JPS62214629A - ワイヤボンディング装置 - Google Patents
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- JPS62214629A JPS62214629A JP61056853A JP5685386A JPS62214629A JP S62214629 A JPS62214629 A JP S62214629A JP 61056853 A JP61056853 A JP 61056853A JP 5685386 A JP5685386 A JP 5685386A JP S62214629 A JPS62214629 A JP S62214629A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ボンディング装置に適用して特に有効な技術
に関するもので、たとえば、半導体装置の組立で使用さ
れるワイヤボンディング装置に利用できるものである。
に関するもので、たとえば、半導体装置の組立で使用さ
れるワイヤボンディング装置に利用できるものである。
ワイヤボンディング装置については、たとえば株式会社
工業調査会、昭和６０年１１月２０日発行、１９８５年
別冊「電子材料１９８６年版、超ＬＳＩ製造・試験装置
ガイドブックＪ、ＰＬ３８〜Ｐ１４４に記載されている
。ここではワイヤボンディング装置のボンディングアー
ムの２軸方向駆動機構につき、アームを直流サーボモー
タによってデジタル駆動する技術が示されている。
工業調査会、昭和６０年１１月２０日発行、１９８５年
別冊「電子材料１９８６年版、超ＬＳＩ製造・試験装置
ガイドブックＪ、ＰＬ３８〜Ｐ１４４に記載されている
。ここではワイヤボンディング装置のボンディングアー
ムの２軸方向駆動機構につき、アームを直流サーボモー
タによってデジタル駆動する技術が示されている。
本発明者は、ボンディングアームの２軸方向駆動機構に
ついて検討した。以下は、本発明者によって検討された
技術であり、その概要は次の通りである。
ついて検討した。以下は、本発明者によって検討された
技術であり、その概要は次の通りである。
上記デジタル駆動方式による技術では、直流サーボモー
タによってボールねじを回動させてこのボールねじに螺
合させた状態のアームブロックを上下動させるため、機
械的な摺動部が多く存在して円滑な作動を行うことがで
きないおそれがあった。
タによってボールねじを回動させてこのボールねじに螺
合させた状態のアームブロックを上下動させるため、機
械的な摺動部が多く存在して円滑な作動を行うことがで
きないおそれがあった。
そのために、軸支部と中心としてアームの後端をボイス
コイル型リニアモータにより直接上下動させて、これに
よりアームの先端に取付けられたキャピラリ等のボンデ
ィングツールを上下動させる機構が考えられる。
コイル型リニアモータにより直接上下動させて、これに
よりアームの先端に取付けられたキャピラリ等のボンデ
ィングツールを上下動させる機構が考えられる。
ところが、上記ボイスコイル型リニアモータ駆動機構で
は、ボンディングアームの作動速度の検出をどのように
行うかが問題となる。
は、ボンディングアームの作動速度の検出をどのように
行うかが問題となる。
すなわち、速度検出を行う場合、まず前記ボンディング
アームの軸支部近傍にエンコーダを設置してパルス信号
によって作動速度を検出することが考えられる。しかし
、アームの揺動量は、アームの先端部分で約数ｎ程度で
あり、軸支部ではその揺動角度はわずか数置に過ぎず、
この程度の揺動角度では粗いパルス信号しか得ることが
できない。さらに、軸支部では軸動を円滑にするために
５μｍ程度の自由動状態が確保されており、これが誤差
となって正確なパルス信号を得られないことがある。こ
のためにエンコーダを用いて正確な速度検出を行うこと
は難しい。
アームの軸支部近傍にエンコーダを設置してパルス信号
によって作動速度を検出することが考えられる。しかし
、アームの揺動量は、アームの先端部分で約数ｎ程度で
あり、軸支部ではその揺動角度はわずか数置に過ぎず、
この程度の揺動角度では粗いパルス信号しか得ることが
できない。さらに、軸支部では軸動を円滑にするために
５μｍ程度の自由動状態が確保されており、これが誤差
となって正確なパルス信号を得られないことがある。こ
のためにエンコーダを用いて正確な速度検出を行うこと
は難しい。
以上のことからジェネレータ機構による速度検出を行う
