JPS6042242A - 光フアイバ用ガラスの製造方法 - Google Patents
光フアイバ用ガラスの製造方法Info
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- JPS6042242A JPS6042242A JP14664483A JP14664483A JPS6042242A JP S6042242 A JPS6042242 A JP S6042242A JP 14664483 A JP14664483 A JP 14664483A JP 14664483 A JP14664483 A JP 14664483A JP S6042242 A JPS6042242 A JP S6042242A
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- optical fiber
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/06—Doped silica-based glasses
- C03B2201/08—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant
- C03B2201/12—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant doped with fluorine
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- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
を含有した光ファイバ用ガラスを製造する方法に関する
。
。
光フアイバ用ガラスを合成する一般的な方法として、特
開昭5 0−57635号に開示される肉付法が知られ
ている。この肉付法は,第2図にその概略図を示すよう
に,回転する石英ガラス管4内にガラス合成用原料5(
例えばsick4。
開昭5 0−57635号に開示される肉付法が知られ
ている。この肉付法は,第2図にその概略図を示すよう
に,回転する石英ガラス管4内にガラス合成用原料5(
例えばsick4。
BBr, 、GeCl4,PoCl, 、o, fzど
)を導入し、移動する加熱源6にて該石英ガラス管4を
外部か ′ら加熱することによシ,ガラス合成用原料5
を酸化させ、石英ガラス管内壁に合成ガラス層を堆積さ
せ、この後コラプス化して光フアイバ用ガラスを得るも
ので必る。ここで、ガラス合成用原料5には屈折率制御
用ドーパントが含まれるのが普通で6C、この屈折率制
御用ドーパントとしてホウ素(F3)を用いた場合には
、線引きの際のクエンチ等による熱履歴により屈折率が
変化する欠点のあることが判明している。
)を導入し、移動する加熱源6にて該石英ガラス管4を
外部か ′ら加熱することによシ,ガラス合成用原料5
を酸化させ、石英ガラス管内壁に合成ガラス層を堆積さ
せ、この後コラプス化して光フアイバ用ガラスを得るも
ので必る。ここで、ガラス合成用原料5には屈折率制御
用ドーパントが含まれるのが普通で6C、この屈折率制
御用ドーパントとしてホウ素(F3)を用いた場合には
、線引きの際のクエンチ等による熱履歴により屈折率が
変化する欠点のあることが判明している。
そこで、このような欠点のない弗素■を屈折率制御用ド
ーパントとして用いる試みが従来から各種付なわれてい
る。例えば、SFfl,CF,又はSiF4 を屈折率
制御用ドーパントとして使用スル方法( K,Abe,
2nd EuropeanConference 76
。
ーパントとして用いる試みが従来から各種付なわれてい
る。例えば、SFfl,CF,又はSiF4 を屈折率
制御用ドーパントとして使用スル方法( K,Abe,
2nd EuropeanConference 76
。
P2O)るるいはCCIJ*F,、四弗化イオウ、三フ
ン化ホウ素な屈折率制御用ドーパントとして用いる方法
(特開昭5 3−57846号)等が行なわれている。
ン化ホウ素な屈折率制御用ドーパントとして用いる方法
(特開昭5 3−57846号)等が行なわれている。
しかし、これらの方法は合成速度が遅く収率が低いか又
は弗素のドープ歓が不足−するなどの欠点があった。
は弗素のドープ歓が不足−するなどの欠点があった。
その原因は、弗素系ガス(主にフロンガス)が上記肉付
法プロセスでは十分に分解できずに弗素のドーグ量を多
くできないか、又は弗素系ガスをたとえ十分に分解させ
ても、下記(1)式に示すようにSiF、(気相)が生
成し、固相の生成する割合が低下するためと考えられる
。
法プロセスでは十分に分解できずに弗素のドーグ量を多
くできないか、又は弗素系ガスをたとえ十分に分解させ
ても、下記(1)式に示すようにSiF、(気相)が生
成し、固相の生成する割合が低下するためと考えられる
。
3s+c14+2sF’、+2o2.3stp、(幼+
2SOt+6C/z・・・・・・・・・(1) 本発明者らは上記従来方法の欠点を解消し。
2SOt+6C/z・・・・・・・・・(1) 本発明者らは上記従来方法の欠点を解消し。
弗素のドープ陰が十分な元ファイバ用ガラスを収率よく
製造する方法について研究した結果、屈折率制御用ドー
パントとして8iFClm を用いることが適当である
ことを見い出し、本発明を完成するに至った。即ち1本
発明は石英ガラス管内にガラス合成用原料を導入し、移
動する加熱諒にて該石英ガラス管を外部から加熱するこ
とによジ、石英ガラス管内壁に合成ガラス層を堆積させ
て元ファイバ用ガラスを製造する方法において、ガラス
合成用原料として少なくとも81F(Jsを用いること
を特徴とする。
製造する方法について研究した結果、屈折率制御用ドー
パントとして8iFClm を用いることが適当である
ことを見い出し、本発明を完成するに至った。即ち1本
発明は石英ガラス管内にガラス合成用原料を導入し、移
