JPS6218370Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 本考案は両面研磨装置の研磨布をクリーニング
する研磨布クリーニング装置の改良に関する。

〔考案の技術的背景とその問題点〕

一般に両面研磨装置は一対の上定盤と下定盤と
をそなえていて、相互に接離自在で、かつそれぞ
れ回転し、対向した面には研磨布が張付けられて
いる。そしてこの間に被加工物を介在させてその
両面を研磨布で研磨するように構成されている。

このような研磨装置で、加工すると、被加工物
の研磨くずなどが研磨布上に堆積する。特にシリ
コンウエハーをコロイダルシリカ系の研磨剤で両
面研磨する場合、研磨布として不織布タイプのも
のを用いると、不織布の繊維間を研磨剤と研磨く
ずが埋めてしまい、この状態が進行すると、研磨
布の表面は、研磨剤と研磨くずが固まつて、目ず
まりを起し、光沢をおびるに至る場合もある。こ
のような研磨布によつて両面研磨をすると、例え
ば半導体ウエハなどの場合には形状精度は大きく
低下してしまう。従つて研磨布の表面は加工後、
十分クリーニングして目づまりを除去する必要が
ある。

目づまりを除去する方法として、目づまりをし
た部分をナイフ等の刃物で削ぎ落すことが最も簡
便な方法であるが、この方法は、手間がかかり、
そのうえ上定盤の研磨布の目づまりを取るときに
は、無理な姿勢で作業を行なわなければならず、
均一性に乏しく作業性が極めて悪いという不都合
がある。またハンドブラシを用いて、研磨布をこ
すり、目づまりを除去する方法も考えられるが、
研磨布の直径が大きくなると、やはり手間がかか
り、また上定盤側の研磨布の目づまりに対しては
上記ナイフの方法と同様な欠点がある。

〔考案の目的〕

本考案は作業者の手をわずらわすことなく、迅
速に、均一に研磨布をクリーニングする研磨布ク
リーニング装置を提供することを目的とする。

〔考案の概要〕

本考案は上下両定盤間にほぼ半径方向に沿つて
円柱状のブラシを配置し、これを上下両定盤によ
り圧接回転させ上下両定盤の研磨布をクリーニン
グする研磨布クリーニング装置である。

〔考案の実施例〕

以下本考案の詳細を図示の実施例により説明す
る。まず、本実施例の装置を取付けた両面研磨装
置の主要部を説明する。第１図および第２図にお
いて、１は下定盤で、その平坦な円環状の上面２
には研磨布３が張付けてあり、回転する中心軸４
にスリーブ４ａを介して回転自在に嵌合支持され
図示しない下方の駆動機構により適宜正・逆回転
される。この下定盤１に対向して上方に上定盤８
が上下動自在に設けられていて、下降により中心
軸４に嵌合し、滑りキー９により回転駆動され
る。そして平坦な下面１０には研磨布１１が張付
けられていて、上定盤８の位置および研磨の際の
押圧力は図示しない送り機構およびエアーシリン
ダなどにより調節される。また、中心軸４には、
図示しない駆動機構によつてスリーブ４ａを介し
て独立に回転する太陽歯車１２が取付けられてお
り、一方下定盤１の外側を囲んでインターナル歯
車１３が設けられていて、これも図示しない駆動
機構により独立して回転可能になつている。そし
て下定盤１上の研磨布３上に載置された円環状の
キヤリア（図示せず）は、内側に被加工物が遊嵌
されているとともに、外側は歯車となり、上述の
太陽歯車１２とインターナル歯車１３とにかみ合
つて、自転しながら公転して被加工物が研磨され
る。さらにまた、インターナル歯車１３の外側を
囲んで研磨装置本体１４が設けられている。

さて次に第１の実施例につき述べる。第３図に
おいて、２１は本体で、下定盤１の半径方向の幅
より長い矩形の板状部材２２からなつていて、そ
の長手方向の一方の端部２３には太陽歯車１２に
かみ合う歯形２４が刻設されており、他方の端部
２５にはインターナル歯車１３にかみ合う歯形２
６が刻設されている。また中央部には取付け孔２
８が上下に貫通して設けられており、その長手方
向の両端部に一対の軸受体３０，３１が取付けら
れている。そしてこれら軸受体３０，３１により
円柱状のブラシ体３２が回転自在に支持されてい
る。このブラシ体３２は軸棒３３と、これに放射
状に線状ナイロンを取付けて柱状に形成したブラ
シ３４とからなつていて、軸棒３３が軸受体３
０，３１に支持されることにより、回転自在に支
持されており、ブラシ３４の下側面は本体２１の
下面から５mm位は突出して取付けられている。な
お軸受体３０，３１は第４図に拡大して示すよう
に、対向した案内溝３７，３７をもつた案内体３
８に軸棒３３を回転自在に嵌合した軸受ブロツク
３９が摺動自在にはめ込まれていて、止めねじ４
０により所望の位置に位置調節自在に固定される
ようになつており、直径の異なる各種ブラシ体３
２の使用とか、磨耗による直径の変化に対応して
調節可能になつている。

