JPS62220421A - チヤンバ移動装置 - Google Patents
チヤンバ移動装置Info
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- JPS62220421A JPS62220421A JP5934286A JP5934286A JPS62220421A JP S62220421 A JPS62220421 A JP S62220421A JP 5934286 A JP5934286 A JP 5934286A JP 5934286 A JP5934286 A JP 5934286A JP S62220421 A JPS62220421 A JP S62220421A
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 11
- 238000009461 vacuum packaging Methods 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
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- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Vacuum Packaging (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明はチャンバ移動装置、特に水平回動させるロー
タ側に底板を設けておき、移動して来る底板に対しチャ
ンバを閉塞・連れ回ねりせしめ真空シール後底板に対し
開放させたチャンバを元の位置へ復帰させるためのチャ
ンバ移動装置に関する。
タ側に底板を設けておき、移動して来る底板に対しチャ
ンバを閉塞・連れ回ねりせしめ真空シール後底板に対し
開放させたチャンバを元の位置へ復帰させるためのチャ
ンバ移動装置に関する。
〈従来技術〉
真空包装において底板にチャンバを組合わせ両者を閉塞
状態にして真空シールし次いでチャンバ内をブローして
からチャンバを底板から開放するという、底板に対する
チャンバ、の閉塞、開放のための移動装置は従来より多
くのものが採用され一般化されているが、ロータ利用の
真空包装の場合真空タイムの間中ロータを停止させてお
くと時間当りの処理効率を高めたい意図に反しロータの
停止タイムがロスタイムに成ってしまうので、真空タイ
ムであってもロータを停止させずチャンバを底板と共に
連れ廻りさせチャンバの移動時間をチャンバ内の脱気、
真空タイムに活用することが考えられ、この希望を満た
すためにチャンバを底板に対し閉塞、開放させるだけで
なく、ロータ側の底板の回動に伴ないチャンバを一緒に
同期させて移動させ真空シール後底板より開放させたチ
ャンバを再び元の位置に復帰移動させるチャンバの移動
装置が必要となる。そしてこの要請を満足させるものと
して例えば特開昭60−99817号に示されているチ
ャンバの移動装置がある。この従来例によれば多数個の
底板に対し2つのチャンバを交互に反転させては組合わ
せ、一方のチャンバを閉塞〜開放の開底板と共に連れ廻
ねりさせその間に開放済みの他方のチャンバを元の位置
へ復帰させている。
状態にして真空シールし次いでチャンバ内をブローして
からチャンバを底板から開放するという、底板に対する
チャンバ、の閉塞、開放のための移動装置は従来より多
くのものが採用され一般化されているが、ロータ利用の
真空包装の場合真空タイムの間中ロータを停止させてお
くと時間当りの処理効率を高めたい意図に反しロータの
停止タイムがロスタイムに成ってしまうので、真空タイ
ムであってもロータを停止させずチャンバを底板と共に
連れ廻りさせチャンバの移動時間をチャンバ内の脱気、
真空タイムに活用することが考えられ、この希望を満た
すためにチャンバを底板に対し閉塞、開放させるだけで
なく、ロータ側の底板の回動に伴ないチャンバを一緒に
同期させて移動させ真空シール後底板より開放させたチ
ャンバを再び元の位置に復帰移動させるチャンバの移動
装置が必要となる。そしてこの要請を満足させるものと
して例えば特開昭60−99817号に示されているチ
ャンバの移動装置がある。この従来例によれば多数個の
底板に対し2つのチャンバを交互に反転させては組合わ
せ、一方のチャンバを閉塞〜開放の開底板と共に連れ廻
ねりさせその間に開放済みの他方のチャンバを元の位置
