JPS62260104A - レンズの製造方法 - Google Patents
レンズの製造方法Info
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- JPS62260104A JPS62260104A JP61103347A JP10334786A JPS62260104A JP S62260104 A JPS62260104 A JP S62260104A JP 61103347 A JP61103347 A JP 61103347A JP 10334786 A JP10334786 A JP 10334786A JP S62260104 A JPS62260104 A JP S62260104A
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- JP
- Japan
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- lens
- substrate
- gas
- shape
- laser light
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/52—PV systems with concentrators
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はガス中に置かれた基板にエネルギーを照射する
ことにより、その部分にガスを構成する元素を含む超小
型、高精度のレンズの製造方法に関する。
ことにより、その部分にガスを構成する元素を含む超小
型、高精度のレンズの製造方法に関する。
従来の技術
従来、レンズの製造は予め所定の寸法に切削したガラス
塊を研摩法によってレンズに仕上げる。
塊を研摩法によってレンズに仕上げる。
発明が解決しようとする問題点
このため、形状、寸法、再現性（バラツキ）に限界が存
在し、また、筒価につくと言う欠点があった。
在し、また、筒価につくと言う欠点があった。
問題点を解決するための手段
本発明は上記欠点を改善し、超小型、高精度のレンズを
安価に提供するものである。本発明のレンズは光ＣＶＤ
装置の反応容器内のレンズを構成する元素を含むガス中
にレンズを形成させる基板を設置しこの基板にガスを分
解するに十分な工ふルギーを照射することにより、レン
ズの構成物質を堆禎させ、エネルギー分布を所定のプロ
グラムで変化させることにより、堆積物の形状を所望の
形状のレンズにすることが出来る。これにより超小型、
高精度のレンズを基板を損傷させることなく任意の場所
に、任意の形状で容易に形成することが可能になった。
安価に提供するものである。本発明のレンズは光ＣＶＤ
装置の反応容器内のレンズを構成する元素を含むガス中
にレンズを形成させる基板を設置しこの基板にガスを分
解するに十分な工ふルギーを照射することにより、レン
ズの構成物質を堆禎させ、エネルギー分布を所定のプロ
グラムで変化させることにより、堆積物の形状を所望の
形状のレンズにすることが出来る。これにより超小型、
高精度のレンズを基板を損傷させることなく任意の場所
に、任意の形状で容易に形成することが可能になった。
また、レンズを構成する元素を含むガスの種類を代える
事により、レンズの種類や性能を任意に代えることも可
能である。
事により、レンズの種類や性能を任意に代えることも可
能である。
作用
本発明は上記した様に、光ＣＶＤ装置の反応容器内のレ
ンズを構成する元素を含むガス中にレンズを形成させる
基板を設置し、この基板にガスを分解するに十分なエネ
ルギーを照射することにより、基板を槙傷することなく
、任意の場所に、任意の形状で高性能のレンズを容易に
形成させることが出来る。
ンズを構成する元素を含むガス中にレンズを形成させる
基板を設置し、この基板にガスを分解するに十分なエネ
ルギーを照射することにより、基板を槙傷することなく
、任意の場所に、任意の形状で高性能のレンズを容易に
形成させることが出来る。
実施例
以下、本発明のレンズの製造方法の一実施例を図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
〈実施例１〉
第１図に示す様に、シラン系ガスと笑気ガスの混合ガス
（Ｓ ｒ ＩＩ ＋ Ｎｚ Ｏ） ８を入れた光ＣＶＤ
（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄ
ｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）装置の反応、容器７にレンズｌを
用いて集光したレーザー光２．３を窓ガラス６を通して
、基板４上に照射すると混合ガスが分解して基板４上に
ＳｉＯ□層が堆積する。この際、堆積物がレンズ５状に
なる様に、レーザー光２．３を所定のプログラムに従っ
て移動させる。レーザー光２．３の移動プログラムを変
えることにより、レンズ５の形状を球面、非球面等任意
に選択することが出来る。このようにして得られたレン
ズ５は極めて緻密で、しかも形状が極めて高精度である
。さらに、レンズ５の屈折率は容器７内のガス８の種類
を選択することによって、変化させることが出来る。図
中、９はガスの入り口、１０はガスの排気口を示す。
（Ｓ ｒ ＩＩ ＋ Ｎｚ Ｏ） ８を入れた光ＣＶＤ
（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄ
ｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）装置の反応、容器７にレンズｌを
用いて集光したレーザー光２．３を窓ガラス６を通して
、基板４上に照射すると混合ガスが分解して基板４上に
ＳｉＯ□層が堆積する。この際、堆積物がレンズ５状に
なる様に、レーザー光２．３を所定のプログラムに従っ
て移動させる。レーザー光２．３の移動プログラムを変
