JPS62217145A - ガス状混合物を分析する方法および装置およびそのための可視発光スペクトル発生器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （％明の分１ｆ） 不元明はガス状混合物を分析する方法及び装置、セして
より詳細にはガス状混合物中の敬意のガス乞副定する方
法及び装置、及びガス状混合物の可視発光スペクトル元
主詣に関する。

（先行技術の説明） たとえばアルゴン、ヘリウム、ネオン、クリフ。

トン等のような永久ガスの製造に当っては、不純物ガス
の重ン本質的に諷少させ及び／又はｅ、法。

ガス状乞問わす該永久生成物の襄這迷度を同上させるた
めには処理条件を調督することが望ましい。

たとえば、アルゴン製造の場合には、祖アルゴン、の組
成（ヤして特にその窒素言有瀘）は、ラテイマー（Ｌａ
ｔｉｍｅｒ）　　に与えられた米国特許第２．９３４．
ソ０８号に開示されているように、ある棚段の温度レベ
ルを監視して、副精留塔から排１ｆｉされるアルゴンの
製造速度乞調蟹することによるか、又はスコツイールド
（Ｓｃｏｆｉｅｌｄ）に与えｂれり米１、ｉｉｌ待計第
２．ソロ４，２０７号に開示されているように、同様に
温度レベルに応じて王債留ユニットへの還流を調整する
ことによって管理される。プロセス条件に対する調整は
、精留プロセスの沫菓に１倚の、感知された状態への応
答の遅滞という不利ン招く。精留プロセスのより効率的
な操業は第２楕留塔内で処理されるプロセス流れの中の
蓋索含有童の実際の分析によって達成することができる
であろう。いうまでもなく、プロセス状態の連続測寛を
得る能力は、プロセスの変数を管理下る場合に有利に用
いることができ、でして監視されつつあるプロセス状態
が尚純度のガス生成物、丁なわ）望ましからぬ不純物或
は「他のガス」が低Ｖベルにあるガス生成物を製造する
プロセスにおいて、別のガス又はガス混合物中の敬意の
ガスであるような場合ｖｃは特に有利に用いられるであ
ろう。

気相における原子種及び／又は分子種の吸収又は発光ス
ペクトルによる足性及び定型分析は分析ＩＦＳ学技術に
おいて周知である。原子吸光分光分析法では、分留され
る原子種ン首む蒸気中に光線を運遇させ、その蒸気によ
って吸収される元の電によって存在する性の量を求める
。発光分光分析法にお”いては、気相中の原子種を励起
させて発光させ、でして放射した元のスペクトル及び頻
度を分析して存在する橿及びそれぞれの橿の屓匿を求め
る。放射線を出させるために原子種ン励起させる種々の
方法、たとえばアーク、スパーク、及びフレームが用い
られている。流動しているガス状媒体中の、励起された
比較的不活性ガスの準安定原子と接触させることによっ
て原子種ン励起ざゼることも知られている。

カペレ（Ｃａｐｅｌｌｅ）に付与された米国特許第４．
１５０，２５１号には、窒業又は貢ガスの、エネルギχ
もった、竿簀定の？ｍ’ｉ含むガス流中に分析さ几る橿
ン弄人することによって気相中の敬意の貧属又は他の螢
光を発てる橿ン分析丁６方法が開示されている。分析さ
れる橿は準安定の励起した楓と接触して励起され、医い
で特有の波長の螢光２発する。準安定の桃は１０Ｔｏｒ
ｒよりも低い圧力の貢ガス又は窒業ケ含むガス流にマイ
クロ及放′Ｐｔを与えることによってつくられる。カベ
レの方法は、比較的高一度の金属原子（約１０１３原子
／　立方ｇ　）では荷出ではないと開示されている刀）
、七〇理由は、マイクロ波敢電によってつ（ることかで
ざる活性比している準安定の棟の童がこの限度以上の績
反の金属原子ン進切に励起させないであろうということ
である。

ティラー（Ｔａｙｌｏｒ）に与えられた米国特許第４．
１４８，６１２号ＶＣは、ガス乞、励起されに準安定の
裡乞含む別のガス流と混合して、そのエネルギーケ（不
純物自体が励起するようになりそして放射線を光するよ
うに）微意の不純物に移動させて。

