JPS62178342A - 高純度薬品用容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は高純度薬品用ボトルＩＩＥするものである。詳
しくは、半導体等の電子部品等？加工する際等に用いる
高純度の硫酸や硝酸等の薬品を収容、運搬する際に用い
るボトルに関するものである。

〔従来の技術〕

近年、半導体等の電子部品は極めて高密度化されておυ
、エツチング等の加工に当って用いられる薬品も極めて
高純度のものが要求されている。すなわち、この稲の加
工に用いる薬品に不純物や倣細な塵（ダスト）等が混入
した場合、半導体等の微細加工に当って、エツチング不
良部分等が生じ、不良製品の増加、収率の低下。

品質安定性の低下等の問題を生起するためである。

現在、この棟の高純度薬品はＩ＆麓な品質管理下に製造
されておシ、工場内での不純物やダスト等の混入はほと
んど完全に防止されているが。

出荷の際に用いる容器から不純物やダストが混入する場
合があシ、この改善が望まれていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のこの種の薬品を収容、運搬する容器としては、ポ
リエチレン製の単層の容器が用いられており、特に硝酸
等、光に当ると変色や変質する薬品用容器の場合には、
ポリエチレンにカーボンブラックとチタンホワイト及び
群清ヲ混入して灰色に着色したボトル等が用いられてい
る。

しかしながら、この着色・単層ボトルの場合。

薬品を収容して運搬等分桁なう際、震動等が加わシ、容
器内で薬品が揺動すると、ポリエチレン中の添加物が溶
出して薬品中に混入した夛、容器の内壁から微細なダス
トが発生し、薬品中に混入すると云う問題がある。本発
明は、薬品中にポリエチレン中の添加剤やダストの混入
することの少ない容器を提供することを目的とするもの
である。

〔問題点を解決するための手段〕

すなわち、本発明の要旨はポリエチレンを吹込成形して
なる高純度薬品用容器であって、該容器は多層構造とさ
れておシ、最内層が、実質的に脂肪酸金属塩及びヒンダ
ードフェノール系酸化防止剤を含有するポリエチレンで
構成され、最内層以外の少なくとも一層を遮光剤を含有
するポリエチレンで構成したことを特徴とする高純度薬
品用容器に存する。

以下図面を用いて本発明の容器（ボトル）の−例につき
更に詳細に説明する。

第１図は本発明の容器の一例の縦断面図である。図中／
はボトル、−は最内層％Ｊは遮光層を示す。

ボトル／はポリエチレンを用いて吹込成形されたもので
あシ少なくとも内層側と外層側の一層からなる。

最内層コを構成するポリエチレンとしては。

メルトインデックス（、ＴＩ８　Ｋ　１．り６０に準拠
して測定したもの）が八ｏ　ｉ　／　／　ｏ分取下、好
ましくはｏ、５ｙｙｉｏ分以下のものが好適に用いられ
る。メルトインデックス（以下、Ｍ工と略称する。）が
この範囲を外れると容器成形時のドローダウンによる成
形不良を生ずるのみでなく、薬品中へのダストの混入の
増加及び容器のインパクト強度の低下をきたし好ましく
ない。

また、密贋（Ｊ工８に４りｔ、ｏｒ＜準拠して測定した
もの）は、０．９Ｓざｇ／ｃＩＩｔ以上、好ましくは０
．９　１．　ｔＩｉ／ａｒｔ以上のものが好適に用いら
れる。

密度がこの範囲を外れると薬品中へのダストの混入の増
加及び容器の耐久強度低下が急激に増加し好ましくない
。これ等ダストの発生及び耐久強度の低下はｉ′１Ｍ度
化と対応して増加する三級炭素が酸などの攻Ｓを受は易
いためと理解される。

さらに１本発明においては最内層を構成するポリエチレ
ンはＭ工密度以外に数平均分子量（ｉｎ）が３．０×１
０”　〜１．コＸ１０４でｘｉ平均分子量（■ｗ）と数
平均分子ｉｆ　（■ｎ）との比（■ｗ／■ｎ　）が１５
以上、望ましくは１５〜３０で、且つ２平均分子フヨ（
２）と１址平均分子量（■ｗ）　　との比（Ｍ　Ｚ／■
ｗ　）がｊ−ｇの範囲のものを用いるとさらに望ましい
。

