JP2734939B2 - ランプ光源及び露光装置 - Google Patents
ランプ光源及び露光装置Info
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- JP2734939B2 JP2734939B2 JP18228293A JP18228293A JP2734939B2 JP 2734939 B2 JP2734939 B2 JP 2734939B2 JP 18228293 A JP18228293 A JP 18228293A JP 18228293 A JP18228293 A JP 18228293A JP 2734939 B2 JP2734939 B2 JP 2734939B2
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- Japan
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- lamp
- light source
- light
- mercury lamp
- opening slit
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はランプ光源及び露光装置
に関し、詳しくは、カラー陰極線管の製造において、フ
ェースパネル内面に蛍光膜を形成するために、そのフェ
ースパネル内面に形成した感光性被膜を露光する露光装
置及びその露光装置に使用されるランプ光源に関する。
に関し、詳しくは、カラー陰極線管の製造において、フ
ェースパネル内面に蛍光膜を形成するために、そのフェ
ースパネル内面に形成した感光性被膜を露光する露光装
置及びその露光装置に使用されるランプ光源に関する。
【０００２】
【従来の技術】カラー陰極線管の製造において、フェー
スパネルの内面に蛍光膜を形成するに際して、フェース
パネル内面に蛍光膜を被着させるに先立って、そのフェ
ースパネル内面に形成された感光性被膜〔以下、レジス
ト膜と称す〕を蛍光膜パターンに応じて露光する露光工
程がある。
スパネルの内面に蛍光膜を形成するに際して、フェース
パネル内面に蛍光膜を被着させるに先立って、そのフェ
ースパネル内面に形成された感光性被膜〔以下、レジス
ト膜と称す〕を蛍光膜パターンに応じて露光する露光工
程がある。
【０００３】この露光工程では、以下のようなランプ光
源を具備した露光装置が使用される。この露光装置は、
図３に示すように後述する水銀灯１をランプハウス２に
収納したランプ光源３と、そのランプ光源３に離隔して
蛍光膜が形成される内面を対向させて位置決め配置さ
れ、その内面にレジスト膜を被着したフェースパネル４
と、ランプ光源３とフェースパネル４間に固定配置さ
れ、ランプ光源３からの投射光Ｌを屈折させながら透過
させて軌道修正することにより、その投射光Ｌが陰極線
管における電子ビームの照射軌跡を再現するようにした
補正レンズ５とを主要部として構成される。
源を具備した露光装置が使用される。この露光装置は、
図３に示すように後述する水銀灯１をランプハウス２に
収納したランプ光源３と、そのランプ光源３に離隔して
蛍光膜が形成される内面を対向させて位置決め配置さ
れ、その内面にレジスト膜を被着したフェースパネル４
と、ランプ光源３とフェースパネル４間に固定配置さ
れ、ランプ光源３からの投射光Ｌを屈折させながら透過
させて軌道修正することにより、その投射光Ｌが陰極線
管における電子ビームの照射軌跡を再現するようにした
補正レンズ５とを主要部として構成される。
【０００４】この露光装置におけるランプ光源３は、図
３及び図４に示すように、棒状の水銀灯１〔図５（ａ）
（ｂ）参照〕を、その管軸がフェースパネル４に向く方
向と直交する方向となるようにランプハウス２に収納し
た構造のもので、水銀灯１の管軸と平行となるランプハ
ウス２のフェースパネル対向面に円形の開口凹部６を有
し、ランプハウス２に収納した水銀灯１の発光部７を開
口凹部６に配置する。この開口凹部６では、水銀灯１の
発光部７の両側が二つの筒状部材８により被覆され、そ
の二つの筒状部材８間に開口スリット９が形成されて水
銀灯１の発光部７が露呈する。尚、図示しないが、ラン
プハウス２には冷却水が供給され、透明板１０で閉塞さ
れた開口凹部６の内部空間に冷却水を充満させることに
より、水銀灯１の発熱を抑制するようにしている。
３及び図４に示すように、棒状の水銀灯１〔図５（ａ）