流動ガス系中の＠童の不純物ン検知し、測定下る方法が
開示されている。この放出された放射線は、通常の発光
分光計で検知し分析され、不純物の製置は通常の方法で
発光スペクトル中の巌の位置と強度から求めることがで
きる。不法は、準安定な橿からのエネルギー移動によっ
て励起され、次いで検知することができるスペクトル狽
域内で元という形で得られるようなエネルギーを放出す
ることがでさる任意の−を分析″′ｒる上に有用なもの
として開示されている。

アラル）（Ａｕｌｔ）に与付さ几た米国特許第３．５４
５，８６３号には、グロー族′１によって励起されたヘ
リウム・グロー・アーク中の水銀魚気の励起によって微
量の水嶽を検知する方法が開示されている。

ドツジ等（Ｄｏｄｇｅ　ｅｔ　ａｌ、）　　に与えられ
た米国特許第４，５０９，１８７号には、ガス足金何丁
石室系ガス流を、Ｂ３πｇエネルギー状態の第６振動ノ
ベル以上に励起される橿、室木原子又は分子が奉賀的に
形成されない肪電界な通過させ、でして励起された室索
を分析されろガスと混合し、セｎＫよっテガス流のエネ
ルギーＶベルｔ、励起し二極のエネルギー移動ルがより
低いエイ・ルギー状態に諷其するときに螢光発光を可り
目にてろくらいに洲めて、得られた螢光放射線のスペク
トルを検知し、分析して該ガス流の同−性及び讃度ン求
のることによる、準安定エネルギー移動ルの窒業馨１１
１．接形成させることｔ包含する原子種分析方法が開示
されている。

これらの方法は、鴇々の必要条件、とりわけ、スペクト
ル放射−を不純にするか又は妨害する二次ガス流ン必安
とし、従ってスペクトル放射諌乞分析千石場合に慎雑な
電子プロセス回路を必要とする乗件σ）２のに不利であ
る。ガス状混合物中の倣鴛の特定ガス乞分徘する能力は
、更に処理問題を拡大する。このような装置をガス製造
ユニットとオンラインで結び付けるべき場合に必要とさ
れるようなリアルタイム分析を行うためには、装置のび
ん業なりリーニングが必要である。

フレイ−（Ｆｒａｚｅｒ）に付与された米国特許第５．
９５１，６０７号には肺扶患用のガス分析装置が１示さ
れており、そこにおいては分析されるガスを。

種々の選過特性乞有するフィルター乞備ｆ−ｚ慣知装置
によって感知されるガス状混合物に対応する光元原子お
よび（分子）スペクトルを発生させそこで各装置からの
情報上（コンピュータで）定量１じし、咳ガスσ）各成
分のＪｊＬを示すよ５な応答を表示させるだのに気体と
接触する′厄億馨言む分析チャンバー内に通過させる。

しかしながら、このような分析はデータに時間を安し、
たとえば′厄億のば比等によろ馬乗かも生じる他のスペ
クトル反応で悩まされる。

妨害からの影ｖｔできるだけ少なくした、比戟的準純で
侶頼性σ）ある装置を用いて１つ以上の成分ン分析でき
る。高感展で大形線型ダイナミクレンシを有する多成分
気体分析方法及び装置に対する安水がある。

（発明の目的ン 不発明の目的は、ガス状混合物の可視発光スペクトルを
発生させるためのｗｒ規のプロセス及びアセンブリを提
供することである。

不発明の他の目的は、ガス状混合物の各成分の迅速な検
知及び各成分に対する良好な感受性２与えるだげの強度
′Ｐ１．荷し、ガス組成に侠其して容易に解釈されるガ
ス状混合物の可伐晃元スペクトル乞発生させる新規のプ
ロセス及びアセンブリ馨提供することである。

不発明のさらに別の目的は、最適の１ｇ号を保証するた
めに可視発光スペクトルに対して放射検知すの軽快な位
置決のを可能にする、ガス状混合物の可視発光スペクト
ルを発生させるｗＴ規のプロセス及びアセンブリ乞提供
することである。

本発明のさらに他の目的は、ガス状混合物の組ｔｙ：、
’ｔＵアルタイムに分析するための改良されたプロセス
及び装置を提供することである。

不発明の別の目的は、環境温度Ｖこ比収的無反応なガス
状混合物の組成’ｋｌアルタイムに分析するための改良
されたプロセス及び装置ヶ提供することである。

本発明のさらに他の目的は、ガス状混合物の比較的少菫
の試料？用いることを可能にする、ガス状混合物の組成
’ａ−’Ｊアルタイムに分析する改良されたプロセス及
び装ｆｉｔｔ提供することである。

