JPS62209149A - 高純度薬品容器用ポリエチレン組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、高純度薬品容器用ポリエチレン組成物に関す
るものである。詳しくは、半導体等の電子部品等を加工
する際等に用いる高純度の硫酸や硝酸等の薬品を収容運
搬する際に用いる容器を製造するためのポリエチレン組
成物に関するものである。

〈従来の技術〉 近年、半導体等の電子部品は極めて高密度化石れており
、エツチング等の加工に当って用いられる薬品も極めて
高純度のものが要求されている。すなわち、この種の加
工に用いる薬品に不純物や微細なＭ（ダスト）等が混入
した場合。

半導体等の微細加工に当ってエッチング不良部分が生じ
不良輿品の増加、収率の低下、品質安定性の低下等の問
題を生起する。

現在、この種の高粘度薬品は厳重な品質管理下に製造さ
れており、工場内での不純物やダスト等の混入はほとん
ど完全に防止されているが。

出荷の際に用いる容器から不純物やダストが混入する場
合があり、この改善が望漬れていた。

〈発明が解決しようとする問題点〉 従来のこの種の薬品を収容、運搬する容器としては、ポ
リエチレン製の容器が用いられて来たが、薬品を収容し
て運搬等を行なう際、震動等が加わり、容器内で薬品が
揺動すると、ポリエチレン中のみ加物が溶出してきたシ
、容器の内壁から微細なダストが発生し、薬品中に混入
するという問題がある。

本発明は、薬品中に添加物の溶出やダストの混入するこ
との少ない容器用原料を提供すると本発明の要旨はメル
トインデックスがへ〇ｔ／７０分以下で、密度が０．り
！♂ｆ／ｃｔＡ以上のポリエチレンに脂肪０金稿塩及び
酸化防止剤を配合してなる高純度薬品容器用ポリエチレ
ン樹脂組成物に存する。

本発明に使用されるポリエチレンとしては。

エチレンホモポリマー、エチレン−プロピレン共重合体
、エチレン−ブテン／共重合体、エチレン−ヘキセン共
重合体等が挙げられ、特にメルトインデックス（ＪＩＳ
Ｋ　６７１．０に準拠して測定したもの）がへｏｔ７ｉ
ｏ分以下好ましくは０．６１７１０分以下のものが用い
られる。メルトインデックス（以下１Ｍ工と略称する。

）がこの範囲を外れると容器成形時のドローダウンによ
る成形不良を生ずるのみでなく、薬品中へのダストの混
入の増加及び容器のインパクト強度の低下をきたし好ま
しくない。

また％密度は（Ｊ工Ｓ　Ｋ　６７乙θに準拠して測定し
たもの）Ｑ、りｊ♂ｆｆ　／　ｃｄ以上、好ましくは０
．り６９ｔｆ　／　ａＡ以上のものが用いられる。密度
がこの範囲を外れると薬品中へのダストの混入の増加及
び容器の耐久強度低下が激しく好ましくない。

これ等ダストの発生及び耐久強度の低下は低密度化と対
応して増加する三級炭素が酸などの攻撃を受けるためと
推定される。

さらに１本発明においてはポリエチレンのＭＬ密度以外
に数平均分子量（Ｍｎ　）が！、θｘｉｏ”〜／、コＸ
１０４で重量平均分子量と数平均分子量との比（Ｍｗ　
／　Ｍｎ　）が／ｊ以上、望ましくは１５〜３θで、且
つ２平均分子量と重量平均分子量との比（Ｍｚ　／　Ｍ
ｗ　）が！〜ｒの範囲のものを用いるとさらに望ましい
。

各分子ｆｉは、ゲル・パーミェーション・クロマトグラ
フィー（ＧＰＯ）で定量され九分子量分布から次式によ
り計算され念ものである。

重量平均分子量＝Σ（Ｍｉ・Ｈｌ）／ΣＨ１数平均分子
量＝　ΣＨ１／Σ（Ｈ１／Ｍｉ）２平均分子量＝　ΣＭ
ｉ”　−Ｈ１／Σ（Ｍｉ　−Ｈｌ　）式中　Ｍｉ　＝　
分子ｌ Ｈｌ　＝　重量分率　を示す。

なお、ＧＰＣ測定条件は、以下の通りである。

装　置：　東洋曹達■製ＨＬＯ−ｒ／／カラム：　　Ｔ
ＳＫ−ＧＥＬ 溶媒：　　オルトジクロルベンゼン 温　　度：　　　７３６℃ 検出器：　示差屈折計 流　量：　　／ｄ／ｍ 試量注入量＝２ｄ ポリエチレンに添加される脂肪酸金属塩は残留塩素の捕
促及び成形時の滑剤効果を果し５例としてはカルシウム
、マグネシウム、バリウムのようなアルカリ土類金属の
ステアリン酸塩などがあげられるが。

