JPS62184752A - 荷電粒子ビ−ム測長機 - Google Patents
荷電粒子ビ−ム測長機Info
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- JPS62184752A JPS62184752A JP2552586A JP2552586A JPS62184752A JP S62184752 A JPS62184752 A JP S62184752A JP 2552586 A JP2552586 A JP 2552586A JP 2552586 A JP2552586 A JP 2552586A JP S62184752 A JPS62184752 A JP S62184752A
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- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
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Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は荷電粒子ビーム測長機に関し、更に詳述ずれば
測長機能と立体走査像の観察を可能にした装置に関する
。
測長機能と立体走査像の観察を可能にした装置に関する
。
［従来技術］
近時、マイクロチャンネルプレート（以下ＭＣＰ）は小
型・軽量、高利得、すぐれた時間応答、！１場の影響を
あまり受けない等の特性があるため電子ビーム測長機、
集束イオンビーム装置等における荷電粒子検出器として
広く使用されている。
型・軽量、高利得、すぐれた時間応答、！１場の影響を
あまり受けない等の特性があるため電子ビーム測長機、
集束イオンビーム装置等における荷電粒子検出器として
広く使用されている。
第４図はこのような特性を有するＭＣＰを例えば電子ビ
ーム測長様に使用した場合の構成断面図、第５図はＭＣ
Ｐ４の平面図を示すもので、図中１は対物レンズ、２は
試料３を走査する電子線、４はＭＣＰで該ＭＣＰ４は試
料３より発生ずる例えば２次雷子ｅを入射電子として増
倍する細いガラス管束（チャンネル）４ａと、該チャン
ネル４ａによって増倍された出力電子を検出するコレク
ター４ｂとにより形成されている。尚、第４図において
は、チトンネル４ａの入用端と出射端の間および前記出
射端とコレクター４ｂとの間には、夫々加速電圧が印加
されている。
ーム測長様に使用した場合の構成断面図、第５図はＭＣ
Ｐ４の平面図を示すもので、図中１は対物レンズ、２は
試料３を走査する電子線、４はＭＣＰで該ＭＣＰ４は試
料３より発生ずる例えば２次雷子ｅを入射電子として増
倍する細いガラス管束（チャンネル）４ａと、該チャン
ネル４ａによって増倍された出力電子を検出するコレク
ター４ｂとにより形成されている。尚、第４図において
は、チトンネル４ａの入用端と出射端の間および前記出
射端とコレクター４ｂとの間には、夫々加速電圧が印加
されている。
このように構成された電子ビーム測良機では、第５図に
示すようにセンターホールタイプのＭＣＰが使用され、
試料３からの例えば２次雷子ｅは試料３に対向して配置
されたＭＣＰ４によって検出される。そのため、第６図
（イ）に示すような凹凸のある試料４を電子線１で走査
した場合、所謂エツジ効果により２次電子検出信号は第
６図（ロ）に示すように対称波形を示すこととなるが、
これは測長精麿を高めるために必要なことである。
示すようにセンターホールタイプのＭＣＰが使用され、
試料３からの例えば２次雷子ｅは試料３に対向して配置
されたＭＣＰ４によって検出される。そのため、第６図
（イ）に示すような凹凸のある試料４を電子線１で走査
した場合、所謂エツジ効果により２次電子検出信号は第
６図（ロ）に示すように対称波形を示すこととなるが、
これは測長精麿を高めるために必要なことである。
［発明が解決しようとする問題点１
ところで、このように構成された従来の装置では、ＭＣ
Ｐ４による２次電子検出が第６図（ロ）に承りように対
称波形であるため、試料上を電子線によって２次元的に
走査し、それに伴ってＭＣＰ４から得られた検出信号を
図示しない表示装置に供給して走査像として表示すると
、凹凸のある試料４も立体観のない平面像として表示さ
れることとなり、試料像１２察において不都合を生ずる
。
Ｐ４による２次電子検出が第６図（ロ）に承りように対
称波形であるため、試料上を電子線によって２次元的に
走査し、それに伴ってＭＣＰ４から得られた検出信号を
図示しない表示装置に供給して走査像として表示すると
、凹凸のある試料４も立体観のない平面像として表示さ
れることとなり、試料像１２察において不都合を生ずる
。
本発明は以上の点に鑑みなされたもので、試料に対向し
