JPS62197708A - 画像計測方法 - Google Patents

画像計測方法

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JPS62197708A
JPS62197708A JP3911486A JP3911486A JPS62197708A JP S62197708 A JPS62197708 A JP S62197708A JP 3911486 A JP3911486 A JP 3911486A JP 3911486 A JP3911486 A JP 3911486A JP S62197708 A JPS62197708 A JP S62197708A
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JP
Japan
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image
camera
measured
light
specimen
Prior art date
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Pending
Application number
JP3911486A
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English (en)
Inventor
Haruo Sugiyama
杉山 春夫
Masaichi Sato
政一 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、複数の照射光により被画定物の投影像を生じ
させ、この投影像を撮像することにより被測定物の犬ぎ
さ等の形状を計測するIf!Li+i計副方法に関する
〔発明の技術的背景とその問題点〕
従来1例えば被測定物の大きさ等を計測する方法として
は、欠に説明する(球な手法が用いられていた。
即ち、第2図に示す如く被測定物人に例えば平面状光源
B、C等を用いて二方向から光を照射し。
これによって生ずる二つの投影像を各々テレビカメラD
、E等により撮像した後、この撮像した画像を以下に述
べる機能等を有する既存の画像処理演算機に入力してそ
の形状等を計測するものである。
画像処理演算機としては例えば、各撮像素子の出力侶号
を2値化回路等のA/D変換器により2値化する機能と
、心安に応じて各撮像素子による撮像の範囲を各々ウィ
ンドウ設定回路等のwL像範囲設定手段で設定し、この
範囲内にあるトiiJ述の21jf化された出力(i号
のパルス幅の上限f1M及び下限(+iを周期的なりロ
ツクイg号と比較し、この出力信号を′@算処理する機
能を備えるものである、以上の様に多方向から投影像を
撮像すれは、被測定物を立体的に計測できる。
しかしながら、被測定物が光反射性の犬p%・例えば金
:・4体や白色物体の様な試料であつγこ場合には、同
図に矢線で示す様に、この被測定物によって反射された
反射光が、異なった位置に生ずる投影像に映り込んでい
た。つまり、1つの投影像を生じさせる照射光が被測定
物により反射されて。
この反射光が、別の方向から照射光が照射されて生じる
投影像に輝線または明るい面として混ざり。
この投影像が直接撮像されてしまうという支障があった
。つまり、前述の様に反射光の影響を受けているために
測定誤差となり、被測定物の大きさ等、形状が正確に計
測できないという問題があった。
〔発明の目的〕
本発明は、異なった波長域を有する複数の照射光によっ
て、被dlす定物を照射し、これによって生じる投V/
像を各々の照射光と対応した波長域で撮像することによ
り、光反射性の大きい被測定物でもその形状を正確に計
測できる画像計測方法を提供することを目的とする。
〔発明の概要〕 本発明は、互いに交差する複数の照射光により被測定物
を照射して生ずる複数の投影像を撮像して被測定物の形
状を計測する画像計測方法であって、異なった波長域を
有する照射光により被測定物を照射すると共に、投影像
を各々の照射光と対応した波長域で撮像するので、被照
射物によって反射された反射光を撮像することがなく、
そのため被照射物の形状が正確に計測できる画像計測方
法を提供する。
〔発明の実施例〕
本発明に係る画像計測方法の実施例を以下に図面を用い
て詳細に説明する。
本実施例の画像計測方法を概略的に第1図に示し、これ
を用いて説明する。
つまり、被測定物人を立体的に計測するために。
本実施例では2組の平面状光源B、Cとこの光源B、C
によって照射されて生ずる投影+&を撮像するテレビカ
メラD、Eを配置する。ここで、各々の光源B、Cはハ
ロゲン電球であって被測定物AK向かつて照射光を照射