へ復帰させている。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかしながら、上記の従来例では2つのチャンバを反転
させるため相当複雑な構造の採用が強いられることにな
り、重量物であるチャンバを支持しながら、底板に閉塞
状態となっている一方のチャンバの後側を通り抜けさせ
て他方のチャンバを復帰移動せしめねばならずチャンバ
移動装置としての全体構成が大変である。
させるため相当複雑な構造の採用が強いられることにな
り、重量物であるチャンバを支持しながら、底板に閉塞
状態となっている一方のチャンバの後側を通り抜けさせ
て他方のチャンバを復帰移動せしめねばならずチャンバ
移動装置としての全体構成が大変である。
そこでこの発明では複数のチャンバを一緒に対応する底
板に閉塞させて底板と共に連れ廻りさせ、真空シール後
は一緒に元の位置へ復帰移動させるものとし、比較的簡
便な構成で底板に対する閉塞及び開放用の移動に加えて
複数チャンバの連れ廻り用の移動と復帰移動を円滑且つ
迅速に行なえるチャンバ移動装置を提供せんとしている
。
板に閉塞させて底板と共に連れ廻りさせ、真空シール後
は一緒に元の位置へ復帰移動させるものとし、比較的簡
便な構成で底板に対する閉塞及び開放用の移動に加えて
複数チャンバの連れ廻り用の移動と復帰移動を円滑且つ
迅速に行なえるチャンバ移動装置を提供せんとしている
。
〈問題点を解決するための手段〉
この発明は上記の目的を達成するために、水平支持アー
ムと同一回転中心を有するように水平支持アームの下方
に配され、上面に設けたチャンバ開閉用の圧力シリンダ
ーに接続されて前記回転中心に対し進退動自在にしたス
タンドを介し複数のチャンバを上面で底板に対向して同
時に接・離自在にして取付けた移動プレートと、この移
動プレートに先端を係合する揺動アーム、揺動アームの
基端と同軸にしたギヤ、及びこのギヤに正・逆方向の回
転を行なわしめる揺動シリンダを有する揺動装置とを、
少くとも備え、そして揺動装置にて移動プレートを水平
支持アームと同期させて一緒に回動せしめ且つ真空シー
ル用のポジション到達後は逆に元のポジションに移動プ
レートを復帰回動せしめるチャンバ装置としている。
ムと同一回転中心を有するように水平支持アームの下方
に配され、上面に設けたチャンバ開閉用の圧力シリンダ
ーに接続されて前記回転中心に対し進退動自在にしたス
タンドを介し複数のチャンバを上面で底板に対向して同
時に接・離自在にして取付けた移動プレートと、この移
動プレートに先端を係合する揺動アーム、揺動アームの
基端と同軸にしたギヤ、及びこのギヤに正・逆方向の回
転を行なわしめる揺動シリンダを有する揺動装置とを、
少くとも備え、そして揺動装置にて移動プレートを水平
支持アームと同期させて一緒に回動せしめ且つ真空シー
ル用のポジション到達後は逆に元のポジションに移動プ
レートを復帰回動せしめるチャンバ装置としている。
く作 用〉
ロータ側の複数の底板は、水平支持アームの水平回動に
伴ない次々と真空包装工程に見合うポジション毎に停止
しつつ間欠的に移動する。
伴ない次々と真空包装工程に見合うポジション毎に停止
しつつ間欠的に移動する。
これに対し複数(以下の実施例では2つ)のチャンバを
スタンドに取付けた移動プレートは、チャンバの閉塞ポ
ジションに位置し、複数のチャンバのそれぞれと対応す
べき底板が移動して来るとチャンバ開閉用の圧力シリン
ダが作動し同時に複数のチャンバが底板に接触せしめら
れチャンバ内の脱気にてチャンバは底板に密着する。次
いでロータ〔水平支持アーム〕の回転により次のポジシ
ョンに底板が移動する時、チャンバを支持している移動
プレートに揺動装置より揺動力が伝達されて、複数のチ
ャンバが各々底板に閉塞している状態を維持しつつ複数
のチャンバ毎この移動プレートは水平回動する。
スタンドに取付けた移動プレートは、チャンバの閉塞ポ
ジションに位置し、複数のチャンバのそれぞれと対応す
べき底板が移動して来るとチャンバ開閉用の圧力シリン
ダが作動し同時に複数のチャンバが底板に接触せしめら
れチャンバ内の脱気にてチャンバは底板に密着する。次
いでロータ〔水平支持アーム〕の回転により次のポジシ
ョンに底板が移動する時、チャンバを支持している移動
プレートに揺動装置より揺動力が伝達されて、複数のチ
ャンバが各々底板に閉塞している状態を維持しつつ複数
のチャンバ毎この移動プレートは水平回動する。
即ち揺動シリンダが駆動してギヤを回転させギヤと同軸
