JPS62141750A - 半導体装置の結線用導体 - Google Patents
半導体装置の結線用導体Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、パワートランジスタ、サイリスク、[C5
LSI等の半導体装置の結線用導体に関する。
LSI等の半導体装置の結線用導体に関する。
[従来の技術]
従来、半導体装置の結線用導体としては、高純度アルミ
ニウム、A1−1%Si合金等からなるアルミニウム合
金線や、金線が用いられてきた。
ニウム、A1−1%Si合金等からなるアルミニウム合
金線や、金線が用いられてきた。
これらの線は、第3図において参照番号1で示すような
単層構造である。
単層構造である。
成る程度の大きさの電流値が流れるたとえばパワートラ
ンジスタ等の半導体装置では、誤って過電流が流れた場
合、単に個々のトランジスタ等の半導体装置が破lt1
するのみならず、他の半導体装置を含む電子機器全体が
損傷してしまうおそれがある。そのため、そのような過
電流に対処するために、従来では、電子機器の回路にヒ
ユーズ橢能を有する装置を組み込んだりしている。
ンジスタ等の半導体装置では、誤って過電流が流れた場
合、単に個々のトランジスタ等の半導体装置が破lt1
するのみならず、他の半導体装置を含む電子機器全体が
損傷してしまうおそれがある。そのため、そのような過
電流に対処するために、従来では、電子機器の回路にヒ
ユーズ橢能を有する装置を組み込んだりしている。
[発明が解決しようとする問題点]
小型化が要望される半導体装置では、ヒューズ機能を有
する装置を別に設けるのは好ましいものではなく、でき
れば結線用導体にヒユーズ機能をもたせたい。しかし、
従来の結線用導体の材料である金やアルミニウムはその
融点が高く、過電流が流れても溶融しにくい。すなわち
、金の融点は1063℃であり、高純度アルミニウムの
融点は660℃である。一方、はんだ等の低融点金属で
あれば過電流が流れたとき溶融してヒユーズ機能を発揮
するであろうが、パワートランジスタ等の半導体装置の
結線用導体としては不適である。なぜなら、そのような
低融点金属はS電率が低く、強度も不足し、さらには結
線作業に困難性を伴うからである。
する装置を別に設けるのは好ましいものではなく、でき
れば結線用導体にヒユーズ機能をもたせたい。しかし、
従来の結線用導体の材料である金やアルミニウムはその
融点が高く、過電流が流れても溶融しにくい。すなわち
、金の融点は1063℃であり、高純度アルミニウムの
融点は660℃である。一方、はんだ等の低融点金属で
あれば過電流が流れたとき溶融してヒユーズ機能を発揮
するであろうが、パワートランジスタ等の半導体装置の
結線用導体としては不適である。なぜなら、そのような
低融点金属はS電率が低く、強度も不足し、さらには結
線作業に困難性を伴うからである。
それゆえに、この発明の目的は、それ自身がヒユーズ機
能を有する半導体装置の結線用導体を提供することであ
る。
能を有する半導体装置の結線用導体を提供することであ
る。
[問題点を解決するための手段および作用効果]この発
明に従った半導体装置の結線用導体は、第1図に示すよ
うに芯材2と、該芯材2のまわりを囲む外被材3とから
なる。そして、芯材2は融点が450℃以下の材料から
作られ、外被材3は、銅または銅合金から作られている
。
明に従った半導体装置の結線用導体は、第1図に示すよ
うに芯材2と、該芯材2のまわりを囲む外被材3とから
なる。そして、芯材2は融点が450℃以下の材料から
作られ、外被材3は、銅または銅合金から作られている
。
したがって、過電流が導体に流れたときには、芯材2が
溶融し、その結果体積膨張が起こり外被材3を破り、導
体が断線する。このように、この発明に従った結線′用
導体は、それ自体がヒユーズ機能を有しているので、ヒ
ユーズ機能を有する装置を別に組み込む必要がなく、半
導体装置の小型化を図ることができる。また、外被材3
が銅または銅合金から作られているので、第3図に示し
たような従来の単層構造の高純度銅からなる導体や銅合
金からなる導体に比べても、導電率の低下はほとんどな
い。同様に1機械的?A度に関しでも、単層構造の高純
度銅や銅合金からなる導体に比べて、遜色はない。さら
に、外被材3が銅または銅合金から作られていることか
ら、ボンディング特性が良好である。
溶融し、その結果体積膨張が起こり外被材3を破り、導
体が断線する。このように、この発明に従った結線′用
導体は、それ自体がヒユーズ機能を有しているので、ヒ
ユーズ機能を有する装置を別に組み込む必要がなく、半
導体装置の小型化を図ることができる。また、外被材3
が銅または銅合金から作られているので、第3図に示し
たような従来の単層構造の高純度銅からなる導体や銅合
金からなる導体に比べても、導電率の低下はほとんどな
い。同様に1機械的?A度に関しでも、単層構造の高純
度銅や銅合金からなる導体に比べて、遜色はない。さら
に、外被材3が銅または銅合金から作られていることか
ら、ボンディング特性が良好である。
第1図に示した実施例では、芯材2が1本であったが、
芯材の数は複数本であってもよい。たとえば、第2図に
示した他の実施例では、芯材4が3本あり、そのまわり
を外被材5で囲んでいる。
芯材の数は複数本であってもよい。たとえば、第2図に
示した他の実施例では、芯材4が3本あり、そのまわり
を外被材5で囲んでいる。
芯材2,4を構成する材料として、融点が450℃以下
のものを用いるのは、過電流が流れたときにそのような
低融点材料が確実に溶融するためである。芯材2,4を
構成する材料ば、たとえば、ビスマス、鉛、カドミウム
、!T!鉛、錫からなる群から選ばれた金属またはその
合金である。共立出版株式会社発行の化学大辞典によれ
ば、ビスマスの融点は271.3℃、鉛の融点は327
.4℃、カドミウムの融点は320.9℃、亜鉛の融点
は419℃、錫の融点は231.9℃である。
のものを用いるのは、過電流が流れたときにそのような
低融点材料が確実に溶融するためである。芯材2,4を
構成する材料ば、たとえば、ビスマス、鉛、カドミウム
、!T!鉛、錫からなる群から選ばれた金属またはその
合金である。共立出版株式会社発行の化学大辞典によれ
ば、ビスマスの融点は271.3℃、鉛の融点は327
.4℃、カドミウムの融点は320.9℃、亜鉛の融点
