JPS62260105A - レンズの製造方法 - Google Patents
レンズの製造方法Info
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- JPS62260105A JPS62260105A JP61103348A JP10334886A JPS62260105A JP S62260105 A JPS62260105 A JP S62260105A JP 61103348 A JP61103348 A JP 61103348A JP 10334886 A JP10334886 A JP 10334886A JP S62260105 A JPS62260105 A JP S62260105A
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- JP
- Japan
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- lens
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- gas
- shape
- laser light
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- Pending
Links
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/52—PV systems with concentrators
Landscapes
- Led Devices (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はガス中に置かれた基板にエネルギーを照射する
ことにより、その部分にガスを構成する元素を含む超小
型、高精度のレンズの製造方法に関する。
ことにより、その部分にガスを構成する元素を含む超小
型、高精度のレンズの製造方法に関する。
従来の技術
従来、レンズの製造は予め所定の寸法に切削したガラス
塊を研摩法によってレンズに仕上げる。
塊を研摩法によってレンズに仕上げる。
発明が解決しようとする問題点
このため、形状、寸法、再現性（バラツキ）に限界が存
在し、また、高価につくと言う欠点があった。
在し、また、高価につくと言う欠点があった。
問題点を解決するための手段
本発明は上記欠点を改善し、超小型、高精度のレンズを
安価に提供するものである。本発明のしンズはレンズを
構成する元素を含むガス中にレンズを形成させる基板を
設置しこの基板にガスを分解するに十分なエネルギーを
照射することにより、レンズの構成物質を堆積させ、エ
ネルギー分布を所定のプログラムで変化させることによ
り、堆積物の形状を所望の形状のレンズにすることが出
来る。これにより超小型、高精度のレンズを基板を損傷
させることな（任意の場所に、任意の形状で容易に形成
することが可能になった。
安価に提供するものである。本発明のしンズはレンズを
構成する元素を含むガス中にレンズを形成させる基板を
設置しこの基板にガスを分解するに十分なエネルギーを
照射することにより、レンズの構成物質を堆積させ、エ
ネルギー分布を所定のプログラムで変化させることによ
り、堆積物の形状を所望の形状のレンズにすることが出
来る。これにより超小型、高精度のレンズを基板を損傷
させることな（任意の場所に、任意の形状で容易に形成
することが可能になった。
また、レンズを構成する元素を含むガスの種類を代える
事により、レンズの種類や性能を任意に代えることも可
能である。
事により、レンズの種類や性能を任意に代えることも可
能である。
作用
本発明は上記した様に、レンズを構成する元素を含むガ
ス中にレンズを形成させる基板を設置し、この基板にガ
スを分解するに十分なエネルギーを照射することにより
、基板を損傷することなく、任意の場所に、任意の形状
で高性能のレンズを容易に形成させることが出来る。
ス中にレンズを形成させる基板を設置し、この基板にガ
スを分解するに十分なエネルギーを照射することにより
、基板を損傷することなく、任意の場所に、任意の形状
で高性能のレンズを容易に形成させることが出来る。
実施例
以下、本発明のレンズの製造方法の一実施例を図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
〈実施例１〉
第１図に示す様に、シラン系ガスと笑気ガスの混合ガス
（Ｓ ｉ Ｈ＋Ｎｚ Ｏ） ８を入れた容器７にレンズ
ｌを用いて集光したレーザー光２．３を窓ガラス６を通
して、基板４上に照射すると混合ガスが分解して基板４
上にＳｉＯ□層が堆積する。
