JPS62243277A - Sic結合型炭化珪素発熱体 - Google Patents
Sic結合型炭化珪素発熱体Info
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- JPS62243277A JPS62243277A JP8564086A JP8564086A JPS62243277A JP S62243277 A JPS62243277 A JP S62243277A JP 8564086 A JP8564086 A JP 8564086A JP 8564086 A JP8564086 A JP 8564086A JP S62243277 A JPS62243277 A JP S62243277A
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- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 51
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims description 51
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Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(1)発明の目的
[産業上の利用分野]
本発明は、炭化珪素発熱体に関し、特に両端子部間の発
熱部が屈曲部を包有しかつ一体成形されてなる炭化珪素
発熱体に関するものである。
熱部が屈曲部を包有しかつ一体成形されてなる炭化珪素
発熱体に関するものである。
[従来の技術]
従来この種の炭化珪素発熱体においては、第7図に示す
ように第1の炭化珪素発熱体IIの一端部と第2の炭化
珪素発熱体12の一端部との間に短絡板13が配設され
ておりしかも第1の炭化珪素発熱体11の一端部と短絡
板13との当接部および第2の炭化珪素発熱体12の一
端部と短絡板13との当接部かそれでれ珪化処理によっ
て接合されていた。
ように第1の炭化珪素発熱体IIの一端部と第2の炭化
珪素発熱体12の一端部との間に短絡板13が配設され
ておりしかも第1の炭化珪素発熱体11の一端部と短絡
板13との当接部および第2の炭化珪素発熱体12の一
端部と短絡板13との当接部かそれでれ珪化処理によっ
て接合されていた。
これはこの種の炭化珪素発熱体が静水圧プレス成形法も
しくは押出成形法により形成されていたのて、たとえば
静水圧プレス成形法による場合屈曲部を有するものか作
成不能でありまた押出成形法による場合屈曲部の内側と
外側との間に密度差か生じその外側で亀裂が生じ易かフ
たためであった。 − [解決すべき問題点] しかしなから上述した従来の炭化珪素発熱体では、第1
.第2の炭化珪素発熱体11.12と短絡板13との当
接部か珪化処理により接合されていたのて、(り製造作
業ないし電気炉への取付作業が煩雑であってしかも短絡
板!3か発熱領域として機能しないという欠点かあり、
また(2)熱サイクルによって接合部に歪かM積され強
度劣化し破損し易いという欠点もあった。
しくは押出成形法により形成されていたのて、たとえば
静水圧プレス成形法による場合屈曲部を有するものか作
成不能でありまた押出成形法による場合屈曲部の内側と
外側との間に密度差か生じその外側で亀裂が生じ易かフ
たためであった。 − [解決すべき問題点] しかしなから上述した従来の炭化珪素発熱体では、第1
.第2の炭化珪素発熱体11.12と短絡板13との当
接部か珪化処理により接合されていたのて、(り製造作
業ないし電気炉への取付作業が煩雑であってしかも短絡
板!3か発熱領域として機能しないという欠点かあり、
また(2)熱サイクルによって接合部に歪かM積され強
度劣化し破損し易いという欠点もあった。
そこで本発明の目的は、これらの問題点を解決し発熱部
に屈曲部を包有しておりかつ一体成形されてなる炭化珪
素発熱体を提供することにある。
に屈曲部を包有しておりかつ一体成形されてなる炭化珪
素発熱体を提供することにある。
(2)発明の構成
[問題点の解決手段]
本発明の炭化珪素発熱体は、2つの端子部および発熱部
が一体成形されておりかつ前記発熱部に屈曲部を包有し
てなる構成を有する。
が一体成形されておりかつ前記発熱部に屈曲部を包有し
