JPS62197354A - 炭化ケイ素焼結体の製造方法 - Google Patents
炭化ケイ素焼結体の製造方法Info
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- JPS62197354A JPS62197354A JP61039023A JP3902386A JPS62197354A JP S62197354 A JPS62197354 A JP S62197354A JP 61039023 A JP61039023 A JP 61039023A JP 3902386 A JP3902386 A JP 3902386A JP S62197354 A JPS62197354 A JP S62197354A
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- silicon carbide
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- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 36
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims description 29
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 8
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 8
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 7
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 8
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000013001 point bending Methods 0.000 description 2
- 229910020323 ClF3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 101100441092 Danio rerio crlf3 gene Proteins 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- -1 for example Chemical compound 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- JOHWNGGYGAVMGU-UHFFFAOYSA-N trifluorochlorine Chemical compound FCl(F)F JOHWNGGYGAVMGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は炭化ケイ素焼結体の製造方法に係りより詳しく
述べると、β型にα型を7〜40wt%含む炭化ケイ素
原料粉末を焼成して高強度炭化ケイ素焼結体を製造する
方法に関する。
述べると、β型にα型を7〜40wt%含む炭化ケイ素
原料粉末を焼成して高強度炭化ケイ素焼結体を製造する
方法に関する。
炭化ケイ素焼結体は高温強度が非常に優れているので自
動車エンジン部品、ガスタービン部品などの用途に有望
視され、開発が進められている。
動車エンジン部品、ガスタービン部品などの用途に有望
視され、開発が進められている。
典型的な炭化ケイ素焼結体は、炭化ケイ素粉末に炭素お
よびホウ素などの焼結助剤を添加し、加圧成形法、さら
には鋳込成形法、射出成形法等により成形後、不活性雰
囲気下、−C的には1800〜2200℃の温度で焼成
して製造される。
よびホウ素などの焼結助剤を添加し、加圧成形法、さら
には鋳込成形法、射出成形法等により成形後、不活性雰
囲気下、−C的には1800〜2200℃の温度で焼成
して製造される。
このような炭化ケイ素焼結体の製造では一般に、β型炭
化ケイ素のみ、あるいはβ型炭化ケイ素を主としてα型
炭化ケイ素を0.05〜5.0wt%含む原料粉末が用
いられ、約80 kg / am ”の高強度が得られ
る。
化ケイ素のみ、あるいはβ型炭化ケイ素を主としてα型
炭化ケイ素を0.05〜5.0wt%含む原料粉末が用
いられ、約80 kg / am ”の高強度が得られ
る。
また、α型炭化ケイ素のみ、あるいはα型炭化ケイ素を
主としてβ型炭化ケイ素を50wt%以下含む原料粉末
を用いると、強度が低下するが(50kg/112)、
上記のβ型炭化ケイ素のみあるいはそれを主とする場合
よりも焼成条件が容易になり、大型の製品が安定して作
成できることが知られている。
主としてβ型炭化ケイ素を50wt%以下含む原料粉末
を用いると、強度が低下するが(50kg/112)、
上記のβ型炭化ケイ素のみあるいはそれを主とする場合
よりも焼成条件が容易になり、大型の製品が安定して作
成できることが知られている。
しかしながら、β型炭化ケイ素粉末を用いて高強度の炭
化ケイ素製品を得るためには、厳しく管理された製造条
件が要求される。高強度を得るにはち密で微細な板状粒
子と等軸粒子の複合組織が必要であるが、出発原料のβ
型炭化ケイ素粉末は等軸粒子であるが焼成時に板状粒子
に変化し、さらに大きい粒子になり易いので、製造条件
を厳しく管理する必要があるのである。
化ケイ素製品を得るためには、厳しく管理された製造条
件が要求される。高強度を得るにはち密で微細な板状粒
子と等軸粒子の複合組織が必要であるが、出発原料のβ
型炭化ケイ素粉末は等軸粒子であるが焼成時に板状粒子
に変化し、さらに大きい粒子になり易いので、製造条件
を厳しく管理する必要があるのである。
本発明は、上記の如き問題点を解決するために、出発原
料としてβ型炭化ケイ素粉末60〜93wt%とα型炭
化ケイ素粉末7〜40wt%からなり適当な焼結助剤を
添加したものを用いるものである。
料としてβ型炭化ケイ素粉末60〜93wt%とα型炭
化ケイ素粉末7〜40wt%からなり適当な焼結助剤を
添加したものを用いるものである。
これによって、その混粉品を成形し、焼成すると、10
μm以下の微細なβ型から生成する平板粒とα型から生
成する等軸粒の複合組織からなる炭化ケイ素焼結体が得
られ、高強度焼結体がより簡単な製造条件下で製造され
る。
μm以下の微細なβ型から生成する平板粒とα型から生
成する等軸粒の複合組織からなる炭化ケイ素焼結体が得
られ、高強度焼結体がより簡単な製造条件下で製造され
る。
β型が95wt%を越えると、前述のように、高強度の
焼結体を得ることは可能であるが、製造条件が厳しく、
製造が安定しない。また、60wt%より少ないと高強
度の焼結体が得られない。
焼結体を得ることは可能であるが、製造条件が厳しく、
製造が安定しない。また、60wt%より少ないと高強
度の焼結体が得られない。
用いるβ型およびα型の炭化ケイ素粉末の粒度はそれぞ
れサブミクロン(1,0μm以下)であることが、焼結
性および高強度品を得るために望ましい。焼結助剤とし
ては、従来炭化ケイ素の焼結助剤として提案されている
焼結助剤を使用でき、例えば、ホウ素、アルミニウム、
ベリリウム、炭素等が代表的である。焼結助剤の量は特
に限定されないが、一般的には、炭化ケイ素100重量
部に対して合計1.0〜5.0重量部程度であり、例え
ば、ホウ素、0.3〜1.5wt%と炭素0.5〜3.
