JPH08166085A - 真空バルブ - Google Patents
真空バルブInfo
- Publication number
- JPH08166085A JPH08166085A JP33258594A JP33258594A JPH08166085A JP H08166085 A JPH08166085 A JP H08166085A JP 33258594 A JP33258594 A JP 33258594A JP 33258594 A JP33258594 A JP 33258594A JP H08166085 A JPH08166085 A JP H08166085A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- pressure
- port
- vacuum
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 急速排気によるトラブルがなく、しかも流路
が全開するときのチャンバポートの圧力に正確に応答す
る真空バルブを提供する。 【構成】 チャンバポート６とポンプポート５間の流路
７中に設けた弁座８を開閉する弁体１０と、弁座よりポ
ンプポート側の流路７を絞り状態で連通させる絞り部材
１８とを設け、絞り部材を移動させる圧力作用室２４
に、大気圧とチャンバポート６の圧力とを対向して作用
させるとともに、圧力作用室２４に絞り部材１８を流路
７の絞り状態に付勢する流量調整ばね２７を縮設する。
チャンバポート６の圧力が高いときは、弁体１０が弁座
８を開放しても両ポート間が絞り部材１８による絞り状
態で連通し、排気によって圧力作用室に対向して作用す
る差圧の作用力が流量調整ばね２７の付勢力より大きく
なると、絞り部材１８が移動して流路が全開状態で連通
する。
が全開するときのチャンバポートの圧力に正確に応答す
る真空バルブを提供する。 【構成】 チャンバポート６とポンプポート５間の流路
７中に設けた弁座８を開閉する弁体１０と、弁座よりポ
ンプポート側の流路７を絞り状態で連通させる絞り部材
１８とを設け、絞り部材を移動させる圧力作用室２４
に、大気圧とチャンバポート６の圧力とを対向して作用
させるとともに、圧力作用室２４に絞り部材１８を流路
７の絞り状態に付勢する流量調整ばね２７を縮設する。
チャンバポート６の圧力が高いときは、弁体１０が弁座
８を開放しても両ポート間が絞り部材１８による絞り状
態で連通し、排気によって圧力作用室に対向して作用す
る差圧の作用力が流量調整ばね２７の付勢力より大きく
なると、絞り部材１８が移動して流路が全開状態で連通
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空チャンバ内の気体
の急速排気によるトラブルを防止した真空バルブに関す
るものである。
の急速排気によるトラブルを防止した真空バルブに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】真空ポンプに接続されるポンプポート
と、真空チャンバに接続されるチャンバポートと、これ
らのポートを連通させる流路中の弁座と、該弁座を開閉
する弁体と、該弁体の駆動部とを備えた真空バルブは、
真空チャンバ内に大量の空気があるときは、弁体が弁座
を開放すると一時的に大量の空気がポンプポートに排出
されるために、真空チャンバ内の空気が攪乱され、該チ
ャンバ内における反応生成物等の塵埃が舞い上がって以
後の作業に支障を来すので、空気の急速排気を防止する
手段を設ける必要がある。
と、真空チャンバに接続されるチャンバポートと、これ
らのポートを連通させる流路中の弁座と、該弁座を開閉
する弁体と、該弁体の駆動部とを備えた真空バルブは、
真空チャンバ内に大量の空気があるときは、弁体が弁座
を開放すると一時的に大量の空気がポンプポートに排出
されるために、真空チャンバ内の空気が攪乱され、該チ
ャンバ内における反応生成物等の塵埃が舞い上がって以
後の作業に支障を来すので、空気の急速排気を防止する
手段を設ける必要がある。
【０００３】この問題を解決するために、真空チャンバ
