JPS62222102A - うず電流式距離検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明はうず電流式の距離検出装置に関し、特に、抵
抗及び容重のバランス調整を容易に行うことができるよ
うにした距離検出装置に関する。

［従来の技術１ うず電流式の距離検出装置では、被検出物体に向って配
設される検出用コイルと該コイルと同一温度に保持され
温度補償を行う温度補償用コイルとを直列に接続した回
路に２つのアーム抵抗を直列に接続した回路を並列に接
続してブリッジ回路が構成される。そして、該ブリッジ
回路の直列接続点又は直列接続点には交流電源又は電圧
検出回路（一般には増幅器）が接続される。

ところが、この種うず電流式の距離検出装置では検出装
置本体に２つのコイルを設置すると共に他の部材は、例
えば電気料ｔｉｔ盤内部に収納され、両部材はケーブル
接続される構造上、抵抗、容重に関しいわゆるバランス
ずれが生じ、このバランスずれに対する調整手段が必要
となる。

従来、このバランス調整は、前記コイルや抵抗にバラン
ス抵抗或いはバランス容量を直接ないし並列に接続する
ことで行われていた。

しかしながら、バランス用の抵抗やコンデンサを固定的
に接続する場合には、距離検出装置本体やケーブルを交
換する毎に接続変更を行わなければならないことになる
。特に、レーザ加工装置の距離検出装置は、距離検出器
本体の取換えを比較的頻繁に行わなければならないので
、その作業に多くの手間を要している。

［発明の目的］ この発明は上記点に鑑みて、直流的、交流的なバランス
調整を容易に行うことができろうず電流式の距離検出装
置を提供することを目的とする。

［発明の概要］ 上記目的を達成するために、この発明では、うず電流式
の距離検出装置を、被検出物に近接配置される検出用コ
イルと該コイルと略同一温度に保持される温度補償用コ
イルとを直列に接続した回路に２つのアーム抵抗を直列
に接続した回路を並列に接続してブリッジ回路を構成し
、該ブリッジ回路の直列接続点又は並列接続点に交流電
源又は電圧検出回路をそれぞれ接続する一方、移動点を
有し該移動点を移動させることにより抵抗比率を任意に
変更可能の第１及び第２の可変抵抗を前記並列接続点に
並列に接続し、前記アーム抵抗の中心点を前記第１の可
変抵抗の移動点に所定の抵抗を介して接続すると共に前
記両コイルの中心点を前記第２の可変抵抗の移動点に所
定のコンデンサを介して接続することにより構成し、第
１及び第２の可変抵抗の移動点を調整することにより、
直流的、交流的なバランス調整を容易に行うことができ
るようにした。

［実施例の説明］ 以下、添付図面を用いてこの発明の詳細な説明する。

第１図はレーザ加工機械の側面図を示している。

図示の如く、レーザ加工機械１は、水平に敷設された固
定のＸＹテーブル３上にワークＷを案内し、このワーク
Ｗをレーザビーム５で熱切断するものである。

レーザビームＬＢはレーザビーム発生装置５で発生され
、強度調整装置７、反射［９を介して加工へラド１１に
案内されている。加工ヘッド１１の内部にはレンズ１３
が設けられ、レーザビーム１Ｂはこのレンズ１３で集光
され、集光位置でワークＷを熱切断する。また、ワーク
Ｗはクランプ１５で把持されて、切断すべき位置がヘッ
ド１１の直下に来るように、ＸＹテーブル３上で水平移
動されるようになっている。

クランプ１５は、ワークＷを把持した状態で、ＸＹ軸用
サーボモータで平面Ｘ、Ｙ方向に駆動されるようになっ
ている。ヘッド１１はＺ軸周サーボモータで上下方向に
駆動されるようになっている。又、レーザ加工機械１に
はＮＧ装置１７が備えられ、このＮＧ装置１７の操作部
にはいわゆる手動パルス発生器１９が備えられている。