の揺動アームを回動せしめその力により移動プレートを
水平回動ずべく移動させるものである。そしてこの移動
タイムがチャンバ内の脱気。
の揺動アームを回動せしめその力により移動プレートを
水平回動ずべく移動させるものである。そしてこの移動
タイムがチャンバ内の脱気。
真空タイムに活用され、移動する間中チャンバは脱気、
真空化される。真空シール及びチャンバの開放ポジショ
ンに到達するとロータ〔水平支持アーム〕は停止しチャ
ンバ内で袋に対する真空シールが施され、真空シール終
了と共にチャンバ内はブローされる。この時チャンバ開
閉用の圧力シリンダは前記と逆方向に作動し各底板から
同時に各チャンバを開放せしめる。それと共にロータ側
の底板は次の排出ポジションへと回動してゆくが、移動
プレートには揺動装置が先とは逆方向に回動力を付与す
るので開放された複数のチャンバを支持した状態のまま
元のポジションまで移動プレートが復帰回動させられる
ことになる。この時数にロータ側の底板は前述の如く水
平回動じているので、2チヤンバ使用の場合、1ポジシ
ョン分の底板の回動と1ポジション分の復帰回動とによ
って計2ポジション分の底板(換言すれば2つの袋)に
対し、改めて2チヤンバが閉塞処理し得て操作に無駄が
ない。
真空化される。真空シール及びチャンバの開放ポジショ
ンに到達するとロータ〔水平支持アーム〕は停止しチャ
ンバ内で袋に対する真空シールが施され、真空シール終
了と共にチャンバ内はブローされる。この時チャンバ開
閉用の圧力シリンダは前記と逆方向に作動し各底板から
同時に各チャンバを開放せしめる。それと共にロータ側
の底板は次の排出ポジションへと回動してゆくが、移動
プレートには揺動装置が先とは逆方向に回動力を付与す
るので開放された複数のチャンバを支持した状態のまま
元のポジションまで移動プレートが復帰回動させられる
ことになる。この時数にロータ側の底板は前述の如く水
平回動じているので、2チヤンバ使用の場合、1ポジシ
ョン分の底板の回動と1ポジション分の復帰回動とによ
って計2ポジション分の底板(換言すれば2つの袋)に
対し、改めて2チヤンバが閉塞処理し得て操作に無駄が
ない。
このようにして移動プレートは揺動装置より回動力が付
与されて平面上で揺動する状態を呈し、その間に複数の
チャンバで同時に同じ閉塞、密着。
与されて平面上で揺動する状態を呈し、その間に複数の
チャンバで同時に同じ閉塞、密着。
脱気、真空シール、開放処理が行なわれ、複数のチャン
バは同時に底板と連れ廻り且つ同時に元のポジションへ
と復帰移動されるものである。
バは同時に底板と連れ廻り且つ同時に元のポジションへ
と復帰移動されるものである。
〈実施例〉
次にこのチャンバ移動装置を組込んだ真空包装装置を参
照して実施例を説明する。
照して実施例を説明する。
この真空包装装置は、ロータlと、移動プレート2及び
揺動装置3を存するチャンバ移動装置4と、底板101
及びチャンバ102を有するチャンバ装置100とから
主に形成されており、以下順に説明する。
揺動装置3を存するチャンバ移動装置4と、底板101
及びチャンバ102を有するチャンバ装置100とから
主に形成されており、以下順に説明する。
ロータ1
このロータ1は水平支持アーム5とこの水平支持アーム
5を間欠的に水平回動せしめる駆動部6とから成る。水
平支持アーム5の外周部には8つの底板101が縦形に
して立設してありそして水平支持アーム5の外周に沿い
真空包装工程に見合う複数のポジションが等間隔で設定
されている。
5を間欠的に水平回動せしめる駆動部6とから成る。水
平支持アーム5の外周部には8つの底板101が縦形に
して立設してありそして水平支持アーム5の外周に沿い
真空包装工程に見合う複数のポジションが等間隔で設定
されている。
即ち、給袋ポジション7、充填ポジション8、袋緊張ポ
ジション9、チャンバの閉塞ポジション10.11、真
空シール及びチャンバの開放ポジション12.13そし
て排出ポジション14が順に設定されている。尚給袋ポ
ジション7と充填ポジション8との間は遊休ポジション
15としである。
ジション9、チャンバの閉塞ポジション10.11、真
空シール及びチャンバの開放ポジション12.13そし
て排出ポジション14が順に設定されている。尚給袋ポ
ジション7と充填ポジション8との間は遊休ポジション
15としである。
給袋ポジション7には、袋供給コンベア16と、同コン
ベア上に積載された樹脂製の袋Aを1枚当て水平状態か