てなる構成を有する。
更に本発明の炭化珪素発熱体は、前記屈曲部の曲率半径
が2つの端子部ないし発熱部の外径の0.5倍以上でな
る構成を有すれば好ましい。
が2つの端子部ないし発熱部の外径の0.5倍以上でな
る構成を有すれば好ましい。
また本発明の炭化珪素発熱体は、少なくとも前記発熱部
が1.0〜s、o ILの平均粒径をもつ炭化珪素を2
0〜60重量%包有してなる構成を有すれば好ましい。
が1.0〜s、o ILの平均粒径をもつ炭化珪素を2
0〜60重量%包有してなる構成を有すれば好ましい。
[実施例]
以ド木発明について添付図面を参照しつつ具体的に説明
する。
する。
先ず第1図に示した第1の実施例について説明する。
■)は本発明の一体成形された炭化珪素発熱体で、発熱
部lと2つの端子部2.2とを包有している。発熱部l
の両端部はそれぞれ端子部2.2に連続されており、中
央部は半円弧状の屈曲部1aとされている。屈曲部1a
の曲率半径Rは所望に応じて適宜選択できるが、成形効
率および強度などを考慮すると発熱部1ないし端子部2
.2の外径aの0.5倍以北特に0.5〜lO倍である
ことか好ましい。発熱部lないし端子部2.2の断面形
状には特に制限はないが、強度その他を考慮すれば円形
ないし矩形が好ましい。
部lと2つの端子部2.2とを包有している。発熱部l
の両端部はそれぞれ端子部2.2に連続されており、中
央部は半円弧状の屈曲部1aとされている。屈曲部1a
の曲率半径Rは所望に応じて適宜選択できるが、成形効
率および強度などを考慮すると発熱部1ないし端子部2
.2の外径aの0.5倍以北特に0.5〜lO倍である
ことか好ましい。発熱部lないし端子部2.2の断面形
状には特に制限はないが、強度その他を考慮すれば円形
ないし矩形が好ましい。
炭化珪素発熱体10は、その素体が平均粒径が2.2鉢
の微粒子を40重量%含む炭化珪素原料100部と可塑
剤としてのメチルセルロース2部と結合剤としての熱硬
化性樹脂たとえばフェノール樹脂4部とを互いに混練し
たのちプランジャ型の成形機によって押出成形すること
によって作成された。炭化珪素発熱体lOの素体の形状
は実質的に第1図に示したものと同様で1発熱部lない
し端子flA2.2の外径aが10mmであり発熱部1
ないし端子部2.2の長さし、が600mmでかつ発熱
部lのみの長さL2が300gg−であった、また屈曲
1fBlaの曲率半径Rは40m−であった、この素体
は焼成されたのちいわゆる珪化処理および端子処理が施
されて炭化珪素発熱体IOとされた。
の微粒子を40重量%含む炭化珪素原料100部と可塑
剤としてのメチルセルロース2部と結合剤としての熱硬
化性樹脂たとえばフェノール樹脂4部とを互いに混練し
たのちプランジャ型の成形機によって押出成形すること
によって作成された。炭化珪素発熱体lOの素体の形状
は実質的に第1図に示したものと同様で1発熱部lない
し端子flA2.2の外径aが10mmであり発熱部1
ないし端子部2.2の長さし、が600mmでかつ発熱
部lのみの長さL2が300gg−であった、また屈曲
1fBlaの曲率半径Rは40m−であった、この素体
は焼成されたのちいわゆる珪化処理および端子処理が施
されて炭化珪素発熱体IOとされた。
炭化珪素発熱体lOは、高温断続寿命試験において常温
と1400℃との温度下に交互に反復して置いたところ
150回の熱サイクル経過後もなお折損などの損傷を生
じなかった。しかし第7図に示した同一寸法の従来例に
ついて同一の試験を行ったところ10回の熱サイクル経
過時点で接合部に折損が発生した。
と1400℃との温度下に交互に反復して置いたところ
150回の熱サイクル経過後もなお折損などの損傷を生
じなかった。しかし第7図に示した同一寸法の従来例に
ついて同一の試験を行ったところ10回の熱サイクル経
過時点で接合部に折損が発生した。
炭化珪素原料中の微粒子を20重量%未満とじたところ
炭化珪素発熱体lOの素体の成形に際し屈曲部1aに微
細な亀裂が生じてしまい炭化珪素発熱体lOを作成して
も寿命か短く好ましくなかった。
炭化珪素発熱体lOの素体の成形に際し屈曲部1aに微
細な亀裂が生じてしまい炭化珪素発熱体lOを作成して
も寿命か短く好ましくなかった。
これに対し炭化珪素原料中の微粒子を6011%より大
としたところ炭化珪素発熱体IOの素体の成形に際し屈
