JPS62204607A - 弾性表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、櫛形電極を数段直列に形成し友弾性弐面波装
置に関する。

〔従来の技術〕

弾性表面波装置の櫛形電極は、艮く知られているように
、１組のアース側とホット側から成る電極指とその電極
指を直流的に接続するための共通母線電極、いわゆるバ
スバー、および電極とパッケージ間をワイヤ接続するた
めに前記バスバーの一部に付けられ次アース側とホット
側、るるいは入力側と出力側のボンディングバットで構
成されているものが多い。

この種の弾性表面波装置の櫛形電極は、櫛形電極形成後
に各弾性表面波装置のチップに分割する前にウェハ（基
板）上で目視検査あるいは電極の容量検査全行ない、櫛
形電極の良否を判別している０ 櫛形電極の８ｆｊｋ検査方法としては、１９７７年のプ
ロシーディングスオプザサーテイファーストマニ、−フ
ルフレケンシーコントロールシンポシュームの２８１頁
から２８４頁に、アランアールジエイナスらのプログレ
スレポートオン　サーフェイスアコースチックウェーブ
デバイスエムエムティセカンド（Ａｌａｎ　Ｒ，Ｊａｎ
ｕｓ　ａｎｉｉ　ＬｅＲｏｙ　Ｄｙａｌ　　Ｎ　　：Ｐ
ＲＯＧＲＦＸＳＳ　　ＰＫＰＯＲＴ　　ＯＮ　　５ＵＲ
ＦＡＣＩＡＣＯＵＳ’ｌ’ＩＣＷＡＶＥｔ　　ＤＥＶＩ
ＣＢ　ＭＭＴ−Ｉ［：ＰＲＯＣＥＥＤＩＮＧＳ　　ＯＦ
　　ＴＨＥ　　３１ｓｔ　　ＡＮＮＵＡＬ　　ＦＲＥＱ
ＵＥｆＮｃＹ　　Ｃ０ＮＴＲ０Ｌ　　ＳＹＭＰＯ５ＩＵ
Ｍ、　ＰＰ、　２８１−２８４．　１９７７　）等に開
示された方法がある０ すなわち、１組のアース側とホット側あるいは入力側と
出力側のバスバーまたはポンディングパッド間の電極容
ｔをグローブ等で触針することにより櫛形電極の良否を
判別している。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来例では、前記したように、１組のアース側とホ
ット側から形成された櫛形電極においては、特に問題な
くボンディングバット間の電極容量測定が可能であるが
、１組のアース側とホット側で形成され友櫛形電極が複
数ＭＬ＠列に接続された場合には、ポンディングパッド
間の電極容重は大変小さくなシ、入力のオープン容量の
大きい測定器では測定不可能となる。

また、上記のような電極構成の庵会、電極指の一部が短
絡あるいは開放となっても電極蚕食に大きな変化は現わ
れず、往々にして櫛形電極の良否判定が明確に行なうこ
とができないという問題があった。

この発明は、複数個直列に接続された櫛形電極群の容量
測定を正確に測定可能とした弾性表面波装置ＩＬを提供
することを目的とする〇〔問題点を解決する九めの手段
〕 上記問題点は、複数個直列に接続された櫛形電極群が基
本的には１個の櫛形電極の集シであることに溜目し、各
々の電極毎に容量を測定できるように構成することによ
シ解決される。

すなわち、各々の櫛形電極の交差部の幅（開口長）が小
さい櫛形電極群において、直列に接続され皮体極群の中
でポンディングパッドｔＶするバスバー以外のバスバー
に対して、電極容重測定を行なうためのグローブ等によ
る触針が可能となるよう罠前記パスバ一部分の幅を広げ
ると、弾性表面波装置全体の形状が大きくなる。そのた
め、バスバー部分に引き出し部を付加し、そこに容量測
定用のパッドを形成した。

また、この前記容量測定用パッドが弾性表面波装置の寄
生容量となって、装置の特性に影＃を与えないようなパ
ッド形成を行なう次点に特徴がある。

〔作用〕

容量測定用パッドを設けることで各々の電極の容量測定
が正確に実行できると共に、これら容量測定用パッドは
、測定後にチップ分割と同時に切断除去して電気的にも
切断するので、弾性表面波装置への寄生容量となること
はない。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。

第１図は本発明による弾性表面波装置の一実施例を示す
平面図でおって、１はシールド用電極、２ａ、２ｂ、２
ｃ、２ｄ、２ｅは入力側電極、２ａ′。

２　ｂ’、　、２　ｃ’、　２　ａ’、　２　ｅ’は出
力側電極、３．３′はホット側のポンディングパッド、
　　４．４’はアース側のボンゲイングパッド、５ａ、
　　５ｂ、　　５ｃ、　　５ｄ、　５ｅ、５ｆ及び５’
ａ’、　５　ｂ’、　５　ｃ’、　５　ｄ’、　５　ｅ
’、　５　ｆ’は容量測定用パッドである。これらは弾
性表面波を伝搬する基板上に設けられている。