えることにより、レンズ５の形状を球面、非球面等任意
に選択することが出来る。このようにして得られたレン
ズ５は極めて緻密で、しかも形状が極めて高精度である
。さらに、レンズ５の屈折率は容器７内のガス８の種類
を選択することによって、変化させることが出来る。図
中、９はガスの入り口、１０はガスの排気口を示す。
〈実施例２〉
第２図に示す様に、Ｉ ｎ （ＣＨ３） ３ ＋ＰＨ３
の混合ガス１６を入れた光ＣＶＤ装置とＭＢＥ装置を組
合せた反応、容器１５にレンズ１）を用いて集光したレ
ーザー光１２．１３を窓ガラス１４を通して、あらかし
めＭＢＥ法で形成させておいたｎ−１ｎＰ基板１７（ｎ
−１ｎＰ１９、ＩｎＣ，ａＡｓＰ活性厄２０、ｐ−１ｎ
Ｐ２１、ｐ−１ｎＧａＡｓ２２、ｐ−電極２３．５ｉＯ
ｚ２４、Ａｕ２５、ｎ−電極２６〕上に照射すると上記
、混合ガスが分解して、ｎ−１ｎＰ基板１７上にＩｎＰ
層１日が堆積する。この際、ＩｎＰ層１層外８ンズ状１
８に堆積する様に、レーザー光１２．１３を所定のプロ
グラムに従って移動させる。レーザー光１２．１３の移
動プログラムを変えることにより、レンズ１８の形状を
球面、非球面等任意に選択することが出来る。このよう
にして得られたレンズ１８は極めて緻密で、しかも形状
が極めて高精度である。さらに、レンズ１８の屈折率は
容器１５内のガスの種類を選択する事によって大幅に変
化させる事ができる。図中、１６はガスを示す。
の混合ガス１６を入れた光ＣＶＤ装置とＭＢＥ装置を組
合せた反応、容器１５にレンズ１）を用いて集光したレ
ーザー光１２．１３を窓ガラス１４を通して、あらかし
めＭＢＥ法で形成させておいたｎ−１ｎＰ基板１７（ｎ
−１ｎＰ１９、ＩｎＣ，ａＡｓＰ活性厄２０、ｐ−１ｎ
Ｐ２１、ｐ−１ｎＧａＡｓ２２、ｐ−電極２３．５ｉＯ
ｚ２４、Ａｕ２５、ｎ−電極２６〕上に照射すると上記
、混合ガスが分解して、ｎ−１ｎＰ基板１７上にＩｎＰ
層１日が堆積する。この際、ＩｎＰ層１層外８ンズ状１
８に堆積する様に、レーザー光１２．１３を所定のプロ
グラムに従って移動させる。レーザー光１２．１３の移
動プログラムを変えることにより、レンズ１８の形状を
球面、非球面等任意に選択することが出来る。このよう
にして得られたレンズ１８は極めて緻密で、しかも形状
が極めて高精度である。さらに、レンズ１８の屈折率は
容器１５内のガスの種類を選択する事によって大幅に変
化させる事ができる。図中、１６はガスを示す。
発明の効果
以上の説明から明らかな様に本発明によれば、任意の組
成、任意の形状のレンズを容易に製造する事が出来る。
成、任意の形状のレンズを容易に製造する事が出来る。
例えば、フレネルレンズ、平板レンズ、ホログラフィッ
クレンズ等への通用が出来る。また、光のスポットを複
数にすれば、レンズ１８も複数になり、レンズアレイが
形成される。さらに図−２で示した様にレーザーの芯と
同一の材料でレンズ１８を形成させる事ができる。ガス
の種類を変えることによって、レンズ１８の材質をＧａ
ＡＳ、、ＡｌＧａＡｓ５ ＩｎＡｌＧａＡｓ等任意の組
成に変える事ができるので、超小型、高性能レーザー発
振装置、光通信、高効率発光ダイオード、超小型読み取
り装置の開発等、その適用範囲は広い。
クレンズ等への通用が出来る。また、光のスポットを複
数にすれば、レンズ１８も複数になり、レンズアレイが
形成される。さらに図−２で示した様にレーザーの芯と
同一の材料でレンズ１８を形成させる事ができる。ガス
の種類を変えることによって、レンズ１８の材質をＧａ
ＡＳ、、ＡｌＧａＡｓ５ ＩｎＡｌＧａＡｓ等任意の組
成に変える事ができるので、超小型、高性能レーザー発
振装置、光通信、高効率発光ダイオード、超小型読み取
り装置の開発等、その適用範囲は広い。
第１図、第２図は本発明のレンズの製造方法の一実施例
の模式断面図である。 １・・・・・・レンズ、２．３・・・・・・レーザー光
、４・・・・・・基板、５・・・・・・レンズ、６・・
・・・・窓ガラス、７・・・・・・容器、８・・・・・
・ガス、９・・・・・・ガスの入り口、１０・・・・・
・ガスの排気口、１）・・・・・・レンズ、１２．１３
・・・・・・レーザー光、１４・・・・・・窓ガラス、
１５・・・・・・容器、１６・・・・・・ガス、１７・
・・・・・ｎ−ＩｎＰ基板、１８・・・・・・レンズ、
１９・・・・・・ｎ−１ｎＰ層、２０・・・・・・Ｉ
ｎ Ｇ ａ Ａ ｓ Ｐ層、２１・・・・・・ｐ−Ｉｎ
Ｐ層、２２−ｐ−ＩｎＧａＡｓ層、２３・・・・・・ｐ
−電極、２４− ・・・Ｓ ｉ ０２層、２５−− Ａ
ｕ層、２６・・・・・・ｎ−電極。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名／−−−レ
ンズ 、？、 ３−一−レーデー光 ４一基板 ５− レンズ ６−−−た、力゛ラス ７−ｇ運、 ８−１ｆス
の模式断面図である。 １・・・・・・レンズ、２．３・・・・・・レーザー光
、４・・・・・・基板、５・・・・・・レンズ、６・・
・・・・窓ガラス、７・・・・・・容器、８・・・・・
・ガス、９・・・・・・ガスの入り口、１０・・・・・
・ガスの排気口、１）・・・・・・レンズ、１２．１３
・・・・・・レーザー光、１４・・・・・・窓ガラス、
１５・・・・・・容器、１６・・・・・・ガス、１７・
・・・・・ｎ−ＩｎＰ基板、１８・・・・・・レンズ、
１９・・・・・・ｎ−１ｎＰ層、２０・・・・・・Ｉ
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ｕ層、２６・・・・・・ｎ−電極。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名／−−−レ
ンズ 、？、 ３−一−レーデー光 ４一基板 ５− レンズ ６−−−た、力゛ラス ７−ｇ運、 ８−１ｆス
Claims (4)
- （１）光ＣＶＤの反応容器内のガス中に置かれた基板に
エネルギーを照射することにより、エネルギーを照射し
た部分に前記、ガスを構成する元素を含むレンズを形成