は419℃、錫の融点は231.9℃である。
〔実施例]
高純度鋼管内に、以下の第1表の「芯材」の欄に示すよ
うな組成の低融点金属または合金を鋳造し、直径181
の鋼被覆低融点線材を作成した。
うな組成の低融点金属または合金を鋳造し、直径181
の鋼被覆低融点線材を作成した。
この線材における銅の断面積比は、約80%であった。
この線材を伸線加工し、直径200 umの線にした。
このようにして得られた線の導電率は約80%■Acs
であり、結線用の導体として十分な値であった。
であり、結線用の導体として十分な値であった。
上記線材をパワートランジスタの入力側結線用導体とし
て、超音波ボンディングにより結線してパワートランジ
スタを試乍した。そして、これに10Aの過電流を流し
て、溶断までの時間を測定した。この測定結果が第1表
に示される。
て、超音波ボンディングにより結線してパワートランジ
スタを試乍した。そして、これに10Aの過電流を流し
て、溶断までの時間を測定した。この測定結果が第1表
に示される。
在校のために、純度99.999%の銅からなる単層構
造の導体を用いて、同様にr8断までの時間を測定した
。この結果も第1表に示される。
造の導体を用いて、同様にr8断までの時間を測定した
。この結果も第1表に示される。
第1表から明らかなように、本発明例である試料番号1
〜5の導体は、良好なヒユーズ機能を発揮した。
〜5の導体は、良好なヒユーズ機能を発揮した。
(以下余白)
第1表
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明の一実施例を示す断面図である。第
2図は、この発明の他の実施例を示す断面図である。 第3図は、従来の結線用導体を示す断面図ぐある。 図において、2は芯材、3は外被材を示づ一0特許出願
人 住友電気工業株式会社 1−+り 第1図 第2図 第3図 手続補正層 昭和61年2月12日
2図は、この発明の他の実施例を示す断面図である。 第3図は、従来の結線用導体を示す断面図ぐある。 図において、2は芯材、3は外被材を示づ一0特許出願
人 住友電気工業株式会社 1−+り 第1図 第2図 第3図 手続補正層 昭和61年2月12日
Claims (4)
- (1)芯材と、該芯材のまわりを囲む外被材とからなり
、 前記芯材は融点が450℃以下の材料から作られ、 前記外被材は、銅または銅合金から作られている、半導
体装置の結線用導体。 - (2)前記芯材の数は1本である、特許請求の範囲第1
項に記載の半導体装置の結線用導体。 - (3)前記芯材の数は複数本である、特許請求の範囲第
1項に記載の半導体装置の結線用導体。 - (4)前記芯材を構成する材料は、ビスマス、鉛、カド
ミウム、亜鉛、錫からなる群から選ばれた金属またはそ
の合金である、特許請求の範囲第1項ないし第3項のい
ずれかに記載の半導体装置の結線用導体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60284057A JPH0695540B2 (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 | 半導体装置の結線用導体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60284057A JPH0695540B2 (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 | 半導体装置の結線用導体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62141750A true JPS62141750A (ja) | 1987-06-25 |
JPH0695540B2 JPH0695540B2 (ja) | 1994-11-24 |
Family
ID=17673730
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60284057A Expired - Lifetime JPH0695540B2 (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 | 半導体装置の結線用導体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0695540B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0332033A (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-12 | Hitachi Ltd | 電子装置 |
WO2001061718A1 (de) * | 2000-02-17 | 2001-08-23 | Robert Bosch Gmbh | Halbleiter-leistungsbauelement mit schmelzsicherung |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020042240A (ja) | 2018-09-13 | 2020-03-19 | キヤノン株式会社 | 像加熱装置及び画像形成装置 |
-
1985
- 1985-12-16 JP JP60284057A patent/JPH0695540B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0332033A (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-12 | Hitachi Ltd | 電子装置 |
WO2001061718A1 (de) * | 2000-02-17 | 2001-08-23 | Robert Bosch Gmbh | Halbleiter-leistungsbauelement mit schmelzsicherung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0695540B2 (ja) | 1994-11-24 |
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