ことが考えられる。すなわち、リニアモータの駆動コイ
ル側にこれと同軸状に検出コイルを巻回してこの検出コ
イルによる発電量により速度ネ★出を行うものである。
ことが考えられる。すなわち、リニアモータの駆動コイ
ル側にこれと同軸状に検出コイルを巻回してこの検出コ
イルによる発電量により速度ネ★出を行うものである。
しかし、この方式では駆動コイルと検出コイルとが磁気
的に結合、いわゆるトランス結合を生じてしまい正確な
検出信号を得ることができない。
的に結合、いわゆるトランス結合を生じてしまい正確な
検出信号を得ることができない。
したがってさらに、駆動リニアモータとは別の部位に該
駆動リニアモータと同様の機構を有する速度検出用ジェ
ネレータを設け、該ジェネレータの検出コイル側にボン
ディングアームからの分岐アームを連結して検出コイル
を上下動させて、この検出コイルからの発電量により速
度検出を行うことが考えられる。
駆動リニアモータと同様の機構を有する速度検出用ジェ
ネレータを設け、該ジェネレータの検出コイル側にボン
ディングアームからの分岐アームを連結して検出コイル
を上下動させて、この検出コイルからの発電量により速
度検出を行うことが考えられる。
しかし、上記技術によっても、この駆動リニアモータと
速度検出用ジェネレータとが近設されている限り、両者
はなお磁気的に結合してしまい、両者間に帰還電流を生
じることが本発明者によって明らかにされた。すなわち
、これが負帰還であると速度検出の遅れとなって現れ、
正帰還であると発振を生じることになり、いずれにして
も正確な速度検出を行うことがなお困難であることが明
らかとなった。
速度検出用ジェネレータとが近設されている限り、両者
はなお磁気的に結合してしまい、両者間に帰還電流を生
じることが本発明者によって明らかにされた。すなわち
、これが負帰還であると速度検出の遅れとなって現れ、
正帰還であると発振を生じることになり、いずれにして
も正確な速度検出を行うことがなお困難であることが明
らかとなった。
本発明は、上記問題点に着目してなされたものであり、
その目的は、ボンディングアームの正確な速度検出機構
を有するボンディング装置を提供することにある。
その目的は、ボンディングアームの正確な速度検出機構
を有するボンディング装置を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
ｃ問題点を解決するための手段〕
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、すなわち、ボンディングアームと連動する分
岐アームの一端に速度検出用ジェネレータを連結し、ボ
ンディングアームを上下動させるボイスコイル型リニア
モータを磁気シールド材により覆うものである。
岐アームの一端に速度検出用ジェネレータを連結し、ボ
ンディングアームを上下動させるボイスコイル型リニア
モータを磁気シールド材により覆うものである。
上記した手段によれば、ボンディングアームを駆動する
ボイスコイル型リニアモータが磁気シールドされるため
、当該ボイスコイル型リニアモータと速度検出用ジェネ
レータとが磁気的に結合することを防止でき、ボンディ
ングアームの正確な速度検出が可能となる。
ボイスコイル型リニアモータが磁気シールドされるため
、当該ボイスコイル型リニアモータと速度検出用ジェネ
レータとが磁気的に結合することを防止でき、ボンディ
ングアームの正確な速度検出が可能となる。
第１図は本発明の一実施例であるワイヤボンディング装
置のボイスコイル型リニアモータと速度検出ジェネレー
タを示す概略断面図、第２図はワイヤボンディング装置
の全体を示す概略図である。
置のボイスコイル型リニアモータと速度検出ジェネレー
タを示す概略断面図、第２図はワイヤボンディング装置
の全体を示す概略図である。
ワイヤボンディング装置１は、第２図に示すように被ボ
ンデイング部材としてのリードフレーム２がベレット３
の取付面を上面にして！！２置されるボンディングステ
ージ４と、ＸＹ方向への駆動手段（図示せず）を有する
ＸＹテーブル５とを有している。
ンデイング部材としてのリードフレーム２がベレット３
の取付面を上面にして！！２置されるボンディングステ
ージ４と、ＸＹ方向への駆動手段（図示せず）を有する
ＸＹテーブル５とを有している。
ＸＹテーブル５の上にはボンディング駆動部であるボン
ディングヘッド６が搭載されている。
ディングヘッド６が搭載されている。