同図において、入力側電極２ａ、　２ｂ、　２ｃ、　２
ｄ。

２ｅおよび出力側電極２　ａ’、　２　ｂ’、　２　ｃ
’、　２　ｅＬ’、　２ｅ’は、共に一個の櫛形電極が
５個電気的に直列に接続された電極群でアシ、ホット側
のボンデイングパッド５，５′とアース側のポンディン
グパッド４゜４′とによシ外部回路と信号の送受信を行
なう。

入力側電極２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅおよび出力側
電極２　ａ’、　２　ｂ’、　２　ｃ’、　２　ｄ’、
　２　ｅ’　　の各バスパ一部分には、容重測定用パッ
ド５ａ、５ｂ、５ｃ。

５ｄ、５ｅ、５ｆおよび５　ａ’、　５　ｂ’、　５　
ｃ’、　５　ｄ’、　５ｅ’。

５ｆ’が細い引き出し線電極を用いて付加しである。

なお、図示していないが、上記１１極構成を一組とした
弾性表面波装置用の電極パターンが一枚のウェハ上に複
数組配置しである０ また、同図において、破線Ａ−Ｂ、　　Ａ’−Ｂ’は、
一枚のウニ・・上に複数組配置された弾性表面波装置ｆ
’ｔ、各チップ毎に分割する際の基線である口上記のよ
うに構成したことによ＃）％入力側電極２ａと２１）、
２ｂと２ｃ、２ｃと２ｄ、２（１と２０、また出力側電
極２ａ’と２ｂ’、　　２ｂ’と２ｃ’、２０′と２ａ
’、　２（１’と２ａ’間のバスパ一部分を、電極谷瀘
測定の之めの１０−プ等による触針か可能となる様に広
くする必要が無い。そのため、開口長方向の弾性表面ｉ
＊＊形状は大きくすることなしに、　Ｉｋ！する容量測
定用パッドへ１０−プ等を触針させて電極容量を測定す
れは、直列に接続された電極群の一つの電極を取９上ば
て測定することができ、各電極毎の短絡等の電極不良判
定が極めて容易になる。

さらに、′６重測定用バッド５ａ、　５ｂ、　５ｃ、　
５ｄ。

５ｅ、５ｆおよび５ａ’、　５ｂ’、　５　ｃ’、　５
ｄ’、　５ｅ’、　５ｆ’は、容量測定後に、ウエノ・
ヲチップに分割する基線Ａ−Ｂ、　Ａ’−Ｂ’上で切断
されるので、容量測定用パッドによる寄生容量の、弾性
表面波装置への影響をなくすことができる。

第１図に示した実施例について具体的な数値を挙げると
次のようである。

各々の櫛形電極２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅおよび２
ａ’、　２ｂ’、　２０’、　２（１’、　２１３’は
すべて、中心周波数６５０ＭＨｚ、電極対数２０対、電
極開口長１００　μｍ、基板として１２８＠回転Ｙ軸切
断Ｘ軸伝搬のニオブ酸リチウムを用いている。

この場合、谷櫛形電極の容ｔは１．１７ＰＦであり、電
極部の短絡等の不艮は容易に判断することができる０こ
の点について、従来方法であるホット側とアース側のポ
ンディ／グパツド３−４および３′−４′間の容量測定
によれは、これらの間の容量は１２３ＰＦであシ、非常
に小さい。

したがって、従来方法では電極部の短絡等の不艮の判断
は難かしいものであった〇 第２図は本発明による弾性表面波装置の他の実施例を示
す平面図であって、インターデイジタルトランスデエー
サ型の共振器が複数個（図では７個）電気的に直列に接
続された電極群を示すもので、６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ
’、６ｅ、６ｆ、６ｇは櫛形電極、７は入力側のポンデ
ィングパッド、８は出力側のポンディングパッド、　　
９ａ、　９ｂ、　９ｃ、　９ｄ。

９ｅ、９ｆは細い引き出し？ｆｌＡ！極を用いて付加し
た容量測定用パッドで、Ｃ−Ｄおよびｃ／−ｎ／はチッ
プ分割基線である。

なお、図では一部のみしか示されていないが、図の電極
構成を一組とし比弾性表面波装置用の電極パターンが一
枚のウエノ・上に複数組配置してめるＯ 同図において、この実施例においても、前記実施例と同
様に、開口長方向の弾性表面波装置形状を大きくするこ
となく、容量測定用パッドにグローブ等を触針させて、
直列接続した電極群（６ａ〜６ｇ）の内の一つの電極容
量を測定することができ、各電極毎の短絡等の不艮を極
めて容易に判定することかできる０ ま九、この実施例における他の特徴は、入力および出力
側のポンディングパッド７．８を有しないバスパーに設
は比容量測定用パッドの形成方法にある。

