JPS6042242A - 光フアイバ用ガラスの製造方法 - Google Patents

光フアイバ用ガラスの製造方法

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JPS6042242A
JPS6042242A JP14664483A JP14664483A JPS6042242A JP S6042242 A JPS6042242 A JP S6042242A JP 14664483 A JP14664483 A JP 14664483A JP 14664483 A JP14664483 A JP 14664483A JP S6042242 A JPS6042242 A JP S6042242A
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JP
Japan
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glass
optical fiber
pipe
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refractive index
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JP14664483A
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Hiroshi Shinba
榛葉 弘
Gotaro Tanaka
豪太郎 田中
Hiroshi Yokota
弘 横田
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Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C03B37/01807Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00Type of glass produced
    • C03B2201/06Doped silica-based glasses
    • C03B2201/08Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant
    • C03B2201/12Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant doped with fluorine

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 を含有した光ファイバ用ガラスを製造する方法に関する
光フアイバ用ガラスを合成する一般的な方法として、特
開昭5 0−57635号に開示される肉付法が知られ
ている。この肉付法は,第2図にその概略図を示すよう
に,回転する石英ガラス管4内にガラス合成用原料5(
例えばsick4。
BBr, 、GeCl4,PoCl, 、o, fzど
)を導入し、移動する加熱源6にて該石英ガラス管4を
外部か ′ら加熱することによシ,ガラス合成用原料5
を酸化させ、石英ガラス管内壁に合成ガラス層を堆積さ
せ、この後コラプス化して光フアイバ用ガラスを得るも
ので必る。ここで、ガラス合成用原料5には屈折率制御
用ドーパントが含まれるのが普通で6C、この屈折率制
御用ドーパントとしてホウ素(F3)を用いた場合には
、線引きの際のクエンチ等による熱履歴により屈折率が
変化する欠点のあることが判明している。
そこで、このような欠点のない弗素■を屈折率制御用ド
ーパントとして用いる試みが従来から各種付なわれてい
る。例えば、SFfl,CF,又はSiF4 を屈折率
制御用ドーパントとして使用スル方法( K,Abe,
2nd EuropeanConference 76
P2O)るるいはCCIJ*F,、四弗化イオウ、三フ
ン化ホウ素な屈折率制御用ドーパントとして用いる方法
(特開昭5 3−57846号)等が行なわれている。
しかし、これらの方法は合成速度が遅く収率が低いか又
は弗素のドープ歓が不足−するなどの欠点があった。
その原因は、弗素系ガス(主にフロンガス)が上記肉付
法プロセスでは十分に分解できずに弗素のドーグ量を多
くできないか、又は弗素系ガスをたとえ十分に分解させ
ても、下記(1)式に示すようにSiF、(気相)が生
成し、固相の生成する割合が低下するためと考えられる
3s+c14+2sF’、+2o2.3stp、(幼+
2SOt+6C/z・・・・・・・・・(1) 本発明者らは上記従来方法の欠点を解消し。
弗素のドープ陰が十分な元ファイバ用ガラスを収率よく
製造する方法について研究した結果、屈折率制御用ドー
パントとして8iFClm を用いることが適当である
ことを見い出し、本発明を完成するに至った。即ち1本
発明は石英ガラス管内にガラス合成用原料を導入し、移
動する加熱諒にて該石英ガラス管を外部から加熱するこ
とによジ、石英ガラス管内壁に合成ガラス層を堆積させ
て元ファイバ用ガラスを製造する方法において、ガラス
合成用原料として少なくとも81F(Jsを用いること
を特徴とする。
以下、本発明を説明する。本発明は、第2図に示される
肉付法(ここでは説明の重複を省く)において、ガラス
合成用原料5として少なくとも5iF(43を用いたも
のであシ、このため合成速度を低下させることなく弗素
をシリカ中に高濃度にドーグできるようになったもので
ある。
この理由は反応に係わる原子の結合エネルギにより考察
することができる。即ち、本発明で用イルS IFC1
3は、8l−Cz結合(296KJ/moz)が通常の
内封プロセスで容易に切れ、5i−0結合(432KJ
/mol)を形成する一力、5i−F’結合(590K
J/mo 73 )が容易に切れずにそのまま残留する
結映、5I01.IIFの形で同相として堆積する。−
力、これに対し、従来用いられている5iC44,02
及びフロンガス(例えばCF4)が反応すると、活性な
弗素は5i−F 結合を作るために、S i−0結合の
生成確率が低下し、SiF、 。
5iOF2などの気相分子が成牛し、同相ガラスの生成
針が低下するものと考えられるからである。
又、5i−F−C1系化合物であっても、1分子中に弗
素原子を2個以上もつもの、例えば5iF2Clz。
SiF、Cl等は反応プロセス中に、S 1OF2 *
S”0.5F3 。
S iF4 などの分子が形成され易く、この場合にも
同様に固相の核形成が不利であり、弗素の含有されたシ
リカ固相にな漫難い。従って、1分子中に弗素原子を1
個含有するSi 化合物が本発明の目的のためには好ま
しいのである。但し、水素原子を含む化合物、例えばS
 1H3F 、 S i (CH30)3F等はガラス
中に水分を残留させることがらり、光ファイバとして使
用するガラスとしては通常好捷しくない。
本発明は、ガラス合成用原料として少なくとも5ir(
43を用いるものであシ、他の原料、例えば81C4、
GeC714、PoC7?3. BC13,7o y 
カス等を併用することができる。このようにすると、弗
素添加紗を調整することができ、又GeCl4゜poc
、g3.BCl、 を併用した場合には、Fドープガラ
ス、FドーグB、03−8 i02 系ガラスなどを合
成することができる。
また、本発明は第1図(a)〜(d)に示すマルチモー
ドファイバに限らず、同図(e)及び(f)に示すシン
グルモードファイバにも適用でき、高NA7アイパある
いはイメージファイバ用材料として好適なコアークラッ
ド間の屈折率差の大きなファイバ(例えば同図(b))
を高能率に作ることができ、又、耐放射線特性の良好な
コア部が主として純シリカからなる光ファイバ(同図(
C) (d) (f) )を作ることもできる。
また、ガラス合成用原料中の5iFC13と他の原料、
例えば5ick、等の混合比を経時的に変化させれば、
屈折率の径方向に変化した光ファイバ(例えば第1図(
a)(C))を作製することができる。尚本発明は肉付
法に適用されるものであるが、変形例として、石英ガラ
ス管の内壁に弗素をドープしたクラッド層を合成した後
、予め準備したガラス棒をコアとして石英ガラス管内に
次に具体的実施例について説明する。
実施例1 外径2011肉厚1.7語の石英ガラス管を59 rp
mで回転させ、ガラス合成用原料として表1−■に示す
構成のガスを用い、石英ガラス管外を1Qca/分で移
動する酸水素バーナにて加熱し、管外壁@度を約140
0℃とした。約5時間後、siF’c13の魯の導入を
停止しS i C14及び02のみをそのまま導入し、
純5in2@堆積させた。その後、これらガラス原料の
導入を停止し、バーナの火力を上げコラプス化した。こ
の母材を線引し、ファイバ化したところ、第1図(f)
に示す屈折率分布のシングルモードファイバが得られた
。この結束を表1に併せて示すように収率(8iベース
)%が50%と高く、コアークラッド間の屈折率差が0
.3%と太きかった。又1.3μmの波長における吸収
損失はQ、5dB/kmであった。
実施例2 表1−■及び■に示すガラス合成用原料を用いた本実施
例L、表1−■■に示すガラス合成用原料を用いた比較
例とに実施例1と同様な操作を適用し、光ファイバを得
た。この結束を表1に併せて示す。同表の結果から明ら
かなように、本実施例の力が比較例に比べ屈折率値が大
きく(このことは弗素が高濃度にドープされたことを示
している4 )、しかも収率が高かった1、以上、実施
例に基づいて具体的に説明したように、本発明は弗素を
高濃度にドーグした光フアイバ用ガラスを収率よ〈製造
することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図(a) (t)) (C) (d) (e) (
f)は各々本発明で得られる典型的な元ファイバの屈折
率分布例を示すグラフ、第2図は肉付法、を説明するた
めの説明図である。 図面中、 1はコア、 2はクランド、 3はジャケット(石英ガラス)、 4は石英ガラス管、 5はガラス合成用原料、 6は加熱源である。 特許出願人 住友電気工業株式会社