て配置された複数のＭＣＰにより試料の測長と立体走査
像をも観察覆ることができる荷電粒子ビーム測長機を提
（共することを目的としている。
て配置された複数のＭＣＰにより試料の測長と立体走査
像をも観察覆ることができる荷電粒子ビーム測長機を提
（共することを目的としている。
［問題点を解決Ｊるための手段］
本目的を達成するための本発明は、荷電粒子線を試料に
照射し詠試料より発生ずる２次荷電粒子を該試料に対向
して配置される該２次荷電粒子を検出するマイク１１チ
ヤンネルプレートにより検出する装置において、該マイ
クロチャンネルプレートを少なくとも２つ以上に分割し
て配置したことを特徴としている。
照射し詠試料より発生ずる２次荷電粒子を該試料に対向
して配置される該２次荷電粒子を検出するマイク１１チ
ヤンネルプレートにより検出する装置において、該マイ
クロチャンネルプレートを少なくとも２つ以上に分割し
て配置したことを特徴としている。
［実施例］
以下本発明の実施例を図面に基づき詳述する。
第１図は本発明の一実施例の構成断面図であり、第２図
は第１図の実施例装置に使用されるＭＣＰの平面図であ
る。尚、第４図に示す従来装置と同一構成要素には同一
番号を付してその説明を省略する。第１図及び第２図に
おいて、チャンネル１０ａ及びコレクター１０ｂから形
成されるＭＣＰｌｏとチャンネル１１ａ及びコレクター
１１ｂから形成されるＭＣＰＩ １とが電気的に絶縁さ
れて試料３に対向して配置されている。１２はＭＣＰｌ
ｏに正負の電圧（例えば±１０Ｖ）を切換えて与えるた
めの電源で、１３はＭＣＰｌｌに正負の電圧〈例えば＋
１０Ｖ）を切換えて与えるための電源である。１４は極
性切換え回路であり、該極性切換え回路１４によってＭ
ＣＰＩＯとＭＣＰｌｌに印加される電圧の極性が切換え
られる。
は第１図の実施例装置に使用されるＭＣＰの平面図であ
る。尚、第４図に示す従来装置と同一構成要素には同一
番号を付してその説明を省略する。第１図及び第２図に
おいて、チャンネル１０ａ及びコレクター１０ｂから形
成されるＭＣＰｌｏとチャンネル１１ａ及びコレクター
１１ｂから形成されるＭＣＰＩ １とが電気的に絶縁さ
れて試料３に対向して配置されている。１２はＭＣＰｌ
ｏに正負の電圧（例えば±１０Ｖ）を切換えて与えるた
めの電源で、１３はＭＣＰｌｌに正負の電圧〈例えば＋
１０Ｖ）を切換えて与えるための電源である。１４は極
性切換え回路であり、該極性切換え回路１４によってＭ
ＣＰＩＯとＭＣＰｌｌに印加される電圧の極性が切換え
られる。
このように構成された装置では、副長時のように対称波
形が必要な場合は極性切換え回路１４によってＭＣＰｌ
ｏとＭＣＰｌｌの双方のＭＣＰの極性を正の電位（例え
ば＋１０Ｖ）になるように切り換える。このように、双
方のＭＣＰの極性を切換えすることによって、ＭＣＰｌ
ｏとＭＣＰｌｌの双方のＭＣＰよって試料３よりの２次
電子ｅが検出されるため、この検出信号を加終ずれば従
来装置と同様に第６図（ロ）に示すような対称波形を１
ｉノることができ、従って、測長装置として使用するこ
とができる。
形が必要な場合は極性切換え回路１４によってＭＣＰｌ
ｏとＭＣＰｌｌの双方のＭＣＰの極性を正の電位（例え
ば＋１０Ｖ）になるように切り換える。このように、双
方のＭＣＰの極性を切換えすることによって、ＭＣＰｌ
ｏとＭＣＰｌｌの双方のＭＣＰよって試料３よりの２次
電子ｅが検出されるため、この検出信号を加終ずれば従
来装置と同様に第６図（ロ）に示すような対称波形を１
ｉノることができ、従って、測長装置として使用するこ
とができる。
又、立体走査像を観察したい場合には、極性切換え回路
１４によって例えばＭＣＰＩＯには電源１２Ｊ：り負（
７）？ｕｆｔ（例えば−１０Ｖ）を、ＭＣＰｌｌには正
の電圧〈例えば＋１０Ｖ）を印加するように切り換える
。この切換えによって、試料３を第３図（イ）のように
走査すると、ＭＣＰｌｌのみが２次電子を検出できるこ
とになり、その結果、ＭＣＰｌｌに近い試料の突起部３
ａと、ＭＣＰｌｌに遠い試料の突起部３ｂから夫々発生
する２次電子の吊が同等であっても、ＭＣＰｌｌに近い
突起部３ａからの２次電子はより多く検出されることに
なり、ＭＣＰｌ １の検出信号波形は第３図（口〉のよ
うになる。従って、立体走査像を観察することができる
。
１４によって例えばＭＣＰＩＯには電源１２Ｊ：り負（
７）？ｕｆｔ（例えば−１０Ｖ）を、ＭＣＰｌｌには正
の電圧〈例えば＋１０Ｖ）を印加するように切り換える
。この切換えによって、試料３を第３図（イ）のように
走査すると、ＭＣＰｌｌのみが２次電子を検出できるこ
とになり、その結果、ＭＣＰｌｌに近い試料の突起部３
ａと、ＭＣＰｌｌに遠い試料の突起部３ｂから夫々発生
する２次電子の吊が同等であっても、ＭＣＰｌｌに近い