曲部1aの内側と外側との間に密度差か生じた。この素
体な焼成したのち珪化処理および端子処理を施して作成
された炭化珪素発熱体lOは表面に微細な亀裂が生じて
おり、上述した高温断絶寿命試験において23回の熱サ
イクル経過時点てん1曲部1aに折損か生じた。
としたところ炭化珪素発熱体IOの素体の成形に際し屈
曲部1aの内側と外側との間に密度差か生じた。この素
体な焼成したのち珪化処理および端子処理を施して作成
された炭化珪素発熱体lOは表面に微細な亀裂が生じて
おり、上述した高温断絶寿命試験において23回の熱サ
イクル経過時点てん1曲部1aに折損か生じた。
一方炭化珪素原料中の微粒子のf均粒径を1.0棒未満
としたところ炭化珪素発熱体10の素体の成形に際し一
定の形状を維持するためには結合剤を多j4に添加する
必要があり、炭化珪素発熱体lOを作成しても発熱特性
に劣化がみられ好ましくなかった。
としたところ炭化珪素発熱体10の素体の成形に際し一
定の形状を維持するためには結合剤を多j4に添加する
必要があり、炭化珪素発熱体lOを作成しても発熱特性
に劣化がみられ好ましくなかった。
これに対し炭化珪素原料中の微粒子の平均粒径を5.0
棒より大としたところ炭化珪素発熱体10の素体の成形
に際し屈曲部1aに微細な亀裂が生じてしまい炭化珪素
発熱体lOを作成しても寿命か短く好ましくなかった。
棒より大としたところ炭化珪素発熱体10の素体の成形
に際し屈曲部1aに微細な亀裂が生じてしまい炭化珪素
発熱体lOを作成しても寿命か短く好ましくなかった。
以上を要するに炭化珪素材料中の微粒子の含有量ζj、
20〜60重量%の範囲にあることか好ましい。また微
粒子の平均粒径は1.0〜5.0ルの範囲にあることが
好ましい。
20〜60重量%の範囲にあることか好ましい。また微
粒子の平均粒径は1.0〜5.0ルの範囲にあることが
好ましい。
次に第2図に示した第2の実施例について説明する。
20は本発明の一体成形された炭化珪素発熱体て、第1
図に示した第1の実施例と同様に発熱部lと2つの端子
部2.2とを包有している0発熱部1には第1の実施例
とは異なり3つの屈曲部+a〜1cか含まれている6屈
曲部1a〜lcの曲率半径R1〜Reは所望に応して適
宜選択できるが、成形効率および強度などを考慮すると
それぞれ発熱部!ないし端子部2.2の外径aの0.5
倍以上特に0.5〜lO倍であることか好ましい。発熱
部lないし端子部2.2の断面形状には第1の実施例と
同様特に制限はないが、強度その他を考慮すれば円形な
いし矩形か好ましい。
図に示した第1の実施例と同様に発熱部lと2つの端子
部2.2とを包有している0発熱部1には第1の実施例
とは異なり3つの屈曲部+a〜1cか含まれている6屈
曲部1a〜lcの曲率半径R1〜Reは所望に応して適
宜選択できるが、成形効率および強度などを考慮すると
それぞれ発熱部!ないし端子部2.2の外径aの0.5
倍以上特に0.5〜lO倍であることか好ましい。発熱
部lないし端子部2.2の断面形状には第1の実施例と
同様特に制限はないが、強度その他を考慮すれば円形な
いし矩形か好ましい。
炭化珪素発熱体20の作成要領は、第1の実施例と同様
てよい。
てよい。
更に第3図に示した第3の実施例について説明する。
3(lは本発明の−・体成形された炭化珪素発熱体て、
第1.第2の実施例と同様に発熱部lと2つの端f部2
,2とを包有している0発熱部lの両端部はそれぞれ屈
曲部+a、 lbとされており、中央部は゛ト円弧状の
屈曲8tllcとされている。屈曲部1a〜1cの曲率
半径R1〜Reは所望に応して適宜選択できるが、成形
効率および強度などを考慮するとそれぞれ発熱部lない
し端子部2.2の外径aの0.5倍以り特に0.5〜1
0倍であることか好ましい0発熱部lないし端子部2.
2の断面形状には第1、第2の実施例と同様特に制限は
ないか1強度その他を考慮すれば円形ないし矩形か好ま
しい。
第1.第2の実施例と同様に発熱部lと2つの端f部2
,2とを包有している0発熱部lの両端部はそれぞれ屈
曲部+a、 lbとされており、中央部は゛ト円弧状の
屈曲8tllcとされている。屈曲部1a〜1cの曲率
半径R1〜Reは所望に応して適宜選択できるが、成形
効率および強度などを考慮するとそれぞれ発熱部lない
し端子部2.2の外径aの0.5倍以り特に0.5〜1
0倍であることか好ましい0発熱部lないし端子部2.