ら垂直状態に持上げる吸着自在なスイングアーム17と
を備えたストッカー18が設置しである。尚19はカム
プレートでスイングアーム17のスイング動作を規制す
るものである。
ベア上に積載された樹脂製の袋Aを1枚当て水平状態か
ら垂直状態に持上げる吸着自在なスイングアーム17と
を備えたストッカー18が設置しである。尚19はカム
プレートでスイングアーム17のスイング動作を規制す
るものである。
充填ポジション8には、製品供給ホッパ20が上方に備
えられている。
えられている。
袋緊張ポジション9には左右一対の袋緊張体21が袋A
の開口部めがけて下降侵入及び開口部内で左右方向へ離
反移動そして上昇復帰自在にして設けである。
の開口部めがけて下降侵入及び開口部内で左右方向へ離
反移動そして上昇復帰自在にして設けである。
チャンバの閉塞ポジション10.11には2つのチャン
バ102が位置決めされており、チャンバ移動装置4に
よりこの2つのチャンバ102は次のポジションである
真空シール及びチャンバの開放ポジション12.13ま
で一緒に移動し真空シール後は元のチャンバの閉塞ポジ
ション10゜11まで一緒に復帰自在としである。
バ102が位置決めされており、チャンバ移動装置4に
よりこの2つのチャンバ102は次のポジションである
真空シール及びチャンバの開放ポジション12.13ま
で一緒に移動し真空シール後は元のチャンバの閉塞ポジ
ション10゜11まで一緒に復帰自在としである。
尚、2つのチャンバ102に同じ処理を同時に行なわし
めるため、チャンバの閉塞ポジション11と真空シール
及びチャンバの開放ポジション12とは、同ポジション
に設定してあり、2つのチャンバ102の一方をチャン
バX、他方をチャンバYとすると真空シール及びチャン
バXの開放ポジション12がチャンバYの閉塞ポジショ
ン11と同位置となるものである。
めるため、チャンバの閉塞ポジション11と真空シール
及びチャンバの開放ポジション12とは、同ポジション
に設定してあり、2つのチャンバ102の一方をチャン
バX、他方をチャンバYとすると真空シール及びチャン
バXの開放ポジション12がチャンバYの閉塞ポジショ
ン11と同位置となるものである。
排出ポジション14には排出シュート22が設けである
。
。
尚第1図〜第3図中、23はオペレータコントロールボ
ックス、24は駆動部カバー、25は安全カバーそして
26は装置本体のベースプレートを、各々示している。
ックス、24は駆動部カバー、25は安全カバーそして
26は装置本体のベースプレートを、各々示している。
チャンバf′φゴ“置4
チャンバ移動装置4は移動プレート2と、この移動プレ
ート2をロータ1の水平支持アーム5と同期させて一緒
に回動せしめ且つ真空シール及びチャンバの開放ポジシ
ョン12.13に到達した後は逆に元のポジション〔チ
ャンバの閉塞ポジション10,111に移動プレート2
を復帰回動せしめる揺動装置3とから主に構成されてい
る。
ート2をロータ1の水平支持アーム5と同期させて一緒
に回動せしめ且つ真空シール及びチャンバの開放ポジシ
ョン12.13に到達した後は逆に元のポジション〔チ
ャンバの閉塞ポジション10,111に移動プレート2
を復帰回動せしめる揺動装置3とから主に構成されてい
る。
移動プレート2は、水平支持アーム5と同一回転中心2
7を有するもので、水平支持アーム5の下方に配される
。移動プレート2の縁部上面には2つのチャンバX、Y
(102)を並設すべくチャンバ取付は用のスタンド2
8が設けられ、これらスタンド28は下部に設けた転勤
ローラ29が移動プレート2上面のガイドレール30内
に係合せしめられ且つ前記下部にはチャンバ開閉用の圧
力シリンダ31のロッド先端が接続しであることにより
、ロータ1 〔水平支持アーム5〕の中心に対し進退動
自在とされる。即ち水平支持アーム5の外周部に立設し
た底板101に対しチャンバX。
7を有するもので、水平支持アーム5の下方に配される
。移動プレート2の縁部上面には2つのチャンバX、Y
(102)を並設すべくチャンバ取付は用のスタンド2
8が設けられ、これらスタンド28は下部に設けた転勤
ローラ29が移動プレート2上面のガイドレール30内
に係合せしめられ且つ前記下部にはチャンバ開閉用の圧
力シリンダ31のロッド先端が接続しであることにより
、ロータ1 〔水平支持アーム5〕の中心に対し進退動
自在とされる。即ち水平支持アーム5の外周部に立設し
た底板101に対しチャンバX。
