JPS62204252A - 液状感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 し題業の利用分野〕 本発明扛液状感元性樹脂組成物に関し、更に詳しくは印
刷配線板製造用のソルダーレジスト（半田マスク）等に
使用しうるパターン形成性液状感ｉ性樹脂組成物に関す
る。

Ｌ従来の技術〕 従来、印刷配線板製造業界において印刷配線板の永久保
護被膜として、ソルダ−レジスト（半１１］マスク）が
広く用いられている。ソルター−レジストハ半田付は時
の半田ブリッジの防止及び使用時の導体部の腐食防止と
電気絶縁性の保持等會目的として使用さ牡るものである
。この使用目的からも明日なようにソルダーレジストは
過酷な榮件下で使用さ扛る為、エツチノグレジスト等と
は異なり、下記のような性能が要求さ扛る。

（イ）　半田浸漬時（２４０〜２８０℃）における＠層
性の保持 （ロ）永久的な密着性の保持 ？１　　Ｍ剤・薬品等に対する優扛た耐性に）高湿度条
件下での高い電気絶縁性の保持これらの要求を満たす為
、従来は熱硬化性インクあるいは元硬化性インクをスク
リーン印刷することによジソルダーレジストヲ形成する
方法が広く用いら扛てきた。しかしながら、近年印刷配
線の高密度化の進行に伴ない、厚膜でかつ精度の冒いソ
ルダーレジストが要求さｎており、スクリーン印刷方式
によるツルターレジストの形成法でｅ工′ｎ度及び４与
の問題から対応し＠扛なくなっているのが現状である。

この高密度化に対応する方式とし一〇現像方式によるソ
ルダーレジストの形成法が提案さ７ｔている。現像方式
とは印刷配線板上に感光１〈Ｉ：樹脂組成物でで！！た
数音コーティングしｆｃす、感光性フィルムをラミネー
トしたすした懐、フォトマスク等を通して活性光線によ
り必要部分を硬化させ、未硬化部分を現像液を用いて洗
い流すことによりパターンを形成する方法であり、該方
式を用いると厚膜で精度の良いツルタ“−レジストパタ
ーンを形成することができる。

現像方式用ソルダーレジストには、硬化前の塗膜の形成
法の違いに工９、ドライフィルムタイプ、解削揮散タイ
プ、無溶剤液状タイプＺ）Ｓ考えら扛ている。この中で
、例えば、特開昭５４−１０１８号公報で提案さ扛てい
る工うなドライフィルムタイプのものでは、すでに配線
の形成さ！１．た凹凸面に対してｌｌｉ看させる為には
、特開昭５２−５２７０５号公報で提案されているよう
に減圧下での加熱圧層等の特殊な工程全必要とし、さら
には、このような工程音用いても完全な誓看は保証さ扛
ない、といった問題点を有する。−万、特開昭５１−１
５７３３号公報で提案さ扛ているような溶剤抑散タイ１
のものでは配線の形成さｎた凹凸面に対する＠層性は優
扛ているものの、液状の感光性樹脂をコーティングした
後、防爆型乾燥機等を用いて溶剤全揮散さぜる工程が必
袈であるという問題点葡有する。従って、フルダーレジ
スト用感光性樹脂組成物としては、無溶剤液状タイプの
ものの開発か強く望まれている。

一万、液状感光性樹脂を現像液の種類によって分類した
場曾には、１．１．１−　）リクロロエタン等の有機溶
剤を使用するタイプと稀アルカリ水溶液を使用するタイ
プの２ｔ１ｉか考えら牡る。

しかしながら、有機溶剤を使用するタイプでは作業環境
及び廃液の処理等に問題かあり、稀アルカリ水溶液を用
いた現像が強く望ま扛ている。

〔発明が解決しようとする問題点Ｊ 本発明の目的とするところは、優ｎ’ｆｃアルカリ現像
性を有し、かつ硬化後における高湿度条件下での電気絶
縁性に優れた液状感光性樹脂組成物を提供することＫあ
る。

し問題点を解決する為の手段〕 本発明者らは前記の点に鑑み鋭意検討を進めた結果、 ａ）カルボキシル変性物を含む、平均酸価４〜１５０、
数平均分子量ｓ、　ｏ　ｏ　ｏ以下の多官能エポキシア
クリレート及び／又はエポキシメタクリレート１０〜５
５重量係、 ｂ）エポキシアクリレート及び／又はエポキシメタクリ
レート以外のアクリル系及び／又はメタクリル系架橋形
成性単量体及び／又はオリゴマー１０〜５５重量％、 Ｃ）アクリル系及び／又はメタクリル糸単官能性単量体
５〜５５重量係、 ａ）　　無機光填剤４〜５５重量％、及び、θ）光開始
剤及び／又は光増感剤００５〜２０重量優。

からなり、かつＣ）の単官能性単量体のうち下記一般式
〔１〕で示さ扛る化合物が５０ｍ！％以上含′ｉｎでい
る液状感光性樹脂組成物が、極めて高性能なパターン形
成性液状感光性樹脂組成物となるとの結論に至った。