2の断面形状には第1、第2の実施例と同様特に制限は
ないか1強度その他を考慮すれば円形ないし矩形か好ま
しい。
炭化珪素発熱体30の作成要領は、第1の実施例と同様
でよい。
でよい。
また第4図に示した第4の実施例について説明する。
40は本発明の一体成形された炭化珪素発熱体で、第1
ないし第3の実施例と同様に発熱部lと2つの端子部2
,2とを包有している0発熱部lの両端部はそれぞれ端
子部2.2に連続されており、中央部は円弧状の屈曲f
ll 1 aとされている。屈曲部laの曲率半径Rは
所望に応じて適宜選択できるが、成形効率および強度な
どを考慮するとそれぞれ発熱部lないし端子部2.2の
外径aの0.5倍以上特に0.5〜10倍であることが
好ましい。発熱部lないし端子部2.2の断面形状には
第1ないし第3の実施例と同様特に制限はないが1強度
その他を考慮すれば円形ないし矩形が好ましい。
ないし第3の実施例と同様に発熱部lと2つの端子部2
,2とを包有している0発熱部lの両端部はそれぞれ端
子部2.2に連続されており、中央部は円弧状の屈曲f
ll 1 aとされている。屈曲部laの曲率半径Rは
所望に応じて適宜選択できるが、成形効率および強度な
どを考慮するとそれぞれ発熱部lないし端子部2.2の
外径aの0.5倍以上特に0.5〜10倍であることが
好ましい。発熱部lないし端子部2.2の断面形状には
第1ないし第3の実施例と同様特に制限はないが1強度
その他を考慮すれば円形ないし矩形が好ましい。
炭化珪素発熱体40の作成要領は、第1の実施例と同様
でよい。
でよい。
加えて第5図に示した第5の実施例について説明する。
50は本発明の一体成形された炭化珪素発熱体で、第1
ないし第4の実施例と同様に発熱部lと2つの端子部2
.2とを包有している0発熱部lの両端部はそれぞれ屈
曲部1a、 lbとされており、中央部は螺旋状の屈曲
ff1tcとされている。屈曲部Ia〜lcの曲率半径
R8〜Rcは所望に応じて適宜選択できるが、成形効率
および強度などを考慮するとそれぞれ発熱部!ないし端
子部2.2の外径aの()、5倍以上特に0.5〜10
倍であることか好ましい。発熱部lないし端子部2.2
の断面形状には第1ないし第4の実施例と同様特に制限
はないが。
ないし第4の実施例と同様に発熱部lと2つの端子部2
.2とを包有している0発熱部lの両端部はそれぞれ屈
曲部1a、 lbとされており、中央部は螺旋状の屈曲
ff1tcとされている。屈曲部Ia〜lcの曲率半径
R8〜Rcは所望に応じて適宜選択できるが、成形効率
および強度などを考慮するとそれぞれ発熱部!ないし端
子部2.2の外径aの()、5倍以上特に0.5〜10
倍であることか好ましい。発熱部lないし端子部2.2
の断面形状には第1ないし第4の実施例と同様特に制限
はないが。
強度その他を考慮すれば円形ないし矩形が好ましい。
炭化珪素発熱体50の作成要領は、第1の実施例と同様
でよい。
でよい。
加えて第6図に示した第6の実施例について説明する。
60は本発明の一体成形された炭化珪素発熱体て、第1
ないし第5の実施例と同様に発熱部1と2つの端子部2
.2とを包有している0発熱部lの両端部はそれぞれ端
子部2.2に連続されており、その近傍か屈曲部1a、
lbとされている。屈曲部Ia、 lbの曲率半径R
−、Rhは所望に応じて適宜選択てきるが、成形効率お
よび強度などを考慮するとそれぞれ発熱部1ないし端子
部2.2の外径aの0.5倍以北特にロ、5〜10倍で
あることか好ましい。発熱部lないし端子部2.2の断
面形状には第1ないし第5の実施例と同様特に制限はな
いが、強度その他を考慮すれば円形ないし矩形か好まし
い。
ないし第5の実施例と同様に発熱部1と2つの端子部2
.2とを包有している0発熱部lの両端部はそれぞれ端
子部2.2に連続されており、その近傍か屈曲部1a、
lbとされている。屈曲部Ia、 lbの曲率半径R
−、Rhは所望に応じて適宜選択てきるが、成形効率お
よび強度などを考慮するとそれぞれ発熱部1ないし端子
部2.2の外径aの0.5倍以北特にロ、5〜10倍で
あることか好ましい。発熱部lないし端子部2.2の断
面形状には第1ないし第5の実施例と同様特に制限はな
いが、強度その他を考慮すれば円形ないし矩形か好まし
い。
炭化珪素発熱体60の作成要領は、第1の実施例と同様
てよい。
てよい。
(3)発明の効果
E述より明らかなように本発明は、2つの端子部および
発熱部が一体成形されておりかつ前記発熱部に屈曲部か
包有されているので、(1)短絡板との間の接合部を除
去でき長寿命化できる効果を有し、また(2) !!J
造作造作−し電気炉への取付作業な筒素化てきる効果を
有し、併せて(3)発熱領域を拡大てきる効果も有する
。
発熱部が一体成形されておりかつ前記発熱部に屈曲部か
包有されているので、(1)短絡板との間の接合部を除
去でき長寿命化できる効果を有し、また(2) !!J
造作造作−し電気炉への取付作業な筒素化てきる効果を
有し、併せて(3)発熱領域を拡大てきる効果も有する
。
第1図は本発明の炭化珪素発熱体の第1の実施例を示す
平面図、第2図は同第2の実施例を示す上面図、第3図
は同第3の実施例を示す平面図。 第4図は同第4の実施例を示す平面図、第5図は同第5
の実施例を示す正面図、第6図は同第6の実施例を示す