ボンディングヘッド６には一端がボイスコイル型リニア
モータ７の駆動コイル部８にその一端が連結されたボン
ディングアーム９が取付けられており、前記ボンディン
グアーム９は軸支部１ｏを中心に回動自在な構造となっ
ている。該ボンディングアーム９の他端側、すなわちボ
イスコイル型リニアモータ７とは反対側の端部はボンデ
ィングステージ４の上方に延設され、その先端にはボン
ディングツールとしてのウェッジ１１がボンディングス
テージ４のステージ面に向かってほぼ垂直方向にボンデ
ィングアーム９より垂設されている。
モータ７の駆動コイル部８にその一端が連結されたボン
ディングアーム９が取付けられており、前記ボンディン
グアーム９は軸支部１ｏを中心に回動自在な構造となっ
ている。該ボンディングアーム９の他端側、すなわちボ
イスコイル型リニアモータ７とは反対側の端部はボンデ
ィングステージ４の上方に延設され、その先端にはボン
ディングツールとしてのウェッジ１１がボンディングス
テージ４のステージ面に向かってほぼ垂直方向にボンデ
ィングアーム９より垂設されている。
また、前記ウェッジ１１にはボンディングアーム９側の
斜め上方よりクランパ１２を経由してスプール１３に巻
回されたワイヤ１４がその先端をウェッジ１１かられず
かに突出させた状態で挿通されている。
斜め上方よりクランパ１２を経由してスプール１３に巻
回されたワイヤ１４がその先端をウェッジ１１かられず
かに突出させた状態で挿通されている。
前記ボイスコイル型リニアモータ７は第１図に示すよう
に、永久磁石１５を備えた断面Ｅ字状のヨーク１６と、
このヨーク１６の中央突出部１６ａを覆うように取付け
られる駆動コイル部８とからなり、この駆動コイル部８
は前述のようにボンディングアーム９の一端が連結され
る箱体形状のボビン１７と、該ボビン１７に巻回された
コイル１日とからなる。ここで、このコイル１８に所定
値の電流が印加されると、前記ヨーク１６とコイル１８
との間にはその電流値に対応した推力が発生し、駆動コ
イル部８が非ヨーク方向に押しやられるように作動する
。これにともない当該駆動コイル部８に連結されたボン
ディングアーム９が軸支部１０を中心に回動し、ボンデ
ィングアーム９の先端に取付けられたウェッジ１１に所
定の上下動を行わせるようになっている。
に、永久磁石１５を備えた断面Ｅ字状のヨーク１６と、
このヨーク１６の中央突出部１６ａを覆うように取付け
られる駆動コイル部８とからなり、この駆動コイル部８
は前述のようにボンディングアーム９の一端が連結され
る箱体形状のボビン１７と、該ボビン１７に巻回された
コイル１日とからなる。ここで、このコイル１８に所定
値の電流が印加されると、前記ヨーク１６とコイル１８
との間にはその電流値に対応した推力が発生し、駆動コ
イル部８が非ヨーク方向に押しやられるように作動する
。これにともない当該駆動コイル部８に連結されたボン
ディングアーム９が軸支部１０を中心に回動し、ボンデ
ィングアーム９の先端に取付けられたウェッジ１１に所
定の上下動を行わせるようになっている。
上記ボイスコイル型リニアモータ７はそのほぼ全体が筐
体形状の磁気シールドカバー１９により覆われており、
該磁気シールドカバー１９の一側面、すなわち駆動コイ
ル部８がボンディングアーム９と連結される側の側面に
は該ボンディングアーム９を当該磁気シールドカバー１
９の内部に導入するための孔２０が開設されている。
体形状の磁気シールドカバー１９により覆われており、
該磁気シールドカバー１９の一側面、すなわち駆動コイ
ル部８がボンディングアーム９と連結される側の側面に
は該ボンディングアーム９を当該磁気シールドカバー１
９の内部に導入するための孔２０が開設されている。
前記磁気シールドカバー１９はたとえばニッケル（Ｎｉ
）を主成分とする高透磁率合金からなる板状部材を筺体
形状に加工してさらに磁性焼鈍処理することによって得
られるものである。この磁気シールドカバー１９は前記
ボイスコイル型リニアモータ７を覆うようにしてボルト
等の図示しない取付は手段によりＸＹテーブル５上に取
付けられている。
）を主成分とする高透磁率合金からなる板状部材を筺体
形状に加工してさらに磁性焼鈍処理することによって得
られるものである。この磁気シールドカバー１９は前記
ボイスコイル型リニアモータ７を覆うようにしてボルト
等の図示しない取付は手段によりＸＹテーブル５上に取
付けられている。
一方、前記ボンディングアーム９の軸支部１０とボイス
コイル型リニアモータ７との中間位置からは分岐アーム