動する加熱諒にて該石英ガラス管を外部から加熱するこ
とによジ、石英ガラス管内壁に合成ガラス層を堆積させ
て元ファイバ用ガラスを製造する方法において、ガラス
合成用原料として少なくとも81F(Jsを用いること
を特徴とする。
以下、本発明を説明する。本発明は、第2図に示される
肉付法(ここでは説明の重複を省く)において、ガラス
合成用原料5として少なくとも5iF(43を用いたも
のであシ、このため合成速度を低下させることなく弗素
をシリカ中に高濃度にドーグできるようになったもので
ある。
肉付法(ここでは説明の重複を省く)において、ガラス
合成用原料5として少なくとも5iF(43を用いたも
のであシ、このため合成速度を低下させることなく弗素
をシリカ中に高濃度にドーグできるようになったもので
ある。
この理由は反応に係わる原子の結合エネルギにより考察
することができる。即ち、本発明で用イルS IFC1
3は、8l−Cz結合(296KJ/moz)が通常の
内封プロセスで容易に切れ、5i−0結合(432KJ
/mol)を形成する一力、5i−F’結合(590K
J/mo 73 )が容易に切れずにそのまま残留する
結映、5I01.IIFの形で同相として堆積する。−
力、これに対し、従来用いられている5iC44,02
及びフロンガス(例えばCF4)が反応すると、活性な
弗素は5i−F 結合を作るために、S i−0結合の
生成確率が低下し、SiF、 。
することができる。即ち、本発明で用イルS IFC1
3は、8l−Cz結合(296KJ/moz)が通常の
内封プロセスで容易に切れ、5i−0結合(432KJ
/mol)を形成する一力、5i−F’結合(590K
J/mo 73 )が容易に切れずにそのまま残留する
結映、5I01.IIFの形で同相として堆積する。−
力、これに対し、従来用いられている5iC44,02
及びフロンガス(例えばCF4)が反応すると、活性な
弗素は5i−F 結合を作るために、S i−0結合の
生成確率が低下し、SiF、 。
5iOF2などの気相分子が成牛し、同相ガラスの生成
針が低下するものと考えられるからである。
針が低下するものと考えられるからである。
又、5i−F−C1系化合物であっても、1分子中に弗
素原子を2個以上もつもの、例えば5iF2Clz。
素原子を2個以上もつもの、例えば5iF2Clz。
SiF、Cl等は反応プロセス中に、S 1OF2 *
S”0.5F3 。
S”0.5F3 。
S iF4 などの分子が形成され易く、この場合にも
同様に固相の核形成が不利であり、弗素の含有されたシ
リカ固相にな漫難い。従って、1分子中に弗素原子を1
個含有するSi 化合物が本発明の目的のためには好ま
しいのである。但し、水素原子を含む化合物、例えばS
1H3F 、 S i (CH30)3F等はガラス
中に水分を残留させることがらり、光ファイバとして使
用するガラスとしては通常好捷しくない。
同様に固相の核形成が不利であり、弗素の含有されたシ
リカ固相にな漫難い。従って、1分子中に弗素原子を1
個含有するSi 化合物が本発明の目的のためには好ま
しいのである。但し、水素原子を含む化合物、例えばS
1H3F 、 S i (CH30)3F等はガラス
中に水分を残留させることがらり、光ファイバとして使
用するガラスとしては通常好捷しくない。
本発明は、ガラス合成用原料として少なくとも5ir(
43を用いるものであシ、他の原料、例えば81C4、
GeC714、PoC7?3. BC13,7o y
カス等を併用することができる。このようにすると、弗
素添加紗を調整することができ、又GeCl4゜poc
、g3.BCl、 を併用した場合には、Fドープガラ
ス、FドーグB、03−8 i02 系ガラスなどを合
成することができる。
43を用いるものであシ、他の原料、例えば81C4、
GeC714、PoC7?3. BC13,7o y
カス等を併用することができる。このようにすると、弗
素添加紗を調整することができ、又GeCl4゜poc
、g3.BCl、 を併用した場合には、Fドープガラ
ス、FドーグB、03−8 i02 系ガラスなどを合
成することができる。
また、本発明は第1図(a)〜(d)に示すマルチモー
ドファイバに限らず、同図(e)及び(f)に示すシン
グルモードファイバにも適用でき、高NA7アイパある
いはイメージファイバ用材料として好適なコアークラッ
ド間の屈折率差の大きなファイバ(例えば同図(b))
を高能率に作ることができ、又、耐放射線特性の良好な
コア部が主として純シリカからなる光ファイバ(同図(
C) (d) (f) )を作ることもできる。
ドファイバに限らず、同図(e)及び(f)に示すシン
グルモードファイバにも適用でき、高NA7アイパある
いはイメージファイバ用材料として好適なコアークラッ
ド間の屈折率差の大きなファイバ(例えば同図(b))
を高能率に作ることができ、又、耐放射線特性の良好な
コア部が主として純シリカからなる光ファイバ(同図(
C) (d) (f) )を作ることもできる。
また、ガラス合成用原料中の5iFC13と他の原料、
例えば5ick、等の混合比を経時的に変化させれば、
屈折率の径方向に変化した光ファイバ(例えば第1図(
a)(C))を作製することができる。尚本発明は肉付
法に適用されるものであるが、変形例として、石英ガラ
ス管の内壁に弗素をドープしたクラッド層を合成した後
、予め準備したガラス棒をコアとして石英ガラス管内に
次に具体的実施例について説明する。
例えば5ick、等の混合比を経時的に変化させれば、
屈折率の径方向に変化した光ファイバ(例えば第1図(
a)(C))を作製することができる。尚本発明は肉付
法に適用されるものであるが、変形例として、石英ガラ
ス管の内壁に弗素をドープしたクラッド層を合成した後
、予め準備したガラス棒をコアとして石英ガラス管内に
次に具体的実施例について説明する。
実施例1
外径2011肉厚1.7語の石英ガラス管を59 rp
mで回転させ、ガラス合成用原料として表1−■に示す
