JPS62202834A - 石英系ガラス光フアイバ母材の製造方法 - Google Patents
石英系ガラス光フアイバ母材の製造方法Info
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- JPS62202834A JPS62202834A JP4493886A JP4493886A JPS62202834A JP S62202834 A JPS62202834 A JP S62202834A JP 4493886 A JP4493886 A JP 4493886A JP 4493886 A JP4493886 A JP 4493886A JP S62202834 A JPS62202834 A JP S62202834A
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Classifications
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- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
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- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、石英系ガラス光ファイバ母材の製造方法に関
する。
する。
［従来の技術］
石英系ガラス光ファイバ母材は、石英ガラスからなるコ
アとその周囲に屈折率がコアよりも小さい石英系ガラス
のクラッドから形成されている。
アとその周囲に屈折率がコアよりも小さい石英系ガラス
のクラッドから形成されている。
クラッドの屈折率を下げるために従来よりクラッドには
、フッ素あるいはホウ素がドープされている。
、フッ素あるいはホウ素がドープされている。
［発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、上記のような従来の光フアイバ母材を、
たとえば外付は法によって製造するばあい、コアの外周
にホウ素あるいはフ各素とホウ素がドープされたＳＬ
０２のスートを形成させたのち焼結するとコアと上記ス
ートとの界面で気泡が発生しやすく、さらにスートがガ
ラス化するときに長手方向に収縮し、所望の母材かえら
れないという欠点がある。
たとえば外付は法によって製造するばあい、コアの外周
にホウ素あるいはフ各素とホウ素がドープされたＳＬ
０２のスートを形成させたのち焼結するとコアと上記ス
ートとの界面で気泡が発生しやすく、さらにスートがガ
ラス化するときに長手方向に収縮し、所望の母材かえら
れないという欠点がある。
そこで本発明者らは、上記問題点に鑑みて鋭意研究を重
ねた結果、かかる問題点を解決しうる石英系ガラス母材
の製造方法を見出し、本発明を完成するに至った。
ねた結果、かかる問題点を解決しうる石英系ガラス母材
の製造方法を見出し、本発明を完成するに至った。
［問題点を解決するための手段］
すなわち、本発明はコアの外周にＳＬ ０２のスートを
設け、さらにその外周にホウ素またはフッ素とホウ素が
ドープされたＳＬ ０２のスートを設けたのち、焼結す
ることを特徴とする石英系ガラス光ファイバ母材の製造
方法に関する。
設け、さらにその外周にホウ素またはフッ素とホウ素が
ドープされたＳＬ ０２のスートを設けたのち、焼結す
ることを特徴とする石英系ガラス光ファイバ母材の製造
方法に関する。
〔作用および実施例］
本発明の石英系ガラス光フアイバ母材の製造方法によれ
ば、コアの外周にホウ素あるいはフッ素とホウ素がドー
プされたＳＬ ０２のスートの焼結時にコアとスートと
の界面で気泡が発生することがないので、かかる気泡に
よる光の散乱で光伝送損失が増加することを解決するこ
とができる。また、コア上に形成されたスートは、長手
方向に収縮することがないので、所望の光フアイバ母材
をうろことができる。
ば、コアの外周にホウ素あるいはフッ素とホウ素がドー
プされたＳＬ ０２のスートの焼結時にコアとスートと
の界面で気泡が発生することがないので、かかる気泡に
よる光の散乱で光伝送損失が増加することを解決するこ
とができる。また、コア上に形成されたスートは、長手
方向に収縮することがないので、所望の光フアイバ母材