Ｒ。

０Ｈ２＝Ｏ−０−Ｂ−０−Ａｒ　　　−＝　［Ｉ３次に
、本発明の液状感光性樹脂組成物を！成する％成分につ
いて説明する。

本発明の液状感光性樹脂組成物は、カルボキシル変性物
を含む平均の酸価４〜１５０、数平均分子ｉｉ　５．０
００以下の多官能エポキシアクリレート及び／又は多官
能エボキシメククリレート１０〜５５重重量ｓを必須成
分として含有する。

従来、フルアルカリ現像タイプの感光性樹脂組成物にお
いて、フルアルカリ現ｇｊ！性を付与する手段として、
カルボキシル基？有する粉状１合体會添加することが広
く用いらｎて′＠友。しかしながら、ソルダーレジスト
用の液状感光性樹脂組成物に対して、カルボキシル基葡
有する線状重合体音添加すると次の２つの大きな問題が
発生する。第１点は、線状重合体は架橋構造をとＶ得な
い為に、硬化後の塗膜の１ｉｌｉｔ浴剤性か低下する点
である。第２点としては、感光性樹脂組成物を均一溶液
とさせる為には、カルボキシル基含有の線状重合体を溶
解させうる工うな特殊な反応性希釈剤を使用する心機か
あるが、この反応性希釈剤かツルｆ−レジストに要求さ
れる電気絶縁性を低下させ易い点である。こｎらの点に
ついて、本発明者らは鋭意検討を進めたところ、線状重
合体に代って、特定のカルボキシル変性物を含む多官能
エポキシアクリレート及び／又に多官能エポキシメタク
リレートを用いることにより、こ扛らの問題が解決さ牡
ることを見い出した。すなわち、カルボキシル変ａ物’
ｔｔむ多官能エポキシアクリレート及び／又は多官能エ
ボギシメタクリレートハ、活性光線による硬化後は、そ
ｎ自身が架橋構造中に取り込ま扛る為にｆｋｒｔだ耐溶
剤性を有することができる。さらに、こ扛らは、線状！
Ｕ＠体と比較して低分子量である為に、一般に併用さ扛
る架橋性単量体等とも均一混合が容易である為に、七ツ
マー組成に対する目由度が大きく、電気絶縁性等の優ｎ
た性能ケ得ることかできる。

なお、本発明における多官能エポキシアクリレート及び
／又は多官能エポキシメタクリレートとは、多官能のエ
ポキシ化合物あるいはエポキシ樹脂、例えは「エンジニ
アリングプラスチック」（化学工業日報社　昭和５８年
３月１５日発行）にＢ己載さｎているようなビスフェノ
ールへ−エビクロルヒドリン樹脂、エポキシノボラック
樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹Ｂ盲、典
節穣型エポキシ４蛎ハ旨、グリシジルエステル型樹脂等
の中に存在するエポキシ基にアクリル酸及び／又はメタ
クリル酸會付加“させた化合物を示す。

又、本発明におけるカルボキシル変性さｎπ多官能エポ
キシアクリレート及び／又は多官能エポキシアクリレー
トとは、上す己多’Ｍ　ｆｊｌ：エポキシアクリレート
及び／又は多官能エポキシメタクリレート中に存在する
ＯＨ基に、無水マレイン酸、無水コハク酸等の二塩基酸
無水物ケ付加させた化せ物、あるいは多官能エポキシ化
合物又はエポキシ樹脂にアクリル酸及び／又はメタクリ
ル酸とともに二塩基ｒＩＩを反応させたりして得ら扛る
、分子内にカルボキシル基を有する化合物を示す。

このようなカルボキシル変性さ扛た多官能エポキシアク
リレート及び／又は多官能エポキシメタクリレートとし
て社、多くの種類か挙げられるが、その代表例としては
、ビスフェノール八−エピクロルヒドリン糸エポキシ樹
脂にアクリル酸全反応させ、さらに無水マレイン酸會付
加させた化合物（エポキシ基／アクリルｌ！！！／無水
マレイン酸＝　１　／　１　／α１（モル比））やフェ
ノールノボラックエポキシ樹脂に、アクリル酸、メタク
リル酸、コハク酸會反応させた化合物（エポキシ基／ア
クリル酸／メタクリル！／コハク酸＝１／１１Ｌ７／１
１１／α２（モル比））等があげらｎる。

本発明においては、多官能エポキシアクリレート及び／
又は多官能エポキシメタクリレートは、カルボキシル変
性さ扛た物単独で使用してもよいし、カルボキシル変性
さ扛ていない物と混合して使用してもよいし、又、前に
示す代表例のようにカルボキシル変性さｎた物を合成す
る際に未変性物も、残留するような条件で合成し、混合
物のまま使用しても良い〇 しかしながら、カルボキシル変性物金含む多官能エポキ
シアクリレート及び／又は多官能エポキシメタクリレー
ト全体として平均の酸価が４〜１５０となるようにする
ことが必要である。平均の酸価か４未満の場合にはアル
カリ洗浄性が悪くなり、感光後の未硬化部の液状感光性
樹脂ｍ酸物を光分に洗浄することができなくなる。−万
、平均の酸化が１５０ケ越える場合には、硬化後の塗膜
の吸湿性か大となり、高湿度条件下ＶＣおいて高い電気
絶縁性全保持することができなくなる。

