JPS62229118A - 光周波数シフタ - Google Patents

光周波数シフタ

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JPS62229118A
JPS62229118A JP61072092A JP7209286A JPS62229118A JP S62229118 A JPS62229118 A JP S62229118A JP 61072092 A JP61072092 A JP 61072092A JP 7209286 A JP7209286 A JP 7209286A JP S62229118 A JPS62229118 A JP S62229118A
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JP
Japan
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acousto
light beams
frequency
optical
polarized light
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Pending
Application number
JP61072092A
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English (en)
Inventor
Osamu Koike
修 小池
Nobuhiko Miura
三浦 信彦
Toru Yamagami
徹 山上
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Hoya Corp
Original Assignee
Hoya Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば光ヘテロダイン検波法による光応用計
測に用いられる光周波数シフタに関する。
〔従来の技術〕
近年、光の性質を利用して高精度、非接触の計測を行な
う光応用計測が注目されているが、その場合、光干渉縞
の位相情報の測定分解能を高め、かつこれを自動測定す
るために光ヘテロダイン検波法が多く利用されている。
この光ヘテロダイン検波法は、ラジオのヘテロダイン受
信と同様、検出したい信号に局部発振出力信号を混合し
、中間波信号(ビー1〜信号)を発生して信号処理を行
なう方法である。電気通信では、局部発振出力信号を得
るために、完全に独立した発振器を使用するのであるが
、光波干渉測定の場合には、中間波信号の周波数にゆら
ぎが生じない程度に安定した独立の発振器を製作するこ
とが困難である。そのため、検出したい光信号に対し一
定の周波数差を有するレーザ光を作成し、これを参照用
の光路を通して受信端に送って局部発振出力信号として
用いる。
第5図は、上記目的のために使用された従来の直交偏波
型光周波数シフタの構成を示す。He−Neレーザ1(
波長λ。−633nm、光周波数f。
= 473.9xlO6MHz )から出射されたレー
ザ光2は、紙面に対して45°の方位(方位角45°)
を有する直線偏波光であり、これが偏光弁1!It機能
を有する方位角O°の第1偏光ビームスプリツタ3に入
射して、P偏光(方位角O°の直線偏光)のレーザ光ビ
ーム4を透過し、S偏光(方位角90°の直線偏光)の
レーザ光ビーム5を反射して2本の光ビームに分離する
。このうら、P偏光のレーザ光ビーム4は、第1音響光
学素子6の媒体内にトランスジューサ7の励振により伝
搬する超音波信号の波面に対してブラック角θ81をな
して入射する。なお、トランスジューサ7は駆動回路8
(水晶発振器内蔵)から高周波信号f1HH7(例えば
428H7)が供給されて、励振する。その結果、入射
したレーザ光ビーム4゛は、直進する0次光(図示せず
)と前記超音波信号の波面に対して角度θ81で回折す
る回折光9とに分れて送出し、ここでは回折光9を利用
する。この回折光9は、第1音響光学索子6の中心周波
数f1H1lzだけ先の光信号の周波数f。をシフトし
たもの、即ち、光周波数が(fo+t 1> HI3と
なる。次に、この回折光9は反射鏡10により反射され
、偏光結合機能を有する第2偏光ビームスプリツタ11
に入射し、P偏光であることからそのまま透過する。
他方、S偏光のレーザ光ビーム5は反射鏡12により反
射され、第2音響光学素子13の媒体内にトランジュー
サ14の励振ににり伝搬する超音波の波面に対してブラ
ック角θB2をなして入射する。なお、トランジューサ
ー4は駆動回路15(水晶発振器内蔵)から高周波信号
f2HIIZ(例えば43MHz )が供給されて、励
起する。その結果、入射したレーザ光ビーム5は、ここ
でも、直進する0次光(図示せず)と前記超音波信号の
波面に対して角度θ82で回折する回折光16とに分れ
