JPS62242372A - 光導電素子の製造方法 - Google Patents
光導電素子の製造方法Info
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- JPS62242372A JPS62242372A JP61084378A JP8437886A JPS62242372A JP S62242372 A JPS62242372 A JP S62242372A JP 61084378 A JP61084378 A JP 61084378A JP 8437886 A JP8437886 A JP 8437886A JP S62242372 A JPS62242372 A JP S62242372A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
本発明は、セラミック、ガラス等の基板上に真空蒸着に
よりCd S、Cd Se等のCd系光導電素子材料の
薄膜を形成する際に、基板との密着性が優れた薄膜形成
を可能にすることを目的としたもので、Cd系光導電素
子材料に金属Cdを添加したものを母材として使用して
蒸着を行うようにして目的の達成を図っている。
よりCd S、Cd Se等のCd系光導電素子材料の
薄膜を形成する際に、基板との密着性が優れた薄膜形成
を可能にすることを目的としたもので、Cd系光導電素
子材料に金属Cdを添加したものを母材として使用して
蒸着を行うようにして目的の達成を図っている。
本発明は光導電素子の製造方法に係り、特にセラミック
、ガラス等の基板との密着性に優れたCd系薄膜の形成
方法に関する。
、ガラス等の基板との密着性に優れたCd系薄膜の形成
方法に関する。
光導電素子は、Cd S、Cd Se等のCd系光導電
素子材料の薄膜をセラミック、ガラス等の基板上に形成
して構成されている。
素子材料の薄膜をセラミック、ガラス等の基板上に形成
して構成されている。
この光導電素子は、光のエネルギを吸収したときに該光
の強弱によって抵抗値が変化する性質を有しており、イ
メージセンサ等に使用されている。
の強弱によって抵抗値が変化する性質を有しており、イ
メージセンサ等に使用されている。
従来、この基板上へのCd系材料の薄膜形成は真空蒸着
により行われている。
により行われている。
ところが、上述のような薄膜形成方法では、形成された
薄膜の基板に対する密着力が劣るという欠点があった。
薄膜の基板に対する密着力が劣るという欠点があった。
本発明は上述の問題点を解決することのできる光導電素
子の製造方法を提供するもので、そのための手段として
、Cd系光導電素子材料に金属Cdを添加したものを母
材として使用して蒸着を行うようにしている。
子の製造方法を提供するもので、そのための手段として
、Cd系光導電素子材料に金属Cdを添加したものを母
材として使用して蒸着を行うようにしている。
上述のように金属Cdを添加した母材を用いて真空蒸着
を行うと、まず沸点の低いCdが基板上に薄膜として形
成され、さらにその上にCd Se(またはCd5)の
薄膜が形成される。
を行うと、まず沸点の低いCdが基板上に薄膜として形
成され、さらにその上にCd Se(またはCd5)の
薄膜が形成される。
一般にCdはセラミックやガラスの基板との密着に優れ
た材料であるため、上述のようにCd Seと基板との
間に形成されたCd膜は密着強化層としての役割を果た
すことができ、しかもCd Se膜の膜厚と比べて薄い
膜厚で十分な密着力強化が実現される。
た材料であるため、上述のようにCd Seと基板との
間に形成されたCd膜は密着強化層としての役割を果た
すことができ、しかもCd Se膜の膜厚と比べて薄い
膜厚で十分な密着力強化が実現される。
また、このように形成された薄膜を光導電素子として使
用する場合、薄膜蒸着後に500〜700℃の温度で熱
処理することになるが、この場合、添加元素としてCr
やAAを用いると素子特性に劣化を生じるが、本発明で
使用するCdはCd Seの構成元素であるため素子特
性への影響は無視できる。
用する場合、薄膜蒸着後に500〜700℃の温度で熱
処理することになるが、この場合、添加元素としてCr
やAAを用いると素子特性に劣化を生じるが、本発明で
使用するCdはCd Seの構成元素であるため素子特
性への影響は無視できる。
以下、図面に関連して本発明の詳細な説明する。
本発明では、基板への密着力の改良材として金属Cdを
Cd系光導電素子材料に添加し、これを母材として真空
蒸着を行うことにより、形成薄膜の基板との密着力を改
善したものである。
Cd系光導電素子材料に添加し、これを母材として真空
蒸着を行うことにより、形成薄膜の基板との密着力を改
善したものである。
次に本発明に係る光導電素子の製造方法の具体的な実施
例を作用効果と関連して説明する。
例を作用効果と関連して説明する。
tイン
のCd Se粉末及び純度3−n+rre−の金属Cd
粉末を使用し、これを例えばCd Se : Cd
= 1 :0.02のモル比で混合する。そして、この
混合物をN2中で500〜600℃で焼成し粉砕したも
のを蒸着源として用いる。
粉末を使用し、これを例えばCd Se : Cd
= 1 :0.02のモル比で混合する。そして、この
混合物をN2中で500〜600℃で焼成し粉砕したも
のを蒸着源として用いる。
次に蒸着を行うが、蒸着に際しては、まず上記のように
用意された蒸着源をタンタルあるいはモリブデンのボー
トに入れ、2 X 10−5torr程度の真空度で真
空蒸着を開始する。基板としてはセラミック基板あるい
はガラス基板を用いる。この場合、ポートに120〜1
30Aの電流を流して加ところで、一般にCdはセラミ
ック、ガラス等の基板との密着に優れた材料であるため
、上述のようにCd Seの薄膜3と基板2との間に形
成されたCdの薄膜lは密着強化層としての役割を果た
す。すなわち、本発明の方法によれば、Cd系光導電素