をうろことができる。
本発明に用いるコアとしてはへ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｃｒなど
のような光伝送損失を大とならしめるような不純物の含
有率が、たとえば１Ｏｐｐａ＋以下の通常使用されてい
る純石英ガラスを使用しうる。
のような光伝送損失を大とならしめるような不純物の含
有率が、たとえば１Ｏｐｐａ＋以下の通常使用されてい
る純石英ガラスを使用しうる。
かかるコアの外周にＳＬ ０２のスートが設けられるが
、該スートの厚さは上述の焼結時の不都合を避けるため
、ｌ ｍｍ以上であるのが好ましい。
、該スートの厚さは上述の焼結時の不都合を避けるため
、ｌ ｍｍ以上であるのが好ましい。
本発明に用いるＳＬ ０２のスートを形成するときに用
いるガスとしては、ＳＬ Ｈ４、ＳＬ Ｈ３Ｃ１！、Ｓ
Ｌ Ｈ２Ｃ１ｔ ２、Ｓ［１ＩＣＩ！３．５ＬＣＩ１４
．５ＬＨ３Ｂｒ。
いるガスとしては、ＳＬ Ｈ４、ＳＬ Ｈ３Ｃ１！、Ｓ
Ｌ Ｈ２Ｃ１ｔ ２、Ｓ［１ＩＣＩ！３．５ＬＣＩ１４
．５ＬＨ３Ｂｒ。
５ＬＨ２Ｂｒｚ、５ｉｌｌＢｒ３．５ＬＢｒｔ 、５Ｌ
Ｈ３１５ＳＬ）１２１２．５ＬＨ１３，５Ｌ）１３（Ｏ
Ｃ１１３）、ＳＬ ８２ （ＯＣＩ！３） ２、Ｓ＝
ＩＩ （ＯＣＨｘ ）３、ＳＬ （ＯＣＩ＋３） ４な
どのシラン化合物または気化性のシラン誘導体、チッ素
、アルゴン、ヘリウムなどの不活性ガス、酸素、水素な
どが用いられる。
Ｈ３１５ＳＬ）１２１２．５ＬＨ１３，５Ｌ）１３（Ｏ
Ｃ１１３）、ＳＬ ８２ （ＯＣＩ！３） ２、Ｓ＝
ＩＩ （ＯＣＨｘ ）３、ＳＬ （ＯＣＩ＋３） ４な
どのシラン化合物または気化性のシラン誘導体、チッ素
、アルゴン、ヘリウムなどの不活性ガス、酸素、水素な
どが用いられる。
かかるシラン化合物または気化性のシラン誘導体、不活
性ガス、酸素、水素などの混合割合は、光ファイバの用
途によって適宜調整して用いられる。該ＳＬ ０２のス
ートをたとえば気相軸付法によって形成せしめるばあい
には、多重管バーナにより上述のＳＬ ０２のスート形
成ガスを所定量流し、火炎加水分解によりコアの外周に
形成せしめることができる。
性ガス、酸素、水素などの混合割合は、光ファイバの用
途によって適宜調整して用いられる。該ＳＬ ０２のス
ートをたとえば気相軸付法によって形成せしめるばあい
には、多重管バーナにより上述のＳＬ ０２のスート形
成ガスを所定量流し、火炎加水分解によりコアの外周に
形成せしめることができる。
コアの外周にＳＬ ０２のスートが形成せられたのち、
さらにその外周にホウ素またはフッ素とホウ素がドープ
されたＳＬ ０２のスートを形成せしめる。
さらにその外周にホウ素またはフッ素とホウ素がドープ
されたＳＬ ０２のスートを形成せしめる。
前記ホウ素またはフッ素とホウ素がドープされたＳＬ
０２のスート形成ガスとしては、上記のようなシラン化
合物または気化性のシラン誘導体、不活性ガス、酸素、
水素などのほが、ホウ素またはフッ素とホウ素のドーパ
ントソースガスが用いられる。
０２のスート形成ガスとしては、上記のようなシラン化
合物または気化性のシラン誘導体、不活性ガス、酸素、
水素などのほが、ホウ素またはフッ素とホウ素のドーパ
ントソースガスが用いられる。
かかるドーパントソースガスとしては、フッ素をドープ
するばあいには、ｃｃＩｓＦｓＣＣＩ２Ｆ２、ＣＣｌＦ
５、ＣＰａなどのフレオン類、ＣＡＰ、（ＪＦ３、Ｂｒ
Ｐなどのフレオン相互の化合物、ＳＰｓ 、Ｆ２、Ｆ２
Ｏ、ＳｉＦ４などが、またホウ素をドープスルはアイニ
ハ、Ｂ１１３、ＢＮ２ Ｃ１、ＢＩＩＣＩ２、ＢＣｌ３
、 ＢＨ２Ｂｒ、ＢＩＩＢｒ２ 、 ＢＢｒ３ 、
ＢＨ２＋。
するばあいには、ｃｃＩｓＦｓＣＣＩ２Ｆ２、ＣＣｌＦ
５、ＣＰａなどのフレオン類、ＣＡＰ、（ＪＦ３、Ｂｒ
Ｐなどのフレオン相互の化合物、ＳＰｓ 、Ｆ２、Ｆ２
Ｏ、ＳｉＦ４などが、またホウ素をドープスルはアイニ
ハ、Ｂ１１３、ＢＮ２ Ｃ１、ＢＩＩＣＩ２、ＢＣｌ３
、 ＢＨ２Ｂｒ、ＢＩＩＢｒ２ 、 ＢＢｒ３ 、
ＢＨ２＋。
Ｂｌｌ １２．８１３などのボランまたは気化性のボラ
ン誘導体が用いられる。また本発明において、フッ素と
ホウ素がドープされた５Ｌｏ２のスートを形成せしめる
ために用いるドーパントソースガスとしては、上記のフ