突起部３ａからの２次電子はより多く検出されることに
なり、ＭＣＰｌ １の検出信号波形は第３図（口〉のよ
うになる。従って、立体走査像を観察することができる
。
上記実施例は例示であり、池の態様で実施することがで
きる。上記実施例ではＭＯＰを２つに分割したがこれに
限定されず複数分割であれば良い。
きる。上記実施例ではＭＯＰを２つに分割したがこれに
限定されず複数分割であれば良い。
又、試料にイオンビームを照射して、試料よりの２次イ
オンを検出して２次イオン像を観察するようにしても良
い。
オンを検出して２次イオン像を観察するようにしても良
い。
［発明の効果］
以上詳述したように本発明によれば、試料に対向して配
置されるＭＣＰを分Ａ’ｌ ｂで配置したため、試料よ
りの２次荷電粒子検出信号波形を対称又は非対称で検出
できるため、測長機能と立体走査像の観察機能を有する
荷電粒子ビーム測長機が提供される。
置されるＭＣＰを分Ａ’ｌ ｂで配置したため、試料よ
りの２次荷電粒子検出信号波形を対称又は非対称で検出
できるため、測長機能と立体走査像の観察機能を有する
荷電粒子ビーム測長機が提供される。
第１図は本発明の概略構成図、第２図は第１図で使用さ
れるＭ ＣＰの平面図、第３図（イ）。 （ロ）は本発明を説明するための図、第４図は従来装嵌
の概略構成図、第５図は従来のＭＣＰの平面図、第６図
（イ）、（ロ）は従来装嵌を説明するための図である。 １：対物レンズ、２：電子線、３：試料、１０゜１１
：ＭＣＰ、１２，１３ ：電源、１４：極性切り換え回
路。
れるＭ ＣＰの平面図、第３図（イ）。 （ロ）は本発明を説明するための図、第４図は従来装嵌
の概略構成図、第５図は従来のＭＣＰの平面図、第６図
（イ）、（ロ）は従来装嵌を説明するための図である。 １：対物レンズ、２：電子線、３：試料、１０゜１１
：ＭＣＰ、１２，１３ ：電源、１４：極性切り換え回
路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）荷電粒子線を試料に照射し該試料より発生する２次
荷電粒子を該試料に対向して配置される該２次荷電粒子
を検出するマイクロチャンネルプレートにより検出する
装置において、該マイクロチャンネルプレートを少なく
とも２つ以上に分割して配置したことを特徴とする荷電
粒子ビーム測長機。 ２）前記分割されて配置されたそれぞれのマイクロチャ
ンネルプレートの２次荷電粒子入射端の電位を正又は負
に切換える手段を設けた特許請求の範囲第１項記載の荷
電粒子ビーム測長機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2552586A JPS62184752A (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 | 荷電粒子ビ−ム測長機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2552586A JPS62184752A (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 | 荷電粒子ビ−ム測長機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62184752A true JPS62184752A (ja) | 1987-08-13 |
| JPH051584B2 JPH051584B2 (ja) | 1993-01-08 |
Family
ID=12168464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2552586A Granted JPS62184752A (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 | 荷電粒子ビ−ム測長機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62184752A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05502220A (ja) * | 1989-12-07 | 1993-04-22 | ザ ユニバーシティ オブ ブリティッシュ コロンビア | チアルブリン抗真菌および抗生剤 |
| WO2004093120A3 (en) * | 2003-04-17 | 2004-12-09 | Politechnika Wroclawska | Secondary electron detector unit for a scanning electron microscope |