内の気体の急速排気防止機構を有する真空バルブが、実
願平５−７３１３２号において提案されている。この既
提案の真空バルブは、真空チャンバ内の気体の急速排気
によるトラブルを防止することができ、しかも真空ポン
プの運転の有無に関係なくポート間の連通を遮断するこ
とができるという利点を有している。しかしながら、上
記真空バルブは、ポンプポートに直接真空ポンプを接続
することなく、管路によって真空源に接続した場合は、
管路抵抗によってポンプポートの真空圧が変動すること
があり、このため管路の使用の有無によって、流路を全
開状態で連通させるときのチャンバポートの圧力が変動
する恐れがある。
内の気体の急速排気防止機構を有する真空バルブが、実
願平５−７３１３２号において提案されている。この既
提案の真空バルブは、真空チャンバ内の気体の急速排気
によるトラブルを防止することができ、しかも真空ポン
プの運転の有無に関係なくポート間の連通を遮断するこ
とができるという利点を有している。しかしながら、上
記真空バルブは、ポンプポートに直接真空ポンプを接続
することなく、管路によって真空源に接続した場合は、
管路抵抗によってポンプポートの真空圧が変動すること
があり、このため管路の使用の有無によって、流路を全
開状態で連通させるときのチャンバポートの圧力が変動
する恐れがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、流路を全開状態に連通させるときのチャン
バポートの圧力に正確に応答する真空バルブを提供する
ことにある。
する課題は、流路を全開状態に連通させるときのチャン
バポートの圧力に正確に応答する真空バルブを提供する
ことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、真空源に接続されるポンプポート、真空
チャンバに接続されるチャンバポート、及びこれらのポ
ートを連通させる流路中の弁座を有するボディと、該弁
座を開閉する弁体と、該弁体の駆動部とを備えた真空バ
ルブにおいて、上記真空バルブが、弁座よりポンプポー
ト側において上記流路を絞り状態で連通させる絞り部材
と、大気圧とチャンバポートの圧力とが対向して作用す
る圧力作用室と、上記絞り部材を流路の開放方向に付勢
する流量調整ばねとを備え、上記絞り部材が、圧力作用
室に対向して作用する大気圧とチャンバポートの差圧の
作用力と、流量調整ばねの付勢力との大小により移動し
て、チャンバポートとポンプポートとを絞り状態と開放
状態とに切り換えて連通させることを特徴としている。
め、本発明は、真空源に接続されるポンプポート、真空
チャンバに接続されるチャンバポート、及びこれらのポ
ートを連通させる流路中の弁座を有するボディと、該弁
座を開閉する弁体と、該弁体の駆動部とを備えた真空バ
ルブにおいて、上記真空バルブが、弁座よりポンプポー
ト側において上記流路を絞り状態で連通させる絞り部材
と、大気圧とチャンバポートの圧力とが対向して作用す
る圧力作用室と、上記絞り部材を流路の開放方向に付勢
する流量調整ばねとを備え、上記絞り部材が、圧力作用
室に対向して作用する大気圧とチャンバポートの差圧の
作用力と、流量調整ばねの付勢力との大小により移動し
て、チャンバポートとポンプポートとを絞り状態と開放
状態とに切り換えて連通させることを特徴としている。
【０００６】また、流路を全開させる圧力を調節するた
め、上記真空バルブにおける圧力作用室が、外部におい
て流量調整ばねの付勢力を調整できる流量調整機構を備
えているを特徴としている。
め、上記真空バルブにおける圧力作用室が、外部におい
て流量調整ばねの付勢力を調整できる流量調整機構を備
えているを特徴としている。
【０００７】さらに、これらの真空バルブにおける駆動
部が、圧力流体が給排されるシリンダ室と大気に開口す
る呼吸室とを区画する受圧体を備え、上記呼吸室の大気
圧を圧力作用室に作用させることを特徴としている。
部が、圧力流体が給排されるシリンダ室と大気に開口す
る呼吸室とを区画する受圧体を備え、上記呼吸室の大気
圧を圧力作用室に作用させることを特徴としている。
【０００８】