て送出し、回折光16を利用する。この回折光16も第
2音響光学素子13の中心周波数f2M)lzだけ先の
光信号の周波数f。をシフトしたもの、即ち、光周波数
が(f  十f2)MHzとなる。次に、この回折光1
6も前述した第2偏光ビームスプリツタ11に入射し、
S偏光であることから、反射して送出される。
この結果、第2偏光ビームスプリツタ11の出射光ビー
ム17は、回折光9のP偏光(光周波数;(fo+f2
)MHz )と回折光16のS偏光(光周波数; (f
  +f2)HI3 )とを互いに直交して同一光路上
で合成したものになり、相互の光周波数差が(f  −
f2)MHz (1−達した例では1MHz )となる
2本の光ビームが(分られる。
゛ 〔発明が解決しようとする問題点〕上記した直交偏
波型光周波数シフタの出射光17の方向を被測定物に対
して一次元的に変化さゼて光計測をする場合、第1.第
2音響光学素子6゜13の各中心周波数f、f2を仰え
て行なわれる。
一般に、音響光学素子のブラック角θ8は中心周波数f
と比例関係にあることから、前述した各中心周波数f 
、f2をそれぞれ(f1+Δf)。
(f2+Δf)に変化させると、相互の光周波数差はf
  −f  のまま、各ブラック角θ 、B1  2 
           BI   B2が共にΔθ、た
け変化し、このブラック角変位量Δθ8も中心周波数変
位量Δでと比例関係にある。
そこで、第5図に示した直交偏波型光周波数シフタにお
いて、第1.第2音響光学素子6,13の各中心周波数
f、f2をΔfだけ変化させると、第6図に示すように
、第1.第2音響光学素子6゜13からの回折光9,1
6はブラック角がΔθ8だけ角度変位した回折光91,
161となってそれぞれ出射し、第2偏光ビームスプリ
ツタ11の元の出射光17から出射光1h、172とな
ってこの出射光171゜172の光路が互いにずれてし
まい、また上記した− 〇 − 各中心周波数f 、f2を一Δrだ(プ変化させた場合
でも、回折光92.162、出射光173,174とな
って出射光173.174の光路がずれてしまう。即ち
、従来の直交偏波型光周波数シフタは、光周波数差を一
定にしたまま、出射光の方向を変化した場合、出射した
2つの直線偏光が同一光路からずれてしまうという問題
点があった。
一方、第1.第2音響光学素子6,13に対して、それ
ぞれ別の水晶発振器を内蔵した駆動回路8゜15より高
周波信号f  、 f2(HIIZ )を供給している
ために、例えば個々の水晶発振器の周波数安定度を10
〜40℃の温度変化に対して±5 ppmであるとする
と、出射光ビーム17のピー1〜周波数としては、上述
した例でいえば、(43X106±215(llz) 
) −(42x106+21o (I(z) ) −=
 1 x1o6±425(Hz)  (複合同順)とな
り、±5 ppmの安定度の水晶発振器を用いても、1
MHzのビート周波数については±5Hzではなく、±
 425 Hzの安定度しか得られない問題点があった
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、上記した問題点を解決するためになされたも
のであり、第1の発明は、第1音響光学素子と第2音響
光学素子から偏光ビームスプリッタ等の結合素子までの
それぞれの光路長を実質的に等しくしたものであり、第
2の発明は第1の発明の構成において、単一の基準用水
晶発信器の出力信号を入力して第1.第2PI 1回路
の出力信号をそれぞれ第1.第2音響光学素子に供給し
たものである。
〔実施例1〕 第1図は、本発明を第5図と同様の直交偏波型光周波数
シフタに適用した場合の一実施例を示す構成図である。
本実施例の特徴の一つは、第3図の詳細図に示すように
、第1音響光学素子6のブラック角調整のための回転中
心から反射鏡10の回転中心までの距離を1−1とし、
反射鏡10の回転中心から第2偏光ビームスプリツタ1
1の回転中心までの距離を12とし、第2音響光学素子
13の回転中心から第2偏光ビームスプリツタ11の回
転中心までの距離を[としたときに、実質的にL1→−
L2=13となるようにこれらの回転中心の位置を定め
ている。
本実施例のもう一つの特徴は、第1.第2音響光学素子
6,13を駆動する駆動回路8.15(第5図)の代り
に、駆動回路18が設けられている。
駆動回路18は、水晶発振器17と、第1.第2PL 
L回路20A、 20Bと、第1.第2増幅器21A、
 21Bとから構成されている。
第1.第2PLL回路20A、 20Bは、いずれも第
2図に示すような構成を右する。同図において、201
は水晶発振器19の出力を第1人力とする位相比較器、
202はローパスフィルタ、203はこのローパスフィ
ルタ202の出力を制御信号とし、定常状態では上記第
1人力の周波数と後述する分周器204の分周比との積