Y()02)を閉塞させ且つ開放させることができるよ
うにしである。
うにしである。
移動プレート2の縁部下面にはローラ32付きの脚33
が設けてあり、ローラ32はベースプレート26上で転
勤自在とされ、縁部上面に設けるチャンバ102の重量
を支持し移動プレート2の回動を円滑としている。
が設けてあり、ローラ32はベースプレート26上で転
勤自在とされ、縁部上面に設けるチャンバ102の重量
を支持し移動プレート2の回動を円滑としている。
34はガイド用の長孔で、移動プレート2の略中央で回
転中心27方向に向けて形成しである。
転中心27方向に向けて形成しである。
以上の様な移動プレート2に接続する揺動装置3はチャ
ンバ102の連れ廻り用及びチャンバ102の復帰用と
2つの機能を備えている。先ず揺動装置3は揺動アーム
35を有する。揺動アーム35の先端にはローラ36が
あり移動プレート2の長孔34内へ移動プレート2の下
方より係合せしめられており、一方揺動アーム35の基
端は小ギヤ37と同軸にして支持されている。この小ギ
ヤ37には大ギヤ38が噛合しである。そして大ギヤ3
8にロッド先端を接続した状態で揺動シリンダ39が設
けてあり、大ギヤ38を正・逆側方向に回転できるよう
にしている。尚この揺動シリンダ39には「エアシリン
ダ」を採用し、チャンバ102の吸着時、ロータ1 〔
水平支持アーム5〕の回動に完全に同調せしめている。
ンバ102の連れ廻り用及びチャンバ102の復帰用と
2つの機能を備えている。先ず揺動装置3は揺動アーム
35を有する。揺動アーム35の先端にはローラ36が
あり移動プレート2の長孔34内へ移動プレート2の下
方より係合せしめられており、一方揺動アーム35の基
端は小ギヤ37と同軸にして支持されている。この小ギ
ヤ37には大ギヤ38が噛合しである。そして大ギヤ3
8にロッド先端を接続した状態で揺動シリンダ39が設
けてあり、大ギヤ38を正・逆側方向に回転できるよう
にしている。尚この揺動シリンダ39には「エアシリン
ダ」を採用し、チャンバ102の吸着時、ロータ1 〔
水平支持アーム5〕の回動に完全に同調せしめている。
更にチャンバ102の閉塞ポジション10.11での位
置を正確にするためこの位置が「ロッドエンド」となる
ように揺動アームを大ギヤ38に対して配するものであ
る。
置を正確にするためこの位置が「ロッドエンド」となる
ように揺動アームを大ギヤ38に対して配するものであ
る。
尚閉塞ポジション10.11では揺動アーム35と長孔
34は、直角となるようにセットしておくことにより「
ロッドエンド」に多少の狂いが生じてもチャンバ102
の位置は殆ど変らない。
34は、直角となるようにセットしておくことにより「
ロッドエンド」に多少の狂いが生じてもチャンバ102
の位置は殆ど変らない。
以上のようなチャンバ移動装置4に於いて、チャンバの
閉塞ポジション10.11に袋Aを吊り下げた底板10
1が移動して(ると、圧力シリンダ31が各々駆動して
同時に2つのチャンバX。
閉塞ポジション10.11に袋Aを吊り下げた底板10
1が移動して(ると、圧力シリンダ31が各々駆動して
同時に2つのチャンバX。
Y(102)がロータl 〔水平支持アーム5〕及び移
動プレート2の回転中心方向に各スタンド28で支持さ
れた状態のまま進み且つ対応する底板101と接触して
閉塞状態を呈する。
動プレート2の回転中心方向に各スタンド28で支持さ
れた状態のまま進み且つ対応する底板101と接触して
閉塞状態を呈する。
底板101は水平支持アーム5の回動に伴ない次のポジ
ションである真空シール及びチャンバの開放ポジション
12.13目指して回動し、その間中移動タイムを真空
タイムに活用してチャンバX、Y(102)内では脱気
、真空処理が続けられる。底板101の回動の際、揺動
シリンダ39が駆動し、大ギヤ38.小ギヤ37.揺動
アーム35と回動力が伝達され、揺動アーム35先端の
ローラ36が長孔34内で回転しながら移動プレート2
を左方へ、水平支持アーム5の回動に同期させて、回動
させる〔第5図参照〕。従って、2つのチャンバX、Y
(102)は対応する2つの底板101と一緒に連れ廻
りされる。
ションである真空シール及びチャンバの開放ポジション
12.13目指して回動し、その間中移動タイムを真空
タイムに活用してチャンバX、Y(102)内では脱気
、真空処理が続けられる。底板101の回動の際、揺動
シリンダ39が駆動し、大ギヤ38.小ギヤ37.揺動