【作用】弁体が弁座を閉鎖しているときは、ポンプポー
トとチャンバポート間の連通が遮断されている。したが
って、ポンプポートを真空源に連通させても、チャンバ
ポートの気体は排出されない。駆動部を弁座の開放方向
に駆動すると、弁体が弁座を閉鎖するが、弁座の開放当
初はチャンバポートの圧力が高いために、圧力作用室に
対向して作用する大気圧とチャンバポートの圧力間の差
圧の作用力が流量調整ばねの付勢力より小さいので、絞
り部材が弁座よりポンプポート側に移動した状態を保持
している。したがって、チャンバポートの気体は、絞り
部材により排気量が制限されてポンプポートに吸引され
るので、チャンバポートの気体が急速に排気されること
はない。
トとチャンバポート間の連通が遮断されている。したが
って、ポンプポートを真空源に連通させても、チャンバ
ポートの気体は排出されない。駆動部を弁座の開放方向
に駆動すると、弁体が弁座を閉鎖するが、弁座の開放当
初はチャンバポートの圧力が高いために、圧力作用室に
対向して作用する大気圧とチャンバポートの圧力間の差
圧の作用力が流量調整ばねの付勢力より小さいので、絞
り部材が弁座よりポンプポート側に移動した状態を保持
している。したがって、チャンバポートの気体は、絞り
部材により排気量が制限されてポンプポートに吸引され
るので、チャンバポートの気体が急速に排気されること
はない。
【０００９】チャンバポートの圧力が低下して、真空チ
ャンバ内における塵埃の舞い上がりがなくなる圧力にな
ると、圧力作用室に対向して作用する上記差圧の作用力
が流量調整ばねの付勢力より大きくなって圧力作用室が
変位し、これにより絞り部材が流路の開放方向に移動し
て、流路が全開状態で連通する。この場合は、チャンバ
ポートの圧力が低下しているので、真空チャンバ内の気
体が急速に排気されることはない。上記圧力作用室に
は、大気圧とチャンバポートの圧力とが対向して作用し
ているので、ポンプポートとチャンバポートの圧力とが
対向している場合と異なり、真空源とポンプポート間の
管路抵抗の影響を受けないので、絞り部材が流路を開放
するときのチャンバポートの圧力に正確に応答する。駆
動部を弁座の閉鎖方向に駆動すると弁体が弁座を閉鎖す
るので、ポンプポートとチャンバポート間の連通が遮断
される。
ャンバ内における塵埃の舞い上がりがなくなる圧力にな
ると、圧力作用室に対向して作用する上記差圧の作用力
が流量調整ばねの付勢力より大きくなって圧力作用室が
変位し、これにより絞り部材が流路の開放方向に移動し
て、流路が全開状態で連通する。この場合は、チャンバ
ポートの圧力が低下しているので、真空チャンバ内の気
体が急速に排気されることはない。上記圧力作用室に
は、大気圧とチャンバポートの圧力とが対向して作用し
ているので、ポンプポートとチャンバポートの圧力とが
対向している場合と異なり、真空源とポンプポート間の
管路抵抗の影響を受けないので、絞り部材が流路を開放
するときのチャンバポートの圧力に正確に応答する。駆
動部を弁座の閉鎖方向に駆動すると弁体が弁座を閉鎖す
るので、ポンプポートとチャンバポート間の連通が遮断
される。
【００１０】また、バルブ外から圧力調整機構を調整す
ることによって、絞り部材が流路を開放するときのチャ
ンバポートの圧力を調整することができる。さらに、受
圧体によってシリンダ室と呼吸室とを区画するととも
に、呼吸室の大気圧を圧力作用室に作用させたので、絞
り部材の構成を簡素化することができる。
ることによって、絞り部材が流路を開放するときのチャ
ンバポートの圧力を調整することができる。さらに、受
圧体によってシリンダ室と呼吸室とを区画するととも
に、呼吸室の大気圧を圧力作用室に作用させたので、絞
り部材の構成を簡素化することができる。
【００１１】
【実施例】図１は本発明の第１実施例を示し、この真空
バルブ１は、ボディ２と、ボンネット３と、ボンネット
３内に組み込まれた駆動部（図示の例では空気圧シリン
ダ）４とを備え、ボディ２に真空ポンプ等の真空源（図
示省略）に接続されるポンプポート５と、真空チャンバ
（図示省略）に接続されるチャンバポート６が形成され
ており、これらのポート５と６を連通させる流路７中