（発明の賛ｆＪ） 本発明のこれら及び他の目的は、分析される気体馨受け
入れるチャンバー、該チャンパーツ外周外部に−置かれ
、相互に対して縦に配置された’＊憾（狽数）、分析さ
れるガス状混合物の町税発光スペクトル７ａｌ−発生さ
せるためｉｌ′ｌ：その間に゛域流をつくるための電極
に接続されｚ篇周波エネルギー庫、及びこのようにして
発生した元又は可視発光スペクトルを党けるたりに前記
チャンバーに接近して配！された少なくとも１つの光′
也恢出２ｉより成るガス状混合物の可視発光スペクトル
発生アセンブリによって達成されろ。不発明のプロセス
及び装置は元！検出諾及び適当な表示及び／又は記録ア
センブリによって受けられるスペクトル信号ｔＭｔ真す
るためのデータ処理装置ｉｎも宮む。

（発明の詳細な説明） ところで、図面、でして特に第１図を参照すると、全体
として１２と示されるＵ字形の導管、及びハウジング１
８円に設けられた′１憾１４及び１６より成り、全体と
して１０と示される発光セルが図示されている。Ｕ字形
導管部材１２は脚部２０゜基部２２及び脚部２４より成
り、脚部２０及び２４はハウジング１８ｘ貫逃している
。導管部材１２はガラス等のよ５な透明な材料で形成さ
れ、さらに波で十分に述べるように導管部材１２内外の
吐息の位置から可視発光スペクトルの位置づけ乞可能に
する。′ＭＬ極１４及び１６は内筒形で、それぞれ導管
１２の基ｗ１５２２及び脚部２０の周りに、導管１２に
対してその間に一部の間隔’ｋｔｌｔいた縦方向の関捺
に配置されている。電極１４及び１６は、七れぞれ尋体
２６反び２８によって筒周波エネルギーＹＭ（図示せず
）に接続され、ステンレススチール等のような適宜の４
電材料からっ（られる。

発光セル１０はハウジング１８の防元チでンパー６２内
に置かれたフォトダイオードのような放射恢知”ｆ４６
０’ｒ備えている。コリメーター６４は、帰営部材１２
上又は内の所要の位置又はｇ位からの可視発光スペクト
ルを放射検知器６０に対し℃平行にするたのにハウジン
グ１８円に配ｔｊｌｔされている。全体として６６と示
されるフィルターアセンブリは、後で更に十分に述べろ
ように、コリメーター６４と放射検知器６０との間に置
かれている。発光セル１０は、放射線を感知し、そ几に
よってガス状混合物の分析中に発光セル１０のハウジン
グ１８内で電磁放射＃１発生のオペンーショナルオンミ
ーンＸを与える之のに、ハウジング１８内ニ置カれた他
の放射検知器又はフォトダイオード６Ｂ乞設備すること
ができる。ところで第２図乞−照下ると、発光セル１０
は、全体としてセルぞれ４０及び４２と示されるデータ
処理部及び視覚的表示及び記録部′！ａ′営む。分析さ
れるガス状混合物を受けるアセンブリの一部として包含
されている。第２図に示したプロセス及び装置の埋′ｍ
を容易にする２めに、ガス流が微意の窒素、たとえばア
ルゴン及びは素のガス状混合物（師索中に４乃至２０％
のアルゴン）中に１００乃至１１０００ｐｐの窒素を含
むようなアルゴン製造プロセスの主槓笛域から補助精留
域へのガス流の分析について一般的な引例をしよう。導
管１２の脚部２０は流童制イ卸升４６の制ｆＭｌ下にラ
イン４４ｘ樒でガス流の源に接続されている。導管１２
の脚部２４は圧力制御弁５００制側下にライン４８ン経
て真空ポンプ（図示せす）に接ｒｅｆ、されている。電
極１４及び１６は、七れぞれ得体２８及び２６乞経て制
周波エネルギー源５２に接続されている。

フィルターアセンブリ６６は、シャフト５６によってモ
ーター５Ｂに接続さｒしている回転フィルターホイール
５４かもなり、６つのフィルター素子６０．６２及び６
１’備たている。フィルター素子６０　、６２及び６４
は、霊素、アルゴン、及び酸素の励起された混合物から
生じる可視発光スペクトルの成る特徴に饅合千るスペク
トル透過時性ｌ有している。フィルター系子は、隣接し
た不必狭なスペクトルの％微かもの不都合な寄与なしに
、関心のある波長σ）十分な光の透過を計丁だけの幅で
、ガス状混合物中の分子楓のバンド幅と螢合する。各フ
ィルター系子のバンド幅は、ピーク透過のある任意１ｃ
足のられた比率における通過幅の広さである。一般に、
上述のように、可視発光が感知される特定の部位は、そ
れぞれの徳のバンドの５ｇｉ度が望ましくはほぼ同一で
あり、それによってフォトダイオードが光の放射の爾い
強匿かも低（・甑匿までの極端な範囲にさらされる時に
もたらされると思われるフォトダイオードの利得効果が
最小になる。