の周波数を出力する電圧制御発振器、204はこの電圧
制御発振器203の出力を1/Nの分周比に従って分周
して位相比較器201の第2人力とする分周器である。
入力周波数をf IN。
f OUTとすると、fOUT=N−fINという関係
が−9= ある。
ここで、水晶発振器19は発振周波数が0.1MHzで
、10〜40℃の温度範囲で±5 ppmの周波数安定
度を有している。従って、第1 PLL回路20Aの分
周器の分周比をNA−800とすれば、その出力はf 
OUT = 80MHzとなる。この高周波信号を第1
増幅器21Aで増幅し、トランスジューサ7を励振させ
、第1音響光学素子6を中心周波数80MHzで駆動す
る。同様に第2PLL回路20Bの分周比をNB=75
0トすレバ、ソノ出カバf OUT = 75MHzと
なり、高周波信号を第2増幅器21Bで増幅し、トラン
スジューサ14を励振させ、第2音響光学素子13を中
心周波数75MHzで駆動する。第1.第2音響光学素
子6,13は、チルライミルガラス(HOYA■製AO
T−5)からなる音響光学媒体の側面に、LiNbO3
36°Y板からなる圧電板の両生表面に電極を付着形成
して構成されたトランジューサ7.14を配置したもの
であるが、それぞれ上述したような信号で駆動される結
果、出射光ビーム17のP偏光とS偏光の周波数はそれ
ぞれ(f  +80) MHzと(f o+ 75) 
HIIZ 、ビー1〜信号の周波数は58H7となる。
第1.第2PLL回路2OA、 20Bは、いずれも単
一の水晶発振器19から入力周波数flNを得′Cいる
ので、ビート信号の周波数安定度はこの水晶発振器19
の安定度のみに依存し、5Hllzのビート信号の周波
数安定度は±5 pFlmとなる。なお、同一の基準用
水晶発振器19を用いても、分周器204の分周比N、
NBを変化させることにより、第1゜第2音響光学索子
6,13の中心周波数を018)lz単位で容易に変化
させることができ、それによって、ビート周波数も容易
に変えられる。
そこで、出射光ビーム17の方向を一次元的に変位させ
る場合、例えば、第1音響光学索子6の中心周波数f1
を80HHzから10011z、第2音響光学素子13
の中心周波数f2を75Hllzから95Hz(即ち、
Δf = 20HHz )に変化させると、第3図に示
すように、第1.第2音響光学素了6,13から出射す
る回折光9(P偏光)1回折光16(SG光)が共にブ
ラック角の角度変位量△θ8だ()変位して、回折光9
3(P偏光)、回折光163(3偏光)となり、上述し
た光路長の関係(Ll 十12 =l 3 )があるこ
とから、第2偏光ビームスプリツタ11の出射光ビーム
17が一次元的に変位した出射光ビーム175となって
、2つの直交する直線偏光(P偏光、S偏光)を同−光
路玉に合成させることができる。また、この出射光ビー
ム175の光周波数差も、元の出射光ビーム17の光周
波数差と同様、5MHzを保持している。また、出射光
ビーム17を逆方向に一次元的に変位させる場合には、
第1音響光学素子6の中心周波数f1を80HHzから
60HIIz 。
第2音響光学素子7の中心周波数f2を75HIlzか
ら55HH7(即ちΔf = −20HHz )に変化
させれば、第1.第2音響光学素子6,13から出射す
る回折光9,16が共に前述したと逆向きに角度変異量
Δθ8だけ変位したブラック角で出射する回折光94゜
164となり、この場合も、第2偏光ビームスプリツタ
11の出射光ビーム17が前述したと逆向きに一次元的
に変位した出射光ビーム176となって、2つの直交す
る直線偏光を同一光路上に位置させることができる。こ
の出射光ビーム176の光周波数差も、元の出射光ビー
ム17の光周波数差と同様、5 MHzを保持している
(実施例2〕 第4図は、本発明の他の実施例を示ず構成図である。本
実施例においても、第1音響光学素子6のブラック角調
整のための回転中心から反射鏡10の回転中心までの距
離1−1と、この反射鏡10の回転中心から偏光ビーム
スプリッタ11の回転中心までの距離L2との合計値(
L1+12)を、第2音響光学素子13のブラック角調
整のための回転中心から反射鏡の回転中心までの距11
11f L 4と、この反射鏡29の回転中心から偏光
ビームスプリッタ11の回転中心までの距lit L 
 との合計値(L3十L4)に実質的に等しく定めてい
る。そして、第1、第2音響光学素子6.13の駆動回
路も実施例1と同様の駆動回路18としている。
(S偏光)として出射されたレーザ光23は、分離機能
を有する半透過鏡24を通して透過光ビーム25(S偏
光)と反射光ビーム26(S偏光)とに分離される。こ
のうち透過光ご−ム25は実施例1と同様の第1音響光
学素子6に入射して、回折光ビーム26(S偏光)がこ
の第1音響光学素子7から出射して、反射鏡10にて反
射され、ざらに光ビームの進行方向のまわりに45°回