これらの疫加剤の含有量は効果を得る最低量とする事が
必要で、通常０．１５〜ｏ、ｏｉｘ、量チ好ましくは、
０．１０〜０．θ／重世チの範囲がとられる。

酸化防止剤としては、ヒンダードフェノール系酸化防止
剤１例えはペンタエリステル−テトラキス（Ｊ　−（Ｊ
、ｊ−ジ−ｔ−ブチル−ｌ−ヒドロキシフェニル）グロ
ビオネート〕、オクタデシル−ｊ　−（３，タージ−ｔ
−ブチルーダ−ヒドロキシフェニル）プロピオネー３　
２．ｔ−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾールなどがあげら
れるが。

これらの添加剤の含有量は、０．２〜０．０７重量％好
ましくは、０．／〜θ、０／重ｆｉｔ％がよい。

添加量は上記添加量を越えても成形安定性の向上に顕著
々効果が認められないばかシか、ポリエチレン中の添加
剤の薬品中への溶出が急激に増加し、ダストの増加をま
ねき不都合である。

また、下限値以下の場合には、容器成形時にポリエチレ
ンの劣化、肌荒れ等が発生し、ダストの増加をまねき好
ましくない。

本発明の組成物は収容薬品中への溶出が問題となるので
上記以外の添加剤は含有しないことが望ましい。

本発明の組成物を用いて容器とするにはプロー成形法に
よるのが一般的である。特殊な形状の容器の場合には他
の成形法を用いても良い。

本発明の組成物を容器とする場合、収容物と接する部分
、すなわち、容器の最内層部分に本発明の組成物を用い
ることとなる。！ご内層以外の層には必要に応じ適宜の
添加剤を混入することができる。

〈実施例〉 以下に実施例によって本発明を具体的に説明するが、本
発明は、その要旨をこえない限９以下の実施例に限定芒
れるものではない。

実施例、比較例 密ｆｆ　０．９６＝？／ｃイ、メルトインデックス０．
３夕２／１０分の高密度ポリエチレン（ｉｎ　：　、ｒ
、５ｘ１０３゜Ｍｗ／Ｍｎ　：　２０　、　Ｍｚ／　Ｍ
ｗ　：　６　）又は、密度０、り６６９１ｃｔｄ、メル
トインデックス０．３！ｆ／１０分の高密度ポリエチレ
ン（Ｍｎ　：　ｒ、ｊ　ｘ　１０”、Ｍｗ／Ｍｎ　：　
ｊ　Ｏ、Ｍｚ／Ｍｗ　：　７　）パウダーを用い。

下記第７表に示す脂肪酸金属塩及び酸化防止剤をブレン
ドしてベレット化した。これを単層プロー成形機（住人
重機械工業■裂、住友ベクームＢＡ−２型）を用い、厚
さ／■で内容積５００ｄの容器を成形した。

成形し念ボトルに？９％高純度硫酸を充填し。

密栓後ダ週間後のダストの増加４Ｎを測定した。

ダスト測定はバイアツクロイコ社製、ダストカウンター
（ダ／θθ型）を用いた。

ダストの評価法としては、薬品１ＩＬｌ中のＱ、！μｍ
以上のダスト数を用い六。

２週間後のダスト増加率 ○　元酸のダスト量の２倍以下 △　　　　　〃　　　　λ倍以上グ倍以下×　　　　　
〃　　　　ダ倍以上 Ａ：オクタデシル−３−（３，ｊ−ジーｔ−ブチ゛ルー
ダーヒドロキシフェニル）フロプオネート Ｂ：ペンタエリスチルーテ）　ラキス（：　Ｊ　−（３
，ｒ−ジーｔ−ブチルーダ−ヒドロキシフェニル）グロ
ピオネート Ｃ：ｇμ′−チオビス（３−メチル−乙−ｔ−プオスフ
エイトとの混合物（アデカアーガス社製マーク３２り） Ｅ＝ニステアリンカルシウム 〈発明の効果〉 本発明の組成物によシ容器を形成すれば、高純度薬品を
収容して運搬作業に供しても容器からの添加剤の溶出や
ダストの発生が極めて少ないので収容物を汚染するよう
なことがない。実用上大変効果的なものである。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）メルトインデックスが１．０／１０分以下で、密
   度が０．９５８ｇ／ｃｍ＾３以上のポリエチレンに脂肪
   酸金属塩及び酸化防止剤を配合してなる高純度薬品容器
   用ポリエチレン樹脂組成物。
2. （２）ポリエチレンとして、数平均分子量が５．０×１
   ０＾３〜１．２×１０＾４で、重量平均分子量と数平均
   分子量との比（＠Ｍ＠ｗ／＠Ｍ＠ｎ）が１５以上で、且
   つＺ平均分子量と重量平均分子量との比 （＠Ｍ＠ｚ／＠Ｍ＠ｎ）が５〜８であるポリエチレンを
   用いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のポ
   リエチレン組成物。
3. （３）脂肪酸金属塩の含有量がポリエチレンに対して０
   ．１５〜０．０１重量％、酸化防止剤の含有量がポリエ
   チレンに対して０．２〜０．０１重量％であり、実質的
   に他の添加剤を含有しないことを特徴とする特許請求の
   範囲第１項又は第２項に記載のポリエチレン組成物。
4. （４）酸化防止剤がヒンダードフエノール系酸化防止剤
   であることを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第３
   項のいずれかに記載のポリエチレン組成物。