に、駆動部４と対向する弁座８が形成されている。
バルブ１は、ボディ２と、ボンネット３と、ボンネット
３内に組み込まれた駆動部（図示の例では空気圧シリン
ダ）４とを備え、ボディ２に真空ポンプ等の真空源（図
示省略）に接続されるポンプポート５と、真空チャンバ
（図示省略）に接続されるチャンバポート６が形成され
ており、これらのポート５と６を連通させる流路７中
に、駆動部４と対向する弁座８が形成されている。
【００１２】上記弁座８を開閉する弁体１０は、弁座８
を気密にシールする弁部材１１を取付けたシール板１０
ａと、中空軸１０ｂとを備え、ボンネット３を貫通する
中空軸１０ｂの先端外周は、駆動部４の受圧体を構成す
るピストン１２に気密に取付けられている。ボディ２と
ボンネット３との間には、メタルプレート１４の外周縁
が気密に挾着され、メタルプレート１４の内周縁とシー
ル板１０ａとにメタルベローズ１５の両端が気密に固着
されており、メタルベローズ１５によって区画された空
間内に、弁体１０の復帰ばね１６が縮設されている。
を気密にシールする弁部材１１を取付けたシール板１０
ａと、中空軸１０ｂとを備え、ボンネット３を貫通する
中空軸１０ｂの先端外周は、駆動部４の受圧体を構成す
るピストン１２に気密に取付けられている。ボディ２と
ボンネット３との間には、メタルプレート１４の外周縁
が気密に挾着され、メタルプレート１４の内周縁とシー
ル板１０ａとにメタルベローズ１５の両端が気密に固着
されており、メタルベローズ１５によって区画された空
間内に、弁体１０の復帰ばね１６が縮設されている。
【００１３】絞り部材１８は、弁座８よりポンプポート
５側の流路７の開口面積を狭めるための、弁部材１１よ
り小径の絞り板１８ａと、そのシャフト１８ｂとを備
え、上記中空軸１０ｂに遊挿されたシャフト１８ｂの先
端は、ボンネット３に取付けた環状の止め板１９上に設
置された停止板２０に、気密に取付けられている。上記
ボンネット３の先端開口はカバー２２によって気密に閉
鎖され、停止板２０の周縁とカバー２２の内壁とに、金
属製の流量調整ベローズ２３の両端が気密に固着され、
カバー２２と、停止板２０と流量調整ベローズ２３とに
よって圧力作用室２４が区画される。この圧力作用室２
４は、カバー２２、ボンネット３及びメタルプレート１
５とに設けた連通路２５によって、チャンバポート６に
連通している。また、圧力作用室２４には、カバー２２
に気密に螺着された、流量調整機構を構成する流量調整
板２６が挿入され、流量調整板２６と停止板２０との間
に縮設された流量調整ばね２７の付勢力は、流量調整板
２６のカバー２２に対する進退によって、カバー２２外
から調節することができる。
５側の流路７の開口面積を狭めるための、弁部材１１よ
り小径の絞り板１８ａと、そのシャフト１８ｂとを備
え、上記中空軸１０ｂに遊挿されたシャフト１８ｂの先
端は、ボンネット３に取付けた環状の止め板１９上に設
置された停止板２０に、気密に取付けられている。上記
ボンネット３の先端開口はカバー２２によって気密に閉
鎖され、停止板２０の周縁とカバー２２の内壁とに、金
属製の流量調整ベローズ２３の両端が気密に固着され、
カバー２２と、停止板２０と流量調整ベローズ２３とに
よって圧力作用室２４が区画される。この圧力作用室２
４は、カバー２２、ボンネット３及びメタルプレート１
５とに設けた連通路２５によって、チャンバポート６に
連通している。また、圧力作用室２４には、カバー２２
に気密に螺着された、流量調整機構を構成する流量調整
板２６が挿入され、流量調整板２６と停止板２０との間
に縮設された流量調整ばね２７の付勢力は、流量調整板
２６のカバー２２に対する進退によって、カバー２２外
から調節することができる。
【００１４】上記ピストン１２によって区画されたシリ
ンダ室２９には圧縮空気を給排するポート３１が、呼吸
室３０には外部に開口する呼吸ポート３２がそれぞれ開
設されており、ピストン１２と停止板２０の凸部２０ａ
とに、呼吸室３０とポンプポート６とを気密に区画する
金属製のピストンベローズ３３の両端が気密に固着され
ている。
ンダ室２９には圧縮空気を給排するポート３１が、呼吸