なお、電気絶縁性の面から、平均の酸化のより好ましい
ａ囲は５〜１００である。

又、本発明におけるカルボキシル変性物を含む多官能エ
ポキシアクリレート及び／又は多官能エポキシメタクリ
レートは数平均分子量が５．０００以下であることが必
要である。数平均分子量が５．　ｎ　００　’ｊｚ越え
る場合においては組成物の粘度が旨くなりすぎる為ｅＣ
アルカリ現像性が悪化したり、他の卑ｌ：体オリゴマー
類との均一溶解性が悪くなる。さらに組成物の取り扱い
性の面から判断すると数平均分子ｔ３．ｏｏｏ以下とす
ることかより好ましい。

さらに本発明におけるカルボキシル変性物金含む多官能
エポキシアクリレート及び／又は多官能エポキシメタク
リレート扛、組成物全重量に対し、１０〜５５重重俤、
好ましくは１５〜５０軍量係便用される。１０亘量嗟未
滴の使用量の場合においては、組成物の解像性及び硬化
後の塗膜の金属面への密層性が低下し、反対に５５Ｍｔ
係を越えて使用した場合においては、昼湿度条件下での
電気絶縁性が低下する。

本発明の液状感光性樹脂組成物は、前記多官能エポキシ
アクリレート及び／又は多官能エポキシメタクリレート
以外のアクリル系及び／又はメタクリル系架橋形成性単
量体及び／又はオリゴマー１０〜５５重量１に必須成分
として含有する。

該架橋形成性単量体及び／又はオリゴマーは分子中にＭ
＠性二重結＠を２個以上有しているものであり、前記の
エポキシアクリレート及び／又はエポキシメタクリレー
トを希釈して粘度ケ調節するとともに、硬化速度の同上
及び硬化後の塗膜の耐擦傷性、耐溶剤性、を気絶練性の
同上といったツルター−レジストとして要求さｎる性能
全向上させる為に使用さ扛る。この為、この架橋形成性
単量体及び／又はオリゴマー扛活性光線による硬化性及
び前記エポキシアクリレート及び／又はエポキシメタク
リレートとの共重合性から判断して、アクリル糸及び／
又はメタクリル糸のものケ使用することが必要である。

本発明におけるエポキシアクリレート及び／又はエポキ
シメタクリレート以外の架橋形成性単量体及び／又はオ
リゴマーとしては、アクリル糸及び／又はメタクリル系
のものであれば、いずれのものでも使用できるが、代表
例としては、１．４ブタンジオールジアクリレート、１
．４ブタンジオールジメタクリレート、１．６へせメチ
レングリコールジアクリレ−）、１．６へキサメチレン
グリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコール
ジアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレ
ート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリ
メチロール１０パントリメタクリレート、ペンタエリス
リトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリ
メタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレ
ート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジ
ペンタエリスリトールへキサアクリレート、ジペンタエ
リスリトールへキサメタクリレート、トリエチレングリ
コールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタ
クリレート、ウレタンアクリレート（例工ば、大阪有機
化学工業製ビスコート■＋８１２゜８１３、す８２３．
φａＳ１）、ウレタンメタクリレート等があり、これら
は単独で、又は２種以上を組み合せて使用さｎる。

こｎらエポキシアクリレート及び／又はエポキシメタク
リレート以外のアクリル系及び／又はメタクリレート系
架橋形成性単量体及び／又はオリゴマーは、アルカリ現
像性・密層性・耐溶剤性・電気絶縁性等から判断して感
光性樹脂Ｍ放物に対して１０〜５５ＴＬｔチの範囲で使
用さｎる。１ＯＮｊｉ参未満の使用量においては、ｌ１
Ｉｔ溶剤性が悪化し、高湿度条件下での電気絶縁性も低
下することとなり、−万、５５重景％全越える使用量で
は、アルカリ現像性が悪化するとともに、金属面への密
着性か低下する。さらにソルダーレジストとしての各柚
袂求性能から判断して、よｐ好適な使用量範囲は１０〜
５０東童チである。

本発明の液状感光性樹脂組成物はアクリル系及び／又は
メタクリル系単官能性単量体５〜５５重量嗟紮必須成分
として含有し、かつ、単官能単量体のうちｌ童で５１１
１１以上は、下記一般式ＬＬ）で示される化合物音使用
する。

ａｔ（、＝Ｑ−ａ−Ｂ−ｏ−ｐ、ｒ　　　　−−−−−
Ｅｌ）単官能性単量体は、前記エポキシアクリレート及
ヒ／又はエポキシメタクリレートの粘度調節の役割を果
たすとともに硬化後のレジストの柔軟性・密層性・耐熱
性といった物性全同上させる。