（ｂ）参照〕を、その管軸がフェースパネル４に向く方
向と直交する方向となるようにランプハウス２に収納し
た構造のもので、水銀灯１の管軸と平行となるランプハ
ウス２のフェースパネル対向面に円形の開口凹部６を有
し、ランプハウス２に収納した水銀灯１の発光部７を開
口凹部６に配置する。この開口凹部６では、水銀灯１の
発光部７の両側が二つの筒状部材８により被覆され、そ
の二つの筒状部材８間に開口スリット９が形成されて水
銀灯１の発光部７が露呈する。尚、図示しないが、ラン
プハウス２には冷却水が供給され、透明板１０で閉塞さ
れた開口凹部６の内部空間に冷却水を充満させることに
より、水銀灯１の発熱を抑制するようにしている。
【０００５】ランプ光源３の水銀灯１の発光部７から発
せられた光Ｌは、開口スリット９を通過してフェースパ
ネル４に向けて投射される。このランプ光源３からの投
射光Ｌは、補正レンズ５により屈折しながら透過して軌
道修正され、陰極線管における電子ビームの照射軌跡を
再現するように進行して、フェースパネル４の内面のレ
ジスト膜上に達し、この投射光Ｌによりレジスト膜が露
光される。
せられた光Ｌは、開口スリット９を通過してフェースパ
ネル４に向けて投射される。このランプ光源３からの投
射光Ｌは、補正レンズ５により屈折しながら透過して軌
道修正され、陰極線管における電子ビームの照射軌跡を
再現するように進行して、フェースパネル４の内面のレ
ジスト膜上に達し、この投射光Ｌによりレジスト膜が露
光される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した露
光装置に使用されるランプ光源３では、水銀灯１の発光
部７から発せられてフェースパネル４の内面のレジスト
膜を露光する光Ｌとしては所定の強度を必要とし、その
強度を確保するために水銀灯１に所定のランプ電流を供
給するようにしている。
光装置に使用されるランプ光源３では、水銀灯１の発光
部７から発せられてフェースパネル４の内面のレジスト
膜を露光する光Ｌとしては所定の強度を必要とし、その
強度を確保するために水銀灯１に所定のランプ電流を供
給するようにしている。
【０００７】一方、水銀灯１の発光部７で発せられる光
Ｌは、水銀灯１の管全面に向けて放射状に投射され、そ
の一部の光が、開口スリット９を通過してフェースパネ
ル４に向けて投射されている。従って、発光部７での全
光量のうち、その一部のみがフェースパネル４の内面の
レジスト膜を露光することになり、他の光量分について
は、水銀灯１の管壁及びその管壁を介してランプハウス
２の内壁面に吸収されている。このように発光部７での
一部の光のみで、露光に必要な光量を確保しようとする
と、水銀灯１に供給するランプ電流を大きくせざるを得
ず、水銀灯１のランプ効率が悪く、且つ、水銀灯１の寿
命を短くするという問題があった。
Ｌは、水銀灯１の管全面に向けて放射状に投射され、そ
の一部の光が、開口スリット９を通過してフェースパネ
ル４に向けて投射されている。従って、発光部７での全
光量のうち、その一部のみがフェースパネル４の内面の
レジスト膜を露光することになり、他の光量分について
は、水銀灯１の管壁及びその管壁を介してランプハウス
２の内壁面に吸収されている。このように発光部７での
一部の光のみで、露光に必要な光量を確保しようとする
と、水銀灯１に供給するランプ電流を大きくせざるを得
ず、水銀灯１のランプ効率が悪く、且つ、水銀灯１の寿
命を短くするという問題があった。
【０００８】尚、この問題を解消するための手法とし
て、水銀灯の石英ガラスパイプの外周片側表面に、Ｃｅ
Ｏ2 とＭｇＦ2 の多層膜からなり、近紫外部での反射率
が大きく且つ赤外部での反射率が小さい選択光学膜を形
成したものがある〔特開昭５７−６０６５６号公報〕。
しかしながら、この選択光学膜は、水銀灯の管外周に形
成されているため、水銀灯から発せられた光は、選択光
学膜に達するまでに水銀灯自体の管壁で吸収されてしま
い、その分、光量が低下する。而も、その選択光学膜が
水銀灯の片側だけにしか形成されていないので、水銀灯
から発せられた光のうち、選択光学膜での反射量もそれ
程多くないというのが現状である。
て、水銀灯の石英ガラスパイプの外周片側表面に、Ｃｅ
Ｏ2 とＭｇＦ2 の多層膜からなり、近紫外部での反射率
が大きく且つ赤外部での反射率が小さい選択光学膜を形
成したものがある〔特開昭５７−６０６５６号公報〕。
