JPS6214685Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は微細パターンを投影し、焼き付ける露
光装置用の高圧水銀ランプの改良に関する。

周知のように、半導体素子など電子回路部品
は、フオトプロセスが基幹となつて発達してきて
おり、高精度な露光技術は欠くことのできないも
のである。第１図はその代表的な装置として、半
導体素子の露光装置の概要図を示しており、台上
の半導体ウエハー１を顕微鏡２を用いて位置合わ
せした後、超高圧水銀灯３を照射して、マスクパ
ターンをウエハー上に焼きつけるが、最近の光学
系の進歩によつて、サブミクロン程度までの微細
なパターンをも鮮明に焼きつけることができるよ
うになつてきた。第１図において、４は位置合わ
せ用光学系、５は焼き付け用光学系を示してお
り、光学系技術の進歩は勿論重要であるが、照明
系の超高圧水銀ランプが均一な照射光を常時与え
ることは同様に重要な要素である。

しかしながら、超高圧水銀ランプは発熱するた
め、外部から送風して冷却しており、そのためか
えつて発光球表面が冷やされて、充分で且つ均一
な照射光がえられないことがある。本考案はかよ
うな欠点を解消する。超高圧水銀ランプを提案す
るもので、その特徴は発光球の中心とその両側の
電極口金との中間に、管外壁に接して対向した半
球形の反射鏡を有する超高圧水銀ランプを設けた
ことにあり、以下図面を参照して詳しく説明す
る。

第２図は本考案にかゝる水銀ランプ１０が収納
箱１１に納められた断面図を示し、通常このよう
にフアン１２により排気されて、箱内が水銀ラン
プの発熱により過熱しないように工夫されてい
る。しかし、一方水銀ランプ１０内は400℃程度
の温度まで加熱されないと、水銀は充分に蒸発せ
ず、効率のよい発光がなされない。例えば管壁へ
の水銀粒の付着は管壁が冷却されて充分に発光し
ていない証拠である。したがつて、図示のよう
に、２つの反射鏡１３Ｕ，１３Ｌを上下の電極口
金１４Ｕ，１４Ｌと発光球１５との中間に取りつ
けて、送風が直接発光球１５の表面にふれること
を防止する。このようにすれば、発光は収納箱１
１の側方窓１６より放射されるので照射光への影
響はなく、且つ反射鏡は不要な発光を反射して発
光球を照射し加熱するので、発光球の表面温度は
上昇して、効率のよい発光がえられ、一定した照
射光を窓１６からとり出すことができる。そし
て、発光球１５の直径が40mmの水銀ランプでは、
反射鏡の直径は60mm程度とし、例えば水銀ランプ
と同材質の石英ガラスで作成し、クロム膜などの
光沢ある膜を被着させて反射膜とする。このよう
に石英ガラス製とすれば、水銀ランプ外面に融着
させてもよいが、他の材質例えばアルミニウム板
で作成する場合には第３図に示すように割り形と
して、ネジ止で、取りつけても同様の効果がえら
れる。

以上のように反射鏡を設けることにより、発光
球表面は冷却されることがなく、且つ収納箱１１
内はフアンで空気を循環して、加熱空気を排出さ
せ換気する。そのため、超高圧水銀ランプの過熱
による損傷は起らずに、その寿命を低下させるこ
とはない。したがつて、本考案は超高圧水銀ラン
プを効率よく動作させることができるもので、露
光品質の向上に役立つ。

【図面の簡単な説明】

第１図は露光装置の概要図、第２図は本考案に
かゝる露光装置の超高圧水銀ランプの断面図、第
３図は反射鏡の一実施例図である。 図中、１０は超高圧水銀ランプ、１１は収納
管、１２はフアン、１３Ｕ，１３Ｌは反射鏡、１
４Ｕ，１４Ｌは口金、１５は発光球、１６は照射
窓を示す。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 高圧水銀ランプを収納し、光放射用側方窓を有
   する収納箱と、 該収納箱に収納された高圧水銀ランプと、 該高圧水銀ランプの発光球とその両側の電極と
   の間に管外壁に接し、発光を該側方窓に放射する
   間隙を有して対向した半球型の反射鏡と、 該収納箱内部を送風冷却するフアンとを有する
   ことを特徴とする露光装置。