子材料で形成された薄膜の基板に対する密着力を強化す
ることができ、しかもこの場合のCd薄膜の膜厚はCd
Se薄膜の膜厚に比べ薄い膜厚で良い(Cd Seに
対するCdの混合割合は少なくて良い)。
用意された蒸着源をタンタルあるいはモリブデンのボー
トに入れ、2 X 10−5torr程度の真空度で真
空蒸着を開始する。基板としてはセラミック基板あるい
はガラス基板を用いる。この場合、ポートに120〜1
30Aの電流を流して加ところで、一般にCdはセラミ
ック、ガラス等の基板との密着に優れた材料であるため
、上述のようにCd Seの薄膜3と基板2との間に形
成されたCdの薄膜lは密着強化層としての役割を果た
す。すなわち、本発明の方法によれば、Cd系光導電素
子材料で形成された薄膜の基板に対する密着力を強化す
ることができ、しかもこの場合のCd薄膜の膜厚はCd
Se薄膜の膜厚に比べ薄い膜厚で良い(Cd Seに
対するCdの混合割合は少なくて良い)。
第2図は本発明の詳細な説明する信鯨性試験結果を示し
、曲線Aは従来のCdなしの場合の試験結果で、曲線B
は本発明のCd添加の場合の試験結果である。試験とし
ては、それぞれの場合の試験品(基板上に蒸着膜を形成
したもの)を60℃。
、曲線Aは従来のCdなしの場合の試験結果で、曲線B
は本発明のCd添加の場合の試験結果である。試験とし
ては、それぞれの場合の試験品(基板上に蒸着膜を形成
したもの)を60℃。
90%RHの恒温恒湿状態に所定時放置した後テープテ
ストを行って密着程度を調べた。基板はセラミック基板
である。本図に明らかなように、従来の場合は試験時間
(放置時間)の経過とともに良品率が低下するが、本発
明の場合は試験時間と無関係に100%の良品率(薄膜
が完全に密着している)が保たれる。
ストを行って密着程度を調べた。基板はセラミック基板
である。本図に明らかなように、従来の場合は試験時間
(放置時間)の経過とともに良品率が低下するが、本発
明の場合は試験時間と無関係に100%の良品率(薄膜
が完全に密着している)が保たれる。
また、このようにして形成されたCd系光導電素子材料
の薄膜を光導電素子として使う場合、蒸着後に500〜
700℃の温度で熱処理を行うことになる。この場合、
添加元素としてCrやAlを用いると素子特性に劣化を
生じるが、本発明で使用するCdはCd Seの構成要
素であるため素子特性への影響は無視できる。
の薄膜を光導電素子として使う場合、蒸着後に500〜
700℃の温度で熱処理を行うことになる。この場合、
添加元素としてCrやAlを用いると素子特性に劣化を
生じるが、本発明で使用するCdはCd Seの構成要
素であるため素子特性への影響は無視できる。
以上述べたように、本発明によれば、Cd系の光導電素
子材料の薄膜と基板との密着力を向上させることができ
るので、信頼性の高い光導電素子を得ることが可能であ
る。
子材料の薄膜と基板との密着力を向上させることができ
るので、信頼性の高い光導電素子を得ることが可能であ
る。
第1図は本発明の実施例の薄膜形成要領説明図、第2図
は本発明の効果(信顛性試験結果)を示すグラフで、 図中、 1はCdの薄膜、 2は基板、 3はCd Seの薄膜である。
は本発明の効果(信顛性試験結果)を示すグラフで、 図中、 1はCdの薄膜、 2は基板、 3はCd Seの薄膜である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基板上に真空蒸着によりCd系の光導電素子材料の薄膜
を形成する光導電素子の製造方法において、 前記光導電素子材料に金属Cdを添加したものを母材と
して使用して蒸着を行うことを特徴とする光導電素子の
製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61084378A JPS62242372A (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | 光導電素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61084378A JPS62242372A (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | 光導電素子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62242372A true JPS62242372A (ja) | 1987-10-22 |
Family
ID=13828878
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61084378A Pending JPS62242372A (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | 光導電素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62242372A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102978572A (zh) * | 2011-09-07 | 2013-03-20 | 无锡尚德太阳能电力有限公司 | 制备CdTe薄膜的方法及热蒸发设备 |
-
1986
- 1986-04-14 JP JP61084378A patent/JPS62242372A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102978572A (zh) * | 2011-09-07 | 2013-03-20 | 无锡尚德太阳能电力有限公司 | 制备CdTe薄膜的方法及热蒸发设备 |
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