JPS6223583A - リリ−フバルブ - Google Patents
リリ−フバルブInfo
- Publication number
- JPS6223583A JPS6223583A JP16312485A JP16312485A JPS6223583A JP S6223583 A JPS6223583 A JP S6223583A JP 16312485 A JP16312485 A JP 16312485A JP 16312485 A JP16312485 A JP 16312485A JP S6223583 A JPS6223583 A JP S6223583A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- cryopump
- pressure
- closing
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Safety Valves (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はクライオポンプのいわゆる再生昇温時にクライ
オパネルかゝらポンプ内部に大量に放出される気体を外
部に排出するためのリリーフバルブに関するものである
。
オパネルかゝらポンプ内部に大量に放出される気体を外
部に排出するためのリリーフバルブに関するものである
。
（従来の技術）
周知のように、クライオポンプ内には、気体を凝縮する
クライオパネルが配設されており、このクライオパネル
に凝縮されている気体をパネルから脱離して排出する際
に、クライオポンプ内が大気圧以上に上昇する。このよ
うなりライオポンプの圧力上昇を解放するため、クライ
オポンプにはリリーフバルブが設けられ、クライオポン
プ内が大気圧を越えたときにリリーフバルブを動作させ
て内部の気体を外に放出している。
クライオパネルが配設されており、このクライオパネル
に凝縮されている気体をパネルから脱離して排出する際
に、クライオポンプ内が大気圧以上に上昇する。このよ
うなりライオポンプの圧力上昇を解放するため、クライ
オポンプにはリリーフバルブが設けられ、クライオポン
プ内が大気圧を越えたときにリリーフバルブを動作させ
て内部の気体を外に放出している。
第２図には従来からクライオポンプ１に使用されている
リリーフバルブ２の構成が示されている、以下、このリ
リーフバルブ２の典型的な構成と作用を第２図に基づい
て説明する。まず、クライオポンプ１の運転中はクライ
オポンプ１の内部が真空であり、一方、リリーフバルブ
２内は気体放出口３を介して外気と通じているため大気
圧である。この結果、弁体４には気圧差による図上下向
きの力が加わる他に圧縮ばね５による付勢力が加わって
エラストマーガスケット６はシール面（弁座）に押し付
けられ、弁孔７の真空シールが行われる。次に、クライ
オポンプ１の運転を停止するとクライオポンプ１内のク
ライオパネルに凝縮付着していた気体がクライオパネル
から脱離放出されクライオポンプ１内の圧力が上昇を始
める。このポンプ内圧は大気圧を越えたとき、圧縮ばね
５の付勢力に打ち勝って弁体４を押し上げる結果、クラ
イオポンプ容器１内の気体は気体放出口３から大気側へ
放出され、クライオポンプ１内の過度の圧力上昇が防止
されるのである。
リリーフバルブ２の構成が示されている、以下、このリ
リーフバルブ２の典型的な構成と作用を第２図に基づい
て説明する。まず、クライオポンプ１の運転中はクライ
オポンプ１の内部が真空であり、一方、リリーフバルブ
２内は気体放出口３を介して外気と通じているため大気
圧である。この結果、弁体４には気圧差による図上下向
きの力が加わる他に圧縮ばね５による付勢力が加わって
エラストマーガスケット６はシール面（弁座）に押し付
けられ、弁孔７の真空シールが行われる。次に、クライ
オポンプ１の運転を停止するとクライオポンプ１内のク
ライオパネルに凝縮付着していた気体がクライオパネル
から脱離放出されクライオポンプ１内の圧力が上昇を始
める。このポンプ内圧は大気圧を越えたとき、圧縮ばね
５の付勢力に打ち勝って弁体４を押し上げる結果、クラ
イオポンプ容器１内の気体は気体放出口３から大気側へ
放出され、クライオポンプ１内の過度の圧力上昇が防止
されるのである。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、従来のリリーフバルブ２はシール力とし