しかしながら、この選択光学膜は、水銀灯の管外周に形
成されているため、水銀灯から発せられた光は、選択光
学膜に達するまでに水銀灯自体の管壁で吸収されてしま
い、その分、光量が低下する。而も、その選択光学膜が
水銀灯の片側だけにしか形成されていないので、水銀灯
から発せられた光のうち、選択光学膜での反射量もそれ
程多くないというのが現状である。
【０００９】そこで、本発明は上記問題点に鑑みて提案
されたもので、その目的とするところは、水銀灯から発
せられた光を効率よく使用し、且つ、その水銀灯の長寿
命化を図り得るランプ光源及び露光装置を提供すること
にある。
されたもので、その目的とするところは、水銀灯から発
せられた光を効率よく使用し、且つ、その水銀灯の長寿
命化を図り得るランプ光源及び露光装置を提供すること
にある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の技術的手段として、本発明のランプ光源は、棒状の水
銀灯を被覆した状態で収納したランプハウスの一部に、
その水銀灯の管軸と直交する方向に開口スリットを形成
し、その開口スリットから所定の領域に向けて水銀灯の
光を照射するランプ光源において、水銀灯の開口スリッ
トと対応する、例えば、管軸に沿うスリット状部位を除
く管内面に、紫外領域の光を反射し且つ赤外領域の光を
透過する選択光学膜を被着したことを特徴とする。
の技術的手段として、本発明のランプ光源は、棒状の水
銀灯を被覆した状態で収納したランプハウスの一部に、
その水銀灯の管軸と直交する方向に開口スリットを形成
し、その開口スリットから所定の領域に向けて水銀灯の
光を照射するランプ光源において、水銀灯の開口スリッ
トと対応する、例えば、管軸に沿うスリット状部位を除
く管内面に、紫外領域の光を反射し且つ赤外領域の光を
透過する選択光学膜を被着したことを特徴とする。
【００１１】また、本発明の露光装置は、前記ランプ光
源と、そのランプ光源と離隔して対向配置された陰極線
管用フェースパネルと、ランプ光源とフェースパネル間
に配置され、開口スリットを通過したランプ光源からの
投射光を屈折させながら透過させて軌道修正する補正レ
ンズとを含むことを特徴とする。
源と、そのランプ光源と離隔して対向配置された陰極線
管用フェースパネルと、ランプ光源とフェースパネル間
に配置され、開口スリットを通過したランプ光源からの
投射光を屈折させながら透過させて軌道修正する補正レ
ンズとを含むことを特徴とする。
【００１２】
【作用】本発明のランプ光源では、選択光学膜を、水銀
灯の開口スリットと対応する部位を除く管内面に形成し
たので、水銀灯から発せられた紫外領域の光は、水銀灯
の管壁を透過することなく、選択光学膜で即座に反射す
る。その結果、水銀灯から開口スリットを通過して投射
される光の強度が増大するので、所定の光量を確保する
ための水銀灯のランプ電流を低減することが可能とな
る。
灯の開口スリットと対応する部位を除く管内面に形成し
たので、水銀灯から発せられた紫外領域の光は、水銀灯
の管壁を透過することなく、選択光学膜で即座に反射す
る。その結果、水銀灯から開口スリットを通過して投射
される光の強度が増大するので、所定の光量を確保する
ための水銀灯のランプ電流を低減することが可能とな
る。
【００１３】
【実施例】本発明の実施例を図１及び図２に示して説明
する。尚、図３乃至図５と同一部分には同一参照符号を
付して重複説明は省略する。
する。尚、図３乃至図５と同一部分には同一参照符号を
付して重複説明は省略する。
【００１４】本発明の特徴は、ランプ光源１２のランプ
ハウス２に収納された水銀灯１１にある。この水銀灯１
１は、図１（ａ）（ｂ）に示すようにそのほぼ中央に位
置する発光部１３の開口スリット９と対応する管軸に沿
うスリット状部位ｍを除く管内面に、紫外領域の光を反
射し且つ赤外領域の光を透過する選択光学膜１４を被着
する。この選択光学膜１４は、ＣｅＯ2 やＭｇＦ2 等の
多層膜を一定の膜厚で形成したもので、例えば、紫外領
域の光の反射率が７０〜９０％程度、赤外領域の光の反
射率が１０〜２０％程度である。
ハウス２に収納された水銀灯１１にある。この水銀灯１
１は、図１（ａ）（ｂ）に示すようにそのほぼ中央に位
置する発光部１３の開口スリット９と対応する管軸に沿
うスリット状部位ｍを除く管内面に、紫外領域の光を反
射し且つ赤外領域の光を透過する選択光学膜１４を被着