第２図は、前記加工ヘッド１１の下方先端に取付けられ
ろうず電流式の距離検出器（以下、単にセンサと呼ぶ）
２１の一部断面拡大側面図である。

第３図（ａ）は、これを更に拡大して示す断面図である
。

第２図に示すように、センサ２１は、内部に円錐状の空
洞を有し上部に７ランジ２１ａを有する截頭円錐形状に
形成され、ヘッド１１に設けられた円錐状のノズル２３
の外側に前記空洞を合わせる形で取付けられている。セ
ンサ２１は、グラファイト製の内側部材２１ｂと、セラ
ミックス製の外側部材２１ｃと、内側部材２１ｂの外側
表面円周上に設置ブられた上下２つの溝２１ｄにそれぞ
れ埋設される上下２つのコイルＣ＋　、Ｃ２と、これら
コイルＣ＋　、Ｃ２と連結されるケーブル２１ｅとを有
して構成されている。ケーブル２１ｅはその表面をテフ
ロン加工され耐熱性とされている。

ケーブル２１ｅの一端にはコネクタ２１ｆが設けられて
いる。コイルＣ＋は距離検出用コイルであり、コイルＣ
２は温度補償用のコイルである。

センサ２１の７ランジ２１ａは、内周面に設けた内ねじ
部を前記ヘッド１１本体の下端に設けた外ねじ部と螺合
させる接合用キャップ２５を用いて、ヘッド１１の本体
に＠脱自在の形で取り付けられるようになっている。

距離検出用のコイルＣ１は、測定錆度を向上させるため
に下方に位置させるのに対し、コイルＣ２は上記コイル
Ｃ１との相互作用を少なくするため、又センサ２１の下
端直径りを小さくするためその上方に所定の距離Ωを置
いて配設されている。

第３図（ａ）に示すように、グラファイト製の内側部材
２１ｂには、その外表面に、セラミックスコーティング
２１（ｌが施される。グラファイトは熱伝導性が良好な
割には絶縁性が大きいが、この表面にセラミックスコー
ティングを行うことにより、絶縁性を更に向上させるこ
とができる。これにより、コイルＣ＋　、Ｃ２は共に絶
縁されて内側部材２１ｂに保持され、両者の温度は略一
定となる。

前記セラミックス類の外側部材２１ｃの下端には前記ノ
ズル２３の下端内方まで伸びる底２１ｈが形成されてい
る。この底２１ｈは、レーザ加工時にワークＷ面からの
スパッタを受けるが、セラミックス類であるがため、ス
パッタを溶着させず、センサ内部、並びに前記ノズル２
３をスパッタから保護することができる。

第３図（ｂ）はセンサ２１の他の実施例を示づものであ
る。本例では、セラミックス類の外側部材２１Ｃに底部
を設けることなく、内側部材２１ｂの底部に厚めのセラ
ミックスコーティング２１ｇを施し、かつ、ノズル２３
の先端位置を少しＴＲさゼたものである。

本例によっても、スパッタはセンサ内部やノズル２３の
先端部分に直接触れることがなく、コーテイング膜はセ
ンサ及びノズル２３をスパッタや加工部の熱放射から保
護することができる。

第３図（ａ）及び第３図（ｂ）においては、外側部材２
１Ｃをセラミックスで作成したが、センサ２１の外側部
材２１Ｃはセラミックス以外の材料、例えば鉄や銅或い
はアルミニウムで作ることもできる。

ただし、この場合、センサを前記スパッタないし放射熱
から保護するため、センサの外表面をセラミックスコー
ティングするのが望ましい。又、センサ２１の底部は、
スパッタから十分保護されるよう厚めにコーティングさ
れることが望ましい。

第４図は、センサ２１のブリッジ回路を示している。

該回路２７は、前記コイルＣ１とＣ２と抵抗Ｒ・１．Ｒ
２とを点Ｐ１〜Ｐ４で結んだブリッジを基本として構成
されている。点Ｐ＋　、Ｒ３間には交流電源Ｅが接続さ
れ、これに、素子Ｒ３、ＶＲ＋　。

ＶＲ２、Ｃで構成させるバランス回路が接続されている
。これにより、点Ｐ２から、ワークＷと加工ヘッド１１
との間の距離に関連した電圧Ｃ（が端子Ｔ１に向けて出
力されるものである。