て主に圧縮ばね５の付勢力を利用したものであるなめ、
圧縮ばね５の付勢力か弱すぎる場合には充分なシール力
がえられず、ゴミなどが弁体４やシール面に付着してし
ばしば真空リークが発生するという問題があり、またそ
の逆に、圧縮ばね５の付勢力が強すぎる場合には、クラ
イオポンプ１内の圧力解放が充分得られず、ポンプ内圧
力が高くなり危険である。また、圧縮ばね５の付勢力は
弁体４の開ストローク量が大きくなるにっれて大きくな
るので、弁体４の開ストローク量が必要なだけ充分に大
きくとれず、大流量の気体放出時に放出気体の圧力損失
に起因してクライオポンプ１内の圧力がさらに高まると
いう危険があった。本発明は上記従来の問題点を解決す
るためになされたものであり、その目的は、クライオポ
ンプの運転時には充分なシール力をもって真空リークを
防ぐとともに、クライオポンプの停止時には充分な圧力
解放を行い、クライオポンプ内圧力の過度の上昇を防ぐ
ことができるリリーフバルブを提供することにある。
て主に圧縮ばね５の付勢力を利用したものであるなめ、
圧縮ばね５の付勢力か弱すぎる場合には充分なシール力
がえられず、ゴミなどが弁体４やシール面に付着してし
ばしば真空リークが発生するという問題があり、またそ
の逆に、圧縮ばね５の付勢力が強すぎる場合には、クラ
イオポンプ１内の圧力解放が充分得られず、ポンプ内圧
力が高くなり危険である。また、圧縮ばね５の付勢力は
弁体４の開ストローク量が大きくなるにっれて大きくな
るので、弁体４の開ストローク量が必要なだけ充分に大
きくとれず、大流量の気体放出時に放出気体の圧力損失
に起因してクライオポンプ１内の圧力がさらに高まると
いう危険があった。本発明は上記従来の問題点を解決す
るためになされたものであり、その目的は、クライオポ
ンプの運転時には充分なシール力をもって真空リークを
防ぐとともに、クライオポンプの停止時には充分な圧力
解放を行い、クライオポンプ内圧力の過度の上昇を防ぐ
ことができるリリーフバルブを提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明は上記目的を達成するため次のように構成されて
いる。すなわち、本発明は、クライオポンプに収り付け
られ該クライオポンプ内の圧力が大気圧を越えたときに
弁孔を開いてクライオポンプ内を外気に解放するリリー
フバルブにおいて、クライオポンプの内圧以外の力によ
って弁体を駆動し弁孔を強制的に開閉する弁開閉駆動手
段と、クライオポンプの内圧を検出しその内圧が大気圧
以上となったときに前記弁開閉駆動手段に弁開指令を出
力する内圧検出手段とを有するリリーフバルブである。
いる。すなわち、本発明は、クライオポンプに収り付け
られ該クライオポンプ内の圧力が大気圧を越えたときに
弁孔を開いてクライオポンプ内を外気に解放するリリー
フバルブにおいて、クライオポンプの内圧以外の力によ
って弁体を駆動し弁孔を強制的に開閉する弁開閉駆動手
段と、クライオポンプの内圧を検出しその内圧が大気圧
以上となったときに前記弁開閉駆動手段に弁開指令を出
力する内圧検出手段とを有するリリーフバルブである。
（作用）
上記構成からなる本発明において、クライオポンプの運
転中においては、弁体はクライオポンプ内の負圧によっ
て弁孔に吸引されるとともに前記クライオポンプの負圧
以外の力、例えば電磁力や流体圧力を利用した弁開閉駆
動手段によって強制的に弁孔に押し付けられ弁孔の閉鎖
状態が安定に維持される。次に、クライオポンプの運転
停止後にあっては、クライオパネルからの凝縮気体の脱
離によってクライオポンプ内の圧力が上昇する。
転中においては、弁体はクライオポンプ内の負圧によっ
て弁孔に吸引されるとともに前記クライオポンプの負圧
以外の力、例えば電磁力や流体圧力を利用した弁開閉駆
動手段によって強制的に弁孔に押し付けられ弁孔の閉鎖
状態が安定に維持される。次に、クライオポンプの運転
停止後にあっては、クライオパネルからの凝縮気体の脱
離によってクライオポンプ内の圧力が上昇する。
この圧力上昇は圧力検出手段によって検出され、その検
出圧力が大気圧以上になったとき、すなわち、大気圧又
は大気圧よりも微小圧だけ高い圧力になったときに弁開
指令が圧力検出手段から弁開閉駆動手段に出力される。
出圧力が大気圧以上になったとき、すなわち、大気圧又
は大気圧よりも微小圧だけ高い圧力になったときに弁開
指令が圧力検出手段から弁開閉駆動手段に出力される。