ッ素化合物ガスおよびホウ索化合物ガスを同時に用いて
もよいが、フッ素とホウ素が同時にスート中にドープさ
れるためには、ドーパントソースガスとしてＢＦ２を用
いるのが好ましい。
ン誘導体が用いられる。また本発明において、フッ素と
ホウ素がドープされた５Ｌｏ２のスートを形成せしめる
ために用いるドーパントソースガスとしては、上記のフ
ッ素化合物ガスおよびホウ索化合物ガスを同時に用いて
もよいが、フッ素とホウ素が同時にスート中にドープさ
れるためには、ドーパントソースガスとしてＢＦ２を用
いるのが好ましい。
また、ドーパントソースガスには、チッ素、アルゴン、
ヘリウムなどの他のガスを混合してもよい。
ヘリウムなどの他のガスを混合してもよい。
かかるホウ素またはフッ素とホウ素がドープされたＳＬ
０２のスート形成ガス、シラン化合物または気化性の
シラン誘導体、不活性ガス、酸素、水素などの混合割合
は、光ファイバの用途によって適宜調整して用いられる
。該ホウ素またはフッ素とホウ素がドープされたＳＬ
０２のスートをたとえば、気相軸付法によって形成せし
めるばあいには、多重管バーナにより上述のホウ素また
はフッ素とホウ素がドープされたＳＬ ０２のスートの
形成ガスを所定量流し、火炎加水分解により、５ＬＯ２
スートの上面に形成せしめることができる。
０２のスート形成ガス、シラン化合物または気化性の
シラン誘導体、不活性ガス、酸素、水素などの混合割合
は、光ファイバの用途によって適宜調整して用いられる
。該ホウ素またはフッ素とホウ素がドープされたＳＬ
０２のスートをたとえば、気相軸付法によって形成せし
めるばあいには、多重管バーナにより上述のホウ素また
はフッ素とホウ素がドープされたＳＬ ０２のスートの
形成ガスを所定量流し、火炎加水分解により、５ＬＯ２
スートの上面に形成せしめることができる。
形成せしめられたホウ素またはフッ素とホウ索がドープ
されたＳＬ ０２のスートの厚さは、えられる光ファイ
バの用途によって異なるが、通常５〜３０關程度となる
ように調整される。
されたＳＬ ０２のスートの厚さは、えられる光ファイ
バの用途によって異なるが、通常５〜３０關程度となる
ように調整される。
かくしてえられる光フアイバコアとスートの複合体を焼
結したばあいはコアとスートとの界面に気泡の発生がな
いので、気泡による著しく大きな光伝送損失の増加を低
減せしめることができる。
結したばあいはコアとスートとの界面に気泡の発生がな
いので、気泡による著しく大きな光伝送損失の増加を低
減せしめることができる。
つぎに本発明を実施例に基づいてさらに詳細′に説明す
るが、本発明はかかる実施例のみに限定されるものでは
ない。
るが、本発明はかかる実施例のみに限定されるものでは
ない。
実施例１
第１図に示される多重管バーナ（１）にＳＬ ＣＩ ４
０．１５ ｆｌ ／ｗｉｎ、 ８２５．ＯＮ ／ｓｉｎ
、 Ａｒ １．２４ ｆｌ ／ｗｉｎおよび０２ ｇ、
５Ｎ ／ｇｉｎを送る一方、多重管バーナ（２）から５
ＬＣＩ４ ０．２５４！ ／ａｋｉｎ％ＢＰｓ ５０ｃ
ｃ／ｓｌｎ％Ａｒ１．４ｊ７ ／１ｎＳ）＋２５．Ｏｊ
！ ／ｍｉｎおよび０２８．５Ｊ７ ／ｌｌ１ｌｎを送
り、外径１ＯｆｉＩ１１の石英ガラスコア（３）を回転
、上昇させながらその表面上にＳＬ ０２のスート（４
）を設け、さらにその外周にフッ素とホウ素とがドープ
されたＳＬ ０２のスート（５）を設けた。
０．１５ ｆｌ ／ｗｉｎ、 ８２５．ＯＮ ／ｓｉｎ
、 Ａｒ １．２４ ｆｌ ／ｗｉｎおよび０２ ｇ、
５Ｎ ／ｇｉｎを送る一方、多重管バーナ（２）から５
ＬＣＩ４ ０．２５４！ ／ａｋｉｎ％ＢＰｓ ５０ｃ
ｃ／ｓｌｎ％Ａｒ１．４ｊ７ ／１ｎＳ）＋２５．Ｏｊ
！ ／ｍｉｎおよび０２８．５Ｊ７ ／ｌｌ１ｌｎを送
り、外径１ＯｆｉＩ１１の石英ガラスコア（３）を回転
、上昇させながらその表面上にＳＬ ０２のスート（４
）を設け、さらにその外周にフッ素とホウ素とがドープ
されたＳＬ ０２のスート（５）を設けた。
ついで上記の光フアイバコアとスートの複合体を約１５
００℃に加熱された電気炉中で、ヘリウム雰囲気下で焼
結を行ない石英系ガラス光ファイバ母材をえた。
００℃に加熱された電気炉中で、ヘリウム雰囲気下で焼
結を行ない石英系ガラス光ファイバ母材をえた。
上記の母材中の気泡の有無およびガラス化状況を目視観
察した。その結果を第１表に示す。
察した。その結果を第１表に示す。