今、 Ｌｌ・・・検出用コイルＣ１のインピーダンスし２・・
・温度補償用コイルＣ２のインピーダンスＲ＋　、Ｒ２
・・・ブリッジのアーム抵抗ｅＯ・・・電源Ｅの発振電
圧 ｄ・・・検出用コイルＣ＋、とワークＷとの間の距離ａ
・・・検出用コイルＣ１のコイル半径とすると、 ｅ＋　　＝　（Ｌ＋　／　（Ｌ＋　　＋１２　）−Ｒ＋
　／　（Ｒ１＋Ｒ２）　）ｅ　。

となり、距離ｄの関数として出力電圧ｅ、が決定する。

ただし、検出用コイルのインピーダンスＬ１は距離ｄを
コイルＣ１の半径ａで除した値ｄ／ａの関数である。

バランス回路は、点Ｐ＋　、Ｒ３間に並列に設けられる
可変抵抗ＶＲ＋　、ＶＲ２と、一端を点Ｐ２に接続され
他端を前記可変抵抗ＶＲ＋　の可変点ＶＰ１に接続する
抵抗Ｒ３と、一端を点Ｐ４に接続し、他端を前記可変抵
抗ＶＲ２の可変点ＶＰ２に接続するコンデンサＣとで構
成されている。可変抵抗ＶＲ＋　、ＶＲ２における可変
点ＶＰ＋　、ＶＰ２は盤面に設けられるボリュームで容
易に調整移動可能となっている。

上記構成のバランス回路において、可変抵抗■Ｒ１の可
変点ＶＰ＋　を移動させることにより、アーム抵抗Ｒ＋
　、Ｒ２の比を調整することができる。

即ち、可変点ＶＰ＋の移動により、抵抗Ｒ３を抵抗Ｒ１
側に又はＲ２側に並列に接続させるごとき等価回路を形
成することができる。一方、可変抵抗ＶＲ２の可変点Ｖ
Ｐ２を移動させることにより、インピーダンスし１．Ｌ
２の比を調整することかで−きる。即ち、可変点ＶＰ２
の移動により、容量ＣをインピーダンスＬｉ側に又は［
２側に並列に接続させるがごとき等価回路を形成するこ
とができる。

前記バランス回路における可変点ＶＰ＋　、ＶＰ２の移
動による直流的、交流的なバランス調整は相互に影響を
与えるので、調整は交互に行なわれる。なお、前記コイ
ルＣ１及びＣ２はセンサ２１側に位置するが、他の電気
素子は所定の盤内に位置するものである。

第５図は前記センサ２１の出力ｅ１を増幅するための増
幅回路を示す回路図である。

図示の如く、増幅回路２９は、増幅器２９ａと、整流回
路２９ｂと、平滑化回路２９ｃと、ＬＯＧ増幅器２９ｄ
と、増幅器２９ｅと、アラーム出力用増幅器２９ｆと、
を有して構成される。

増幅器２９ａは検出電圧ｅ、を増幅し、整流回路２９ｂ
はこれを整流する。平滑化回路２９０はこれを平滑化し
、ＬＯＧ増幅器２９ｄは検出距離ｄに対し出力電圧が略
比例するよう入力電圧を補正する。増幅器２９ｃはこれ
を増幅し増幅電圧ｅ２を端子Ｔ２に向けて出力する。ア
ラームは異常電圧発生時に出力されるものである。

なお、図示の如く端子Ｔ２と、前記増幅器２９ａの出力
端子は、スイッチ２９（ｌを介してメータ２９ｈに接続
され、該メータ２９ｈは増幅された後の出力電圧を表示
すると共に前記バランス調整に利用できるようになって
いる。

第６図は前記増幅器２９から出力された電圧ｅ２を前記
ＮＯ装置１７で利用するために、所定のパルス信号に変
換するパルス制御回路を示している。

パルス制御回路３１は、汎用のＮＯ装置と接続するため
に、前記電圧ｅ２をそのままパルス信号に変更するのと
は異なって、若干複雑な構成となっている。

パルス制御回路３１は、加算増幅器３１ａと、これに接
続される絶対値増幅器３１ｂと、方向判別器３１Ｃと、
上限設定器３１ｄ１下限設定器３１ｅと有している。又
、前記絶対値増幅回路３１ｂに接続されるＶ／Ｆ変換器
３１ｆ及び倣い幅設定器３１（Ｊとを有している。更に
、Ｖ／Ｆ変換器３１ｆ及び倣い幅設定器３１１Ｊにはナ
ントゲート３１ｈが接続され、これに分周器３１１が接
続され、分周器３１ｉ及び上限設定器３１ｄにはナント
ゲート３１ｊとが接続されている。