室３０には外部に開口する呼吸ポート３２がそれぞれ開
設されており、ピストン１２と停止板２０の凸部２０ａ
とに、呼吸室３０とポンプポート６とを気密に区画する
金属製のピストンベローズ３３の両端が気密に固着され
ている。
【００１５】図１は、シリンダ室２９の空気が排出さ
れ、かつ真空チャンバ内が大気圧の状態を示し、弁体１
０は復帰ばね１６の付勢力によって弁座８を閉鎖し、シ
ール板１０ａによって押圧された絞り板１８ａは流路７
を絞り状態で連通させている。この状態においては、ポ
ンプポート５とチャンバポート６間の連通が弁体１０に
よって遮断されているので、真空ポンプを運転してもチ
ャンバポート６の気体は排出されない。
れ、かつ真空チャンバ内が大気圧の状態を示し、弁体１
０は復帰ばね１６の付勢力によって弁座８を閉鎖し、シ
ール板１０ａによって押圧された絞り板１８ａは流路７
を絞り状態で連通させている。この状態においては、ポ
ンプポート５とチャンバポート６間の連通が弁体１０に
よって遮断されているので、真空ポンプを運転してもチ
ャンバポート６の気体は排出されない。
【００１６】ポート３１からシリンダ室２９に圧縮空気
を供給すると、ピストン１２と弁体１０が図において上
動して弁座８を開放し、ピストン１２が止め板１９に当
接することによってこれらの上動が停止する。しかしな
がら、停止板２０は流量調整ばね２７によって図におけ
る下方の付勢されているので、絞り部材１８は図１に示
す位置に停止している。したがって、絞り部材１８の絞
り板１８ａによってチャンバポート６が絞り状態でポン
プポート５に連通するので、チャンバポート６の空気が
徐々に排気されて低下するとともに、連通路２５によっ
てチャンバポート６に連通している圧力作用室内２４の
圧力も徐々に低下する。
を供給すると、ピストン１２と弁体１０が図において上
動して弁座８を開放し、ピストン１２が止め板１９に当
接することによってこれらの上動が停止する。しかしな
がら、停止板２０は流量調整ばね２７によって図におけ
る下方の付勢されているので、絞り部材１８は図１に示
す位置に停止している。したがって、絞り部材１８の絞
り板１８ａによってチャンバポート６が絞り状態でポン
プポート５に連通するので、チャンバポート６の空気が
徐々に排気されて低下するとともに、連通路２５によっ
てチャンバポート６に連通している圧力作用室内２４の
圧力も徐々に低下する。
【００１７】ポンプポート５からの排気によって、チャ
ンバポート６の圧力が真空チャンバ内の空気が舞い上が
らない圧力（図２におけるｘ）近くに低下すると、圧力
作用室２４に対向して作用する差圧の作用力が流量調整
ばね２７の付勢力より大きくなるので、停止板２０と絞
り部材１８が図において上動して流路７が全開状態にな
る。この場合は、チャンバポート６の圧力が低下してい
るので、真空チャンバの空気が急速に排気されることは
ない。したがって、急速排気によるトラブルがなく、し
かも絞り状態のみで排気する場合に比べて排気時間を短
縮することができ、かつ真空ポンプの過負荷を防止する
ことができる。また、流量調整板２６をカバー２２に対
して進退させて、流量調整ばね２７の付勢力を調整する
ことにより、ポート５と６の間を全開状態で連通させる
ときの真空圧を真空バルブ１の外部において変更するこ
とができる。
ンバポート６の圧力が真空チャンバ内の空気が舞い上が
らない圧力（図２におけるｘ）近くに低下すると、圧力
作用室２４に対向して作用する差圧の作用力が流量調整
ばね２７の付勢力より大きくなるので、停止板２０と絞
り部材１８が図において上動して流路７が全開状態にな
る。この場合は、チャンバポート６の圧力が低下してい
るので、真空チャンバの空気が急速に排気されることは
ない。したがって、急速排気によるトラブルがなく、し
かも絞り状態のみで排気する場合に比べて排気時間を短
縮することができ、かつ真空ポンプの過負荷を防止する
ことができる。また、流量調整板２６をカバー２２に対
して進退させて、流量調整ばね２７の付勢力を調整する
ことにより、ポート５と６の間を全開状態で連通させる
ときの真空圧を真空バルブ１の外部において変更するこ