（Ｓ ｉ Ｈ＋Ｎｚ Ｏ） ８を入れた容器７にレンズ
ｌを用いて集光したレーザー光２．３を窓ガラス６を通
して、基板４上に照射すると混合ガスが分解して基板４
上にＳｉＯ□層が堆積する。
この際、堆積物がレンズ５状になる様に、レーザー光２
．３を所定のプログラムに従って移動させる。レーザー
光２．３の移動プログラムを変えることにより、レンズ
５の形状を球面、非球面等任意に選択することが出来る
。このようにして得られたレンズ５は極めて緻密で、し
かも形状が極めて高精度である。さらに、レンズ５の屈
折率は容器７内のガス８の種類を選択することによって
、変化させることが出来る。図中、９はガスの入り口、
１０はガスの排気口を示す。
．３を所定のプログラムに従って移動させる。レーザー
光２．３の移動プログラムを変えることにより、レンズ
５の形状を球面、非球面等任意に選択することが出来る
。このようにして得られたレンズ５は極めて緻密で、し
かも形状が極めて高精度である。さらに、レンズ５の屈
折率は容器７内のガス８の種類を選択することによって
、変化させることが出来る。図中、９はガスの入り口、
１０はガスの排気口を示す。
〈実施例２〉
第２図に示す様に、Ｉ ｎ （ＣＨ３） ３ ＋ Ｐ
Ｈｚの混合ガスエ６を入れた容器工５にレンズ１）を用
いて集光したレーザー光１２．１３を窓ガラス１４を通
して、ｎ−１ｎＰ基板１７［ｎ−１ｎＰ１９、ＩｎＧａ
ＡｓＰ活性ｊｉＪ２０、ｐ−１ｎＰ２１、ｐ−１ｎＧａ
Ａｓ２２、ｐ−電極２３、Ｓ ｉ Ｏｚ ２４、Ａｕ２
５、ｎ−電極２６］上に照射すると上記、混合ガスが分
解して、ｎ −ＩｎＰ基板１７上にＩｎＰ層１８が堆積
する。この際、ＩｎＰ層１８がレンズ状１８に堆積する
様に、レーザー光１２．１３を所定のプログラムに従っ
て移動させる。レーザー光１２．１３の移動プログラム
°を変えることにより、レンズ１８の形状を球面、非球
面等任意に選択することが出来る。このようにして得ら
れたレンズ１８は極めて緻密で、しかも形状が極めて高
精度である。さらに、レンズ１８の屈折率は容器１５内
のガスの種類を選択する事によって大幅に変化させる事
ができる。図中、１６はガスを示す。
Ｈｚの混合ガスエ６を入れた容器工５にレンズ１）を用
いて集光したレーザー光１２．１３を窓ガラス１４を通
して、ｎ−１ｎＰ基板１７［ｎ−１ｎＰ１９、ＩｎＧａ
ＡｓＰ活性ｊｉＪ２０、ｐ−１ｎＰ２１、ｐ−１ｎＧａ
Ａｓ２２、ｐ−電極２３、Ｓ ｉ Ｏｚ ２４、Ａｕ２
５、ｎ−電極２６］上に照射すると上記、混合ガスが分
解して、ｎ −ＩｎＰ基板１７上にＩｎＰ層１８が堆積
する。この際、ＩｎＰ層１８がレンズ状１８に堆積する
様に、レーザー光１２．１３を所定のプログラムに従っ
て移動させる。レーザー光１２．１３の移動プログラム
°を変えることにより、レンズ１８の形状を球面、非球
面等任意に選択することが出来る。このようにして得ら
れたレンズ１８は極めて緻密で、しかも形状が極めて高
精度である。さらに、レンズ１８の屈折率は容器１５内
のガスの種類を選択する事によって大幅に変化させる事
ができる。図中、１６はガスを示す。
発明の効果
以上の説明から明らかな様に本発明によれば、任意の組
成、任意の形状のレンズを容易に製造する事が出来る。
成、任意の形状のレンズを容易に製造する事が出来る。
例えば、フレネルレンズ、平板レンズ、ホログラフィッ
クレンズ等への通用が出来る。また、光のスポットを複
数にすれば、レンズ１８も複数になり、レンズアレイが
形成される。さらに図−２で示した様にレーザーの窓と
同一の材料でレンズ１８を形成させる事ができる。ガス
の種類を変えることによって、レンズ１８の材質をＧａ
Ａｓ、ＡｌＧａＡｓ、ＩｎＡｌＧａＡｓ等任意の組成に
変える事ができるので、超小型、高性能レーザー発振装
置、光通信、高効率発光ダイオード、超小型読み取り装
置の開発等、その適用範囲は広い。
クレンズ等への通用が出来る。また、光のスポットを複
数にすれば、レンズ１８も複数になり、レンズアレイが
形成される。さらに図−２で示した様にレーザーの窓と
同一の材料でレンズ１８を形成させる事ができる。ガス
の種類を変えることによって、レンズ１８の材質をＧａ
Ａｓ、ＡｌＧａＡｓ、ＩｎＡｌＧａＡｓ等任意の組成に
変える事ができるので、超小型、高性能レーザー発振装
置、光通信、高効率発光ダイオード、超小型読み取り装
置の開発等、その適用範囲は広い。
第１図、第２図は本発明のレンズの製造方法の一実施例
の模式断面図である。 １・・・・・・レンズ、２．３・・・・・・レーザー光
、４・・・・・・基板、５・・・・・・レンズ、６・・
・・・・窓ガラス、７・・・・・・容器、８・・・・・
・ガス、９・・・・・・ガスの入り口、１０・・・・・