゛単官能性単量体は、元硬化性から判断して、アクリル
糸及び／又はメタクリレート系であることが必要である
。単官能性アクリレート糸及び／又はメタクリレート系
単量体としてはｑ！ｒ１１Ｍのものが公知であるが、ソ
ルダーレジスト用液状感光性樹脂組成物として要求さｎ
る各棟性能（金属面への密着性・硬度・高温時の密層性
・耐溶剤性・高湿度条件下での電気絶縁性・低臭気・低
皮膚刺激性等）から判断して単官能性単量体のうち５０
重″１１チ以上は一般式〔１］で示される化せ物を使用
することか必須となる。すなわち、一般式し目で示され
る化合物は、フェノキシ基金保有していることにより、
高沸点（低臭気・低皮膚刺激性）となり、かつ適度な極
性を有していることにより、高湿度条件下での電気絶縁
性？低下させないで金属面への顕有Ｕ（常温及び４ｉＭ
）ｋ同上させる。さらに分子ｉが太きいにも〃）かわら
ず、側順が比較的短い為に１溶剤性や硬度全低下させな
い。

一般式［１）で示さ扛る化合物としては、代表例として
は、フェノキシエチルアクリレート。

フェノキシエチルメタクリレート、フェノキシエチルオ
キシエチルアクリＩ／　−ト、　フェノギンエチルオキ
シエチルメタクリレート、フェノキシテトラエチレング
リコールアクリレート、フェノキシテトラエチレングリ
コールメタクリレート、ｐ−ノニルフェノキシエチルア
クリレート、ｐ−ノニルフェノキシエチルメタクリレー
ト、３フエノキシ２ヒドロキシプロピルアクリレート、
３フエノキシ２ヒドロキシプロピルメタクリレート等が
挙げられる。

こｎらは、単独では２徨以上を混合して便月１しうる。

本発明における単官能単重体のうち５ｏｘｉｔ係以上は
一般式Ｌｌ）で示さｎる化合物？便用することが必要で
あるが、残ジの部分については他の桝造の卑官能率蓋体
を便用することができる。ソルダーレジスト用液状感光
性樹脂としての貿求性耗から判断して、一般式［１３の
化合物ケ年官能率量体のうち７０３１Ｆｉｉ係以上使用
することが好ましい。

アクリル糸及び／メタクリル系単官能単量体は、液状感
光性ｍ脂組成物に対し、５〜５５重量チ使用さ扛ること
か必要である。５ｍ１ｉ係未満の使用量においては、硬
化後の塗膜の柔軟性が不足し、反対に５５重量チを越え
るｔ’に使用した場合においては、硬化後の塗膜の耐溶
剤性が低下してくる。柔軟性及び耐溶剤性から判断して
、アクリル系及び／又はメタクリル系単官能単量体の好
ましい使用量は１０〜５０重量％の範囲内である。

本発明の液状感光性樹脂組成物は、無機充填剤４〜３５
重量チ會必須成分として含有する。

この無機充填剤は他の樹脂成分と異なり、液状感光性樹
脂組成物中に溶解してはいないが、均一に分散さｎてお
り、アルカリ現像液による現像時には、未硬化部分の無
機充填剤は樹脂成分とともに洗浄さｎる為、解ｆ象性に
は悲い彩管を与えない。そして、硬化塗膜の強度を同上
させるとともに、ｌ＠収縮會緩オロして基板上への＠着
力を同上させる。

本発明に使用する無機充填剤としては、／ｉ！ｒ柚のも
のが使用できるが、代表例としては、炭酸カルシウム、
タルク、マイカ寺が享けら扛、特に、メルク、マイカ等
の板状の粒子あるいは針状タルク等の針状のものが、＠
層性の同上の効果がすぐ扛ている。さらに、こ扛らの無
機充填剤は、そのままの形でも使用しうるし、又、無機
及び／又は有機物で表面処理あるいは表面コーティング
した形でも使用しうる。

無機充填剤の添加量としては、塗膜の強度。

密着性及び解像性の面から判断して、４〜３５Ｘｔ憾が
必要であり、好ましい添加普範囲は５〜３０ＴＬ′Ｉｊ
ｋ憾である。

本発明の液状感光性樹脂組成物は光開始剤及び／又は光
増感剤α０５〜２０重′ｊ！：％會必須成分として含有
する。光開始剤及び／又は光増感剤としては紫外線ある
いは可視光等の活性光線によりラジカルを発生せしめ、
１ｆ［合反応を引き越こしうるものであ扛は、いずれの
ものでも良い。使用しつる光開始剤及び／又は光増感剤
としては、例えば、２−エチルアントラキノン。

１、４−　ナフトキノン、ベンゾインエチルエーテル、
ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾフェノン　ａ、　
ａｌ−ビスジアルキルアミノベンゾフェノン、ベンジル
ジメチルチタノール、４′−イソプロピル２ヒドロキシ
２−メチルプロピオフェノン、２−ヒドロキシ２−メチ
ルプロピオフェノ／ｌ　２−メチル（４メチルチオ）フ
ェニル２−モルフォリノ−１−プロパン等か代表例とし
ておばらｎる。こ扛ら光開始剤及び／又は光増感剤は単
独で使用することもでき、又、２ｗ１以上の組み合せに
より、混合系としても用いうる。