最内層を構成するポリエチレンに含有させる脂肪酸金属
塩は残留塩素の捕捉及び成形時の滑剤効果と目的に添加
される。沙１１としてはカルシウム、マグネシウム、バ
リウムのようなアルカリ土類金属のステアリン酸塩など
があげられる。

これらの添加剤の含有量は収容した薬品中への溶出と考
慮し、効果を得る最＠量とする事が必要で、通常θ、／
！−０，０／重量ルー０．０くは、０．／　０−０．０
　／重量Ｓの範囲がとられる。

ヒンダードフェノール系酸化防止剤はポリエチレンの劣
化を防止するための酸化防止剤として添加され１例えば
、ペンタエリスチル−テトラ七 キス（ｊ　−（ｓ、ｓ−ジ−７−プチルーｑ−ヒドロキ
シフェニル）プロピオネート〕、オフタデシル−ｊ　−
（ｊ、ｊ’−ジ−オーブチル−ｑ−ヒドロキシフェニル
）プロピオネート、ユ、　＆　−’；　−℃−ブチルー
ｐ−クレゾールなどがあげられるが、これらの添加剤の
含有量は、収容薬品中への溶出を考慮し、Ｏｌ−〜０．
０　／重ｔ％、好ましくは０．／〜０．０　／重４に方
がよい。

添加には上記添加量を越えても成形安定性の向上に顕著
な効果が認められな員ばか）か、ポリエチレン中の添加
剤の薬品中への溶出が急波に増加しダストの増加ｔ−ま
ねき不都合である。

ま次、下限値以下の場合には、容器成形時にポリエチレ
ンの劣化、肌荒れ等が発生し、ダストの増加をまねき好
ましくない。

上記以外の添加剤を更（添加することは収容薬品中への
溶出が問題となるので添加しない。

すなわち、実質上、脂肪酸金属塩とヒンダードフェノー
ル系酸化防止剤のみを含有するポリエチレンとすること
が肝要である。

ボトル／の遮光層３２構成するポリエチレンは前述した
最内層＝１に構成するポリエチレンと同様のポリエチレ
ンで良いが、慝・度、メルトインデックス等が異なるポ
リエチレンを用いても良いＲｆｔ、層３を構成するポリ
エチレンには遮光剤が混入される。

遮光剤としては、カーボンブラック、チタンホワイト等
の無機系の着色剤や各−の有機系の顔料、染料、紫外線
吸収剤等、アルミニウム等の金属粉等、ポリエチレンに
添加することによシ元の透過と防止し得るものであれば
どのようなものであっても良い。本発明においては遮光
剤は最内層のポリエチレンには添加されないので、収容
する薬品によって遮光剤の種類？選択するような必要は
ない。

遮光剤の含有量は遮５Ｙ：畑°の、８１ｉ類、遮光層Ｊ
の厚さ等によシ異なシ適宜決定すれば良い。例えばカー
ボンブラックを遮光剤として用いる場合にはポリエチレ
ンに対して０．０２〜ｏ、！重量％程度で良い。

・〔実施例〕 以下に実施例によって本発明を具体的に説明するが１本
発明は、その要旨をこえない限シ以下の実施例に限定さ
れるものではない。

実施例／〜ｑ 密度θ、９　Ａ　ｘ　１１／Ｃ１／１．メルトインデッ
クス０．３　！ｒ、５１／／θ分の高密度ポリエチレン
（■ｎ：　ｌ：Ｊ×１０”。

Ｍ　ｗ／Ｍ　ｎ　＝−〇、　■ｚ／■ｗ＝ａ　）又は密
度０．り６６ｙ／ｄ、メルトインデックスＯ，ｊ　ｊ　
１１／／　０分の高密度ポリエチレン（■ｎ　６ざＪ　
Ｘ　／　０”　、　■ｗ／■ｎ＝　２０゜Ｍ　ｚ／Ｍ　
ｗ　＝７〕パウダーを用い、下記第１表に示す。脂肪酸
金属塩及びヒンダードフ二ノール系酸化防止剤ヲブレン
ドしてペレット化した。

これを内層とし、外層樹脂として上記と同様の処方のポ
リエチレ／にカーボンブラックをｏ、／重量Ｓ添加した
樹脂を用い、一層押出ダイよりバリンンを押出し、厚さ
／１１１１で、内容積５ＯＯ−の容器を成形した。

成形したボトルに３９％高純度硫酸を充填し。

密栓後λ週間後のダスト増加量を測定した。ダスト量の
測定はハイアツクロイフ社製、「ダストカウンターＱ１
００ＢＪを用騒た。

ダストの評価法としては、薬品／ａＪｔ中の００３μｍ
以上のダスト数を用いた。

一週間後のダスト増加率 Ｑ：元酸のダスト数の一倍以下 Δ：　　　　ｌ　　　　　−倍以上ｑ倍以下Ｘ：　　　
　　７　　　　４を倍以上 比較例／〜コ 実施例で用い比ポリエチレン（脂肪酸金属塩とヒンダー
ドフェノール系酸化防止剤は含有していない）にカーボ
ンブラック０．７重量方、チタンホワイト０．！ｒＭｇ
；％を配合し、実施例と同構造の単層ボトルを成形した
。

得られたボトルを実施例と同様な方法でダストの増加ｉ
ｔ−測定した。

Ａ：オクタデシル−３−（，７，よ−ジーｔ−ブチルー
ｌ−ヒドロキシフェニル）グロビオネート Ｂ：ペンタエリスチル−テトラキス〔Ｊ−３、！−ジー
ｔ−ブチルーダーヒドロキシフェニル）グロビオネート ａ　：　ＩＩ、ｑ′−チオビス（Ｊ−メチル−６−を−
ブチルフェノール） Ｄニトリモノフォスフエイトとトリジノニルフォスフエ
イトとの混合物（アデヵアーガス社裂マーク３コｑ） Ｅニステアリン酸カルシウム ？＝カーボンブラック Ｇ＝チタンホワイト 〔発明の効果〕 本発明の容器は高純度薬品を収容するのに用いられ、容
器からの添加物の溶出や、ダストの発生が極めて少ない
ので、高純度薬品が汚染されることがなく、該薬品を半
導体の微細加工等に用＾て不都合を起すようなことがな
い。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の容器の一例の縦断面図である。 図中７はボトル、コは最内層、３は遮光層をそれぞれ示
す。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）ポリエチレンを吹込成形してなる高純度薬品用容
   器であつて、該容器は多層構造とされており、最内層が
   実質的に脂肪酸金属塩及びヒンダードフエノール系酸化
   防止剤のみを含有するポリエチレンで構成され、最内層
   以外の少なくとも一層が遮光剤を含有するポリエチレン
   で構成されていることを特徴とする高純度薬品用容器。
2. （２）最内層のポリエチレンはメルトインデックスが１
   ．０ｇ／１０分以下、密度が０．９５８ｇ／ｃｍ＾３以
   上のポリエチレンである特許請求の範囲第１項記載の高
   純度薬品用容器。
3. （３）最内層のポリエチレンは数平均分子量（■ｎ）が
   ５．０×／１０＾３〜１．２×１０＾４で、重量平均分
   子量（■ｗ）と数平均分子量との比（■ｗ／■ｎ）が１
   ５以上、２平均分子量（■ｚ）と重量平均分子量（■ｗ
   ）との比（■ｚ／■ｗ）が５〜８のポリエチレンである
   特許請求の範囲第１項記載の高純度薬品用容器。
4. （４）最内層のポリエチレン中の脂肪酸金属塩の含有量
   がポリエチレンに対して０．１５〜０．０１重量％、ヒ
   ンダードフエノール系酸化防止剤の含有量がポリエチレ
   ンに対して０．２〜０．０１重量％である、特許請求の
   範囲第１項に記載の高純度薬品用容器。