入力端子Ｔ３には倣い距離設定用の標準電圧ｅｓが入力
される。この標準電圧ｅｓは、第２図において例えば、
ワークＷとセンサ２１との倣い距離ｄｓを１．５ｍｍと
設定しようとするとき、センサ２１が丁度この高さにあ
るとき出力する電圧（例えば２．５ボルト）を設定する
ものである。この電圧ｅＳは、例えばＮＣ９１置１７側
で設定されるものである。

入力端子Ｔ４．Ｔ５には倣い＆ＩＩｔＩＯの上限及び下
限距離に相当する電圧ｅｕ、　ｅｄが設定される。上限
及び下限距離は倣い距離ｄｓに対し例えば、±１ｍｍと
されるものである。

入力端子Ｔ６には倣い範囲を定める電圧ｅｆが設定され
る。倣い範囲は、例えば±１１１１ＩＩであり、ここで
はその絶対値１■に相当する電圧ｅｆ（正の値）が設定
されることになる。

前記加算増幅器３１ａは、入力端子Ｔ２及びＴ３から検
出電圧ｅ２と標準電圧Ｏ３とを入力し、検出電圧ｅ２の
標準電圧ｅｓに対する偏差△ｅを求める。

絶対値増幅器３１ｂは入力電圧△ｅの絶対値を増幅し、
増幅電圧をＶ／Ｆ変換器３１ｆ及び、倣い上限設定器３
１（＋に出力する。

Ｖ／Ｆ変換器３１【は入力電圧に比例した周波数のパル
ス信号を、２入力端子を有するナントゲート３１ｈの一
入力端子に出力する。ただし、図示しないが、当該Ｖ／
Ｆ変換器３１「には、その内部に入力電圧を制御幅（±
２００μｍ程度）に対応して定められる電圧で規制する
ツェナダイオードが備えられており、入力電圧がこの規
制電圧ｅｎ＋を越える場合には、入力電圧をｅＩｌｌと
する回路が備えられている。これは、Ｖ／Ｆ変換器３１
［の感度を良好とし、小さい入力電圧で高密度のパルス
信号を出力できるようにするためであり、出力電圧を所
定のものより大きくしないためである。

これについての作用は第１１図で詳述する。

前記上限設定器３１ｇの一入力端子は前記入力端子Ｔ６
と接続されており、絶対値増幅器３１ｔ）の出力が端子
Ｔ６に入力される倣い範囲を定める電圧ｅ「の範囲にあ
るとき出力を“ＯＮとし、電圧ｅｆを越えるとき１′°
を出力する。従って、ナントゲート３１ｈは、絶対値増
幅器３１ｔｌの出力する電圧が倣い範囲（±１ｍ１）を
定める電圧ｅｆ内にあるときのみ、所定周波のパルス信
号を分周器３１１に出力する。

前記方向判別器３１ｃは、増幅器３１ａから出力される
電圧△ｅの正負符号を検出し、これをナントゲート３１
ｊの一入力端子に与える。一方、ナントゲート３１ｊの
他の一入力端子には、前記分周器３１ｉからの出力パル
ス信号が入力されている。そこで、ナントゲート３１ｊ
は方向判別器３１Ｃからの正負符号に基づいて分周器３
１ｉから入力されるパルス信号に正負の符号をつける。

第７図は、ナントゲート３１ｊから出力されるパルス信
号Ｐの出力線図を示している。

図示の通り、入力端子Ｔ７へ出力されるパルス信号Ｐは
、標準電圧ｅｓをゼロ点として検出電圧ｅ２　（距ｖｉ
ｄ　）に比例して急勾配で立上がるパルス信号となると
共に、前記Ｖ／Ｆ変換器３１ｆの規制電圧ｅｍに相当す
る距離で飽和する原点（倣い点）０に対して対象的な線
図となっている。数値的には制御幅ＣＤ（±２００μｌ
１１）に対し±ｎ　ＫＨ７（ｎ：１〜３）程度である。