調時ホイール６６＆エシヤフト５６上に設ケラレ、開口
部の手分がフィルター６０．６２＆び６４に対して振合
している複数の等間隔に置かれた開口部６８を有し、１
＊械的不鷲合馨修正及び／又は抽圧するために電子回Ｎ
Ｙ用いろことができることは理解される。放射検知器６
０には、データ処理部４０に・盾報乞伝達するための得
体７０が設けである。調時ホイール６６には、開口部６
８ン経由して′清＠ン受け、得体７６及び７８乞柚てデ
ータ処ｑｓ４ｏに調時゛盾報Ｙ伝達するだのに、２つの
発光ダイオード７２及びフォトトランジスター７４が設
けである。

データ処理部４０では、６つのスベク）　／ｌ／強に１
Ｂ号から成る放射検知器６０からの情報が尋体７０を経
℃送られ、得体７６及び７８乞触て伝逆されてフォトト
ランジスター７４から受けた侶号と相関され、でしてて
こでデータ処理部４０は、ボホコフ等（Ｂｏｃｈｋｏｖ
　ｅｔ　ａｌ、）によって１９６５年にアカデミ−・ブ
レス（Ａｃａｄｅｍｉｅ　Ｐｒｅｓｓ）から出版された
文献に示さｎるような、当粟省によって＠解される、ス
ペクトル１１号をガスｍ成に侠其して連続的にＳ＊する
タスクのたのの専用ノ・−ドワエア′ｆｆ：４Ｊｆ４え
ている。

操作に当っては、分析されるガス状混合物乞豹１乃至１
０Ｔｏｒｒの圧力で導管１２ン独て発光セル１０の導管
１２に導入する。′亀慣１４及び１６は尋當１２の外周
％乃至１０インチの間隔装置いた峨万回のＩ＠係にあり
、一般にセル壁材料の電気的性質によって決定される発
光スペクトル１１号させるために高周波エネルギー源が
それに接続されている。導管１２はたとえばガラスのよ
うな石英又は剛似物實のよ５な訪′亀体材料、丁なわ）
可視発光スペクトルの透過を可能にする絶縁材料で形成
されており、そのような性質ン有する任意の材料は成る
用途に用いることがでさるけれども、発生したスペクト
ル発光は減挾乞できるだけ少なくして祝覚威祭又は放射
検知器による感知ができなければならないことは理解さ
れる。２４官１２は分析さｔするガス状混合物、発生す
る可視発光スペクトル、及びガス状混合物の成分に対応
′１″る同一振幅の波長ピークを求めたいという望みを
与えられる分光法によって任意の次賛形状につくること
ができる。

電極１４及び１６は、遜当な尋′屯性材料で中実状又は
網状につくることができ、それによって分析されるガス
状混合物の一般分析及び梱助処理設儂のプロセス安求条
件、たとえばアルゴンーー系ガス混合物（４乃至２０％
アルゴンー残余−素）中の微量の望素などを考える場合
には固有の変畝に関する特性によって最適に火足さ几る
よ５な導管１２に沿５任恵の予の足のらｎだ位置で目視
又は感知を可能にする。上記に開示したように、本発明
において、上記のガス組成に対して電子回路ｔハード配
線し、フィルターアセンブリ６６のフィルターオリフィ
ス内Ｖこアルゴン−室索−ば系に適切なフィルター素子
６０．６２及び６４を配置して、導管１２の１ｌｔ４１
都２０の軸に沿う可視発光スペクトルを用いることは慣
のて望ましいことが判明した。