| WO2005071710A1 (en) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Politechnika Wroclawska | Method and system for the directional detection of electrons in a scanning electron microscope |
| US7531812B2 (en) | 2003-10-27 | 2009-05-12 | Politechnika Wroclawska | Method and system for the directional detection of electrons in a scanning electron microscope |
| WO2016047538A1 (ja) * | 2014-09-24 | 2016-03-31 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | エネルギー弁別電子検出器及びそれを用いた走査電子顕微鏡 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60124852U (ja) * | 1984-02-01 | 1985-08-22 | 日本電子株式会社 | 電子線装置 |
-
1986
- 1986-02-07 JP JP2552586A patent/JPS62184752A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60124852U (ja) * | 1984-02-01 | 1985-08-22 | 日本電子株式会社 | 電子線装置 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05502220A (ja) * | 1989-12-07 | 1993-04-22 | ザ ユニバーシティ オブ ブリティッシュ コロンビア | チアルブリン抗真菌および抗生剤 |
| WO2004093120A3 (en) * | 2003-04-17 | 2004-12-09 | Politechnika Wroclawska | Secondary electron detector unit for a scanning electron microscope |
| US7425708B2 (en) | 2003-04-17 | 2008-09-16 | Politechnika Wrolawska | Secondary electron detector unit for a scanning electron microscope |
| US7531812B2 (en) | 2003-10-27 | 2009-05-12 | Politechnika Wroclawska | Method and system for the directional detection of electrons in a scanning electron microscope |
| WO2005071710A1 (en) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Politechnika Wroclawska | Method and system for the directional detection of electrons in a scanning electron microscope |
| WO2016047538A1 (ja) * | 2014-09-24 | 2016-03-31 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | エネルギー弁別電子検出器及びそれを用いた走査電子顕微鏡 |
| JPWO2016047538A1 (ja) * | 2014-09-24 | 2017-07-20 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | エネルギー弁別電子検出器及びそれを用いた走査電子顕微鏡 |
| US10121633B2 (en) | 2014-09-24 | 2018-11-06 | National Institute For Materials Science | Energy discriminating electron detector and scanning electron microscope using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH051584B2 (ja) | 1993-01-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |