JPS62207978A - Self-diagnosing device for test system - Google Patents

Self-diagnosing device for test system

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Publication number
JPS62207978A
JPS62207978A JP61051679A JP5167986A JPS62207978A JP S62207978 A JPS62207978 A JP S62207978A JP 61051679 A JP61051679 A JP 61051679A JP 5167986 A JP5167986 A JP 5167986A JP S62207978 A JPS62207978 A JP S62207978A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pattern
test
test system
self
diagnosed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61051679A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Mihara
見原 猛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP61051679A priority Critical patent/JPS62207978A/en
Publication of JPS62207978A publication Critical patent/JPS62207978A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain a self-diagnosing device which can store data in the state of matching phases by successively storing the diagnosis data of the respective parts to be diagnosed of a test system according to the clocks corrected in timing according to the respective parts to be diagnosed. CONSTITUTION:The self-diagnosis device (SD)10 having the functions to make the self-diagnosis of the respective parts constituting the test system is connected to a control device (CTL)9. A rate signal RATE is applied to the SD10 from a timing generator (TG)3 and a test pattern PAT is applied thereto from an output terminal (a) of the pattern generator (PG)1. An output signal from an output terminal of a formatter (FMT)2 is applied thereto and a response pattern D-OUT of an object to be tested (DUT)5 is applied thereto via a comparator 6. The diagnosis data of the respective parts to be diagnosed are shifted in phase relative to the clocks and therefore, the phase shifts are corrected by controlling the delay time according to a selection signal. The accuracy of fault discrimination is thus improved.

Description

【発明の詳細な説明】 し産業上の利用分野] 本発明は、テストシステムの自己診断を行う装置に関す
るものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an apparatus for performing self-diagnosis of a test system.

[従来の技術] 第4図は、従来のLSIテスト装置の要部の一例を示す
ブロック図である。第4図において、1はパターン発生
器(以下PGという)であり、出力端子aからはテスト
パターンPATが出力されてフォーマツタ(以下FMT
という)2に加えられている。このテストパターンFA
Tは、タイミング発生器(以下TGという)3から加え
られるフォーマットクロックF−CLKにより変調され
た後、ドライバ4を介してテスト対象物(以下1)U 
Tという)5に加えられている。なお、TG3は、PG
Iおよびフェイル解析装et(以下FAという)8に所
定の周期のレート信号RATEを出力し、FMT2にレ
ート信号RATEに同期したフォーマットクロックF−
CLKを出力し、デジタルコンパレータ(以下CMPと
いう)7にストローブ5TRBを出力している。DUT
5は、テストパターンFATが加えられるとD U T
 5内部のディレーが経過した後に応答パターンD−O
4JTを出力する。応答パターンD−OUTは、レベル
コンパレータ6を介してCMP7の一方の入力端子aに
加えられている。CMP7の他方の入力端子すにはPG
Iの出力端子すがらテストパターンFATに対応した期
待パターンE X P Tが加えられている。そして、
CMP7はPGIから加えられる期待パターンEXPT
と応答パターンD−OUTに対応したデジタル信号とを
比較し、比較データC−0UTをFA8に加えている。
[Prior Art] FIG. 4 is a block diagram showing an example of a main part of a conventional LSI test device. In FIG. 4, 1 is a pattern generator (hereinafter referred to as PG), and a test pattern PAT is output from an output terminal a, and a formatter (hereinafter referred to as FMT) is output from an output terminal a.
) has been added to 2. This test pattern FA
T is modulated by a format clock F-CLK applied from a timing generator (hereinafter referred to as TG) 3, and then outputted to the test object (hereinafter referred to as 1) U via a driver 4.
(referred to as T) is added to 5. In addition, TG3 is PG
A rate signal RATE with a predetermined period is output to I and fail analyzer et (hereinafter referred to as FA) 8, and a format clock F- synchronized with the rate signal RATE is output to FMT2.
CLK and a strobe 5TRB to a digital comparator (hereinafter referred to as CMP) 7. DUT
5, when the test pattern FAT is added, D U T
5 Response pattern D-O after internal delay elapses
Output 4JT. The response pattern D-OUT is applied to one input terminal a of the CMP 7 via the level comparator 6. The other input terminal of CMP7 is PG.
The expected pattern EXP T corresponding to the test pattern FAT is added to the output terminal of I. and,
CMP7 is the expected pattern EXPT added from PGI.
and a digital signal corresponding to the response pattern D-OUT, and the comparison data C-0UT is added to FA8.

、9は各部の動作を制御するための制御装置(以下CT
 l−という)であり、パス[うを介して各部と接続さ
れている。
, 9 is a control device (hereinafter referred to as CT) for controlling the operation of each part.
It is connected to each part via a path.

ところで、このようなテストシステムにおいて、テスト
システムを構成する回路自体が故障すると、正常なテス
ト動作が行われないことになる。
By the way, in such a test system, if the circuit constituting the test system itself breaks down, normal test operation will not be performed.

[発明が解決しよ°うとする問題点] しかし、従来のテストシステムでは、テスト−システム
を構成する回路の故障を効率よく診断するための工大1
まなされておらず、故障診断に相当の工数を要するとい
う欠点があった。
[Problems to be solved by the invention] However, in the conventional test system, there are
The problem was that it required a considerable amount of man-hours for fault diagnosis.

本発明は、このような点に着目してなされたもので、そ
の目的は、比較的(i¥illな構成でテストシステム
自体で故障回路の診断が行えるテストシステム自己診断
装置を提供することにある。
The present invention has been made with attention to these points, and its purpose is to provide a test system self-diagnosis device that is capable of diagnosing a faulty circuit in the test system itself with a relatively simple configuration. be.

[問題点を解決するための手段コ このような目的を達成する本発明は、パターン発生器か
ら加えられるテストパターンをタイミング発生器から加
えられるフォーマットクロツタにより変調してテスト対
象物に加えるフォーマツクと、テスト対象物から得られ
る応答パターンとテストパターンに対応してパターン発
生器から出力される期待パターンとを比較して比較デー
タをパターン発生器に出力するコンパレータとを含むテ
ストシステムにJ5いて、テストシステムの診断対象各
部の診断データを診断対象に応じてタイミングが補正さ
れたクロックに従って逐次格納する手段と、これら格納
された診断データとあらかじめ格納されている良品デー
タとを照合して故障部分を推定する手段とを設けたこと
を特徴とする。
[Means for Solving the Problems] The present invention achieves these objects by using a format that modulates a test pattern applied from a pattern generator by a format clocker applied from a timing generator and applies it to a test object. , the test system J5 includes a comparator that compares the response pattern obtained from the test object with the expected pattern output from the pattern generator corresponding to the test pattern and outputs comparison data to the pattern generator. Means for sequentially storing diagnostic data of each part of the system to be diagnosed according to a clock whose timing is corrected according to the diagnostic target, and estimating a faulty part by comparing the stored diagnostic data with pre-stored non-defective data. The invention is characterized in that it is provided with a means to do so.

[実施例J 以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。[Example J Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

第1図は本発明の一実施例の要部を示すブロック図であ
り、第4図と同一部分には同一符号を付G)でいる。第
1図において、10はテストシステムを構成する各部の
自己診断機能を有する自己診断装置(以下SDという)
いう)である。5D10はバスBを介してCT L 9
に接続されている。
FIG. 1 is a block diagram showing essential parts of an embodiment of the present invention, and the same parts as in FIG. 4 are designated by the same reference numerals. In FIG. 1, 10 is a self-diagnosis device (hereinafter referred to as SD) that has a self-diagnosis function for each part constituting the test system.
). 5D10 via bus B
It is connected to the.

そして、この5t)10には、TG3がらレート信号R
ATEが加えられ、PGlの出力端子aからテストパタ
ーンP A 1−が加えられ、FMT2の出力端子から
出力信号が加えられ、レベルコンパレータ6を介して DLIT5の応答パターンD−OUTが加えられている
Then, in this 5t)10, the rate signal R from TG3 is
ATE is applied, a test pattern P A 1- is applied from the output terminal a of PGl, an output signal is applied from the output terminal of FMT2, and a response pattern D-OUT of DLIT5 is applied via the level comparator 6. .

第2図は、5D10の具体例を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a specific example of the 5D10.

第2図において、11はテストシステムの各部(木実流
側では、PQl、FMT2.レベルコンパレータ6ンか
ら加えられるデータをCT19力目ら加えられる選択信
号SELに従って選IR的にメモリ(以下MRという)
12に加えるマルチブレクIJ−(以下MPXという)
である。13は、MR12に加えるべきアドレス信@A
Dを生成するカウンタ(以下CTRという)である。C
TR13には選択信号SELに従って遅延時間り丁へが
設定される可変遅延回路(以下DLAという)14を介
してクロックCLAが加えられ、MR12には0LA1
4から出力されるクロックCLAに固定遅延回路(以下
DLBという)15による所定の遅延時間DTBが与え
られたクロックCLBが加えられている。
In FIG. 2, reference numeral 11 indicates a memory (hereinafter referred to as MR) in which the data applied from each part of the test system (on the Kinotsu side, PQl, FMT2, level comparator 6) is selected according to a selection signal SEL applied from CT19. )
Multi-break IJ- (hereinafter referred to as MPX) added to 12
It is. 13 is the address signal @A to be added to MR12
This is a counter (hereinafter referred to as CTR) that generates D. C
A clock CLA is applied to TR13 via a variable delay circuit (hereinafter referred to as DLA) 14 whose delay time limit is set according to a selection signal SEL, and 0LA1 is applied to MR12.
A clock CLB to which a predetermined delay time DTB is given by a fixed delay circuit (hereinafter referred to as DLB) 15 is added to the clock CLA outputted from the clock CLA.

このように構成された装置の診断動作について、第3図
のタイミングチャートを用いて説明する。
The diagnostic operation of the apparatus configured as described above will be explained using the timing chart of FIG. 3.

第3図において、(a)はD 1.、 A 14に加え
られるクロックCL Kを示し、(b)はOLΔ14を
介してCTR13に加えられるクロックCLAを示し、
(C)はF M T 2から出力されるデスドパターン
PΔTを示し、(d)はCTR13がらMR12に加え
られるアドレス信号ADを示し、(e)はDLB15を
介してMR12に加えIうれるクロックCL Bを示し
ている。
In FIG. 3, (a) is D1. , A shows the clock CL K applied to 14, (b) shows the clock CLA applied to CTR 13 via OLΔ14,
(C) shows the dead pattern PΔT output from FMT 2, (d) shows the address signal AD applied from CTR 13 to MR 12, and (e) shows the clock signal AD applied to MR 12 via DLB 15. CL B is shown.

5D10は、CUT5のテスト中、あるいは診断ah作
モードにおいて、選択信号SELにより制御されるMP
Xilを介して各部のデータを診断データとしてMR1
2に格納する。ここで、診断対象各部の診断データはク
ロックCL Kに対して位相がずれることになる。そこ
で、本実施例ではDLA14の遅延時間DTA@選択信
号SELに従って制御してクロックCLKに診断対象各
部に応じた所定の遅延時間を与え、位相のずれを補正し
ている。また、MR12には、D L A 14から出
力されるクロックCLAに対してl) L B 15に
よる遅延時間D T Bが与えられたクロックCl−8
が読み込みクロックとして加えられている。
5D10 is controlled by the selection signal SEL during the test of CUT5 or in the diagnostic ah operation mode.
The data of each part is sent to MR1 as diagnostic data via Xil.
Store in 2. Here, the diagnostic data of each part to be diagnosed will be out of phase with respect to the clock CLK. Therefore, in this embodiment, the delay time DTA of the DLA 14 is controlled according to the selection signal SEL to give the clock CLK a predetermined delay time depending on each part to be diagnosed, thereby correcting the phase shift. In addition, the MR 12 has a clock Cl-8 to which a delay time DTB due to the L B 15 is applied to the clock CLA output from the D LA 14.
is added as a read clock.

この結果、クロックCLBはアドレス信号ADおよびM
PXllを介して加えられるデータと位相が同期するこ
とになり、MR12にはFA8に入力される各種データ
とも位相が合った状態で診断データが格納されることに
なる。
As a result, clock CLB becomes address signals AD and M
The phase will be synchronized with the data applied via PXll, and the diagnostic data will be stored in the MR 12 in phase with the various data input to the FA8.

一方、CTL9には、あらかじめ各パターンアドレスに
対応した各部の良品データを格納してJ5く。そして、
MR12に格納されている診断データを各パターンアド
レス毎に照合して故障部分の推定を行う。
On the other hand, good product data for each part corresponding to each pattern address is stored in advance in CTL9 and stored in J5. and,
The diagnostic data stored in the MR 12 is compared for each pattern address to estimate the faulty part.

このように構成することにより、テストシステムの故障
部分を、オシロスコープなどの測定器を用いることなく
テストシステム自体でかなり狭いit分まで推定するこ
とができる。
With this configuration, it is possible to estimate the faulty portion of the test system to a fairly narrow IT portion using the test system itself without using a measuring instrument such as an oscilloscope.

なお、本発明で用いる5D10は1:八〇とほぼ同様に
構成することができ、多くのハードおよびソフトを共用
できることから比較的安価に構成することができる。
Note that the 5D10 used in the present invention can be configured almost in the same way as the 1:80, and since many hardware and software can be shared, it can be configured relatively inexpensively.

また、クロックCLKは、内部り[1ツクであってもよ
いし、外部クロックであってもよい。外部クロックを用
いた場合には、CUT5のテストと同時に進行する各部
のデータを取り込むことによってさらに故障部分の推定
精度を高めることができる。
Further, the clock CLK may be an internal clock or an external clock. When an external clock is used, the accuracy of estimating the faulty part can be further improved by taking in the data of each part that is progressing simultaneously with the test of the CUT 5.

なお、上記実施例では、LSIテスト装置の例について
説明したが、その他の間挿のパターンを用いたテスト装
置にも適用できるものである。
In the above embodiment, an example of an LSI test device has been described, but the present invention can also be applied to test devices using other interpolation patterns.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明にJ:れば、比較的簡単な
構成でテストシステム自体で故障回路の診断が行えるテ
ストシステム自己診断装置が実現でき、実用上の効果は
大きい。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, a test system self-diagnosis device capable of diagnosing a faulty circuit in the test system itself can be realized with a relatively simple configuration, and the practical effects are great. .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例の要部を示すブロック図、第
2図は第1図で用いるSDの具体例を示すブロック図、
第3図は第1図の動作を説明するためのタイミノグチ1
!−ト、第4図は従来の回路の要部の一例を示すブロッ
ク図である。 1・・・パターン発生器(PG)、2・・・フォーマツ
タ(FM丁)、3・・・タイミング発生PJ(TO)、
4・・・ドライバ、5・・・テスト対象物(CUT) 
、6・・・レベルコンパレーク、7・・・デジタルコン
パレータ(CMI))、8・・・フェイル解析装置(F
A)、9・・・制ti15A買(CTI−)、10・・
・自己診断装置(SD)、11・・・マルチプレクサ(
Ml)X)、12・・・メモリ(MR)、13・・・カ
ウンタ(CT R)、14・・・可変遅延回路(DLA
)、15・・・固定貯延回路(D L B )。
FIG. 1 is a block diagram showing essential parts of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a block diagram showing a specific example of the SD used in FIG. 1,
Figure 3 is Taiminoguchi 1 to explain the operation of Figure 1.
! FIG. 4 is a block diagram showing an example of a main part of a conventional circuit. 1... Pattern generator (PG), 2... Format (FM), 3... Timing generator PJ (TO),
4...Driver, 5...Test object (CUT)
, 6...Level comparator, 7...Digital comparator (CMI)), 8...Fail analysis device (F
A), 9... system ti15A purchase (CTI-), 10...
・Self-diagnosis device (SD), 11...Multiplexer (
12...Memory (MR), 13...Counter (CTR), 14...Variable delay circuit (DLA)
), 15...Fixed storage circuit (DLB).

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] パターン発生器から加えられるテストパターンをタイミ
ング発生器から加えられるフォーマットクロックにより
変調してテスト対象物に加えるフォーマッタと、テスト
対象物から得られる応答パターンとテストパターンに対
応してパターン発生器から出力される期待パターンとを
比較して比較データをパターン発生器に出力するコンパ
レータとを含むテストシステムにおいて、テストシステ
ムの診断対象各部の診断データを診断対象に応じてタイ
ミングが補正されたクロックに従って逐次格納する手段
と、これら格納された診断データとあらかじめ格納され
ている良品データとを照合して故障部分を推定する手段
とを設けたことを特徴とするテストシステム自己診断装
置。
A formatter modulates the test pattern applied from the pattern generator using a format clock applied from the timing generator and applies it to the test object, and a formatter that modulates the test pattern applied from the pattern generator using a format clock applied from the timing generator and applies it to the test object, and a formatter that modulates the test pattern applied from the pattern generator and applies it to the test object. In a test system that includes a comparator that compares the expected pattern with an expected pattern and outputs comparison data to a pattern generator, diagnostic data of each part of the test system to be diagnosed is sequentially stored according to a clock whose timing is corrected according to the target to be diagnosed. What is claimed is: 1. A test system self-diagnosis device comprising: means for estimating a faulty part by comparing the stored diagnostic data with pre-stored non-defective data.
JP61051679A 1986-03-10 1986-03-10 Self-diagnosing device for test system Pending JPS62207978A (en)

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JP61051679A JPS62207978A (en) 1986-03-10 1986-03-10 Self-diagnosing device for test system

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100736673B1 (en) 2006-08-01 2007-07-06 주식회사 유니테스트 Tester for testing semiconductor device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100736673B1 (en) 2006-08-01 2007-07-06 주식회사 유니테스트 Tester for testing semiconductor device

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