JPS62141750A - 半導体装置の結線用導体 - Google Patents

半導体装置の結線用導体

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JPS62141750A
JPS62141750A JP60284057A JP28405785A JPS62141750A JP S62141750 A JPS62141750 A JP S62141750A JP 60284057 A JP60284057 A JP 60284057A JP 28405785 A JP28405785 A JP 28405785A JP S62141750 A JPS62141750 A JP S62141750A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、パワートランジスタ、サイリスク、[C5
LSI等の半導体装置の結線用導体に関する。
[従来の技術] 従来、半導体装置の結線用導体としては、高純度アルミ
ニウム、A1−1%Si合金等からなるアルミニウム合
金線や、金線が用いられてきた。
これらの線は、第3図において参照番号1で示すような
単層構造である。
成る程度の大きさの電流値が流れるたとえばパワートラ
ンジスタ等の半導体装置では、誤って過電流が流れた場
合、単に個々のトランジスタ等の半導体装置が破lt1
するのみならず、他の半導体装置を含む電子機器全体が
損傷してしまうおそれがある。そのため、そのような過
電流に対処するために、従来では、電子機器の回路にヒ
ユーズ橢能を有する装置を組み込んだりしている。
[発明が解決しようとする問題点] 小型化が要望される半導体装置では、ヒューズ機能を有
する装置を別に設けるのは好ましいものではなく、でき
れば結線用導体にヒユーズ機能をもたせたい。しかし、
従来の結線用導体の材料である金やアルミニウムはその
融点が高く、過電流が流れても溶融しにくい。すなわち
、金の融点は1063℃であり、高純度アルミニウムの
融点は660℃である。一方、はんだ等の低融点金属で
あれば過電流が流れたとき溶融してヒユーズ機能を発揮
するであろうが、パワートランジスタ等の半導体装置の
結線用導体としては不適である。なぜなら、そのような
低融点金属はS電率が低く、強度も不足し、さらには結
線作業に困難性を伴うからである。
それゆえに、この発明の目的は、それ自身がヒユーズ機
能を有する半導体装置の結線用導体を提供することであ
る。
[問題点を解決するための手段および作用効果]この発
明に従った半導体装置の結線用導体は、第1図に示すよ
うに芯材2と、該芯材2のまわりを囲む外被材3とから
なる。そして、芯材2は融点が450℃以下の材料から
作られ、外被材3は、銅または銅合金から作られている
したがって、過電流が導体に流れたときには、芯材2が
溶融し、その結果体積膨張が起こり外被材3を破り、導
体が断線する。このように、この発明に従った結線′用
導体は、それ自体がヒユーズ機能を有しているので、ヒ
ユーズ機能を有する装置を別に組み込む必要がなく、半
導体装置の小型化を図ることができる。また、外被材3
が銅または銅合金から作られているので、第3図に示し
たような従来の単層構造の高純度銅からなる導体や銅合
金からなる導体に比べても、導電率の低下はほとんどな
い。同様に1機械的?A度に関しでも、単層構造の高純
度銅や銅合金からなる導体に比べて、遜色はない。さら
に、外被材3が銅または銅合金から作られていることか
ら、ボンディング特性が良好である。
第1図に示した実施例では、芯材2が1本であったが、
芯材の数は複数本であってもよい。たとえば、第2図に
示した他の実施例では、芯材4が3本あり、そのまわり
を外被材5で囲んでいる。
芯材2,4を構成する材料として、融点が450℃以下
のものを用いるのは、過電流が流れたときにそのような
低融点材料が確実に溶融するためである。芯材2,4を
構成する材料ば、たとえば、ビスマス、鉛、カドミウム
、!T!鉛、錫からなる群から選ばれた金属またはその
合金である。共立出版株式会社発行の化学大辞典によれ
ば、ビスマスの融点は271.3℃、鉛の融点は327
.4℃、カドミウムの融点は320.9℃、亜鉛の融点
は419℃、錫の融点は231.9℃である。
〔実施例] 高純度鋼管内に、以下の第1表の「芯材」の欄に示すよ
うな組成の低融点金属または合金を鋳造し、直径181
の鋼被覆低融点線材を作成した。
この線材における銅の断面積比は、約80%であった。
この線材を伸線加工し、直径200 umの線にした。
このようにして得られた線の導電率は約80%■Acs
であり、結線用の導体として十分な値であった。
上記線材をパワートランジスタの入力側結線用導体とし
て、超音波ボンディングにより結線してパワートランジ
スタを試乍した。そして、これに10Aの過電流を流し
て、溶断までの時間を測定した。この測定結果が第1表
に示される。
在校のために、純度99.999%の銅からなる単層構
造の導体を用いて、同様にr8断までの時間を測定した
。この結果も第1表に示される。
第1表から明らかなように、本発明例である試料番号1
〜5の導体は、良好なヒユーズ機能を発揮した。
(以下余白) 第1表
【図面の簡単な説明】 第1図は、この発明の一実施例を示す断面図である。第
2図は、この発明の他の実施例を示す断面図である。 第3図は、従来の結線用導体を示す断面図ぐある。 図において、2は芯材、3は外被材を示づ一0特許出願
人 住友電気工業株式会社 1−+り 第1図     第2図 第3図 手続補正層 昭和61年2月12日

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)芯材と、該芯材のまわりを囲む外被材とからなり
    、 前記芯材は融点が450℃以下の材料から作られ、 前記外被材は、銅または銅合金から作られている、半導
    体装置の結線用導体。
  2. (2)前記芯材の数は1本である、特許請求の範囲第1
    項に記載の半導体装置の結線用導体。
  3. (3)前記芯材の数は複数本である、特許請求の範囲第
    1項に記載の半導体装置の結線用導体。
  4. (4)前記芯材を構成する材料は、ビスマス、鉛、カド
    ミウム、亜鉛、錫からなる群から選ばれた金属またはそ
    の合金である、特許請求の範囲第1項ないし第3項のい
    ずれかに記載の半導体装置の結線用導体。
JP60284057A 1985-12-16 1985-12-16 半導体装置の結線用導体 Expired - Lifetime JPH0695540B2 (ja)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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WO2001061718A1 (de) * 2000-02-17 2001-08-23 Robert Bosch Gmbh Halbleiter-leistungsbauelement mit schmelzsicherung

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0332033A (ja) * 1989-06-29 1991-02-12 Hitachi Ltd 電子装置
WO2001061718A1 (de) * 2000-02-17 2001-08-23 Robert Bosch Gmbh Halbleiter-leistungsbauelement mit schmelzsicherung

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