JPS6224105A - テレビカメラの照明方式 - Google Patents
テレビカメラの照明方式Info
- Publication number
- JPS6224105A JPS6224105A JP16452185A JP16452185A JPS6224105A JP S6224105 A JPS6224105 A JP S6224105A JP 16452185 A JP16452185 A JP 16452185A JP 16452185 A JP16452185 A JP 16452185A JP S6224105 A JPS6224105 A JP S6224105A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- light
- camera
- reflected
- finished surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明はテレビカメラの照明方式に関し、特に半導体ウ
ェーハ等の鏡面上の微細な凹凸を検出するためのテレビ
カメラの照明方式に関する。
ェーハ等の鏡面上の微細な凹凸を検出するためのテレビ
カメラの照明方式に関する。
従来技術
従来、テレビカメラを使用した被写体の撮影では、照明
による被写体からの反射光がテレビカメラへ直接入射し
ないように照明用光源及びテレビカメラを配置して被写
体による散乱光のみをテレビカメラで捕える方法が行わ
れている。
による被写体からの反射光がテレビカメラへ直接入射し
ないように照明用光源及びテレビカメラを配置して被写
体による散乱光のみをテレビカメラで捕える方法が行わ
れている。
第３図はかかる従来の照明方法を示ず図であり、被写体
３としては例えば鏡面を有する半導体ウェハであり、こ
のウェハの鏡面の状態をテレビカメラによって捕えるも
のである。そのために、図示する如く照明用光源４の光
をレンズ゛５によって平行光７として被写体３の鏡面に
対して所定の角度（斜めの角度）で照射し、テレビカメ
ラは被写体３の直上に配置してこの鏡面による反射光８
がテレビカメラのレンズ２へ直接入射しないようにして
いる。
３としては例えば鏡面を有する半導体ウェハであり、こ
のウェハの鏡面の状態をテレビカメラによって捕えるも
のである。そのために、図示する如く照明用光源４の光
をレンズ゛５によって平行光７として被写体３の鏡面に
対して所定の角度（斜めの角度）で照射し、テレビカメ
ラは被写体３の直上に配置してこの鏡面による反射光８
がテレビカメラのレンズ２へ直接入射しないようにして
いる。
このように、テレビカメラには被写体３による散乱光の
みが捕えられるようになっているので、被写体の表面の
状態によりテレビカメラへの入射光量が変化するが、ウ
ェハの様に鏡面の場合には、テレビカメラへ散乱光は入
射せず照明先爪を増大してもテレビカメラには光は入射
しない。
みが捕えられるようになっているので、被写体の表面の
状態によりテレビカメラへの入射光量が変化するが、ウ
ェハの様に鏡面の場合には、テレビカメラへ散乱光は入
射せず照明先爪を増大してもテレビカメラには光は入射
しない。
ここで、鏡面の被写体における微小な凹凸をテレビカメ
ラにより撮影しようとする場合、図に示す様に照明光７
による凹凸部における散乱光９はあらゆる角度に反射し
てテレビカメラへ入射覆る光はその掻く一部としかなら
ない。そのために、テレビカメラにより搬彰される微細
凹凸の形状は暗い像として撮影されることになる。そこ
で反射。
ラにより撮影しようとする場合、図に示す様に照明光７
による凹凸部における散乱光９はあらゆる角度に反射し
てテレビカメラへ入射覆る光はその掻く一部としかなら
ない。そのために、テレビカメラにより搬彰される微細
凹凸の形状は暗い像として撮影されることになる。そこ
で反射。
光８の方向にテレビカメラを設置してテレビカメラへ入
射する光の吊を増大せしめようとすると、微細凹凸部の
テレビカメラによる像は実際の形状を正確に捕えていな
いことになる。
射する光の吊を増大せしめようとすると、微細凹凸部の
テレビカメラによる像は実際の形状を正確に捕えていな
いことになる。
発明の目的
本発明は上記従来のものの欠点を除去すべくなされたも
のであって、その目的とするところは、被写体の鏡面上
の微細凹凸を実際の形状と等しくかつ鮮明な画像として
随影可能なテレビカメラの照明方式を提供することにあ
る。
のであって、その目的とするところは、被写体の鏡面上
の微細凹凸を実際の形状と等しくかつ鮮明な画像として
随影可能なテレビカメラの照明方式を提供することにあ
る。
発明の構成
本発明によるテレビカメラの照明方式は、被写体とテレ
ビカメラとの間にハーフミラ−を設け、このハーフミラ
−に光を照射してこのハーフミラ−の反射光によって被
写体を照明してこの被写体による反射光をハーフミラ−
を透過せしめてテレビカメラへ入射するようにしたこと
を特徴とする。
ビカメラとの間にハーフミラ−を設け、このハーフミラ
−に光を照射してこのハーフミラ−の反射光によって被
写体を照明してこの被写体による反射光をハーフミラ−
を透過せしめてテレビカメラへ入射するようにしたこと
を特徴とする。
友１璽
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の実施例を示す図であり、第３図と同等
部分は同一符号により示している。図において、１はテ
レビカメラ本体であり、６はハーフミラ−である。被写