（実施例） ガス流（約２ＱＳＣＣ〜■）乞遅吹的にアルゴン梢製プ
ロセスのガス導管から排出してリアルタイムに鼠素含有
′にン累める。家系含有電はアルゴン−ば素ガス混合物
（４乃至２０％アルゴン−残余ば索）中１ｃ１００乃至
１０００卿の微意濃度で変動千るはすである。圧力４．
０ＴｏｒｒのガスｋＹ脚部２０ン経て、円筒形状の中実
ステンレススチール電極１４及びステンＶススチールで
つくられ、１ＦＩ５朋ｌａｌして配、置された円筒形状
の網状′電極１６乞含む導管１２（内径０．１５２勺円
に導入子る。可視発光スペクトルを発生させるために１
３．５６　ＭＨ２の高周波エイ・ルギー綜が印加される
。導管１２からの発光は導管１２の脚部２０に沿いコリ
メーター６４及びフィルターアセンブリ６６を経て放射
検出ｄ６０によって視もれるが、ただしその正確な位置
は各１ｇ号の振幅２含む発生信号について試行錯誤法に
よって求められることは理解される。フィルターホイー
ル５２には下記の細目を有する円形のオプショナルバノ
パス干渉フィルターが備えられる：フィルター　Ｖ氏（
ｎｍ）　　とどユ應銭」旦σ　　　儂　　考２　　　６
２０　　　　　１０　　　　入射に対し１２゜の１＠ざ ３　　　　７００　　　　　２５　　　　＋　中性フィ
ルター 放射慎出器６０上に受けられた４ｇ号は、ヤの犬ぎさか
もガス組成がリアルタイムに算出される谷元学チャネル
に対応する６つのアナログ電圧２生じさせる。上記の実
施例において、発光スペクトルを分散させるためにフィ
ルターホイールが用いられたが、分光器又は迅速足萱マ
ノクロメータ−が１つ以上のオプトエレクトロ二ツク検
知蕗と連結して使用することができるであろうことは当
菓者により理解されよう。

本発明′５Ｉ：幾つかの典型的な実施態様と関連して説
明しｒこけれども、通常の当粟者にとって多くの変更は
明白であろうし、本出願が任意の適応又は変１ζンカバ
ーするよう意図されていることは理解きｒＬうであろう
。したがって、本発明は特肝請求の範囲及び七れと等腫
物によって限定されるだけであることを明白に意図する
ものである。

【図面の簡単な説明】

本発明は、詳細な開示の考察により、符に麻付図面と共
に考える場合に、より艮ぎ理解がさらに判然とするであ
ろう。ただし、＋１１≧何図囲では同−蕾号は丁べて同
一部品を指し、そしてその中で第１図は可視発光スペク
トルの発生及び感知装置の平面図であり；そして 第２図は第１図の装置２含む、ガス状混合物を分析する
プロセス及び装置の略図である。 （外０る） ｉ２面２７：（内容に変更なし） 手続補正占 ２１発明の名称 ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 住所 名　称　　ザ・ビーオーシー・グループ・インコーホレ
ーテッド ４、代理人 ５、補正の対象 図面

Claims (28)