光開始剤及び／又は光増感剤は組成物全重量に対して［
０５〜２０重量係添加することが必要であり、硬化速度
及び硬化塗膜の物性の点〃為らα１〜１ＯＮ、重量の範
囲で使用することか好ましいＯ 又、本発明の液状感光性樹脂組成物には、目的に応じて
通常の公知の熱重合防止剤、増粘剤。

着色用の顔料又は染料、消泡剤等の各種添加剤を添加す
ることができる。

熱′Ｍ＠防止剤は光硬化させる前の段階において感光性
樹脂組成物か熱に工９硬化することを防止する目的で添
加さｎるものであり１例えば、ｐ−メトキシフェノール
、ヒドロキノン、ｐベンゾキノン、ｔ−ブチルカテコー
ル、ピロガロール、ナフチルアミン、フェッチアジア等
で代表さ扛るようなものか使用できる。この熱重合防止
剤は元硬化性への影響尋の点から、好ましくは組成物重
量に対し３重量％以下、より好ましくは１重量−以下の
範囲内で使用しうる。

増粘剤は液状感光性樹脂組成物の粘度、揺変性及びコー
ティング特性で改良する目的で使用さｎる。増粘剤の具
体例としては、例えは、Ａｌ１１ｒ０１３１’ｉす２０
０　（日本アエロジルＫ　Ｋ　ｇ　）等のシリカ系のも
の、あるいは、Ｂｅｎｔｏｎｅ　５００（ナショナルレ
ッドインダストＩＪ−ＫＫｆｆ）等の変性ベントナイト
系のもの等かあげらｎる。

増粘剤は硬化塗膜の物性等の点から、上限を２０重量チ
とした範囲内で使用さ扛る。

本発明は液状組成物に関するものであり１常温において
、実質的に流動性を有しておればいかなる粘度のもので
あってもかまわないが、散り扱い性、特にコーティング
特性等の点から。

２５℃においてブルックフィールド型粘度計で測定した
粘度が１．０００〜１００，０ＯＯｃｐｓであることが
好ましく、より好ましくは２，０００〜８０．　ＯＯ０
ＱｐＢの粘度範囲である。

本発明の液状感光性樹脂組成物は公知の各種の方法ヶ用
いて使用しうる。最も一般的には塗布・縮充・アルカリ
現像の工程を用いて、硬化塗膜が形成さ扛る◎ 塗布方法としては、公知の各種の方法音用いうる。例え
ば、液状感光性樹脂組成物を、アプリケータ−（例えば
ベーカ一式アプリケーター、バーコーターｅ）？用いた
り、シルクスクリーンを通して印刷配線基板上に直接塗
布する「ｉＭ接接塗布法、液状感光性樹脂組成物１を透
明フィルムやシートあるいはアートワークの表面に塗布
した後、液状感光性樹脂組成物ｌ１ｌｌが印刷配線基板
と接するように積層さぜる「間接塗布法」、プリントサ
ーキット基板表面及び透明フィルムやシートあるいはア
ートワーク表面の両面に液状感光性樹脂組成物全塗布し
た後、液状感光性樹脂組成物層同士を重ね合せる「両面
塗布法」等のいず牡の方法も用いることができる。

露光方法としては、公知のｑ！ｒｓの方法を用いうるか
、例えば、フォトマスクを通じて、明視光線あるいは紫
外線等の活性光線を用いて実施しうる。この場合、液状
感光性樹脂層とフォトマスクは厘接接していてもよいし
、透明フィルムや透明シート等を通じて間接的に接して
いてもよいし、又、薄い気体の層により、隔てら扛てい
ても良い。

現像についても、アルカリ現像タイプの感光性情Ｍ１１
組成物の現像法として既に公知である各棟の方法音用い
ることができる。

さらに、硬化塗膜紮より完全なものとする目的で、アル
カリ現像後に活性光線及び／又は熱により後処理を実施
することも可能である。

本発明の液状感光性樹脂組成物の用途としては、単にソ
ルダーレジストとしてりｆｆでなく、凸版印刷用等の他
の用途にも広く使用しうる。

以下に実施例を用い本発明をさらに詳しく説明する。尚
、実施例、比較例で用いる評価手段は以下の方法による
。

■硬化用塗膜の調整 銅張ジ槓層板（住友ベークライトｘｘｇｉ＋ｔ、Ｇ４７
０８）を１０譚×１５１に切断した後、研摩・洗浄・水
分除去により前処理を行なう。前処理した銅張り積層板
上に各種条件で調整した液状感光性樹脂組成物をベーカ
一式アブｖケータを用い、厚さ１００μとなるようにコ
ーティングする。その上から厚さ２５μのポリエステル
フィルムで抜機し硬化用塗Ｒを得る。（なお、以後、本
発明において「硬化用塗膜」とは上記のように作製し、
ポリエステルフィルムで抜機した塗膜のことｔ示す） ■最適−次露元条件及び現ｇＩ性の測定■−１−次篇元 硬化用塗膜上に厚さ１２０μのネガフィルム５ＴＯＵＦ
ＦＥＲＲｅ５ｏｌｕｔｉｏｎ　　Ｇｕｉｄｅ　　す１−
Ｔ（８ＴＯＵＰＦＫＲＧｒａｐｈｉｃ　Ａｒｔｓ　ｍｑ
ｕｉｐｍｅｎｃ　Ｃｏ。