するべく配置されており。
換言すれば各々の照射光は被測定物Aで交差している。
またテレビカメラDは光源Bと被測定物Aを結ぶ延長線
上に位置し、光源Bによる投影像な撮像できる位1鉦に
配置されている。同様にテレビカメラEは、光源Cの照
射光による被測定物人の投影像を撮像できる位置に配置
されている。
またさらに、光源Bと被測定物Aとの間には。
光源Bから発される照射光の波長を選択する例えば長波
長例を遮断し短波長例を透過する色フィルタFB (通
常青色フィルタと叶ばれる)を配置させ。
また被測定物AとテレビカメラDとの間にもこの色フィ
ルタFBと同一の分光特性を有する色フィルタF”Bが
配置されている。
一方、光源Cと被測定物Aとの間及び仮測定物Aとテレ
ビカメラEとの間には、前述の色フイルタ−FBと異な
った波長を選択する色フィルタが設けられている。具体
的に本実施例では長波長側を透過させ短波長側を遮断す
る色フィルタFR(通常赤色フィルタと呼ばれる)を配
置している。
つまり、被測定物と光源との間、及び被測定物とテレビ
カメラとの間には、各々対応した波長域を選択する色フ
ィルタが設けられている。また他の光源と被測定物との
間には前述の波長域と皿ならない分光特性を有する照射
光が発せられる様な色フィルタが設けられ、同様に、被
測定物とテレビカメラとの間にも同じ色フィルタが設け
られている。
上記の如く、光源0色フィルタ、テレビカメラを配置さ
ぜた後1次の様な方法により、仮測定物Aを計測する。
即ち、2つの光源13.Cを点灯させて、被測定物AK
照射光を照射させる。ここで、光源Bかも発せられた光
のうち、短波長側の光は巳フィルタFBを透過した後、
被測定物Aに全る。その後、テレビカメラDの前に置か
れた色フィルタFBを透過して、テレビカメラDに到達
する。このに’JL *測定物に応じた影がテレビカメ
ラDによりnrr 像されろ。一方、光源Cから発せら
れた元も同様に。
長波長側の光が色フィルタFRを透過し、被測定物Aに
至った後1色フィルタPRを透過して、テレビカメラE
により撮像される。
以上の様に撮像された投影像を電気的に処理する場合は
1例えば既存の画像処理演算機等に出力されて、所望の
演算結果が得られる。
つまり1例えば各撮像索子から出力されたアナログ信号
は1画イま処理演4機内部で2値化される。
しかる後、ウィンドウ設定回路で設定された撮像範囲内
にある前述の2値化信号のパルス幅の上限値及び下限値
を周期的に発生されたクロック係号と比較演算して、被
測定物の形状を計測する。
ここで、第1図に矢線で示す被測定物Aの反射光につい
て考える。例えば光源Bから発され0色フィルタFBを
透過して、被測定物AK至った照射光が、テレビカメラ
E方向に反射散乱された照射光について着目する。この
場合、前述の照射光は。
色フィルタFBを透過しているので、それは短波長成分
のみを有する光である。これに対し、テレビカメラEの
前に設けられている色フィルタFRは。
その光学特性上、長波長のみを透過させるものであるの
で、短波長の照射光は透過できない。従って、テレビカ
メラEに入射、撮像されることはない。これと同じくし
て、光源Cかも発せられ9色フィルタFRを透過した照
射光が被fill定物Aに反射、散乱されても、テレビ
カメラDの前に設けられた色フィルタFBを透過するこ
とはない。
つまり、上記の如き理由により、1つの投影像を生じさ
せる照射光が、被測定物に反射されて。
この反射光が別の方向から照射光が照射されて混ざり、
この混ざり合った投影像が直接轡像されてしまうという
支障が解消される。したがって、各々のテレビカメラは
0名々対応する照射光によって照射された投影像のみを
撮像できるので、被測定物の大きさ等、形状が正確に計
測できる以上の実施例においては、各々の光源及びテレ
ビカメラの前に0色フィルタFB 、 FR(青色フィ
ルタ、赤色フィルタ)を設置lさせて、具体的には青緑
及び赤色の照射光を用いているが1本発明はこれに限ら
れることなく、−万の照射光が、対応するカメラに充分
感度があり、対応しない他方のカメラには感度がなく暗
黒であれば良い。したがって、緑光と近赤外光、紫外光
と赤外光等の照射光としでも良い。ただし、撮像される
照射光の強度が強い程、カメラのS/N比は向上して鮮
明になるので、被照射光の分光分布が重ならず、しかも
近接する波長域を選定することが好ましい。またさらに
は、各々の被照射光の分光分布が広範囲に亘るものが好
ましく、このため分光通過特性が略台形状を有する多層
膜干渉フィルタと0色フィルタとの併用などが適してい
る。
また、光源について首えは、カメラとフィルタとの徂合
せによって得られる分光感度に最も有効な波役域の光を
発光するものが選定されるが0代表的には1本笑施例で
示したノ・ロゲンランプの他短波長11111に用いろ