【特許請求の範囲】
1. （１）ガス状混合物の可視発光スペクトル発生器におい
   て、 該ガス状混合物を受け入れるチャンバー； 該チャンバーの外周外側に間隔を持つて配置される電極
   （複数）； 前記ガス状混合物に対応する可視発光スペクトルを発生
   させる高周波エネルギー源に前記電極を接続する手段； および発生した可視発光スペクトルを受け取る手段より
   成るガス状混合物の可視発光スペクトル発生器。
2. （２）そしてさらに該ガス状混合物を該チャンバーに導
   入させそして該チャンバーから排出させるための導管手
   段を含むガス状混合物の特許請求の範囲第１項記載の可
   視発光発生器。
3. （３）該チャンバーが透明な材料で形成されるガス状混
   合物の特許請求の範囲第１項記載の可視発光発生器。
4. （４）そして更に、前記発生可視発光スペクトルを受け
   入れるために可視発光スペクトルを前記手段に指向する
   ためのコリメーター手段を含む特許請求の範囲第１項記
   載のガス状混合物の可視発光発生器。
5. （５）該ガス状混合物の成分に対応する選択波長のフィ
   ルター手段を含む特許請求の範囲第１項記載のガス状混
   合物の可視発光スペクトル発生器。
6. （６）前記電極が１／４乃至１０インチの距離を隔てて
   配置される特許請求の範囲第１項記載の可視発光スペク
   トル発生器。
7. （７）前記チャンバーがＵ字形である特許請求の範囲第
   １項記載のガス状混合物の可視発光発生器。
8. （８）前記電極の少なくとも１つが網状構造を有する特
   許請求の範囲第１項記載のガス状混合物の可視発光スペ
   クトル発生器。
9. （９）更に該可視発光発生器のオンモードを確認するた
   めの手段を与えるために前期スペクトルに応答するフォ
   トダイオードを含む特許請求の範囲第１項記載の可視発
   光スペクトル発生器。
10. （１０）ガス状混合物の可視発光スペクトルを発生させ
    る方法において、 チャンバーの外周外側に縦方向に間隔を持つて配置され
    た電極（複数）を含むチャンバー内に前記ガス状混合物
    を導入し； 前期可視発光スペクトルを発生させるために該電極を高
    周波エネルギー源に接続し； そしてこのようにして発生した可視発光スペクトルを感
    知することより成るガス状混合物の可視発光スペクトル
    発生方法。
11. （１１）前記チャンバーが透明である特許請求の範囲第
    １０項記載の可視発光スペクトル発生方法。
12. （１２）前記ガス状混合物が連続的に前記チャンバーを
    通過させられる特許請求の範囲第１１項記載の可視発光
    スペクトル発生方法。
13. （１３）前記の発生した可視発光スペクトルが感知され
    る以前に、コリメーターを通過させられる特許請求の範
    囲第１１項記載の可視発光スペクトル発生方法。
14. （１４）前記発生可視発光スペクトルが感知される以前
    にフィルター素子を通過させられる特許請求の範囲第１
    １項記載の可視発光スペクトル発生方法。
15. （１５）前記フィルター素子は、前記ガス状混合物の成
    分に本質的に等しい強度の波長に対応するように選ばれ
    る特許請求の範囲第１１項記載の可視発光スペクトル発
    生方法。
16. （１６）ガス状混合物を分析してその成分を定量する装
    置において、 該ガス状混合物を受け入れるチャンバー； 該チャンバーの外周外側に、縦方向に間隔を持つて配置
    された電極（複数）； 高周波エネルギー源； 前記ガス状混合物の可視発光スペクトルを発生させるた
    めに前記高周波エネルギー源に前記電極を接続する手段
    ； 前記ガス状混合物の成分に対応する波長のフィルター手
    段； フィルターされた発生可視発光スペクトルを受け取つて
    それを該成分に対応する電気パルスに変換する手段； および該電気パルスを計算して前記ガス状混合物の該成
    分を定量する手段より成る装置。
17. （１７）更に前記ガス状混合物を前記チャンバーに導入
    させそして前記チャンバーから排出させるための導管手
    段を含む特許請求の範囲第１６項記載の装置。
18. （１８）前記チャンバーが透明な材料で形成されている
    特許請求の範囲第１６項記載の装置。
19. （１９）更に前記の発生した可視発光スペクトルを受け
    るための前記手段に、該発生可視発光スペクトルを指向
    するためのコリメーター手段を含む特許請求の範囲第１
    ６項記載の装置。
20. （２０）前記電極が１／４乃至１０インチの距離を隔て
    て配置されている特許請求の範囲第１６項記載の装置。
21. （２１）前記チャンバーがＵ字形である特許請求の範囲
    第１６項記載の装置。
22. （２２）前記電極の少なくとも１つが網状構造を有する
    特許請求の範囲第１６項記載の装置。
23. （２３）更に、前記可視発光スペクトルの発生器のオン
    モードを確認するための手段を与えるために該スペクト
    ルに応答するフォトダイオードを含む特許請求の範囲第
    １６項記載の装置。
24. （２４）ガス状混合物を分析してその成分を定量する装
    置において、 前記ガス状混合物を、チャンバーの外周外側に、その間
    に一定の間隔を保つた縦方向の関係に配置された電極（
    複数）を含むチャンバーに導入し； 可視発光スペクトルを発生させるために前記電極を高周
    波エネルギー源に接続し； 該可視発光スペクトルを該成分に対応する波長のフィル
    ターを含むアセンブリ内を通過させ； 前記のフィルターされた発光スペクトルを感知して該成
    分に対応する電気パルスに変換し； そして該電気パルスを計算して前記ガス状混合物の成分
    を定量することより成るガス状混合物の分析方法。
25. （２５）更に、前記ガス状混合物の成分を定量的に表示
    する工程を含む特許請求の範囲第２４項記載のガス状混
    合物の分析方法。
26. （２６）前記チャンバーが透明である特許請求の範囲第
    ２４項記載のガス状混合物の分析方法。
27. （２７）前記ガス状混合物が連続的に前記チャンバーを
    通過させられる特許請求の範囲第２４項記載のガス状混
    合物の分析方法。
28. （２８）前記発生可視発光スペクトルが感知される以前
    にコリメーターを通過させられる特許請求の範囲第２４
    項記載のガス状混合物の分析方法。