２１が延設されており、この分岐アーム２１の端部は前
記ボイスコイル型リニアモータ７の側部側に取付けられ
た速度検出ジェネレータ２２の検出コイル部２３に連結
されている。
コイル型リニアモータ７との中間位置からは分岐アーム
２１が延設されており、この分岐アーム２１の端部は前
記ボイスコイル型リニアモータ７の側部側に取付けられ
た速度検出ジェネレータ２２の検出コイル部２３に連結
されている。
速度検出ジェネレータ２２は前述のボイスコイル型リニ
アモータ７とほぼ同様の構造を有している。すなわち、
速度検出ジェネレータ２２は、永久磁石２４を備えた断
面Ｅ字状のヨーク２５と、このヨーク２５の中央突出部
２５ａを覆うように取付けられる検出コイル部２３とか
らなり、この検出コイル部２３は箱体形状のボビン２６
と、該ボビン２６に巻回されたコイル２７とからなる。
アモータ７とほぼ同様の構造を有している。すなわち、
速度検出ジェネレータ２２は、永久磁石２４を備えた断
面Ｅ字状のヨーク２５と、このヨーク２５の中央突出部
２５ａを覆うように取付けられる検出コイル部２３とか
らなり、この検出コイル部２３は箱体形状のボビン２６
と、該ボビン２６に巻回されたコイル２７とからなる。
ここでボンディングアーム９がボイスコイル型リニアモ
ータ７の作動により回動されると、このボンディングア
ーム９に連動する分岐アーム２１も所定の上下動がなさ
れ、この分岐アーム２１に連結される速度検出ジェネレ
ータ２２の検出コイル部２３がヨーク２５に対して上下
動する。これにともない検出コイル部２３のコイル２７
には永久磁石２４の磁界内でのコイル２７の移動にとも
なう起電力が発生する。このコイル２７の起電力は検出
信号として制御部２８に送られ、この起電力量によりボ
ンディングアーム９すなわちウェッジ１１の上下動の作
動速度が検出される構造となっている。
ータ７の作動により回動されると、このボンディングア
ーム９に連動する分岐アーム２１も所定の上下動がなさ
れ、この分岐アーム２１に連結される速度検出ジェネレ
ータ２２の検出コイル部２３がヨーク２５に対して上下
動する。これにともない検出コイル部２３のコイル２７
には永久磁石２４の磁界内でのコイル２７の移動にとも
なう起電力が発生する。このコイル２７の起電力は検出
信号として制御部２８に送られ、この起電力量によりボ
ンディングアーム９すなわちウェッジ１１の上下動の作
動速度が検出される構造となっている。
ここで、この速度検出ジェネレータ２２はボイスコイル
型リニアモータ７とほぼ同構造で、しかもボイスコイル
型リニアモータ７の近傍に取付けられているため、該ボ
イスコイル型リニアモータ７とトランス結合を生じ両者
間に帰還電流を生じてしまうおそれがある。
型リニアモータ７とほぼ同構造で、しかもボイスコイル
型リニアモータ７の近傍に取付けられているため、該ボ
イスコイル型リニアモータ７とトランス結合を生じ両者
間に帰還電流を生じてしまうおそれがある。
しかし、本実施例ではボイスコイル型リニアモータ７は
磁気シールドカバー１９によって覆われているため、ボ
イスコイル型リニアモータ７の駆動によって発生される
磁界は該磁気シールドカバー１９により遮断され、速度
検出ジェネレータ２２との磁気的結合は防止される。
磁気シールドカバー１９によって覆われているため、ボ
イスコイル型リニアモータ７の駆動によって発生される
磁界は該磁気シールドカバー１９により遮断され、速度
検出ジェネレータ２２との磁気的結合は防止される。
次に本実施例の作用について説明する。
ボンディングステージ４上に被ボンデイング部材である
リードフレーム２がベレット３をそのベレット取付面に
取付けた状態で載置されると、ボイスコイル型リニアモ
ータ７のコイル１日に所定値の電流が印加されて駆動コ
イル部８が非ヨーク方向、すなわち上方に押しやられる
ように作動する。この作動にともない、ボンディングア
ーム９が軸支部１０を中心に回動され、ボンディングア
ーム９の先端に取付けられたウェッジ１１がベレット３
の所定位置に対して下降を開始する。このときボンディ
ングアーム９から延設される分岐アーム２１は該ボンデ
ィングアーム９と連動するため、分岐アーム２１の端部
に取付けられた速度検出ジェネレータ２２の検出コイル
部２３も非ヨーク方向に移動される。この検出コイル部
２３の移動にともない、検出コイル部２３のコイル２７
には所定の起電力が発生し、この起電力は検出信号とし
て制御部２８に送られる。ここで、速度検出ジェネレー