製）をのせ、さらに３ｍ／ｍ厚のＰｙｒｅｘ■製ガラス
板製果ラス板次いで１５鋼上方より、１００Ｗ高圧水銀
灯（ウシオ電機ＫＫ製ＵＨ−１００）により露光を行な
う。露光時間は１０秒〜１８０秒の範囲で行なう。又、
照射エネルギーの大きさ社東京元学機械ＫＫ製ＵＶＲ−
３６５１−便用して測定した。

■−２現像 一次ＩＩｒ元を終了した塗膜より２５μのポリエステル
フィルムを剥離し、下記条件にてスプレー現像を行なう
。

その後、流水による洗浄、空気による水分除去、７０℃
５分の乾燥を行なう。

■−３後硬化 現像終了後の塗膜に対し、下記条件で光硬化及び熱処理
を行なった後、室温まで放冷する。

（Ａ１党硬化 （Ｂ）熱処理（光硬化の後） １６０℃×１０分 ■−４最適−次ｉｉ＋エネルギーの測定−次１１元時間
を変えて実施した塗膜を比較し、前記Ｒｅ５ｏ１．ｕｔ
ｉｏｎ　Ｇｕｉｄｅ　のパターン全量もよく再現してい
る塗膜會得るのに磨機な照射エネルギーを求める。（単
位はｍＪ／ｃｍ”　）■−５現像性の評価 最適−欠露光エネルギーにて現像したサノブル表面を３
０倍顕微鏡により観察して評価を行なう。

（つ・・・凹部に未洗浄樹脂成分が残留しない。

×・・・凹部に未洗浄樹脂成分が残留する。

■硬化塗膜の物性評価 ■−１−欠露光 硬化用塗膜上に厚さ１２０μポリエステルフイルムをの
せ、さらに３　ｍ　／　ｍ厚のＰｙｒｅｘ■製ガラス板
會のせる。次いで、１５百上万より１００Ｗ高圧水銀灯
（ウシオ電機ＫＫ製ＵＨ−１００）によす■−４で求め
た最適露光エネルギーに対応する時間だけ露光を行なう
。

■−２現像 ■−２と同手順で実施 α）−５後硬化 ■−３と同手順で実施 ■−４耐熱性の評価 後硬化終了後の塗膜會基板ごと２６０℃の半田中に、１
０秒間浸漬し、堆９出し後の状態上観察して評価する。

０・・・変化なし く ×・・・ふくｎ、はか牡、割ｎ等かある。

■−５密層性の評価 後硬化終了後の塗膜について、Ｊ工１３−Ｄ−０２０２
記載「ごはん目試験方法１桓」に準拠した方法によりｔ
ｍｓ性を評価する。（ゴバン目の大きさは５ｗｍ角） ■−６耐溶剤性の評価 後硬化終了後の塗膜を基板ごと２５℃トリクロロエタン
中に１５分浸績した後、取り出し、布膜の状態？］ｌ−
観察して評価する〇〇・・・変化なＬ７ ×・・・フクレ、ハガレ、溶解等がある。

■−７体積抵抗値の測定（Ｘ気絶練性の評価） 後硬化終了後の塗膜を５０℃、相対湿度９０俤の状態で
１００時間保存した後、東亜電波工業ＫＫ製、８Ｍ−１
０Ｆｉ型極超絶縁計を用い、塗膜の体積抵抗値を測定す
る。（５００Ｖ、印加１分後の値） 実施ｆｌｌト カルボキシ変性エポキシアクリレート（ビスフェノール
Ａタイプ）［東部化成ＫＫｇＴＯＨＲＡＤ■３８００、
平均分子量５００、酸価２５　］　　　　　　　　　　
　　　　２ａｏｒ・トリエチレングリコールジアクリレ
ート９３ｆ・ネオペンチルグリコールジアクリレー）　
　９５？・ジペンタエリスリトールジアクリレート　９
３ｔ・　３フェノキシ２ヒドロギシグロビルアクリレー
Ｎ４０ｆ・タルクし富士タルクＫＫ製ＬＭＳ−２００〕
２１０　ｔ ・ベンジルジメチルチタノール　　　　３０ｆ・無定形
シリカし日本アエロジルＫＫＩＢＡθｒｏａｉｌ÷２０
０，３　　　　　　　６０９ ・フタロシアニングリーン　　　　　　　１ｆ會混合し
、３本ロールにより混練り全行ない液状感光性樹脂組成
物Ｅｘ　１を作製した。前述の方法により評価した結果
全表１に示す。