とができる。
【００１８】シリンダ室２９の空気を排出すると、弁体
１０が復帰ばね１６の付勢力により図において下動して
弁座８を閉鎖してポンプポート５とチャンバポート６間
の連通が遮断される。また、絞り部材１８は、弁体１０
のシール板１０ａで押圧されて下動して図示の状態に復
帰する。
１０が復帰ばね１６の付勢力により図において下動して
弁座８を閉鎖してポンプポート５とチャンバポート６間
の連通が遮断される。また、絞り部材１８は、弁体１０
のシール板１０ａで押圧されて下動して図示の状態に復
帰する。
【００１９】図３は本発明の第２実施例を示し、この真
空バルブ４１におけるピストン４２は、ピストンベロー
ズに代わる停止板４４の凸部４４ａ内に遊挿される側板
４３を、停止板４４は流量調整ベローズに代わる側板４
５をそれぞれ備え、側板４３と４５の外周面に、凸部４
４ａとボンネット３の内面に気密に摺接するシール部材
４６，４７がそれぞれ取付けられている。第２実施例の
他の構成及び作用は第１実施例と同じであるから、詳細
な説明は省略する。上記第２実施例は、ピストンベロー
ズと流量調整ベローズの取付けを省略できるので、ポン
プポート５と呼吸室３０との区画、及び圧力作用室２４
の形成が容易である。なお、上記ピストン４２と停止板
４４とは、いずれか一方のみに側板またはシール部材を
設けて、他方にベローズを使用することもできる。
空バルブ４１におけるピストン４２は、ピストンベロー
ズに代わる停止板４４の凸部４４ａ内に遊挿される側板
４３を、停止板４４は流量調整ベローズに代わる側板４
５をそれぞれ備え、側板４３と４５の外周面に、凸部４
４ａとボンネット３の内面に気密に摺接するシール部材
４６，４７がそれぞれ取付けられている。第２実施例の
他の構成及び作用は第１実施例と同じであるから、詳細
な説明は省略する。上記第２実施例は、ピストンベロー
ズと流量調整ベローズの取付けを省略できるので、ポン
プポート５と呼吸室３０との区画、及び圧力作用室２４
の形成が容易である。なお、上記ピストン４２と停止板
４４とは、いずれか一方のみに側板またはシール部材を
設けて、他方にベローズを使用することもできる。
【００２０】図４は本発明の第３実施例を示し、第３実
施例における真空バルブ５１の弁体５２は、ポンプポー
ト５側が開口する凹部５３を備え、凹部５３の内面と絞
り部材１８のシャフト１８ｂとに、ポンプポート５と呼
吸室３０とを気密に区画する金属製のピストンベローズ
５４の両端が気密に固定されている。また、第３実施例
は、ピストンベローズ５４を凹部５３に組み込んだこと
により、停止板５５を平板とすることができる。第２実
施例の他の構成及び作用は第１実施例と同じであるか
ら、図の主要な箇所に同一の符号を付して、詳細な説明
は省略する。また、図示を省略しているが、第３実施例
においても、第２実施例と同様に停止板５５に流量調整
ばねに代わる側板とシール部材とを設けることができ
る。
施例における真空バルブ５１の弁体５２は、ポンプポー
ト５側が開口する凹部５３を備え、凹部５３の内面と絞
り部材１８のシャフト１８ｂとに、ポンプポート５と呼
吸室３０とを気密に区画する金属製のピストンベローズ
５４の両端が気密に固定されている。また、第３実施例
は、ピストンベローズ５４を凹部５３に組み込んだこと
により、停止板５５を平板とすることができる。第２実
施例の他の構成及び作用は第１実施例と同じであるか
ら、図の主要な箇所に同一の符号を付して、詳細な説明
は省略する。また、図示を省略しているが、第３実施例
においても、第２実施例と同様に停止板５５に流量調整
ばねに代わる側板とシール部材とを設けることができ
る。
【００２１】
【発明の効果】本発明の真空バルブは、圧力作用室に大
気圧とチャンバポートの圧力とを対向して作用させたこ
とにより、圧力作用室が真空源とポンプポート間の管路
抵抗の影響を受けないので、絞り部材が流路を開放する
ときのチャンバポートの圧力に正確に応答するまた、ポ
ンプ外から圧力調節機構を調節することによって、絞り
部材が流路を開放するときのチャンバポートの圧力を調
節することができる。さらに、受圧体によってシリンダ