なお、破線は一般のＶ／Ｆ変換器の特性を示すものであ
る。

再び第６図において、上限設定器３１ｄは、電圧△ｅと
電圧ｅｕを比較し、上限距離ｄｕを検出し、ワークＷと
ヘッド１１との間の距離が上限ｄｕより大きいときハイ
レベルとなる信号を端子Ｔ８に出力する。同様に下限設
定器３１ｅは下限距離ｄｄを検出し、ヘッド１１がｄｄ
より小さいときハイレベルとなる信号を端子Ｔ９に出力
する。

第８図に示すように、ＮＧ装置１７は、主制御部３３と
、ワーク（クランプ）位置制御部３５と、ヘッド高さ制
御部３７と、パルス信号処理部３つとを有している。

主制御部３３は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を有してお
り、ＲＯＭ内の制御プログラムに基いて各制御部材に指
令信号を出力する。主制御部３３は各種のインターフェ
イスと接続され、各種の制御を行うが、ここでは、ワー
ク位置指令信号Ｓ（Ｘ、Ｙ）と、ヘッド高さの指令信号
５（Ｚ）を出力するだけのものとする。

ワーク位置指令信号Ｓ　（Ｘ、Ｙ）は、ワークＷを所定
形状に切断するために、クランプ１５の平面状での移動
軌跡を指令するものである。ヘッド高さ指令信号Ｓ　（
Ｚ）は、ヘッド１１の高さを固定テーブル３に対して指
定するもので、一般には、ワークＷに反りが無いことを
想定して、テーブル３上に載置されたワークＷの高さに
レーザビーム５の焦点が合うようヘッド高さを指令する
ものである。この指令信号５（Ｚ）は、ワーク形状や切
断形状にヰいて、ワーク水面位置が異なる位置でその高
さが所定のものとなるように、又、ワーク端面では倣い
を停止させヘッド１３を上昇させるように指令するもの
である。

ワーク位置制御部３５は、指令信号Ｓ　（Ｘ、Ｙ）を入
力し、所定の補間を行って、Ｘ軸駆動部４１、Ｙ軸駆動
部４３に駆動信号を出力する。駆動部４１．４３はサー
ボアンプで構成され、駆動信号に基いてＸ、Ｙ軸サーボ
モータＭｘ　、Ｍ”／を駆動する。モータＭｘ　、Ｍｙ
にはエンコーダＥが取付けられ、移動結果を駆動部４１
．４３に＠還している。これにより、ワークＷ（クラン
プ１５）は指令のＸ、Ｙ位置に所定速度で制御されるこ
とになる。

ヘッド高さ制御部３７は、高さ指令信＠５（Ｚ）を入力
し、指令高さＺＯに後述補正値±ΔＺを和し、ヘッド高
さがこの値Ｚ＝Ｚｏ±△Ｚとなるように軸駆動部４５に
駆動信号を出力する。Ｚ軸駆動部４５はサーボアンプで
構成され、駆動信号に基いて、Ｚ軸サーボモータＭＺを
駆動する。モータＭＺには、エンコーダＥが取付けられ
移動結果を駆動部４５に帰還している。これにより、ヘ
ッド１１は高さＺ−Ｚｏ±ΔＺに所定速度で制御される
ことになる。

パルス信号処理部３９は、スイッチ４７を介して、手動
パルス発生器１９又は前記パルス制御回路３１と接続さ
れるようになっている。

手動パルス発生器１つのパルス発生状況を第９図に示す
と共に、パルス制御回路３１のパルス発生状況を第１０
図に示した。

第９図に示すように、手動パルス発生器１９は、その内
部に設けられたエンコーダを手動で回転さぼることによ
り、（ａ　）　　（ｂ　）図に示したように位相が１／
４異なる２相のエンコーダ信号Ｈａ。