0wt%の組合せは代表的である。
れサブミクロン(1,0μm以下)であることが、焼結
性および高強度品を得るために望ましい。焼結助剤とし
ては、従来炭化ケイ素の焼結助剤として提案されている
焼結助剤を使用でき、例えば、ホウ素、アルミニウム、
ベリリウム、炭素等が代表的である。焼結助剤の量は特
に限定されないが、一般的には、炭化ケイ素100重量
部に対して合計1.0〜5.0重量部程度であり、例え
ば、ホウ素、0.3〜1.5wt%と炭素0.5〜3.
0wt%の組合せは代表的である。
成形および焼成は慣用の手法に従えばよい。
明確ではないが、添加したα型炭化ケイ素がβ型炭化ケ
イ素の粒成長を抑制し、組織の粗粒化を防止するために
、高強度で均質な焼結体が節単に安定して得られるもの
と考えられる。
イ素の粒成長を抑制し、組織の粗粒化を防止するために
、高強度で均質な焼結体が節単に安定して得られるもの
と考えられる。
β−3iC粉末としてイビデン社のベーターランダムウ
ルトラファイン(平均粒径0.3μm)、α−3iC粉
末として昭和電工のデンジ7クウルトラフアインを(平
均粒径0.6μm)用い、表1゛に記載した比率でボー
ルミル混合した。その際、焼結助剤としてアモルファス
ホウ素を0.5wt%、カーボンブランク1.0wt%
添加した。又表1の各々についてβ−3iC原料ロフト
A、B、Cを用いた。
ルトラファイン(平均粒径0.3μm)、α−3iC粉
末として昭和電工のデンジ7クウルトラフアインを(平
均粒径0.6μm)用い、表1゛に記載した比率でボー
ルミル混合した。その際、焼結助剤としてアモルファス
ホウ素を0.5wt%、カーボンブランク1.0wt%
添加した。又表1の各々についてβ−3iC原料ロフト
A、B、Cを用いた。
約100 kg/a11の圧力で金型成形後、ClF3
)ン/dを行ない、5 X60X80 (鰭)の板状成
形体を作成した。
)ン/dを行ない、5 X60X80 (鰭)の板状成
形体を作成した。
上記成形体をAr中、 2050’C、1時間焼成した
。
。
得られた焼結体から切断、研マし3X4X50(as)
の強度試験片を各10本得た。
の強度試験片を各10本得た。
3点曲げ強度を測定すると、表1、第1図のようになっ
た。
た。
図かられかるように、β−3iCのロフトにかかわらず
、αが10〜40tmt%テは、70〜80 kg /
am ”の高強度が得られた。一方β−3iCのみで
は、β−5iCのロフトにより強度が安定しない。又α
−3iCが多いと低強度となる。
、αが10〜40tmt%テは、70〜80 kg /
am ”の高強度が得られた。一方β−3iCのみで
は、β−5iCのロフトにより強度が安定しない。又α
−3iCが多いと低強度となる。
α型25%:β型75%の炭化ケイ素を用いて焼結した
炭化ケイ素焼結体の結晶組織の電子′Br4微鏡写真を
第2図に示す。ち密で、10μm以下の微細な板状十等
軸状の複合組織を形成していることが認められる。
炭化ケイ素焼結体の結晶組織の電子′Br4微鏡写真を
第2図に示す。ち密で、10μm以下の微細な板状十等
軸状の複合組織を形成していることが認められる。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、高強
度の炭化ケイ素焼結体が均質にかつ大きな物においても
簡単な操作で製造され、またその結果、製品の信頼性が
向上し、コストも低下するという効果がある。
度の炭化ケイ素焼結体が均質にかつ大きな物においても
簡単な操作で製造され、またその結果、製品の信頼性が
向上し、コストも低下するという効果がある。
第1図は実施例における炭化ケイ素焼結体の3点曲げ強
度を示すグラフ図、第2図は実施例の炭化ケイ素焼結体
の結晶組織を示す電子顕微鏡写真である。 /3+00 90 80 7060 5040 30
20 to O混合比率(’/、) 第1図
度を示すグラフ図、第2図は実施例の炭化ケイ素焼結体
の結晶組織を示す電子顕微鏡写真である。 /3+00 90 80 7060 5040 30
20 to O混合比率(’/、) 第1図
Claims (1)
- 1、β型炭化ケイ素粉末60〜93wt%とα型炭化ケ
イ素粉末7〜40wt%からなる炭化ケイ素原料粉末に
適当な焼結助剤を添加し、成形後、焼成することを特徴
とする炭化ケイ素焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61039023A JPS62197354A (ja) | 1986-02-26 | 1986-02-26 | 炭化ケイ素焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61039023A JPS62197354A (ja) | 1986-02-26 | 1986-02-26 | 炭化ケイ素焼結体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62197354A true JPS62197354A (ja) | 1987-09-01 |
Family
ID=12541509
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61039023A Pending JPS62197354A (ja) | 1986-02-26 | 1986-02-26 | 炭化ケイ素焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62197354A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021157718A1 (ja) * | 2020-02-07 | 2021-08-12 | 富士フイルム株式会社 | 文書作成支援装置、文書作成支援方法及びプログラム |
-
1986
- 1986-02-26 JP JP61039023A patent/JPS62197354A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021157718A1 (ja) * | 2020-02-07 | 2021-08-12 | 富士フイルム株式会社 | 文書作成支援装置、文書作成支援方法及びプログラム |
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