アーム35と回動力が伝達され、揺動アーム35先端の
ローラ36が長孔34内で回転しながら移動プレート2
を左方へ、水平支持アーム5の回動に同期させて、回動
させる〔第5図参照〕。従って、2つのチャンバX、Y
(102)は対応する2つの底板101と一緒に連れ廻
りされる。
真空シール及びチャンバの開放ポジション12゜13へ
チャンバX、Y (102)が到達し、真空シール処理
が終了するとチャンバX、Y(102)はブローされ、
次いで圧力シリンダ31が前回とは逆に駆動し各底板1
01より2つのチャンバX、Y(102)を同時に開放
する。
チャンバX、Y (102)が到達し、真空シール処理
が終了するとチャンバX、Y(102)はブローされ、
次いで圧力シリンダ31が前回とは逆に駆動し各底板1
01より2つのチャンバX、Y(102)を同時に開放
する。
次いで底板101は真空シール済みの袋を吊り下げて次
の排出ポジション14へ回動してゆき、閉塞ポジション
10.11には新しい袋Aを吊り下げた底板101が同
じく回動して来る。この時揺動シリンダ39が前回とは
逆に駆動して逆方向への回動力を移動プレート2へ伝達
するので、移動プレート2は2つのチャンバX、Y(1
02)を同時に元の閉塞ポジション10.11へと復帰
回動せしめる。このようにして再び前述の操作が繰返え
して行なわれる。
の排出ポジション14へ回動してゆき、閉塞ポジション
10.11には新しい袋Aを吊り下げた底板101が同
じく回動して来る。この時揺動シリンダ39が前回とは
逆に駆動して逆方向への回動力を移動プレート2へ伝達
するので、移動プレート2は2つのチャンバX、Y(1
02)を同時に元の閉塞ポジション10.11へと復帰
回動せしめる。このようにして再び前述の操作が繰返え
して行なわれる。
〈効 果〉
以上説明して来たように、この発明に係るチャンハ移動
装置は複数のチャンバを同時に閉塞、開放できる上に、
底板との連れ廻りと復帰回動に於いて複数のチャンバを
同時に移動せしめることができるという効果がある。そ
して複数チャンバを支持している移動プレートを、揺動
シリンダとギヤ及び揺動アームの組合せよりなる揺動装
置で駆動しているので、ロータ側の底板の回動に同期さ
せ易く、力の伝達に無理がなく円滑且つ迅速に複数チャ
ンバの連れ廻りと復帰移動を為し得るものである。
装置は複数のチャンバを同時に閉塞、開放できる上に、
底板との連れ廻りと復帰回動に於いて複数のチャンバを
同時に移動せしめることができるという効果がある。そ
して複数チャンバを支持している移動プレートを、揺動
シリンダとギヤ及び揺動アームの組合せよりなる揺動装
置で駆動しているので、ロータ側の底板の回動に同期さ
せ易く、力の伝達に無理がなく円滑且つ迅速に複数チャ
ンバの連れ廻りと復帰移動を為し得るものである。
更に実施例によれば移動プレート上の複数チャンバの重
さはローラ付き脚で支持できて、移動プレートに無理な
荷重が掛からず長期使用に耐えられ、更に移動プレート
上面に配したスタンドには転勤ローラを設けたので底板
に対する閉塞と開放の動きが円滑であるという付随的な
効果もある。
さはローラ付き脚で支持できて、移動プレートに無理な
荷重が掛からず長期使用に耐えられ、更に移動プレート
上面に配したスタンドには転勤ローラを設けたので底板
に対する閉塞と開放の動きが円滑であるという付随的な
効果もある。
第1図はチャンバ移動装置を組込んだ真空包装装置の要
部概略斜視図、 第2図は第1図に示した装置の概略平面図、第3図は第
2図中の矢印■線方向より見た装置の側面図、 第4図は第3図中の要部拡大側面図、 第5図は第4図中の矢示■線方向より見たチャンバ移動
装置の要部平面図、そして 第6図は第4図中の矢示■線方向より見たローラ付き脚
の部分側面図である。 1・・・・・・ロータ 2・・・・・・移動プレート 3・・・・・・揺動装置 4・・・・・・チャンバ移動装置 5・・・・・・水平支持アーム 27・・・・・・回転中心 28・・・・・・スタンド(チャンバ取付用の)31・
・・・・・圧力シリンダ(スタンドの)33・・・・・
・脚 34・・・・・・長孔 35・・・・・・揺動アーム 36・・・・・・ローラ(揺動アームの)37・・・・
・・小ギヤ 38・・・・・・大ギヤ 39・・・・・・揺動シリンダ 101・・・・・・底板 102・・・・・・チャンバ A・・・・・・袋 X・・・・・・チャンバ Y・・・・・・チャンバ