次に上述のように構成された第１の実施例の使
用状態につき説明すると、本体２２をその長手方
向を定盤の半径方向に沿わせてまたぐように載置
し一方の端部２３の歯形２４を太陽歯車１２にか
み合わせ他方の端部２５の歯形２６をインターナ
ル歯車１３にかみ合わせて取付け、第１図および
第２図に示すようにブラシ体３２の軸線３２ａと
下定盤１とは平行な状態とする。次に上定盤８を
下降させ、わずかにブラシ３４の上側面に接触さ
せる。これにより上下両定盤１，８により軽く挾
まれた状態となり、続いて上定盤８を徐々に下降
させ（寸動）、所定の圧力をブラシ３４にかけ
る。これで準備が終り、緩やかに上下両定盤１，
８を逆方向に回転させ、次第に所定の速度にまで
回転をあげて行く。この間上下両定盤１，８に適
度の速度差をもたせることにより、ブラシ体３２
は上下研磨布に対し抵抗を有しながら回転し、あ
わせて洗浄液を流すことにより研磨布３，１１は
クリーニングされ、目づまりは解消される。

次に第２の実施例につき述べる。第５図におい
て、第１の実施例と同一部分には同一符号を付し
て詳細な説明は省略する。本体４１は第１の実施
例と同様に構成されていて、矩形板状部材４２の
両端部４３，４４には太陽歯車１２にかみ合う歯
形４５、インターナル歯車１３にかみ合う歯形４
６がそれぞれ刻設されている。また取付け孔４
７，４８が中心線（定盤１の半径方向に一致す
る）４９に対して傾斜して設けられていて、軸受
体５１，５１，５２，５２によりブラシ体５３，
５３のブラシ５４，５４が同様に傾斜して取付け
られている。そして１個のブラシ体５３の長さは
下定盤１の幅より短いが、各ブラシ５４が定盤
１，８の回転方向に対し一部分重なつた状態で２
個のブラシ体５３，５３はそれぞれの端部が研磨
布３の内周縁、外周縁より突出するように構成さ
れていて定盤１，８の回転により研磨布３，１１
は、その全面がブラシ体５３，５３に接触するよ
うになつている。

この第２の実施例のものは、第１の実施例の場
合と同様に使用するが、クリーニングが半径方向
にも行なわれる作用をもつている。

〔考案の効果〕

以上詳述したように本考案の研磨布クリーニン
グ装置はブラシ体を回転自在に支持した本体を太
陽歯車およびインターナル歯車で下定盤をまたぐ
ように支持して構成したので、回転速度差をもつ
た上下両定盤に圧接することにより両定盤に対し
て抵抗を有しながら自転し、研磨布のクリーニン
グを行なうことができ、また太陽歯車とインター
ナル歯車を同時に回転させて高能率にクリーニン
グを行なうことができる。またブラツシを両端部
で支持して回転させるので、均一にクリーニング
を施すことができる。さらにまた、第２実施例の
ように斜にブラシ体を取付けたものは研磨布の半
径方向のクリーニングも行なわれるのでより十分
にクリーニングを行なうことができる効果を有す
る。

なお、本実施例においては、太陽歯車とインタ
ーナル歯車とにかみ合わせて本体を支持したが、
ピンなどの係合により支持してもよく、またブラ
シの取付けも本体に取付け孔を設けて行なつたが
取付け孔に限定されず、切欠きなどで構成しても
よいことはいうまでもないことである。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本考案の各実施例の使用
状態および研磨装置の要部を示す図で、第１図は
平面図、第２図は要部断面正面図、第３図は本考
案の第１の実施例の斜視図、第４図は第１の実施
例の要部拡大図、第５図は本考案の第２の実施例
の平面図である。 １……下定盤、３……研磨布、８……上定盤、
１１……研磨布、１２……太陽歯車、１３……イ
ンターナル歯車、２１……本体、２３……一端
部、２５……他端部、３２……ブラシ体、３２ａ
……軸線、３４……ブラシ、４１……本体、４３
……一端部、４４……他端部、５３……ブラシ
体、５３ａ……軸線、５４……ブラシ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 上定盤および下定盤にそれぞれ研磨布をもつ
   た両面研磨装置の太陽歯車に一端部が支持され
   他端部がインターナル歯車に支持されて上記下
   定盤をまたいで配設された本体と、円柱状ブラ
   シをもちその軸線を上記下定盤と平行に上記本
   体に回転自在に支持され上記両定盤に圧接して
   回転するブラシ体とを具備したことを特徴とす
   る研磨布クリーニング装置。 (2) ブラシ体は下定盤の半径方向に沿つて取付け
   られていることを特徴とする実用新案登録請求
   の範囲第１項記載の研磨布クリーニング装置。 (3) ブラシ体は下定盤の半径方向に対して斜めに
   取付けられていることを特徴とする実用新案登
   録請求の範囲第１項記載の研磨布クリーニング
   装置。 (4) ブラシ体は複数個本体に取付けられているこ
   とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
   ないし第３項のいずれかに記載の研磨布クリー
   ニング装置。