タ２２はボイスコイル型リニアモータ７とは磁気シール
ドカバー１９により磁気的に遮断されている。そのため
、速度検出ジェネレータ２２とボイスコイル型リニアモ
ータ７との間には帰還電流を生じることはなく、速度検
出ジェネレータ２２からの検出信号は純粋に検出コイル
部２３の移動のみによって生じた起電力となる。したが
って、検出信号は時間おくれあるいは発振等のノイズを
生じることなく制御部２８に送られる。
リードフレーム２がベレット３をそのベレット取付面に
取付けた状態で載置されると、ボイスコイル型リニアモ
ータ７のコイル１日に所定値の電流が印加されて駆動コ
イル部８が非ヨーク方向、すなわち上方に押しやられる
ように作動する。この作動にともない、ボンディングア
ーム９が軸支部１０を中心に回動され、ボンディングア
ーム９の先端に取付けられたウェッジ１１がベレット３
の所定位置に対して下降を開始する。このときボンディ
ングアーム９から延設される分岐アーム２１は該ボンデ
ィングアーム９と連動するため、分岐アーム２１の端部
に取付けられた速度検出ジェネレータ２２の検出コイル
部２３も非ヨーク方向に移動される。この検出コイル部
２３の移動にともない、検出コイル部２３のコイル２７
には所定の起電力が発生し、この起電力は検出信号とし
て制御部２８に送られる。ここで、速度検出ジェネレー
タ２２はボイスコイル型リニアモータ７とは磁気シール
ドカバー１９により磁気的に遮断されている。そのため
、速度検出ジェネレータ２２とボイスコイル型リニアモ
ータ７との間には帰還電流を生じることはなく、速度検
出ジェネレータ２２からの検出信号は純粋に検出コイル
部２３の移動のみによって生じた起電力となる。したが
って、検出信号は時間おくれあるいは発振等のノイズを
生じることなく制御部２８に送られる。
制御部２８では前記検出信号に基づきボイスコイル型リ
ニアモータ７の作動速度を制御する。これにより、ウェ
ッジ１１の下降速度、特にペレ７）３の所定部位への着
地速度の制御が確実に行われる。このため、ベレット３
の損傷あるいはウェッジ１１の加圧不足によるボンディ
ング不良等が防止される。
ニアモータ７の作動速度を制御する。これにより、ウェ
ッジ１１の下降速度、特にペレ７）３の所定部位への着
地速度の制御が確実に行われる。このため、ベレット３
の損傷あるいはウェッジ１１の加圧不足によるボンディ
ング不良等が防止される。
ウェッジ１１がベレット３上の所定部位に着地すると、
該ウェッジ１１に所定の超音波振動が印加されて、これ
によりウェッジ１１の先端より突出されたワイヤ１４が
ベレット３の電極部に対して超音波接合される。
該ウェッジ１１に所定の超音波振動が印加されて、これ
によりウェッジ１１の先端より突出されたワイヤ１４が
ベレット３の電極部に対して超音波接合される。
次に、ワイヤ１４がループを描くようにしてウェッジ１
１がワイヤ１４をたぐり出しながら水平方向に移動した
後、リードフレーム２の所定部位に着地して再度超音波
振動の印加により第２ボンデイングが行われる０次に、
ワイヤ１４の余線部分がワイヤ１４を挟持するクランパ
１２の移動により切断されてワイヤボンディング工程が
完了する。
１がワイヤ１４をたぐり出しながら水平方向に移動した
後、リードフレーム２の所定部位に着地して再度超音波
振動の印加により第２ボンデイングが行われる０次に、
ワイヤ１４の余線部分がワイヤ１４を挟持するクランパ
１２の移動により切断されてワイヤボンディング工程が
完了する。
このように、本実施例によれば以下の効果を得ることが
できる。
できる。
（１）、ボンディングアーム９を駆動するボイスコイル
型リニアモータ７を磁気シールドカバー１９により覆う
ことにより、ボイスコイル型リニアモータ７が速度検出
ジェネレータ２２と磁気的に遮断されるため、検出信号
に時間おくれあるいは発振等のノイズを生じることなく
、正確な速度検出が可能となる。
型リニアモータ７を磁気シールドカバー１９により覆う
ことにより、ボイスコイル型リニアモータ７が速度検出
ジェネレータ２２と磁気的に遮断されるため、検出信号
に時間おくれあるいは発振等のノイズを生じることなく
、正確な速度検出が可能となる。
（２）、前記（１）により、ウェッジ１１の上下動速度
の制御を確実に行うことが可能となり、ベレットの損傷
あるいは接合不足を防止できるため、信鯨性の高いワイ
ヤボンディング工程を実現することができる。
の制御を確実に行うことが可能となり、ベレットの損傷
あるいは接合不足を防止できるため、信鯨性の高いワイ