Ｈｂを生成し、（ｃ　）　　（ｄ　）図に示したような
正逆転の方向付けをされたパルス信号ｐＨを出力する。

パルスＰＨの伍は回転速度に比例する。なお、パルス信
号処理部３９への入力パルスのパルス周」が３３０μｓ
ｅｃ以下とならないためにリミッタが設けられている。

一方、パルス制御回路３１は、第７図に示した如きパル
ス信号Ｐを発生する。

パルス信号処理部３９は、手動パルス発生器１９又は、
パルス制御回路３１からパルス信号ＰＨ又はＰを入力す
る。そして、１パルスをμｍに換口して、ヘッド高さの
補正値±ΔＺを前記ヘッド高さｌｌｉ制御部３７に出力
する。この出力は所定時間へＴ、例えば、１０１１１ｓ
ｅｃ毎に行われるが、この場合の補正値ΔＺは、所定時
間ΔＴ内に入力されたパルス信号の積分値に対して行わ
れるものである。ここに、本例では、第７図で示したよ
うに制御幅ＣＤに対して高密度のパルス信号Ｐを出力す
ることができるので、小さな制御幅ＣＤ（±２００μｍ
）に対して十分高密度のパルス信号Ｐが得られることに
なる。

今、スイッチ４７が手動パルス発生器１９へ切換えられ
ているとする。このスイッチ４７は図示しないモード切
換スイッチに連絡され、手動モードへの切換えに運動し
て切換えられるものである。

そこで、オペレータが手動パルス発生器１９のエンコー
ダを回転させたとする。すると、手動パルス発生器１９
から第９図（ｃ）、（ｄ）に示したような正負符号のパ
ルス信号ｐＨが出力されることになる。

パルス信号処理部２７は、入力パルスＰＭを単位時間へ
Ｔで積分し、ヘッド高さの移動指令値上ΔＺを形成し、
ヘッド高さ制御部３７に出力する。

ヘッド高さ制御部３７は、現在手動モードであるので、
指令信＠５（Ｚ）は入力されていない。従って、ヘッド
高さ制御部３７は、パルス信号処理部３９から入力した
移動指令値±ΔをそのままＺ軸層動部４５へ出力する。

Ｚ軸層動部４５は、入力された駆動信号に基いて、サー
ボモータＭＺを移動低±ΔＺに相当する分だけ駆動する
。

次にスイッチ４７が、パルス制御回路３１側へ切換えら
れているとする。この切換えはモード切換スイッチと連
動して行われるものである。

ヘッド高さ制御部３７には、主制御部３３から指令信＠
ＺＯが入力されている。センサ２１は、ワークＷとヘッ
ド１１との間の距離ｄに基いて第４図に丞した電圧ｅ１
を出力し、パルス制御回路３１はこの電圧ｅ１と標準電
圧ｅｓとの差に基いて第７図に示したパルス信号Ｐを出
力する。標準電圧ｅｓは標準距離ｄｓに対応して予め設
定されているものである。標準パルス信号処理部２７は
このパルス化＠Ｐに基いて補正値±Δ２を演算する。演
算内容は手動パルス発生器１９からパルス信号ＰＨを入
力したときと同様である。

加工ｊ１始に際しヘッド１１は、始め、相当上方位置に
あり、比較的速い速度でその高さＺを低くしワークＷの
表面に近づくが、ＮＧ装置１７は第６図に示した端子Ｔ
８と接続されており、上限距離ｄｕから速度を落し、以
下の倣い制御を開始する。

パルス制御回路３１、パルス信号処理部３９、ヘッド高
さ制御部３７は、偏差恐±ΔＺを受け、ヘッド１１とワ
ークＷとの距離を常時標準距離ｄｓに保つように作用す
る。

第７図及び第１０図に示すように、パルス制御回路３１
から出力されるパルス信号Ｐは、制御幅ＣＤに関して距
離差に比例すると共に、この範囲を越えると一定値とな
るが、フィードバックの性質上、フィードバック特性に
なんらの無理はない。

第１１図に、ヘッド１１が、ワークＷ上を図において右
方向へ移動する例を示した。

ヘッド１１は、常時ワークＷとの間の距離を例えば１．
５ｍｍに保とうとする。

ところが、ワークＷは充分に平滑でなく、また、図左方
に示すように穴４９を有したり、図の中央部分に示すよ
うに形状部分５１を有する場合もある。

ここに、本例では、第３図Ｇ）、■に示すように、セン
サ２１の底（ないしヘッド１１の底）部の直径りを極力
小さくするよう、湿度補償用のコイルＣ２を検出用コイ
ルＣ＋　の上方に位置させている。