実施例２ −　ＴＯＨＲＡＤ■３８００［酸価２５］　　　　１０
０？・エポキシアクリレート（ビスフェノールタイプ）
［東部化成ＫＫ製、ＴＯＨＲＡＤ■３７０ロ　酸価ｚｏ
コ（エポキシアクリレートの平均の酸価：５）　　ａｏ
ｏｔ・　トリプロピレングリコールジアクリレート　　
２００ｆ・　フェノキシエチルアクリレート　　　　　
　　　１７０９−マイカ［ＫＫ山ロ雲母工業所製　Ａ−
１１」　１ｏｏｔ・ベンジルメチルチタノール　　　　
　　　５０９・フタロシアニングリーン　　　　　　　
　　１ｔを混合し、３本ロールにより混練Ｖ全行ない、
液状感光性樹脂組成物Ｅｘ　２を作製した。前述の方法
により評価した結果を表１に示す。

実施例３ ・カルボキシル変性フェノールノボラック型エポキシメ
タクリ”　−ト　　　　　　　　　　　　　　　　　　
１５０９［フェノールノボラック型エポキシ樹脂にメタ
クリル酸を反応させｆｃ稜、無水コハク酸ｒ伺加したち
の〕 （反応比率　エポキシ基／メタクリル酸／無水コハク酸
＝１／１／（１３（モル比）　酸価７２、半均分子量１
０３０） ・ペンタエリスリトールトリメタクリレート　　２５０
１Ｆｅポリプロピレングリコール＋４００ジメタクリレ
ート２５０　タ ・フェノキシエチルオキシエチルメタクリレ−）１７５
９・タルク［富士タルクＫＫｇ　　ＬＭＳ−２０［ＩＪ
　　５０ｆ・ペンゾインイソグロビルエーテル　　　　
　　１ｏｏｔ・無定形シリカ〔日本アエロジルＫＫＨＡ
θｒｏｓｉｌφ２００１　　　　　　　　　　２５ｆ・
フタロシアニングリーン　　　　　　　１ｆ全混合し、
３本ロールにエフ混ｖｌｖを行ない、液状感光性樹脂組
成物ｆｌｉｘ５１に作製した。前述の方法により評価し
た結果を表１に示す。

実施例４ ・カルボキシル変性フェノールノボラック型エポキシア
クリレ−）　　　　　　　　　　　　１５（１［フェノ
ールノボラック型エポキシ樹脂にアクリル＊？Ｉ−反応
させた後、無水コハク＃Ｒを付加したもの〕 （反応比率　エポキシ基／アクリル酸／無水コハク酸＝
　１　／　ｆ　／α５（モル比）酸価９８、半均分子量
１３４０） ・ネオペンチルグリコールジアクリレート　　　１ｏｏ
ｆ・　トリエチレングリコールジアクリレート　　　１
００ＩＦ・フェノキシエチルアクリレート　　　　　　
　　５００ｆ−ｐルｌし富士ｊｌｋｌＫＫ製ＬＭ８−２
００３　５０ｔ・炭酸カルシウムし白石工業ＫＫ製　ホ
モカルＤ］５（１・ベンジルジメチルチタノール　　　
　１，５ｆ・無定形シリカ［日本アエロジルＫＫ製　ム
θｒｏｓｌｌ÷２００）　　　　　　　　２５ｆ ・フタロシアニングリーン　　　　　　　１ｆｔ混合し
、３本ロールにより混練り音材ない、液状感光性樹脂組
成物ＩＩ！ｘａ２作製した。前述の方法により評価した
結果全表１に示す。

実施例５ −　’Ｉ’０ＨＲＡＰ■３８００　　　　　　　３０１
１１１／・　トリプロピレノグリコールシアクリレート
　　１５０ｆ・　ジペンタエリスリトールペンタアクリ
レート　１５０１Ｆ・　３フェノキシ−２ヒドロキシ１
０ピルアクリレート１００　ｔ ・メルク（富士ｐルクＫＫ！ｉ１！！　ＬＭＳ−２０［
ＩＪ　２１０ｆ・ペンジルジメチルチタール　　　　　
３０ｆ・無定形シリカ［日本シリカニ業ＫＫｉＲ８８−
５０ＡＪ０ｆ ・フタロシアニングリーン　　　　　　１ｔを混合し、
３本ロールにより混練りを行ない、液状感光性樹脂組成
物Ｗｘ　５ｔ作製した。前述の方法により評価した結果
を表１に示す。

