JPS62151288A - レ−ザ加工装置用自動焦点装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、レーザ加工装置用の自動焦点装置の構造に関
し、特にレーザ加工装置の加工用対物レンズの保持・上
下の機構である自動焦点装置に関するものである。

［従来の技術］ 従来、レーザ加工装置で、加重用対物レンズを上下に動
かす場合、アリ溝や丸棒とベアリングの組合せのような
すべりを利用したガイドにそって上下させていた。

［解決すべき問題点］ 上述した従来の加工用対物レンズ保持・上下機構では、
すべりを利用したガイドを使用しているので、ガイド自
体の抵抗が大きかった。その結果として、加工用対物レ
ンズを上下させるための駆動源への負担が大きくなるだ
けではなく、高速応答性が求められるような用途には適
さないという問題点がある。

［問題点の解決手段］ 本発明は、Ｌ記問題点を解決したものであり、レーザ加
工装置の加工用対物レンズを平行板バネで保持し、かつ
加工点を検出する検出部からの信号により駆動される偏
芯カムにより加重用対物レンズを上下に駆動することを
特徴とするものである。

［実施例］ 次に、その実施例を図面を参照して説明する。

第１図は本発明に係るレーザ加工装置用自動焦点装置の
一実施例を適用した該レーザ加工袋はの縦断図、第２図
は上記自動焦点袋はの一部切截側面図である。

第１図中、１はレーザ加工装置の加工用対物レンズで、
平行板バネ２で支えられている。平行板バネ２のもう一
端は光学ベース５等に固定されている。対物レンズｌを
出たレーザ光３は加工点４．１：に集光される。第１図
には示していないが、第２図で示す自動焦点装置は、加
工点４の凹凸を検出する検出部（第２図でも図示を省略
する）と、検出部からの信号に基づいて加工用対物レン
ズｌを上下させる上下動機構部１０とからなる。

上下動機構部ｌＯは、光学ベース５に固定されたアーム
１１に取付けた直流モータ１２と同軸の偏芯カム１３と
、アーム１１の支点１４に枢支された揺動テコ１５と、
揺動テコ１５の一対のピン１６に係合しかつモ行板バネ
２先端に固着されたＬ型動部１７とよりなる。揺動テコ
１５はバネ１８により、第２図中反時計方向へ付勢され
、一端が常時偏芯カム１３外周に圧接している。又１−
下動部１７と一体の係合部１９は加工用対物レンズ１に
係合し、更に一体に上下動できる構造となっている。

従って、直流モータ１２は、上記検出部からの信号によ
り偏芯カム１３と一体に所定角度回転する。従って、揺
動テコ１５は偏芯カム１３の外周に追随してバネ１８に
より引張られ若しくはバネ１８に抗して揺動する。従っ
て上下動部１７が平行板バネ２のバネ力に抗してその分
上下動し、係合部１９を介して加工用対物レンズ１を適
切焦点となるよう上下動させる。この場合、平行板バネ
２のバネ力による抵抗は、スライド摩擦力による抵抗に
比して、構成が簡単になると共に、はるかに小さいので
、加工用対物レンズ１の上下動は円滑となる。

［発明の効果］ 本発明では、レーザ加工装置用の自動焦点装置において
、加工用対物レンズを平行板バネで保持しているため、
すベリを利用したガイドに比べて抵抗の小さい弾性ガイ
ドを実現でき、この結果、対物レンズを上下させる駆動
系を比較的小さなものに出来るとともに、高速応答性の
良い自動焦点装置を実現できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るレーザ加工装置用自動焦点装置の
一実施例を適用した該レーザ加工装置の縦断図、第２図
は上記自動焦点装置の一部切截側面図である。 ■＝加工用対物レンズ２：下行板バネ ３：レーザ光　　　　４：加工点 ５：光学ベース　　　１０：ｌニド動機構部１１：アー
ム　　　　１２：直流モータ１３：偏芯カム　　　１４
：テコ支点 １５：揺動テコ　　　１６：ピン １７：ｈ下動部　　　１８：バネ １９：係合部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レーザ加工装置の加工用対物レンズを平行板バネで保持
   し、かつ加工点を検出する検出部からの信号により駆動
   される偏芯カムにより加工用対物レンズを上下に駆動す
   ることを特徴とするレーザ加工装置用自動焦点装置。