弁開閉駆動手段は弁開指令を受けて弁体を開動作し、弁
孔を強制的に完全に開放する。この弁孔開放によってク
ライオポンプ内の気体はスムースに外に放出されクライ
オポンプ内の過剰圧力の発生は確実に防止されるのであ
る。
孔を強制的に完全に開放する。この弁孔開放によってク
ライオポンプ内の気体はスムースに外に放出されクライ
オポンプ内の過剰圧力の発生は確実に防止されるのであ
る。
（実施例）
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。なお
、実施例の説明において従来例と同一の構成部分は同一
符号を付してその説明を省略する。第１図には本発明の
一実施例の構成が示されている。図において、クライオ
ポンプ１の容器壁面には圧力検出手段としての圧力検出
器８が固定されており、この圧力検出器８によってクラ
イオポンプ１内の圧力が検出されている。一方、クライ
オポンプ１の所望位置には電磁バルブ又はニューマチイ
ックバルブ等からなるバルブ９が取り付けられており、
このバルブ９は弁開閉駆動手段としての電磁バルブ励磁
駆動機構又はニューマチイックバルブのシリンダ駆動機
槽（図示せず）によって弁体の駆動が行われ弁孔を強制
的に開閉できるようになっている。
、実施例の説明において従来例と同一の構成部分は同一
符号を付してその説明を省略する。第１図には本発明の
一実施例の構成が示されている。図において、クライオ
ポンプ１の容器壁面には圧力検出手段としての圧力検出
器８が固定されており、この圧力検出器８によってクラ
イオポンプ１内の圧力が検出されている。一方、クライ
オポンプ１の所望位置には電磁バルブ又はニューマチイ
ックバルブ等からなるバルブ９が取り付けられており、
このバルブ９は弁開閉駆動手段としての電磁バルブ励磁
駆動機構又はニューマチイックバルブのシリンダ駆動機
槽（図示せず）によって弁体の駆動が行われ弁孔を強制
的に開閉できるようになっている。
このクライオポンプ１の運転時における弁孔の閉動作は
クライオポンプ１の運転起動信号を受けて弁ｒＭテ駆動
手段がバルブ９を駆動することによって行われる。また
、クライオポンプｌの運転停止後における弁孔の開動作
は圧力検出器８からの弁開指令によって行われる。
クライオポンプ１の運転起動信号を受けて弁ｒＭテ駆動
手段がバルブ９を駆動することによって行われる。また
、クライオポンプｌの運転停止後における弁孔の開動作
は圧力検出器８からの弁開指令によって行われる。
この弁開指令はクライオポンプ１内の圧力検出値が大気
圧以上、すなわち、大気圧に等しいか又は大気圧よりも
微小圧だけ大きい圧力となったときに圧力検出器８から
弁開閉駆動手段に出力されるものである。したがって、
クライオポンプ１の運転停止後にクライオパネルからの
凝縮気体の脱離によってクライオポンプ１内の圧力が上
昇し、大気圧を越えたときには弁孔が強制的に開放され
ることとなり、クライオポンプ１内の過剰圧力は効果的
に防止される。また、弁孔の開閉は電磁力や空気圧等の
外力によって強制的に行われるから、弁孔の閉鎖時に閉
鎖力の不足に起因して真空リークが発生することはなく
、また、弁孔の開放に際し、弁孔の不完全開放に起因し
て、すなわち、放出気体の圧力損失に起因してクライオ
ポンプ１内が過圧状態になる等の弊害は確実に解消され
る。
圧以上、すなわち、大気圧に等しいか又は大気圧よりも
微小圧だけ大きい圧力となったときに圧力検出器８から
弁開閉駆動手段に出力されるものである。したがって、
クライオポンプ１の運転停止後にクライオパネルからの
凝縮気体の脱離によってクライオポンプ１内の圧力が上
昇し、大気圧を越えたときには弁孔が強制的に開放され
ることとなり、クライオポンプ１内の過剰圧力は効果的
に防止される。また、弁孔の開閉は電磁力や空気圧等の
外力によって強制的に行われるから、弁孔の閉鎖時に閉
鎖力の不足に起因して真空リークが発生することはなく
、また、弁孔の開放に際し、弁孔の不完全開放に起因し
て、すなわち、放出気体の圧力損失に起因してクライオ
ポンプ１内が過圧状態になる等の弊害は確実に解消され
る。
（発明の効果）
本発明は以上説明したような構成と作用とを有するので
、クライオポンプの運転中には充分なシール力によって
弁孔を閉鎖することができ、たとえ弁体等のシール部に
微小ゴミの付着等があっても真空リークを発生すること
がなく、弁孔閉鎖を安定に維持することができる。