ヤボンディング工程を実現することができる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要舌を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要舌を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
たとえば、実施例のワイヤボンディング装置では、ボン
ディングツールとしてウェッジを用いた超音波接合方式
によるものについて説明したが、キャピラリを用いた熱
圧着方式によるもの、あるいは超音波と熱圧着との併用
によるものであってもよい。
ディングツールとしてウェッジを用いた超音波接合方式
によるものについて説明したが、キャピラリを用いた熱
圧着方式によるもの、あるいは超音波と熱圧着との併用
によるものであってもよい。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその利用分野である、いわゆるワイヤボンディング装
置に通用した場合について説明したが、これに限定され
るものではなく、たとえばリードフレームあるいはパッ
ケージ基板にペレットを接合するペレットボンディング
装置等に適用できる。
をその利用分野である、いわゆるワイヤボンディング装
置に通用した場合について説明したが、これに限定され
るものではなく、たとえばリードフレームあるいはパッ
ケージ基板にペレットを接合するペレットボンディング
装置等に適用できる。
（発明の効果〕
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。
すなわち、軸支部を中心に回動自在に取付けられたボン
ディングアームと、該ボンディングアームの一端に連結
され磁気シールド材により覆われたボイスコイル型リニ
アモータと、８亥ボンディングアームと連動する分岐ア
ームの一端に連結された速度検出用ジェネレータとを有
するボンディング装置構造とすることにより、ボンディ
ングアームを駆動するボイスコイル型リニアモータが磁
気シールドされるため、当該ボイスコイル型リニアモー
タと速度検出用ジェネレータとが磁気的に結合すること
を防止でき、ボンディングアームの正確な速度検出が可
能となる。
ディングアームと、該ボンディングアームの一端に連結
され磁気シールド材により覆われたボイスコイル型リニ
アモータと、８亥ボンディングアームと連動する分岐ア
ームの一端に連結された速度検出用ジェネレータとを有
するボンディング装置構造とすることにより、ボンディ
ングアームを駆動するボイスコイル型リニアモータが磁
気シールドされるため、当該ボイスコイル型リニアモー
タと速度検出用ジェネレータとが磁気的に結合すること
を防止でき、ボンディングアームの正確な速度検出が可
能となる。
第１図は本発明の一実施例であるワイヤボンディング装
置のボイスコイル型リニアモータと速度検出ジェネレー
タとを示す概略断面図、第２図は本発明を適用できるワ
イヤボンディング装置の全体を示す概略図である。 １・・・ワイヤボンディング装置、２・・・リードフレ
ーム、３・・・ペレット、４・・・ボンディングステー
ジ、５・・・ＸＹテーブル、６・・・ボンディングヘッ
ド、７・・・ボイスコイル型リニアモータ、８・・・駆
動コイル部、９・・・ボンディングアーム、１０・・・
軸支部、１１・・・ウェッジ、１２・・・クランパ、１
３・・・スプール、１４・・・ワイヤ、１５・・・永久
磁石、１６・・・ヨーク、１６ａ・・・中央突出部、１
７・・・ボビン、１８・・・コイル、１９・・・磁気シ
ールドカバー、２０・・・孔、２１・・・分岐アーム、
２２・・・速度検出ジェネレータ、２３・・・検出コイ
ル部、２４・・・永久磁石、２５・・・ヨーク、２５ａ
・・・中央突出部、２６・・・ボビン、２７・・・コイ
ル、２８・・・制御部。 第 １ 図 第２図
置のボイスコイル型リニアモータと速度検出ジェネレー
タとを示す概略断面図、第２図は本発明を適用できるワ
イヤボンディング装置の全体を示す概略図である。 １・・・ワイヤボンディング装置、２・・・リードフレ
ーム、３・・・ペレット、４・・・ボンディングステー
ジ、５・・・ＸＹテーブル、６・・・ボンディングヘッ
ド、７・・・ボイスコイル型リニアモータ、８・・・駆
動コイル部、９・・・ボンディングアーム、１０・・・
軸支部、１１・・・ウェッジ、１２・・・クランパ、１