する。この選択光学膜１４は、ＣｅＯ2 やＭｇＦ2 等の
多層膜を一定の膜厚で形成したもので、例えば、紫外領
域の光の反射率が７０〜９０％程度、赤外領域の光の反
射率が１０〜２０％程度である。
【００１５】この水銀灯１１をランプハウス２に収納し
たランプ光源１２は、図２に示すようにランプハウス２
の開口凹部６に水銀灯１１の発光部１３が配置され、二
つの筒状部材８間に形成された開口スリット９から発光
部１３が露呈する。この水銀灯１１への通電により、発
光部１３から発せられる光Ｌａ，Ｌｂはその発光中心Ｏ
から管全面に向けて放射状に投射されるが、その管内面
に選択光学膜１４が存在するため、その光のうち、露光
に必要とする紫外領域の光のほとんどが水銀灯１１の管
壁を透過することなく、即座に選択光学膜１４で反射す
るのに対し、露光に不必要な赤外領域の光のほとんどは
水銀灯１１の管壁を透過する。このようにして、選択光
学膜１４で反射された紫外領域の光Ｌｂは、発光中心Ｏ
から直接的に開口スリット９に向かう光Ｌａと共に、そ
の開口スリット９を通過し、フェースパネル４に向けて
投射される。
たランプ光源１２は、図２に示すようにランプハウス２
の開口凹部６に水銀灯１１の発光部１３が配置され、二
つの筒状部材８間に形成された開口スリット９から発光
部１３が露呈する。この水銀灯１１への通電により、発
光部１３から発せられる光Ｌａ，Ｌｂはその発光中心Ｏ
から管全面に向けて放射状に投射されるが、その管内面
に選択光学膜１４が存在するため、その光のうち、露光
に必要とする紫外領域の光のほとんどが水銀灯１１の管
壁を透過することなく、即座に選択光学膜１４で反射す
るのに対し、露光に不必要な赤外領域の光のほとんどは
水銀灯１１の管壁を透過する。このようにして、選択光
学膜１４で反射された紫外領域の光Ｌｂは、発光中心Ｏ
から直接的に開口スリット９に向かう光Ｌａと共に、そ
の開口スリット９を通過し、フェースパネル４に向けて
投射される。
【００１６】このランプハウス２の開口スリット９を通
過してフェースパネル４に向かうランプ光源１２からの
投射光Ｌａ，Ｌｂは、補正レンズ５により屈折しながら
透過して軌道修正され、陰極線管における電子ビームの
照射軌跡を再現するように進行して、フェースパネル４
の内面のレジスト膜上に達し、この投射光Ｌａ，Ｌｂに
よりレジスト膜が露光される。
過してフェースパネル４に向かうランプ光源１２からの
投射光Ｌａ，Ｌｂは、補正レンズ５により屈折しながら
透過して軌道修正され、陰極線管における電子ビームの
照射軌跡を再現するように進行して、フェースパネル４
の内面のレジスト膜上に達し、この投射光Ｌａ，Ｌｂに
よりレジスト膜が露光される。
【００１７】この時、ランプ光源１２において、水銀灯
１１の発光中心Ｏから直接的に開口スリット９に向かう
光Ｌａと共に、選択光学膜１４で反射した上で開口スリ
ット９に間接的に向かう光Ｌｂが加えられるので、レジ
スト膜を露光するのに必要な所定の光量を得るための水
銀灯１１に供給されるランプ電流を減少させることがで
きる。
１１の発光中心Ｏから直接的に開口スリット９に向かう
光Ｌａと共に、選択光学膜１４で反射した上で開口スリ
ット９に間接的に向かう光Ｌｂが加えられるので、レジ
スト膜を露光するのに必要な所定の光量を得るための水
銀灯１１に供給されるランプ電流を減少させることがで
きる。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、選択光学膜を、水銀灯
の開口スリットと対応する部位を除く管内面に形成した
ので、水銀灯から発せられた紫外領域の光は、水銀灯の
管壁を透過することなく選択光学膜で即座に反射するの
で、水銀灯から開口スリットを通過して投射される光の
強度が大幅に増大し、所定の光量を確保するための水銀
灯のランプ電流を飛躍的に低減させることができ、水銀
灯の長寿命化が図れてその実用的価値は大である。
の開口スリットと対応する部位を除く管内面に形成した
ので、水銀灯から発せられた紫外領域の光は、水銀灯の
管壁を透過することなく選択光学膜で即座に反射するの
で、水銀灯から開口スリットを通過して投射される光の
強度が大幅に増大し、所定の光量を確保するための水銀
灯のランプ電流を飛躍的に低減させることができ、水銀
灯の長寿命化が図れてその実用的価値は大である。
【図１】本発明の実施例を説明するためのもので、
（ａ）はランプ光源に使用する水銀灯を示す斜視図、