室と呼吸室とを区画するとともに、呼吸室の大気圧を圧
力作用室に作用させたので、絞り部材の構成を簡単にす
ることができる。
気圧とチャンバポートの圧力とを対向して作用させたこ
とにより、圧力作用室が真空源とポンプポート間の管路
抵抗の影響を受けないので、絞り部材が流路を開放する
ときのチャンバポートの圧力に正確に応答するまた、ポ
ンプ外から圧力調節機構を調節することによって、絞り
部材が流路を開放するときのチャンバポートの圧力を調
節することができる。さらに、受圧体によってシリンダ
室と呼吸室とを区画するとともに、呼吸室の大気圧を圧
力作用室に作用させたので、絞り部材の構成を簡単にす
ることができる。
【図１】第１実施例の縦断面図である。
【図２】流路の開度とチャンバ圧力の線図である。
【図３】第２実施例の要部を示す縦断面図である。
【図４】第３実施例の縦断面図である。
１，４１，５１ 真空ポンプ ２ 弁ボディ ４ 駆動部 ５ ポンプポート ６ チャンバポート ７ 流路 ８ 弁座 １０，５２ 弁体 １２，４２ ピストン １８ 絞り部材 ２４ 圧力作用室 ２６ 流量調整板 ２７ 流量調整ばね ２９ シリンダ室 ３０ 呼吸室
Claims (3)
- 【請求項１】真空源に接続されるポンプポート、真空チ
ャンバに接続されるチャンバポート、及びこれらのポー
トを連通させる流路中の弁座を有するボディと、該弁座
を開閉する弁体と、該弁体の駆動部とを備えた真空バル
ブにおいて、 上記真空バルブが、弁座よりポンプポート側において上
記流路を絞り状態で連通させる絞り部材と、大気圧とチ
ャンバポートの圧力とが対向して作用する圧力作用室
と、上記絞り部材を流路の開放方向に付勢する流量調整
ばねとを備え、 上記絞り部材が、圧力作用室に対向して作用する大気圧
とチャンバポートの差圧の作用力と、流量調整ばねの付
勢力との大小により移動して、チャンバポートとポンプ
ポートとを絞り状態と開放状態とに切り換えて連通させ
る、ことを特徴とする真空バルブ。 - 【請求項２】圧力作用室が、外部において流量調整ばね
の付勢力を調整できる流量調整機構を備えている、こと
を特徴とする請求項１に記載した真空バルブ。 - 【請求項３】駆動部が、圧力流体が給排されるシリンダ
室と大気に開口する呼吸室とを区画する受圧体を備え、
上記呼吸室の大気圧を圧力作用室に作用させる、ことを
特徴とする請求項１または請求項２に記載した真空バル
ブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33258594A JP3375444B2 (ja) | 1994-12-13 | 1994-12-13 | 真空バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33258594A JP3375444B2 (ja) | 1994-12-13 | 1994-12-13 | 真空バルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08166085A true JPH08166085A (ja) | 1996-06-25 |
| JP3375444B2 JP3375444B2 (ja) | 2003-02-10 |
Family
ID=18256584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33258594A Expired - Fee Related JP3375444B2 (ja) | 1994-12-13 | 1994-12-13 | 真空バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3375444B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100415785B1 (ko) * | 2000-09-07 | 2004-01-24 | 에스엠시 가부시키가이샤 | 평활배기밸브 |
| US7168676B2 (en) | 2004-04-30 | 2007-01-30 | Smc Corporation | Two-port valve for vacuum operation |