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 石英ガラス管内にガラス合成用原料を導入し、移動する
    加熱源にて該石英ガラス管を外部から加熱することによ
    り、石英ガラス管内壁に合成ガラス層を堆積させて光フ
    アイバ用ガラスを製造する方法において、ガラス合成用
    原料として少なくとも5ipc13 を用いることを特
    徴とする光フアイバ用ガラスの製造方法。
JP14664483A 1983-08-12 1983-08-12 光フアイバ用ガラスの製造方法 Pending JPS6042242A (ja)

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KR8404539A KR870000384B1 (en) 1983-08-12 1984-07-31 Prepration for making of fiber glass
AU31768/84A AU564841B2 (en) 1983-08-12 1984-08-09 Optical fibre manufacture
DK389084A DK158719C (da) 1983-08-12 1984-08-10 Fremgangsmaade til fremstilling af formemneroer til optiske fibre
DE8484109545T DE3467152D1 (en) 1983-08-12 1984-08-10 Preparation of glass for optical fibers
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DK158719B (da) 1990-07-09
EP0135126A1 (en) 1985-03-27
DE3467152D1 (en) 1987-12-10
AU3176884A (en) 1985-02-14
KR870000384B1 (en) 1987-03-07
DK389084D0 (da) 1984-08-10
AU564841B2 (en) 1987-08-27
DK389084A (da) 1985-02-13
EP0135126B1 (en) 1987-11-04
DK158719C (da) 1990-12-10

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