構成のガスを用い、石英ガラス管外を1Qca/分で移
動する酸水素バーナにて加熱し、管外壁@度を約140
0℃とした。約5時間後、siF’c13の魯の導入を
停止しS i C14及び02のみをそのまま導入し、
純5in2@堆積させた。その後、これらガラス原料の
導入を停止し、バーナの火力を上げコラプス化した。こ
の母材を線引し、ファイバ化したところ、第1図(f)
に示す屈折率分布のシングルモードファイバが得られた
。この結束を表1に併せて示すように収率(8iベース
)%が50%と高く、コアークラッド間の屈折率差が0
.3%と太きかった。又1.3μmの波長における吸収
損失はQ、5dB/kmであった。
mで回転させ、ガラス合成用原料として表1−■に示す
構成のガスを用い、石英ガラス管外を1Qca/分で移
動する酸水素バーナにて加熱し、管外壁@度を約140
0℃とした。約5時間後、siF’c13の魯の導入を
停止しS i C14及び02のみをそのまま導入し、
純5in2@堆積させた。その後、これらガラス原料の
導入を停止し、バーナの火力を上げコラプス化した。こ
の母材を線引し、ファイバ化したところ、第1図(f)
に示す屈折率分布のシングルモードファイバが得られた
。この結束を表1に併せて示すように収率(8iベース
)%が50%と高く、コアークラッド間の屈折率差が0
.3%と太きかった。又1.3μmの波長における吸収
損失はQ、5dB/kmであった。
実施例2
表1−■及び■に示すガラス合成用原料を用いた本実施
例L、表1−■■に示すガラス合成用原料を用いた比較
例とに実施例1と同様な操作を適用し、光ファイバを得
た。この結束を表1に併せて示す。同表の結果から明ら
かなように、本実施例の力が比較例に比べ屈折率値が大
きく(このことは弗素が高濃度にドープされたことを示
している4 )、しかも収率が高かった1、以上、実施
例に基づいて具体的に説明したように、本発明は弗素を
高濃度にドーグした光フアイバ用ガラスを収率よ〈製造
することができる。
例L、表1−■■に示すガラス合成用原料を用いた比較
例とに実施例1と同様な操作を適用し、光ファイバを得
た。この結束を表1に併せて示す。同表の結果から明ら
かなように、本実施例の力が比較例に比べ屈折率値が大
きく(このことは弗素が高濃度にドープされたことを示
している4 )、しかも収率が高かった1、以上、実施
例に基づいて具体的に説明したように、本発明は弗素を
高濃度にドーグした光フアイバ用ガラスを収率よ〈製造
することができる。
第1図(a) (t)) (C) (d) (e) (
f)は各々本発明で得られる典型的な元ファイバの屈折
率分布例を示すグラフ、第2図は肉付法、を説明するた
めの説明図である。 図面中、 1はコア、 2はクランド、 3はジャケット(石英ガラス)、 4は石英ガラス管、 5はガラス合成用原料、 6は加熱源である。 特許出願人 住友電気工業株式会社
f)は各々本発明で得られる典型的な元ファイバの屈折
率分布例を示すグラフ、第2図は肉付法、を説明するた
めの説明図である。 図面中、 1はコア、 2はクランド、 3はジャケット(石英ガラス)、 4は石英ガラス管、 5はガラス合成用原料、 6は加熱源である。 特許出願人 住友電気工業株式会社
Claims (1)
- 石英ガラス管内にガラス合成用原料を導入し、移動する
加熱源にて該石英ガラス管を外部から加熱することによ
り、石英ガラス管内壁に合成ガラス層を堆積させて光フ
アイバ用ガラスを製造する方法において、ガラス合成用
原料として少なくとも5ipc13 を用いることを特
徴とする光フアイバ用ガラスの製造方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14664483A JPS6042242A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 光フアイバ用ガラスの製造方法 |
KR8404539A KR870000384B1 (en) | 1983-08-12 | 1984-07-31 | Prepration for making of fiber glass |
AU31768/84A AU564841B2 (en) | 1983-08-12 | 1984-08-09 | Optical fibre manufacture |
DK389084A DK158719C (da) | 1983-08-12 | 1984-08-10 | Fremgangsmaade til fremstilling af formemneroer til optiske fibre |
DE8484109545T DE3467152D1 (en) | 1983-08-12 | 1984-08-10 | Preparation of glass for optical fibers |
EP19840109545 EP0135126B1 (en) | 1983-08-12 | 1984-08-10 | Preparation of glass for optical fibers |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14664483A JPS6042242A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 光フアイバ用ガラスの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6042242A true JPS6042242A (ja) | 1985-03-06 |
Family
ID=15412386
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14664483A Pending JPS6042242A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 光フアイバ用ガラスの製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0135126B1 (ja) |
