JPS62143811A - モリブデン或いはタングステンシリサイドの合成方法 - Google Patents
モリブデン或いはタングステンシリサイドの合成方法Info
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- JPS62143811A JPS62143811A JP28446285A JP28446285A JPS62143811A JP S62143811 A JPS62143811 A JP S62143811A JP 28446285 A JP28446285 A JP 28446285A JP 28446285 A JP28446285 A JP 28446285A JP S62143811 A JPS62143811 A JP S62143811A
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- Silicon Compounds (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28446285A JPS62143811A (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 | モリブデン或いはタングステンシリサイドの合成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28446285A JPS62143811A (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 | モリブデン或いはタングステンシリサイドの合成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62143811A true JPS62143811A (ja) | 1987-06-27 |
| JPH0159209B2 JPH0159209B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1989-12-15 |
Family
ID=17678847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28446285A Granted JPS62143811A (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 | モリブデン或いはタングステンシリサイドの合成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62143811A (enrdf_load_stackoverflow) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5460793A (en) * | 1993-05-07 | 1995-10-24 | Japan Energy Corporation | Silicide targets for sputtering and method of manufacturing the same |
-
1985
- 1985-12-19 JP JP28446285A patent/JPS62143811A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5460793A (en) * | 1993-05-07 | 1995-10-24 | Japan Energy Corporation | Silicide targets for sputtering and method of manufacturing the same |
| US5618397A (en) * | 1993-05-07 | 1997-04-08 | Japan Energy Corporation | Silicide targets for sputtering |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0159209B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1989-12-15 |
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