３・・・スプール、１４・・・ワイヤ、１５・・・永久
磁石、１６・・・ヨーク、１６ａ・・・中央突出部、１
７・・・ボビン、１８・・・コイル、１９・・・磁気シ
ールドカバー、２０・・・孔、２１・・・分岐アーム、
２２・・・速度検出ジェネレータ、２３・・・検出コイ
ル部、２４・・・永久磁石、２５・・・ヨーク、２５ａ
・・・中央突出部、２６・・・ボビン、２７・・・コイ
ル、２８・・・制御部。 第 １ 図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、軸支部を中心に回動自在に取付けられたボンディン
グアームと、該ボンディングアームの一端に連結され磁
気シールド材により覆われたボイスコイル型リニアモー
タと、該ボンディングアームと連動する分岐アームの一
端に連結された速度検出用ジェネレータとを有するボン
ディング装置。 ２、速度検出用ジェネレータが前記ボイスコイル型リニ
アモータと同じ構造を有することを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載のボンディング装置。 ３、ワイヤボンディング装置であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項または第２項記載のボンディング装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61056853A JPH0650750B2 (ja) | 1986-03-17 | 1986-03-17 | ワイヤボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61056853A JPH0650750B2 (ja) | 1986-03-17 | 1986-03-17 | ワイヤボンディング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62214629A true JPS62214629A (ja) | 1987-09-21 |
| JPH0650750B2 JPH0650750B2 (ja) | 1994-06-29 |
Family
ID=13038971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61056853A Expired - Lifetime JPH0650750B2 (ja) | 1986-03-17 | 1986-03-17 | ワイヤボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0650750B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113042875A (zh) * | 2021-03-22 | 2021-06-29 | 中国航空制造技术研究院 | 一种嵌入式线性摩擦焊接头缺陷控制方法及其应用 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5630735A (en) * | 1979-08-21 | 1981-03-27 | Nec Corp | Wire-bonding device |
-
1986
- 1986-03-17 JP JP61056853A patent/JPH0650750B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5630735A (en) * | 1979-08-21 | 1981-03-27 | Nec Corp | Wire-bonding device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113042875A (zh) * | 2021-03-22 | 2021-06-29 | 中国航空制造技术研究院 | 一种嵌入式线性摩擦焊接头缺陷控制方法及其应用 |
| CN113042875B (zh) * | 2021-03-22 | 2022-09-20 | 中国航空制造技术研究院 | 一种嵌入式线性摩擦焊接头缺陷控制方法及其应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0650750B2 (ja) | 1994-06-29 |
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