部概略斜視図、 第2図は第1図に示した装置の概略平面図、第3図は第
2図中の矢印■線方向より見た装置の側面図、 第4図は第3図中の要部拡大側面図、 第5図は第4図中の矢示■線方向より見たチャンバ移動
装置の要部平面図、そして 第6図は第4図中の矢示■線方向より見たローラ付き脚
の部分側面図である。 1・・・・・・ロータ 2・・・・・・移動プレート 3・・・・・・揺動装置 4・・・・・・チャンバ移動装置 5・・・・・・水平支持アーム 27・・・・・・回転中心 28・・・・・・スタンド(チャンバ取付用の)31・
・・・・・圧力シリンダ(スタンドの)33・・・・・
・脚 34・・・・・・長孔 35・・・・・・揺動アーム 36・・・・・・ローラ(揺動アームの)37・・・・
・・小ギヤ 38・・・・・・大ギヤ 39・・・・・・揺動シリンダ 101・・・・・・底板 102・・・・・・チャンバ A・・・・・・袋 X・・・・・・チャンバ Y・・・・・・チャンバ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 複数の底板を縦形にして外周部に立設した水平支持アー
ムを、真空包装工程数に見合う複数のポジション毎に停
止するよう、間欠的に水平回動自在にしたロータに組合
わせて設けるチャンバ移動装置であって、 水平支持アームと同一回転中心を有するように水平支持
アームの下方に配され、上面に設けたチャンバ開閉用の
圧力シリンダに接続して前記回転中心に対し進退動自在
としたスタンドを介し、複数のチャンバを上面で上記底
板に対向して同時に接・離自在にして取付けた移動プレ
ートと、この移動プレートに先端を係合する揺動アーム
、揺動アームの基端と同軸にしたギヤ、及びこのギヤに
正・逆方向の回転を行なわしめる揺動シリンダを有する
揺動装置とを、少くとも備え、そして揺動装置にて移動
プレートを水平支持アームと同期させて一緒に回動せし
め且つ真空シール用のポジション到達後は逆に元のポジ
ションに移動プレートを復帰回動せしめるチャンバ移動
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5934286A JPS62220421A (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 | チヤンバ移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5934286A JPS62220421A (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 | チヤンバ移動装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62220421A true JPS62220421A (ja) | 1987-09-28 |
Family
ID=13110539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5934286A Pending JPS62220421A (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 | チヤンバ移動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62220421A (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5926432A (ja) * | 1982-07-22 | 1984-02-10 | 株式会社東芝 | 解帯装置 |
JPS6099817A (ja) * | 1983-11-04 | 1985-06-03 | 株式会社古川製作所 | 真空包装装置 |
-
1986
- 1986-03-19 JP JP5934286A patent/JPS62220421A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5926432A (ja) * | 1982-07-22 | 1984-02-10 | 株式会社東芝 | 解帯装置 |
JPS6099817A (ja) * | 1983-11-04 | 1985-06-03 | 株式会社古川製作所 | 真空包装装置 |
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