従って、本例では、センサ２１の底部がワークと干渉す
ることがなく傾斜０が大きな形状部分の加工を行うこと
ができる。しかも、このとき、第７図に示したように、
パルス信号Ｐの密度を十分高くしているので、パルス制
御回路３１は傾斜θに基づくパルス信号処理部３９への
パルス帰還母の遅れを補い、ヘッド１１を傾斜θに迅速
に追従させることができる。

又、ワークＷに穴４９があると、センサ２１はこの穴４
９の下方のテーブル位置を検出し、ヘッド１１を穴４９
の下方へ沈める恐れがある。しかし、本例では、第６図
に示したように下限設定器３１ｅを設け、センサ２１が
下限距離を検出したとき、端子Ｔ９を介してその旨をＮ
Ｃ装：！１７に連絡するようにしているので、ＮＣ装置
１７は、この穴４９部分については、ヘッド１１を倣い
制御せず、ヘッド高さをそのままとして穴４９部分を通
過するが如＜　ｉ、ｌＩ御することができる。

更に、第１１図右方に示すように、ヘッド１１はワーク
Ｗの端面に差しかかり、ヘッド１１をワークＷの端面か
ら落してしまう恐れがある。しかし、本例では、前記下
限設定器３１ｅが下限距離ｄｄを検出したとき、端子Ｔ
９を介してその旨ＮＣ装置１７へ連絡し、ＮＣ装置はこ
れに基いて作業を一時中断する等処理できるようにして
いる。なお、下限設定器３１ｅが、下限距離を検出した
ときに、それが穴４９であるか、端面であるかの判断は
、ワークの形状及び加工データ等から容易に判断できる
ものである。

［発明の効果］ 以上の通り、この発明に係ろうず電流式の距離検出装置
によれば、直流的、交流的なバランス調整を容易に行う
ことが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図はレーザ加工機械の側面図、第２図は上記レーザ
加工機械のヘッド部分の拡大説明図、第３図（ａ）及び
第３図（ｂ）はうず電流式のセンサの断面説明図、第４
図はセンサの検出信号を処理するブリッジ回路の回路図
、第５図は、増幅回路のブロック図、第６図はパルス制
御回路のブロック図、第７図は出力パルス信号の特性を
示す線図、第８図はＮＣ装置のブロック図、第９図（ａ
）、（扮、（ｃ）。 ■は手動パルス発生器のエンコーダ信号の説明図、第１
０図の）、（ｂ）はパルス制御回路のパルス信号出力状
態の説明図、第１１図は加工ヘッドとワークとの位置関
係を示す説明図である。 １・・・レーザ加工機械　１１・・・ヘッド１７・・・
ＮＣ装置　　　　２１・・・センサ２３・・・ノズル　
　　　　２７・・・ブリッジ回路２９・・・増幅回路　
　　　３１・・・パルス制御回路Ｗ・・・ワーク　　　
　　Ｐ・・・パルス信号、了セρ−二二−６ ゛　；−ン−゛ 代理人　弁理士　　三　好　保　男１′（：、’：、：
１ｊ、−□、１　　□ 第１図 第２図 第５図 第６図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被検出物に近接配置される検出用コイルと該コイ
   ルと略同一温度に保持される温度補償用コイルとを直列
   に接続した回路に２つのアーム抵抗を直列に接続した回
   路を並列に接続してブリッジ回路を構成し、該ブリッジ
   回路の直列接続点又は並列接続点に交流電源又は電圧検
   出回路をそれぞれ接続する一方、移動点を有し該移動点
   を移動させることにより抵抗比率を任意に変更可能の第
   １及び第２の可変抵抗を前記並列接続点に並列に接続し
   、前記アーム抵抗の中心点を前記第１の可変抵抗の移動
   点に所定の抵抗を介して接続すると共に前記両コイルの
   中心点を前記第２の可変抵抗の移動点に所定のコンデン
   サを介して接続したことを特徴とするうず電流式距離検
   出装置。
2. （２）前記第１及び第２の可変抵抗の移動点は共に回転
   式つまみによって調整移動される特許請求の範囲第１項
   記載のうず電流式距離検出装置。