することを特徴とするレンズの製造方法。 - （２）光ＣＶＤと蒸着法を組み合わせたことを特徴とす
る特許請求の範囲第（１）項記載のレンズの製造方法。 - （３）光ＣＶＤとスパッタ法を組み合わせたことを特徴
とする特許請求の範囲第（１）項記載のレンズの製造方
法。 - （４）光ＣＶＤと分子線エピタキシー法を組み合わせた
ことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載のレン
ズの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61103347A JPS62260104A (ja) | 1986-05-06 | 1986-05-06 | レンズの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61103347A JPS62260104A (ja) | 1986-05-06 | 1986-05-06 | レンズの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62260104A true JPS62260104A (ja) | 1987-11-12 |
Family
ID=14351605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61103347A Pending JPS62260104A (ja) | 1986-05-06 | 1986-05-06 | レンズの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62260104A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02190802A (ja) * | 1989-01-20 | 1990-07-26 | Ricoh Co Ltd | マイクロレンズ |
| WO1997033352A1 (fr) * | 1996-03-08 | 1997-09-12 | Nippon Aspherical Lens Co., Ltd. | Lentille, element laser a semi-conducteur, dispositif d'usinage de la lentille et de l'element, procede de fabrication de l'element laser a semi-conducteur, element optique et dispositif et procede d'usinage dudit element optique |
| US7150568B2 (en) | 2003-02-06 | 2006-12-19 | Seiko Epson Corporation | Light-receiving element, manufacturing method for the same, optical module, and optical transmitting device |
| US8088325B2 (en) | 2007-11-19 | 2012-01-03 | 3M Innovative Properties Company | Articles and methods of making articles having a concavity or convexity |
-
1986
- 1986-05-06 JP JP61103347A patent/JPS62260104A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02190802A (ja) * | 1989-01-20 | 1990-07-26 | Ricoh Co Ltd | マイクロレンズ |
| WO1997033352A1 (fr) * | 1996-03-08 | 1997-09-12 | Nippon Aspherical Lens Co., Ltd. | Lentille, element laser a semi-conducteur, dispositif d'usinage de la lentille et de l'element, procede de fabrication de l'element laser a semi-conducteur, element optique et dispositif et procede d'usinage dudit element optique |
| US7150568B2 (en) | 2003-02-06 | 2006-12-19 | Seiko Epson Corporation | Light-receiving element, manufacturing method for the same, optical module, and optical transmitting device |
| US7520680B2 (en) | 2003-02-06 | 2009-04-21 | Seiko Epson Corporation | Light-receiving element, manufacturing method for the same, optical module, and optical transmitting device |
| US8088325B2 (en) | 2007-11-19 | 2012-01-03 | 3M Innovative Properties Company | Articles and methods of making articles having a concavity or convexity |
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