ものとして水銀ラング、長波長9111 K用いられる
ものとして高圧ナトリウムランプ等既存の光源を用いる
ことができる。ここで、被測定物が光σ江の有効照射面
値に比べて相対的に犬ぎい場合には光源と被測定物との
曲に例えは、アクリル板等の拡散透過板を配置させるこ
と等の手法も採れる。
また、被測定物としては、照射光によって投影像が生ず
るものであれば任意に選択でざる。例えば、製造ライン
中で組立てられる部品の形状検査等に適用し、さらに画
像処理演算機と既存のりジエクト装置とを結合すること
によって、不適当な部品をラインから排除させることも
可能であり。
この様な構成とすると、製品の生g7性が向上する。
さらに投影像を撮像するカメラは、実施列中に示したテ
レビカメラに固執する必要はなく0例えば光学式カメラ
、固体撮像素子咎を任意に剥板することができる。
またさらには、実施例では2つの照射光を用いて被測定
物の形状を計測して℃・るか、計測索伸。
被測定物の形状等に応じて例えば3つの照射光によって
3つの投影1(を生じさせ、これらを惨敗しても良い。
ここで1例えば1つの光源を反射板。
プリズム等を用いて3元路に分配させて?M奴の照射光
を作り出しても良い。
また0以上の実施例においては、テレビカメラの受光面
に投影された投影像を直接慢1家しているが9例えば、
被測定物にテレビカメラの焦点を合わせて、被測定物の
投影像を陽像してもよい。また1例えば白色のスクリー
ン等に投影した投影像をテレビカメラによってmf&し
℃も14℃・0〔発明の効果〕 本発明に依れば。異なった波長域を有する複数の照射光
によって被測定物に照射し、これによって生ずる投影像
を各々の照射光と対応した波長域で撮像−(るので、被
6)11定物に反射された反射光による計6111誤差
をT@消でき、七〇帖果被測定物の形状な圧締に計測で
ざる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を模式的に描く概略図。 第2図は従来の画像計測方法を模式的に描く概略図。 である。 A・・・・・・被測定物、    [3、C・・・・・
・光臨。 1〕、E・・・・・・カメラ、FB・・・・・・青色フ
ィルタFR・・・・・赤色フィルタ 第1図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 互いに交差する複数の照射光により被測定物を照射して
    生ずる複数の投影像を撮像して前記被測定物の形状を計
    測する画像計測方法において、異なつた波長域を有する
    前記照射光により前記被測定物を照射すると共に、前記
    投影像を各々の前記照射光と対応した波長域で撮像する
    ことを特徴とする画像計測方法。
JP3911486A 1986-02-26 1986-02-26 画像計測方法 Pending JPS62197708A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3911486A JPS62197708A (ja) 1986-02-26 1986-02-26 画像計測方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3911486A JPS62197708A (ja) 1986-02-26 1986-02-26 画像計測方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62197708A true JPS62197708A (ja) 1987-09-01

Family

ID=12544050

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3911486A Pending JPS62197708A (ja) 1986-02-26 1986-02-26 画像計測方法

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JP (1) JPS62197708A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02300608A (ja) * 1989-05-16 1990-12-12 O G Joho Syst Kk 3次元形状計測装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH02300608A (ja) * 1989-05-16 1990-12-12 O G Joho Syst Kk 3次元形状計測装置

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