比較例１
石英ガラスコアの外周にＳＬ ０２のスートを設けなか
ったほかは、実施例１と同様にして石英系ガラス光ファ
イバ母材を作製し、母材中の気泡の有無およびガラス化
状況を実施例１と同様にして求めた。その結果を第１表
に示す。
ったほかは、実施例１と同様にして石英系ガラス光ファ
イバ母材を作製し、母材中の気泡の有無およびガラス化
状況を実施例１と同様にして求めた。その結果を第１表
に示す。
［以下余白］
［発明の効果］
本発明の製造方法によってえられた光フアイバ母材には
、コアと、ホウ素またはフッ素とホウ素がドープされた
ＳＬ ０２との界面において、気泡の発生がないので、
かかる気泡による光伝送損失の著しい低下がなく、しか
もフッ素とホウ素がドープされたＳＬ ０２の収縮がな
いのマ、所望の光フアイバ母材をうろことができるとい
う効果を奏する。
、コアと、ホウ素またはフッ素とホウ素がドープされた
ＳＬ ０２との界面において、気泡の発生がないので、
かかる気泡による光伝送損失の著しい低下がなく、しか
もフッ素とホウ素がドープされたＳＬ ０２の収縮がな
いのマ、所望の光フアイバ母材をうろことができるとい
う効果を奏する。
第１図は実施例１および比較例１に用いた光フアイバ母
材の製造工程の説明図を示す。 （図面の主要符号） （１）、（２）：多重管バーナ （３）二石英ガラスコア （４） ： ＳＬ ０２のスート （５）：フッ素とホウ素とがドープされたＳＬ ０２の
スート
材の製造工程の説明図を示す。 （図面の主要符号） （１）、（２）：多重管バーナ （３）二石英ガラスコア （４） ： ＳＬ ０２のスート （５）：フッ素とホウ素とがドープされたＳＬ ０２の
スート
Claims (1)
- １ コアの外周にＳｉＯ＿２のスートを設け、さらにそ
の外周にホウ素またはフッ素とホウ素がドープされたＳ
ｉＯ＿２のスートを設けたのち、焼結することを特徴と
する石英系ガラス光ファイバ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4493886A JPS62202834A (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 石英系ガラス光フアイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4493886A JPS62202834A (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 石英系ガラス光フアイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62202834A true JPS62202834A (ja) | 1987-09-07 |
Family
ID=12705421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4493886A Pending JPS62202834A (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 石英系ガラス光フアイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62202834A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0604785A1 (en) * | 1992-12-28 | 1994-07-06 | Corning Incorporated | Method of making optical waveguide preforms |
-
1986
- 1986-02-28 JP JP4493886A patent/JPS62202834A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0604785A1 (en) * | 1992-12-28 | 1994-07-06 | Corning Incorporated | Method of making optical waveguide preforms |
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