手順も実施例
１と同様であるがただし実施例１のカンタル線ヒーター
による加熱の操作がコイルへのＲＦ給電操作におき換え
る。なお当然の事ながら、系全体はＲＦプラズマ放電が
安定に発生持続するよう調律されている。給電電力２０
０ｗ、ＣＶＤ時間５分間により生成された薄膜試料は黒
灰色の光沢をもち、段差計により膜厚は４５００人、振
動試料型磁力計による磁気的特性はＨｃ＝４８００ｅ、
δＳ ＝ １１５Ｃｍｕ／ｃｃ（最大磁場１０ＫＯ
ｅ）、 δｒ／δＳ （残留磁化／飽和磁化）＝０．
８０を示した。これらの値よりこの薄膜は磁気記録用の
強磁性層として優れている事がわかる。なお、得られた
ｇｉ膜の正確な化学的組成ならびに結晶学的構造の同定
はできていないがＸ線的には主たるＦｅ５ＣおよびＦｅ
５Ｃ２と少量の不明層とから成ると判断される。
用する装置は基本的には実施例１で用いたものと共通で
あるがただし実施例１のカンタル線ヒーターの代りに透
明石英管の外周に１３．５６Ｍ ｌｌｚ電源に接続され
たＲＦコイルを設ける点が異なる。操作の手順も実施例
１と同様であるがただし実施例１のカンタル線ヒーター
による加熱の操作がコイルへのＲＦ給電操作におき換え
る。なお当然の事ながら、系全体はＲＦプラズマ放電が
安定に発生持続するよう調律されている。給電電力２０
０ｗ、ＣＶＤ時間５分間により生成された薄膜試料は黒
灰色の光沢をもち、段差計により膜厚は４５００人、振
動試料型磁力計による磁気的特性はＨｃ＝４８００ｅ、
δＳ ＝ １１５Ｃｍｕ／ｃｃ（最大磁場１０ＫＯ
ｅ）、 δｒ／δＳ （残留磁化／飽和磁化）＝０．
８０を示した。これらの値よりこの薄膜は磁気記録用の
強磁性層として優れている事がわかる。なお、得られた
ｇｉ膜の正確な化学的組成ならびに結晶学的構造の同定
はできていないがＸ線的には主たるＦｅ５ＣおよびＦｅ
５Ｃ２と少量の不明層とから成ると判断される。
発明の効果
以上２つの実施例により、フェロセンをいわゆるＣＶＤ
法によって分解化学反応せしめて炭化鉄より成る強磁性
薄膜を得ることを示した。そしてこの薄膜の磁気的特性
が磁気記録用の強磁性記録層として好適な値をもつ事を
示した。ＣＶＤ法はａ膜形成のための有用な手法として
広く用いられており、本実施例によってもその装置およ
び処理操作がなんら特殊なものでなく容易に実施し得る
ことが明白である。なお、プラズマＣＶＤ法による薄膜
の性質はその生成パラメータがかなり多いことを反映し
て生成装置ならびに生成条件に強く依存する事が定説で
ある。従って、前記２件の実施例は本発明による磁気記
録媒体の具体例を開示するものであってこれらの例に記
述されたＣＶＤ法諸条件やあるいは得られた試料の薄膜
特性そのものが本発明を拘束限定するものではない事は
当然である。
法によって分解化学反応せしめて炭化鉄より成る強磁性
薄膜を得ることを示した。そしてこの薄膜の磁気的特性
が磁気記録用の強磁性記録層として好適な値をもつ事を
示した。ＣＶＤ法はａ膜形成のための有用な手法として
広く用いられており、本実施例によってもその装置およ
び処理操作がなんら特殊なものでなく容易に実施し得る
ことが明白である。なお、プラズマＣＶＤ法による薄膜
の性質はその生成パラメータがかなり多いことを反映し
て生成装置ならびに生成条件に強く依存する事が定説で
ある。従って、前記２件の実施例は本発明による磁気記
録媒体の具体例を開示するものであってこれらの例に記
述されたＣＶＤ法諸条件やあるいは得られた試料の薄膜
特性そのものが本発明を拘束限定するものではない事は
当然である。
Claims (3)
- （１）フェロセンを気相分解化学反応せしめて得られる
鉄炭化物より成る強磁性薄膜を記録層とする磁気記録媒
体。 - （２）気相分解化学反応が熱ＣＶＤである特許請求の範
囲第（１）項記載の磁気記録媒体。 - （３）気相分解化学反応がプラズマＣＶＤである特許請
求の範囲第（１）項記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10791586A JPS62264427A (ja) | 1986-05-12 | 1986-05-12 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10791586A JPS62264427A (ja) | 1986-05-12 | 1986-05-12 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62264427A true JPS62264427A (ja) | 1987-11-17 |
Family
ID=14471278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10791586A Pending JPS62264427A (ja) | 1986-05-12 | 1986-05-12 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62264427A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5068147A (en) * | 1988-04-28 | 1991-11-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Soft magnetic thin film comprising alternate layers of iron carbide with either iron, iron nitride or iron carbon-nitride |
-
1986
- 1986-05-12 JP JP10791586A patent/JPS62264427A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5068147A (en) * | 1988-04-28 | 1991-11-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Soft magnetic thin film comprising alternate layers of iron carbide with either iron, iron nitride or iron carbon-nitride |
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