すなわち、第２図に示す様に、各々の電極６ａ。

６ｂ、６ｃ、６６．６ｅ、６ｆ、６ｇ　ｆ有する電極群
の容量測定用パッド９ａ、　９ｂ、　９ｃ、　９ｃｌ、
　９ｅ。

９ｆ、　あるいは上記パッド９ａ〜９ｆの有する細い引
き出し線電極と、前記電極群の左右に隣接する電極群の
容量測定用パッドあるいはこのパッドが有する細い引き
出し線電極が、前述した弾性表面波装置ｌｔを各チップ
に分割する際の基線Ｃ−Ｄ、およびＣ′−Ｄ′上に交互
に形成されていることである。言いかえれは、−組の電
極群において、各々の容重測定用パッドが隣接するバス
バー毎に互い違いの方向で、かつ前記基線Ｃ−Ｄ及びＣ
′−Ｄ′、上あるいはＣ−Ｄ及びｃ／　＋＋　ＤＩを越
えて隣接する他の組の電極゛群内に形成され、同時に前
記隣接する他の組の電極群の有する各々の容量測定用パ
ッドが、前記−組の電極群内に形成されていることであ
る。

この様に構成することによシ、各々の容量測定用パッド
の間隔が遠くなシ、その相互容重は減少して測定が容易
になるはかシでなく、弾性表面波装置を各チップに分割
する通常の工程で、谷型測定用パッドと該測定用パッド
が接続されたバスバーとを切り離すことができ、寄生容
量による弾性表面波装置の特性への影響をなく丁ことが
できる。

第２図に示した実施例について具体的な数値を挙げると
次のようである〇 各々の櫛形電極６ａ、　　６ｂ、　６ｃ、　６ｄ、　６
ｅ、　６ｆ、６ｇは、すべて中心周波数８９０　ＭＨｚ
　、電極対数１００対、電極開口長１００μｍ１基板と
して１２８゜回転Ｙ軸切断Ｘ軸伝搬のニオブ酸リチウム
を用いている。

この場合、各々の櫛形電極の容量は五８６　Ｐ　Ｆ　。

入出力用ポンディングパッド７−８間の容量はわずかα
５５ＰＦで、電極部の短絡等の不良は容易に判断するこ
とができる〇 以上、本発明による実施例およびその具体的数値例を示
したが、本発明による弾性表面波装置の構成はこれにか
ぎられるものではない。例えば、前記各実施例において
は、電気的に直列に接続され九すべての電極の容量を測
定できるように容量測定用バッド會付加しているが、各
々の電極の容量が比較的大きい場合には、すべての電極
に容量測定用パッドを付加する必要はない。

ま危、前記各実施例は％電極をすべて同一開口の、いわ
ゆる正規型電極を用いているが、本発明はこれにかぎら
ず、櫛形電極が交差幅あるいは位相等による重み付は電
極を有するものについても適用することができる〇 〔発明の効果〕 以上説明し九ように１本発明によれば、弾性表面波装置
の形状を大きくすることなく、また各チップ分割後に弾
性表面波装置の特性を乱すことなく、通常用いられる１
０−プでの電極容量測定によシミ極の良否を判定でき、
従来の目視検査および特性測定の検査に比べて、電極の
良否判定のスループットが同上し、コストの低減に資す
ることができ、上記従来技術の欠点を除いて優れ九機能
の弾性表面波装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による弾性表面波装置の一実施例を示す
平面図、第２図は本発明による弾性表面波装置の他の実
施例を示す平面図である◇１・・・シールド電極、２ａ
〜２ｅ・・・入力電極、２ａ′〜２ｅ’・・・出力電極
、３．３’、　４．４’・・・ポンディング用パッド、
ｇａ〜５ｆ、５ａ’〜５ｆ’・・・容量測定用パッド、
６ａ〜６ｇ・・・櫛形電極、７．８・・・ボンディング
用パッド、９ａ〜９ｇ・・・容量測定用パッド。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. １．弾性表面波を伝播する基板上に、弾性表面波を送波
   あるいは受波する電極が設けられて成る弾性表面波装置
   において、前記弾性表面波を送波あるいは受波する電極
   が複数の櫛形電極で形成され、前記複数の櫛形電極が電
   気的に直列に接続されて成り、前記弾性表面波を送波あ
   るいは受波する電極に電気信号の入力あるいは出力用の
   ボンディングパッドが設けられると共に、少くとも２個
   以上の前記弾性表面波を受波あるいは送波する櫛形電極
   のバスバー部分に電気信号の入力あるいは出力用のパッ
   ドを付加したことを特徴とする弾性表面波装置。
2. ２．特許請求の範囲１記載の弾性表面波装置において、
   前記付加した電気信号の入力あるいは出力用のパッドが
   前記櫛形電極の容量測定用パッドであることを特徴とす
   る弾性表面波装置。
3. ３．特許請求の範囲１記載の弾性表面波装置において、
   前記櫛形電極のバスバー部分に付加した電気信号の入力
   あるいは出力用のパッドが、弾性表面波装置の基板上で
   チップ分割される際に、前記櫛形電極のバスバー部分と
   前記電気信号の入力あるいは出力用のパッドとが電気的
   に切断される様に形成されたことを特徴とする弾性表面
   波装置。