モ面図、第7図は同従来例を示す平面図である。 1・・・・発熱部 18〜1c・・・・屈曲部 2・・・・端子部 +0.20.:10,40,50.60・・・・炭化珪
素発熱体特許出願人 東芝セラミックス株式会社代理人
弁理士 工 藤 隆 夫第3図 第4図 第7図
平面図、第2図は同第2の実施例を示す上面図、第3図
は同第3の実施例を示す平面図。 第4図は同第4の実施例を示す平面図、第5図は同第5
の実施例を示す正面図、第6図は同第6の実施例を示す
モ面図、第7図は同従来例を示す平面図である。 1・・・・発熱部 18〜1c・・・・屈曲部 2・・・・端子部 +0.20.:10,40,50.60・・・・炭化珪
素発熱体特許出願人 東芝セラミックス株式会社代理人
弁理士 工 藤 隆 夫第3図 第4図 第7図
Claims (3)
- (1)2つの端子部に連続する発熱部を包有してなる炭
化珪素発熱体において、前記2つの端子部および発熱部
が一体成形されておりかつ前記発熱部が屈曲部を包有し
てなることを特徴とする炭化珪素発熱体。 - (2)屈曲部の曲率半径が、2つの端子部ないし発熱部
の外径の0.5倍以上であることを特徴とする特許請求
の範囲第(1)項記載の炭化珪素発熱体。 - (3)少なくとも発熱部か、1.0〜5.0μの平均粒
径をもつ炭化珪素を20〜60重量%包含してなること
を特徴とする特許請求の範囲第(1)項もしくは第(2
)項記載の炭化珪素発熱体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61085640A JP2520597B2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | Sic結合型炭化珪素発熱体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61085640A JP2520597B2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | Sic結合型炭化珪素発熱体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62243277A true JPS62243277A (ja) | 1987-10-23 |
JP2520597B2 JP2520597B2 (ja) | 1996-07-31 |
Family
ID=13864422
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61085640A Expired - Lifetime JP2520597B2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | Sic結合型炭化珪素発熱体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2520597B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6457584A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-03 | Ibiden Co Ltd | Resistance heating element |
JPH0427598U (ja) * | 1990-06-28 | 1992-03-04 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58113293U (ja) * | 1982-01-28 | 1983-08-02 | 東海高熱工業株式会社 | 複合発熱形炭化珪素質発熱体 |
JPS5963991U (ja) * | 1982-10-22 | 1984-04-27 | 臼井国際産業株式会社 | 電熱ヒ−タ−用発熱体 |
JPS60124385A (ja) * | 1983-12-09 | 1985-07-03 | 竹市 冨朗 | 金属結合型SiCヒ−タ− |
-
1986
- 1986-04-14 JP JP61085640A patent/JP2520597B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58113293U (ja) * | 1982-01-28 | 1983-08-02 | 東海高熱工業株式会社 | 複合発熱形炭化珪素質発熱体 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6457584A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-03 | Ibiden Co Ltd | Resistance heating element |
JPH0427598U (ja) * | 1990-06-28 | 1992-03-04 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2520597B2 (ja) | 1996-07-31 |
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