・ガスの排気口、１）・・・・・・レンズ、１２．１３
・・・・・・レーザー光、１４・・・・・・窓ガラス、
１５・・・・・・容器、１６・・・・・・ガス、１７・
・・・・・ｎ−ＩｎＰ基板、１８・・・・・・レンズ、
１９・・・・・・ｎ”ＩｎＰ層、２０−−１ ｎ Ｇ
ａ Ａ ｓ Ｐ層、２１・・・・・・ｐ−Ｉ ｎ ＰＦ
ｉ、２２− ｐ−１ｎ Ｇ ａ Ａ ｓ ＢＪ、 ２３
−ｐ−電極、２４−− Ｓ ｉ Ｏ、［５，２５・・・
・・・Ａ ｕ Ｆ！ 、 ２６・・・・・・ｎ−電極。
の模式断面図である。 １・・・・・・レンズ、２．３・・・・・・レーザー光
、４・・・・・・基板、５・・・・・・レンズ、６・・
・・・・窓ガラス、７・・・・・・容器、８・・・・・
・ガス、９・・・・・・ガスの入り口、１０・・・・・
・ガスの排気口、１）・・・・・・レンズ、１２．１３
・・・・・・レーザー光、１４・・・・・・窓ガラス、
１５・・・・・・容器、１６・・・・・・ガス、１７・
・・・・・ｎ−ＩｎＰ基板、１８・・・・・・レンズ、
１９・・・・・・ｎ”ＩｎＰ層、２０−−１ ｎ Ｇ
ａ Ａ ｓ Ｐ層、２１・・・・・・ｐ−Ｉ ｎ ＰＦ
ｉ、２２− ｐ−１ｎ Ｇ ａ Ａ ｓ ＢＪ、 ２３
−ｐ−電極、２４−− Ｓ ｉ Ｏ、［５，２５・・・
・・・Ａ ｕ Ｆ！ 、 ２６・・・・・・ｎ−電極。
Claims (8)
- （１）ガス中に置かれた基板にエネルギーを照射するこ
とにより、その照射部分に前記ガスを構成する元素を含
むレンズを形成することを特徴とするレンズの製造方法
。 - （２）レンズがフレネルレンズであることを特徴とする
特許請求の範囲第（１）項記載のレンズの製造方法。 - （３）レンズがホログラフィックレンズであることを特
徴とする特許請求の範囲第（１）項記載のレンズの製造
方法。 - （４）レンズが平板レンズであることを特徴とする特許
請求の範囲第（１）項記載のレンズの製造方法。 - （５）エネルギーが電磁波であることを特徴とする特許
請求の範囲第（１）項記載のレンズの製造方法。 - （６）エネルギーが光であることを特徴とする特許請求
の範囲第（１）項記載のレンズの製造方法。 - （７）エネルギーがレーザーであることを特徴とする特
許請求の範囲第（１）項記載のレンズの製造方法。 - （８）エネルギーが電子線であることを特徴とする特許
請求の範囲第（１）項記載のレンズの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61103348A JPS62260105A (ja) | 1986-05-06 | 1986-05-06 | レンズの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61103348A JPS62260105A (ja) | 1986-05-06 | 1986-05-06 | レンズの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62260105A true JPS62260105A (ja) | 1987-11-12 |
Family
ID=14351632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61103348A Pending JPS62260105A (ja) | 1986-05-06 | 1986-05-06 | レンズの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62260105A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0290685A (ja) * | 1988-09-28 | 1990-03-30 | Nec Corp | 半導体受光素子 |
| JPH02190802A (ja) * | 1989-01-20 | 1990-07-26 | Ricoh Co Ltd | マイクロレンズ |
-
1986
- 1986-05-06 JP JP61103348A patent/JPS62260105A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0290685A (ja) * | 1988-09-28 | 1990-03-30 | Nec Corp | 半導体受光素子 |
| JPH02190802A (ja) * | 1989-01-20 | 1990-07-26 | Ricoh Co Ltd | マイクロレンズ |
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