JP (1) | JPS6042242A (ja) |
KR (1) | KR870000384B1 (ja) |
AU (1) | AU564841B2 (ja) |
DE (1) | DE3467152D1 (ja) |
DK (1) | DK158719C (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63242941A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-07 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバ用母材の製造方法 |
JP2008305653A (ja) * | 2007-06-07 | 2008-12-18 | Calsonic Kansei Corp | 多方向操作スイッチ |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU569757B2 (en) * | 1983-10-19 | 1988-02-18 | Nippon Telegraph & Telephone Corporation | Optical fibre preform manufacture |
FR2576693B1 (fr) * | 1985-01-30 | 1989-02-17 | Comp Generale Electricite | Procede de fabrication d'un composant optique a gradient d'indice de refraction |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4161505A (en) * | 1972-11-25 | 1979-07-17 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Process for producing optical transmission fiber |
US4162908A (en) * | 1975-08-16 | 1979-07-31 | Heraeus Quarzschmelze Gmbh | Method of producing synthetic quartz glass, apparatus for the practice of the method, and use of the synthetic quartz glass |
DE3031147A1 (de) * | 1980-08-18 | 1982-03-18 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zum herstellen von glas mit einem vorbestimmten brechzahlprofil und alkalifreies glas aus einem oxis eines grundstoffes, das mit einem oder mehreren weiteren stoffen dotiert ist |
-
1983
- 1983-08-12 JP JP14664483A patent/JPS6042242A/ja active Pending
-
1984
- 1984-07-31 KR KR8404539A patent/KR870000384B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1984-08-09 AU AU31768/84A patent/AU564841B2/en not_active Ceased
- 1984-08-10 DK DK389084A patent/DK158719C/da not_active IP Right Cessation
- 1984-08-10 EP EP19840109545 patent/EP0135126B1/en not_active Expired
- 1984-08-10 DE DE8484109545T patent/DE3467152D1/de not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63242941A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-07 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバ用母材の製造方法 |
JP2008305653A (ja) * | 2007-06-07 | 2008-12-18 | Calsonic Kansei Corp | 多方向操作スイッチ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DK158719B (da) | 1990-07-09 |
EP0135126A1 (en) | 1985-03-27 |
DE3467152D1 (en) | 1987-12-10 |
AU3176884A (en) | 1985-02-14 |
KR870000384B1 (en) | 1987-03-07 |
DK389084D0 (da) | 1984-08-10 |
AU564841B2 (en) | 1987-08-27 |
DK389084A (da) | 1985-02-13 |
EP0135126B1 (en) | 1987-11-04 |
DK158719C (da) | 1990-12-10 |
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