体である半導体ウェハ３とテレビカメラ１のレンズ２と
の間にハーフミラ−６が設置されており、光源４のレン
ズ５による平行光７がこのハーフミラ−６により反射さ
れて被写体３の鏡面に直交するように入射する如くハー
フミラ−６は配設される。すなわち、レンズ５による光
７は鏡面と平行になっており、これがハーフミラ−６に
より９０度反射されて被写体３の鏡面へ垂直に入射する
。そして、この鏡面による反射光８がハーフミラ−６を
透過してテレビカメラのレンズ２へ垂直に入射されるよ
うな構成である。
部分は同一符号により示している。図において、１はテ
レビカメラ本体であり、６はハーフミラ−である。被写
体である半導体ウェハ３とテレビカメラ１のレンズ２と
の間にハーフミラ−６が設置されており、光源４のレン
ズ５による平行光７がこのハーフミラ−６により反射さ
れて被写体３の鏡面に直交するように入射する如くハー
フミラ−６は配設される。すなわち、レンズ５による光
７は鏡面と平行になっており、これがハーフミラ−６に
より９０度反射されて被写体３の鏡面へ垂直に入射する
。そして、この鏡面による反射光８がハーフミラ−６を
透過してテレビカメラのレンズ２へ垂直に入射されるよ
うな構成である。
第２図は第１図の被写体３における鏡面部分の拡大図で
あり、鏡面上の微細凹凸による散乱光９はあらゆる角度
に反射して反射光８と同じ方向へ向う光は一部しか存在
しない。よって、テレビカメラにより撤彰される微細凹
凸の形状は実際の大きさに等しく、また周囲の明るさに
比較して鮮明な黒い像として撮影することが可能となる
のである。
あり、鏡面上の微細凹凸による散乱光９はあらゆる角度
に反射して反射光８と同じ方向へ向う光は一部しか存在
しない。よって、テレビカメラにより撤彰される微細凹
凸の形状は実際の大きさに等しく、また周囲の明るさに
比較して鮮明な黒い像として撮影することが可能となる
のである。
反射光８が直接テレビカメラ１へ入射して′＠像が明る
くなりすぎる場合には、ハーフミラ−６の透過度を小と
してやれば、かかる現象は防止できることになり、従来
に比較してより明るい鮮明な鏡面の凹凸状態が撮影可能
となる。
くなりすぎる場合には、ハーフミラ−６の透過度を小と
してやれば、かかる現象は防止できることになり、従来
に比較してより明るい鮮明な鏡面の凹凸状態が撮影可能
となる。
発明の効果
叙上の如く、本発明によれば、被写体を照明した反射光
がテレビカメラへ直接入射するようにしたので、鏡面上
の微細凹凸の像が鮮明に撮影可能となり、また被写体か
らの垂直な反射光がテレビカメラへ入射するので、凹凸
の像が正確に＠影できるものである。
がテレビカメラへ直接入射するようにしたので、鏡面上
の微細凹凸の像が鮮明に撮影可能となり、また被写体か
らの垂直な反射光がテレビカメラへ入射するので、凹凸
の像が正確に＠影できるものである。
第１図は本発明の実施例の構成を示す図、第２図は第１
図の一部拡大を示す図、第３図は従来の照明方式を説明
する図である。 主要部分の符号の説明 １・・・・・・テレビカメラ ３・・・・・・被写体 ６・・・・・・ハーフミラ− ７・・・・・・入射光 ８・・・・・・反射光 ９・・・・・・散乱光
図の一部拡大を示す図、第３図は従来の照明方式を説明
する図である。 主要部分の符号の説明 １・・・・・・テレビカメラ ３・・・・・・被写体 ６・・・・・・ハーフミラ− ７・・・・・・入射光 ８・・・・・・反射光 ９・・・・・・散乱光
Claims (1)
- 被写体とテレビカメラとの間にハーフミラーを設け、こ
のハーフミラーに光を照射してこのハーフミラーの反射
光によって前記被写体を照明してこの被写体による反射
光を前記ハーフミラーを透過せしめて前記テレビカメラ
へ入射するようにしたことを特徴とするテレビカメラの
照明方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16452185A JPS6224105A (ja) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | テレビカメラの照明方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16452185A JPS6224105A (ja) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | テレビカメラの照明方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6224105A true JPS6224105A (ja) | 1987-02-02 |
Family
ID=15794741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16452185A Pending JPS6224105A (ja) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | テレビカメラの照明方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6224105A (ja) |
-
1985
- 1985-07-25 JP JP16452185A patent/JPS6224105A/ja active Pending
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