、クライオポンプの運転中には充分なシール力によって
弁孔を閉鎖することができ、たとえ弁体等のシール部に
微小ゴミの付着等があっても真空リークを発生すること
がなく、弁孔閉鎖を安定に維持することができる。
また、クライオポンプの停止中にクライオポンプ内の圧
力が大気圧以上となったときには、弁孔を強制的に全開
できるので、クライオポンプ内から弁孔を通って外に排
出される気体の放出抵抗く圧力損失）を極めて小さくで
き、この放出抵抗に起因するクライオポンプ１内の過度
の圧力上昇を効果的に防止することが可能である。
力が大気圧以上となったときには、弁孔を強制的に全開
できるので、クライオポンプ内から弁孔を通って外に排
出される気体の放出抵抗く圧力損失）を極めて小さくで
き、この放出抵抗に起因するクライオポンプ１内の過度
の圧力上昇を効果的に防止することが可能である。
第１図は本発明の実施例を示す構成図、第２図は従来の
リリーフバルブの構成を示す断面図である。 １・・・・・・クライオポンプ、 ２・・・・・・リ
リーフバルブ、 ３・・・・・・気体放出口、 ４・・
・・・弁体、５・・・・・・圧縮ばね、 ６・・・・・
・エラストマーガスケット、 ７・・・・・・弁孔、
８・・・・・・圧力検出器、９・・・・・・バルブ。 代理人 弁理士 八 幡 義 博 第 ／ 図
リリーフバルブの構成を示す断面図である。 １・・・・・・クライオポンプ、 ２・・・・・・リ
リーフバルブ、 ３・・・・・・気体放出口、 ４・・
・・・弁体、５・・・・・・圧縮ばね、 ６・・・・・
・エラストマーガスケット、 ７・・・・・・弁孔、
８・・・・・・圧力検出器、９・・・・・・バルブ。 代理人 弁理士 八 幡 義 博 第 ／ 図
Claims (1)
- クライオポンプに取り付けられ該クライオポンプ内の圧
力が大気圧を越えたときに弁孔を開いてクライオポンプ
内を外気に解放するリリーフバルブにおいて、クライオ
ポンプの内圧以外の力によつて弁体を駆動し弁孔を強制
的に開閉する弁開閉駆動手段と、クライオポンプの内圧
を検出しその内圧が大気圧以上となったときに前記弁開
閉駆動手段に弁開指令を出力する圧力検出手段とを有す
ることを特徴とするリリーフバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16312485A JPS6223583A (ja) | 1985-07-24 | 1985-07-24 | リリ−フバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16312485A JPS6223583A (ja) | 1985-07-24 | 1985-07-24 | リリ−フバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6223583A true JPS6223583A (ja) | 1987-01-31 |
Family
ID=15767638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16312485A Pending JPS6223583A (ja) | 1985-07-24 | 1985-07-24 | リリ−フバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6223583A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0195731U (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-26 | ||
| JPH02150477U (ja) * | 1989-05-22 | 1990-12-26 |
-
1985
- 1985-07-24 JP JP16312485A patent/JPS6223583A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0195731U (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-26 | ||
| JPH02150477U (ja) * | 1989-05-22 | 1990-12-26 |
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