実施例６ −　ＴＯＨＲＡＤ■５８００　　　　　　　２５　［１
ｆ・　トリエチレングリコールジアクリレー）　　　　
１５０ｆ・ボリア゛ロビレングリコールナ４００ンアク
リレート００ｆ ・　３フエノキシ２ヒドロキシフーロビルアクリレート
００ｖ ・ジシクロベノテニルオキシエチルアクリレート　２０
９・タルクし富士メルクＫＫ製　Ｉ、ＭＳ−２００〕５
ｏｏｔ・ペンジルジメチルチタール　　　　　５０ｆ・
熊定影シリカし日本アエロジルＫＫ製　ムθｒｏａｉｌ
す２００〕　　　　　　　５０を 働フタロシアニングリーン　　　　　　　１ｔを混合し
、３本ロールによジ混練Ｖ全行ない、液状感光性樹脂組
成物Ｆ、ｘ６’ｉ−作製した。前述の方法により評価し
た結果を表１に示す。

実施例７ 実施４／ｌｌ　１の３フエノキシ２ヒドロキシ１０ビル
アクリレートの代ｖに、フェノキシエチルオキシエチル
アクリレ−）１４０ｆｋ用い、他は実施例１と同じ条件
で液状感光性樹脂組成物ＵＸ７を作製した。前述の方法
に従い評価した結果を表１に示す。

実施例８ 実施例１の６フエノキシ２ヒドロキシプロピルアクリレ
ートの代りに、フェノキシテトラエチレングリコールア
クリレート１４０ｆ（ｚ用い、他は実施例１と同じ条件
で、液状感光性樹脂組成物Ｗｘ８ｆ作製した。前述の方
法に従い評価した結果全表１に示す。

実施例９ 実施例１の５フエノキシ２ヒドロキシプロピルアクリレ
ートの代りに、ｐノニルフェノキシエチルアクリレ−）
１４０ｆ′Ｉｔ用い、他は実施例１と同じ条件で、液状
感光性樹脂組成物ＫＸ９を作製した。前述の方法に従い
評価し友結果を表１に示す。

比較例１ 実施例１の３フエノキシ２ヒドロキシ１０ピルアクリレ
ートの代りに、ヒドロキシエチルアクリレ−）　１４０
　ｔ’ｉ用い、他は実施例１と同じ条件で、液状感光性
樹脂組成物Ｒｅｆ　１　ｆ作製した。前述の方法に従い
評価した結果を表１に示す。

比較例２ 実施例１の５フエノキシ２ヒドロキシグロビルアクリレ
ートの代りに、ジシクロペンテニルオキシエチルアクリ
レート１４０１Ｆ’ｉ用い、他社実施例１と同じ条件で
液状感光性樹脂組成物Ｒｅｆ２　ｆ作製した。前述の方
法に従い評価した結果全表１に示す。

比較例３〜６ −　ＴＯＨＲＡＤ■３８００１ｋａｆ、トリエチレング
リコールジアクリレート。

ネオペンチルグリコールジアクリレート。

ジペンタエリスリトールジアクリレートを各々ｂｙ ３フエノキシ２ヒドロキシグロビルアクリレート會ａｔ メルク［富士タルクＫＫ製　ＬＭ１３−２００〕１−ｄ
ｔ ベンジルメチルチタノール５５０９ 無定形シリカ〔日本アエロジルＫＫ製 Ａｅｒ０８１１す２００）會６０ｆ フタロシアニングリーン１ｔ を下記組成にて混合し、５本ロールにより混練ジを行な
い、液状感光性１１Ｉｍ組成物Ｒθｆ３〜６を作製した
。前述の方法により評価した結果を表１に示す。

［開明の効果〕 以上説明したように、本発明の液状感光性樹脂組成物は
高湿度条件下での電気絶縁性に優扛、かつアルカリ現像
性の良好なソルダーレジスト等として優ｎた効果を発揮
するものである。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. １．（ａ）カルボキシル変性物を含む、平均酸価４〜１
   ５０、平均分子量５，０００以下の多官能エポキシアク
   リレート及び／又は多官能 エポキシメタクリレート１０〜５５重量％、 （ｂ）エポキシアクリレート及び／又はエポキシメタク
   リレート以外のアクリル系及び／ 又はメタクリル系架橋形成性単量体及び／ 又はオリゴマー１０〜５５重量％、 （ｃ）アクリル系及び／又はメタクリル系単官能性単量
   体５〜５５重量％、 （ｄ）無機充填剤４〜３５重量％、及び、 （ｅ）光開始剤及び／又は光増感剤０．０５〜２０重量
   ％からなり、かつ（ｃ）の単官能性単量体のうち下記一
   般式［Ｉ］で示される化合物が５０重量％以上含まれて
   いる液状感光性樹 脂組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・・・［Ｉ］ Ｒ＿１：Ｈ又はＣＨ＿３ Ｂ：▲数式、化学式、表等があります▼−又は−▲数式
   、化学式、表等があります▼ （ｎ：１〜４の整数） ▲数式、化学式、表等があります▼　（Ｒ＿２：Ｈ又は
   炭素数１２以下 のアルキル基）
2. ２．２５℃においてブルツクフイールド型粘度計（スピ
   ンドル≠７，１００ｒｐｍ）で測定した粘度が１，００
   ０〜１００，０００ｃｐｓの範囲に含まれる特許請求範
   囲１の液状感光性樹脂組成物。