転させて配置された、偏光変換機能を有する1/2波長
板27を通して、紙面に平行な電界成分を有する直線偏
光(Pi光)の透過光ビーム28どなって、実施例1と
同様な偏光結合機能を有する偏光ビームスプリッタ11
を透過する。
他方、反射光ビーム26は実施例1と同様な第2音響光
学素子13に入射して、回折光ビーム29(S偏光)が
この第2音響光学素子13から出射し′て、反射鏡30
にて反射され、前述した偏光ビームスプリッタ11で反
射される。
この結果、本実施例においても、偏光ビームスプリッタ
11の出射光ビーム31として一定の光周波数差〈本例
5HHz)を有するP偏光どS偏光とが互いに直交して
同一光路上で合成された光ビームが得られ、さらに、こ
の出射光ビーム31を一次元的に方向を変位させた場合
、実施例1ど同様な作用を経て、変位前後の光周波数差
を一定にしたまま、同一光路上の合成を保持することが
できる。
以上の実施例1,2においては、音響光学素子6.13
の各媒体を別個に設けたが、これ等の媒体を共通にして
、単一の媒体の一側面にi〜ランジューザ7,14を並
設してなる2個分の1光学素子にしてもよい。また、結
合素子く又は逆方向に入射して使用する分離素子)とし
ての偏光ビームスプリッタ3,11は、ウォラストンプ
リズムおよびロションプリズムなどプリズム偏光子や、
光損失が許容できる場合には、無偏光ビームスプリッタ
や半透過鏡等と置換してもよい。ざらに、レーザについ
ては、実施例1,2のようなガスレーザの他に、P偏光
成分およびS偏光成分を有する半導体レーザ、色素レー
ザまたは固体レーザ等を用いることもできる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、第1゜第2音響
光学素子と結合素子までのそれぞれの光路長を等しくす
ることにより、第1.第2音響光学素子の各中心周波数
を変化させて、結合素子の出射光ビームの方向を一次元
的に変化させた場合においても、ぞの変化の前後におい
てそれぞれの出射光ビームの同一光路上での合成および
一定の光周波数差を保持することができ、さらに、第1
゜第2音響光学素子が単一の基準用水晶発振器の出ノj
から第1.第2 P L 1回路によって供給される高
安定度の高周波信号により駆動されることから、各中心
周波数の安定度を向上させて、上述したそれぞれの出射
光ビームの同一光路上での合成および一定の光周波数差
の安定度を一層向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す構成図、第2図は本発
明の一実施例によるPLL回路を示す構成図、第3図は
本発明の一実施例による第1.第2音響光学素子から偏
光ビームスプリッタまでの光路を示す詳細図、第4図は
本発明の他の実施例を示す構成図、第5図は従来例を示
す構成図、第6図は従来例による第1.第2音響光学素
子から偏光ビームスプリッタまでの光路を示す詳細図で
ある。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)2本の光ビームをそれぞれ中心周波数の異なる第
    1音響光学素子と第2音響光学素子により周波数シフト
    し、かつ偏光分離素子により偏光分離又は偏光変換素子
    により変換されて得られる光周波数の異なる2つの直線
    偏光を結合素子により出射する光周波数シフタにおいて
    、前記第1音響光学素子から前記結合素子までと、前記
    第2音響光学素子から前記結合素子までのそれぞれの光
    路長が実質的に等しいことを特徴とする光周波数シフタ
  2. (2)2本の光ビームをそれぞれ中心周波数の異なる第
    1音響光学素子と第2音響光学素子により周波数シフト
    し、かつ偏光分離素子により偏光分離又は偏光変換素子
    により変換されて得られる光周波数の異なる2つの直線
    偏光を結合素子により出射する光周波数シフタにおいて
    、前記第1音響光学素子から前記結合素子までと、前記
    第2音響光学素子から前記結合素子までの光路長を実質
    的に等しくし、前記第1音響光学素子と前記第2音響光
    学素子に対して、単一の基準用水晶発振器の出力信号を
    入力する第1PLL回路と第2PLL回路の出力信号を
    それぞれ供給することを特徴とする光周波数シフタ。
JP61072092A 1986-03-29 1986-03-29 光周波数シフタ Pending JPS62229118A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2011111398A1 (ja) * 2010-03-12 2011-09-15 パナソニック株式会社 光学式音響相関器

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