（ｂ）はその水銀灯の管軸と直交する方向での断面図
（ａ）はランプ光源に使用する水銀灯を示す斜視図、
（ｂ）はその水銀灯の管軸と直交する方向での断面図
【図２】図１の水銀灯を収納したランプ光源、補正レン
ズ及びフェースパネルから構成される露光装置を示す概
略構成図
ズ及びフェースパネルから構成される露光装置を示す概
略構成図
【図３】従来の露光装置の概略構成を示す説明図
【図４】図３の露光装置に使用されるランプ光源を示す
部分平面図
部分平面図
【図５】図４のランプ光源に使用される水銀灯を示し、
（ａ）はその斜視図、（ｂ）は水銀灯の管軸と直交する
方向での断面図
（ａ）はその斜視図、（ｂ）は水銀灯の管軸と直交する
方向での断面図
２ ランプハウス ４ フェースパネル ５ 補正レンズ ９ 開口スリット １１ 水銀灯 １２ ランプ光源 １４ 選択光学膜 ｍ 開口スリットと対応する管軸に沿うスリット状
部位
部位
Claims (3)
- 【請求項１】 棒状の水銀灯を被覆した状態で収納した
ランプハウスの一部に、その水銀灯の管軸と直交する方
向に開口スリットを形成し、その開口スリットから所定
の領域に向けて水銀灯の光を照射するランプ光源におい
て、水銀灯の開口スリットと対応する部位を除く管内面
に、紫外領域の光を反射し且つ赤外領域の光を透過する
選択光学膜を被着したことを特徴とするランプ光源。 - 【請求項２】 請求項１記載の水銀灯の開口スリットと
対応する部位を除く管内面が、水銀灯の開口スリットと
対応する管軸に沿うスリット状部位を除く管内面である
ことを特徴とするランプ光源。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載のランプ光源と、そ
のランプ光源と離隔して対向配置された陰極線管用フェ
ースパネルと、ランプ光源とフェースパネル間に配置さ
れ、開口スリットを通過したランプ光源からの投射光を
屈折させながら透過させて軌道修正する補正レンズとを
含むことを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18228293A JP2734939B2 (ja) | 1993-07-23 | 1993-07-23 | ランプ光源及び露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18228293A JP2734939B2 (ja) | 1993-07-23 | 1993-07-23 | ランプ光源及び露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0737552A JPH0737552A (ja) | 1995-02-07 |
| JP2734939B2 true JP2734939B2 (ja) | 1998-04-02 |
Family
ID=16115553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18228293A Expired - Lifetime JP2734939B2 (ja) | 1993-07-23 | 1993-07-23 | ランプ光源及び露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2734939B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR970028857A (ko) * | 1995-11-17 | 1997-06-24 | 윤종용 | 슬릿이 개선된 음극선관 제작용 노광장치 |
| JP5278648B2 (ja) * | 2007-12-11 | 2013-09-04 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
| CN102955179B (zh) * | 2011-08-24 | 2015-05-13 | 芈振伟 | 具有光学薄膜的管体的制造方法 |
-
1993
- 1993-07-23 JP JP18228293A patent/JP2734939B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0737552A (ja) | 1995-02-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19971202 |