| KR102336061B1 (ko) * | 2020-06-09 | 2021-12-07 | 주식회사 와우텍 | 개선된 포텐셔미터 및 다이아프램을 구비하는 압력 조절 밸브 장치 |
-
1994
- 1994-12-13 JP JP33258594A patent/JP3375444B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100415785B1 (ko) * | 2000-09-07 | 2004-01-24 | 에스엠시 가부시키가이샤 | 평활배기밸브 |
| US7168676B2 (en) | 2004-04-30 | 2007-01-30 | Smc Corporation | Two-port valve for vacuum operation |
| KR102336061B1 (ko) * | 2020-06-09 | 2021-12-07 | 주식회사 와우텍 | 개선된 포텐셔미터 및 다이아프램을 구비하는 압력 조절 밸브 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3375444B2 (ja) | 2003-02-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3745427B2 (ja) | 真空圧制御用スロー排気バルブ | |
| JP3445569B2 (ja) | パイロット式２ポート真空バルブ | |
| US20070057214A1 (en) | Valve for essentially gastight closing a flow path | |
| JPS649510B2 (ja) | ||
| JP3442714B2 (ja) | パイロット式２ポート真空バルブ | |
| KR100333053B1 (ko) | 진공압력 조정장치 | |
| JP2002081572A (ja) | スムース排気弁 | |
| KR20020022014A (ko) | 진공배기밸브 | |
| US5042521A (en) | Switching apparatus for suction system in a vacuum pump | |
| JPH08166085A (ja) | 真空バルブ | |
| JP3294962B2 (ja) | 真空バルブ | |
| JPH05272456A (ja) | 真空装置における急速排気防止装置 | |
| US6073655A (en) | High pressure/vacuum isolation apparatus and method | |
| JP2006234085A (ja) | 真空バルブ | |
| JPH08159335A (ja) | 真空バルブ | |
| JPH0545900Y2 (ja) | ||
| JP4035711B2 (ja) | 圧力制御装置 | |
| JPS6245986A (ja) | リリ−フバルブ | |
| KR102460690B1 (ko) | 진공밸브 | |
| JPH0741173U (ja) | 真空バルブ | |
| US11098810B2 (en) | Rapid response trigger | |
| KR20220154726A (ko) | 진공 장치용 밸브 | |
| JP2001012649A (ja) | スロー排気バルブ | |
| JPH0449420Y2 (ja) | ||
| JP2004516568A (ja) | 過圧発生装置及び弁 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081129 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091129 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |