JPS62141505A - 光導波路装置 - Google Patents
光導波路装置Info
- Publication number
- JPS62141505A JPS62141505A JP28191885A JP28191885A JPS62141505A JP S62141505 A JPS62141505 A JP S62141505A JP 28191885 A JP28191885 A JP 28191885A JP 28191885 A JP28191885 A JP 28191885A JP S62141505 A JPS62141505 A JP S62141505A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical waveguide
- grooves
- lens
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/124—Geodesic lenses or integrated gratings
- G02B6/1245—Geodesic lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は光集積回路を実現するのに好適な光導波路装置
に関する。
に関する。
近時ガラスその他の基板上に光導波路を設けその基板上
に例えば光導波路レンズ等の光学素子を集積化した光集
積回路を実現しようとする試みが盛んに行なわれている
。
に例えば光導波路レンズ等の光学素子を集積化した光集
積回路を実現しようとする試みが盛んに行なわれている
。
第3図はその一例を示すもので弾性表面波による光波の
回折を利用してR,F信号の周波数スペクトラムを解析
する集積化光学式スペクトラムアナライザ装置の構成図
である。
回折を利用してR,F信号の周波数スペクトラムを解析
する集積化光学式スペクトラムアナライザ装置の構成図
である。
この装置は基板(1)上に屈折率が基板(1)より大き
い圧電性をMする薄膜の光導波路(2)が形成され。
い圧電性をMする薄膜の光導波路(2)が形成され。
この光導波路(2)の一方の端部には半導体レーザ(6
)が結合され、他方の端部にはフォトダイオードアレイ
(7)が結合されている。又基板上には半導体レーザ(
6)からの光波をコリメートするコリメーションレンズ
(3)とこれによるコリメート光を回折させるための弾
性表面波電極(5)と、これによる回折光をフーリエ変
換しフォトダイオードアレイ(7)の少なくとも一部に
収束するフーリエ変換レンズ(4)が形成されている。
)が結合され、他方の端部にはフォトダイオードアレイ
(7)が結合されている。又基板上には半導体レーザ(
6)からの光波をコリメートするコリメーションレンズ
(3)とこれによるコリメート光を回折させるための弾
性表面波電極(5)と、これによる回折光をフーリエ変
換しフォトダイオードアレイ(7)の少なくとも一部に
収束するフーリエ変換レンズ(4)が形成されている。
即ち半導体レーザ(6)の出力光は光導波路(2)内に
導かれコリメーションレンズ(3)により平行光となる
。
導かれコリメーションレンズ(3)により平行光となる
。
一方、解析すべ、きRFgI号は必要に応じて増幅され
た後弾性表面波電極(5)に印加され弾性表Ifi彼(
f#波ンとなって先導波路(2)内を伝毅する。この時
光導波路(2)中を伝搬する音響波により、導彼略の屈
折率は変化しRP便号の周波数に対応した周期で屈折率
の大小すなわち回折格子が形成されることになる。
た後弾性表面波電極(5)に印加され弾性表Ifi彼(
f#波ンとなって先導波路(2)内を伝毅する。この時
光導波路(2)中を伝搬する音響波により、導彼略の屈
折率は変化しRP便号の周波数に対応した周期で屈折率
の大小すなわち回折格子が形成されることになる。
従りて弾性表面波の伝搬する方向を前記平行光の伝搬方
向に対してブラック回折が生ずるよう所定の角度にあら
かじめ設定しておくことにより。
向に対してブラック回折が生ずるよう所定の角度にあら
かじめ設定しておくことにより。
前記平行光は弾性表面波の周期に対応して回折される。
すなわちRF傷信号周波数が変化すると弾性表面波の同
期が変化するため平行光の回折角度が変化、する。この
回折光をフーリエ変換レンズ(4)によりフォトダイオ
ードアレイ(7)に収束かつ受光されるようフーリエ変
換され、この空間的フーリエ変換像を読み出すことによ
り未知のR,PI!!号の周波数解析が行なわれている
。
期が変化するため平行光の回折角度が変化、する。この
回折光をフーリエ変換レンズ(4)によりフォトダイオ
ードアレイ(7)に収束かつ受光されるようフーリエ変
換され、この空間的フーリエ変換像を読み出すことによ
り未知のR,PI!!号の周波数解析が行なわれている
。
従来上記光学式スペクトラムアナライザは弾性表面波電
極(5)による弾性表面波を効率よく励振するため1例
えばLiNb0.にオブはリチウム)からなる基板(1
)を用いている。
極(5)による弾性表面波を効率よく励振するため1例
えばLiNb0.にオブはリチウム)からなる基板(1
)を用いている。
コリメーションレンズ(3)、フーリエ変換レンズ(4
)は例えば、第5〜図に示すように基板(1)に予め凹
面を形成しておき、この上に光導彼ViI層(2)を形
成して得られるジオデシックレンズである。このレンズ
は凹面を元が通過する時の光路差によりレンズ効果を与
えられるものである。このジオデシックレンズは、加工
上の制約から軸0−0′を中心に回転対称に形成される
のが一般的であり、その焦点位置はレンズ中心軸O−0
′を中心とした円状をなす。また第5図(b)の断面図
に示すように、レンズ凹面は平面上の光導波路層と滑ら
かに接続されるように、中心部の有効レンズ領域とその
外側のレンズ部と平面部とを接続する領域とからなる。
)は例えば、第5〜図に示すように基板(1)に予め凹
面を形成しておき、この上に光導彼ViI層(2)を形
成して得られるジオデシックレンズである。このレンズ
は凹面を元が通過する時の光路差によりレンズ効果を与
えられるものである。このジオデシックレンズは、加工
上の制約から軸0−0′を中心に回転対称に形成される
のが一般的であり、その焦点位置はレンズ中心軸O−0
′を中心とした円状をなす。また第5図(b)の断面図
に示すように、レンズ凹面は平面上の光導波路層と滑ら
かに接続されるように、中心部の有効レンズ領域とその
外側のレンズ部と平面部とを接続する領域とからなる。
中心部の有効レンズ領域の外側を通る光は礪めて収差が
大きくなるため、光は必ず有効レンズ領域を通過するよ
うに構成される。
大きくなるため、光は必ず有効レンズ領域を通過するよ
うに構成される。
この光学式スペクトラムアナライザにおいて重要な特性
にダイナミックレンジと、8波数分解能がある。これは
前述した従来列において検出すべきRF傷信号よって生
ずる弾性表面波で回折された光のフーリエ変換レンズを
通過した後のレンズ焦点位置での像の明晰さによって決
定される。逆に言えば、呻折された光以外の光が謂れ込
むと光スペアナのダイナミックレンジ、周波溶分解能が
劣化してしまう。
にダイナミックレンジと、8波数分解能がある。これは
前述した従来列において検出すべきRF傷信号よって生
ずる弾性表面波で回折された光のフーリエ変換レンズを
通過した後のレンズ焦点位置での像の明晰さによって決
定される。逆に言えば、呻折された光以外の光が謂れ込
むと光スペアナのダイナミックレンジ、周波溶分解能が
劣化してしまう。
従来この不要な光の漏洩を遮断することを目的として第
4図に示した如く%苓仮(1)の光導波路(2)を形成
した面の反対儒から溝(12)を形成して遮光物質(1
3)を埋め込み基[11)中へ漏洩し九不要元を除くこ
とが行なわれている。しかしながらこの方法では基板中
−漏洩した光を遮断することはできる炉光源と光導波路
装置部で生じる横方向への光導波路中の散乱光或は基板
に漏洩した光のうち再度光導波路へ結合して伝搬する部
分等に関してはこれを除去することができないという問
題がある。
4図に示した如く%苓仮(1)の光導波路(2)を形成
した面の反対儒から溝(12)を形成して遮光物質(1
3)を埋め込み基[11)中へ漏洩し九不要元を除くこ
とが行なわれている。しかしながらこの方法では基板中
−漏洩した光を遮断することはできる炉光源と光導波路
装置部で生じる横方向への光導波路中の散乱光或は基板
に漏洩した光のうち再度光導波路へ結合して伝搬する部
分等に関してはこれを除去することができないという問
題がある。
本発明は上述の従来例の欠点を考慮して為されたもので
ありその目的とするところは光導波路中を伝搬する不要
光を簡易な方法で除去しフォトダイオードアレイに到達
しないようにして高性能fヒを図った光導波路装置を提
供することにある。
ありその目的とするところは光導波路中を伝搬する不要
光を簡易な方法で除去しフォトダイオードアレイに到達
しないようにして高性能fヒを図った光導波路装置を提
供することにある。
この発明は基板に設けt凹状のジオデシックレンズを横
切るよう光導波W&層の側から#lを設けてその溝中な
光吸収媒質で埋めるようにして1光導#L路中を伝搬す
る散乱光を遮へいするようにしtものである。
切るよう光導波W&層の側から#lを設けてその溝中な
光吸収媒質で埋めるようにして1光導#L路中を伝搬す
る散乱光を遮へいするようにしtものである。
本発明によれば、光導波路中を伝搬する不4Jlな散乱
光を除去できるため、広いダイナミックレンジを有し、
かつ測定すべきRF傷信号周波微分解能の良好な光導波
%装置を実現することが可能となる。
光を除去できるため、広いダイナミックレンジを有し、
かつ測定すべきRF傷信号周波微分解能の良好な光導波
%装置を実現することが可能となる。
以下本発明を図面を参照して詳細に説明する。
第1図(a)は本発明の一実施例を示す斜視用、第1図
rb)は第1図(1)のA−A’断面図であり、従来装
置と同じ部5分には同じ符号を付して示しである。
rb)は第1図(1)のA−A’断面図であり、従来装
置と同じ部5分には同じ符号を付して示しである。
この実施例の特徴とするところはコリメーションレンズ
(3)フーリエ変換レンズ(4)を横切るよう溝(8)
、 +9)が形成されこの溝(8) 、 (9)を遮
光特性をMする物質(10) 、 (1υで埋めたとこ
ろにある。
(3)フーリエ変換レンズ(4)を横切るよう溝(8)
、 +9)が形成されこの溝(8) 、 (9)を遮
光特性をMする物質(10) 、 (1υで埋めたとこ
ろにある。
この溝(8) 、 (9)は、光導波路(2)部を遮断
でき、さらにコリメーションレンズ(3)フーリエ変換
レンズ(4)中の元が仏滅する領域、すなわち前述した
ジオデシックレンズの収差の小さい中心部近傍の領域に
は到らない程度の深さに選ぶが、例えば通常の半導体作
製に用いるようなダイシング装置により容易に形成でき
る。
でき、さらにコリメーションレンズ(3)フーリエ変換
レンズ(4)中の元が仏滅する領域、すなわち前述した
ジオデシックレンズの収差の小さい中心部近傍の領域に
は到らない程度の深さに選ぶが、例えば通常の半導体作
製に用いるようなダイシング装置により容易に形成でき
る。
又溝(8) 、 +9)の厚さはその中に埋める遮光物
質αω。
質αω。
(11)によって光が十分遮へいされる程度でよく、4
Flえば黒色エポキシ樹脂等を用いる時には200μm
程度で良い。
Flえば黒色エポキシ樹脂等を用いる時には200μm
程度で良い。
この構成をとることによりてもこの光スペクトラムアナ
ライザの機能は全< 4’、@ f、にわれることはな
い。しかも従来の方法では除去できなかつ九光導波路内
を伝搬する不要散乱光を容易に除去できることになる。
ライザの機能は全< 4’、@ f、にわれることはな
い。しかも従来の方法では除去できなかつ九光導波路内
を伝搬する不要散乱光を容易に除去できることになる。
従って、特に困難を要さずに元スペアナのダイナミック
レンジ周波数分解能の改善が図られる。
レンジ周波数分解能の改善が図られる。
次に本発明の第2の実施列を第2図に示す。同様に第2
図(a)は斜視図、第2図(b)は第2図(a)のA−
A’ 断面図である。この実施例の′#徴とするとこ
ろは遮光特性を肩する物’R(to)、Ql)として遮
光板を用いこれをip、(8) 、 (9)に埋め込ん
だことにある。
図(a)は斜視図、第2図(b)は第2図(a)のA−
A’ 断面図である。この実施例の′#徴とするとこ
ろは遮光特性を肩する物’R(to)、Ql)として遮
光板を用いこれをip、(8) 、 (9)に埋め込ん
だことにある。
この遮光板としては用いる光源の波長でIA失の大きい
ものであればより、例えば波長0.85μmではシリコ
ン板等でよい。
ものであればより、例えば波長0.85μmではシリコ
ン板等でよい。
この構成をとっても全く同様の効果が得られることは容
易に類推できる。さらにこの構成によれば光導波路の上
部空間を伝搬する光の遮蔽も町時に行なうことができる
きいう付随する効果もある。
易に類推できる。さらにこの構成によれば光導波路の上
部空間を伝搬する光の遮蔽も町時に行なうことができる
きいう付随する効果もある。
又上記実施例においてはt板上の2つのレンズに各々溝
を設は遮光したが、いずれか1つのレンズにのみ設けて
も効果がある。又、溝は伝搬する信号成分の党略を損な
わないように設ければよぐ。
を設は遮光したが、いずれか1つのレンズにのみ設けて
も効果がある。又、溝は伝搬する信号成分の党略を損な
わないように設ければよぐ。
その形成する角度等は制約されない。
第114は本発明の第1の実B列を示す図、第2図は本
発明の呵2の実施例を示す図、第3図は従来例である光
スペクトラムアナライザの構成図。 第4図は従来例の不要散乱光を除去する方法を示す1′
項、第5図は光スペクトラムアナライザに甲いるレンズ
の構成を示す図である。 l・・・等仮、2・・・光導波路、3・・・コリメーシ
ョンレンズ% 4・・・フーリエ変換レンズ、8.9・
・・溝。 in、11・・・遮光物質。 代即人 弁理士 則 近 !! 右向 竹
花 番久男 第 1 図 第 2 図 第 3 図 第 4 図
発明の呵2の実施例を示す図、第3図は従来例である光
スペクトラムアナライザの構成図。 第4図は従来例の不要散乱光を除去する方法を示す1′
項、第5図は光スペクトラムアナライザに甲いるレンズ
の構成を示す図である。 l・・・等仮、2・・・光導波路、3・・・コリメーシ
ョンレンズ% 4・・・フーリエ変換レンズ、8.9・
・・溝。 in、11・・・遮光物質。 代即人 弁理士 則 近 !! 右向 竹
花 番久男 第 1 図 第 2 図 第 3 図 第 4 図
Claims (1)
- 基板の少なくとも一方の面に光導波路及び光導波路レン
ズを形成してなる光導波路装置において、前記光導波路
レンズは前記基板に凹面を設けてなるジオデシックレン
ズであり、該ジオデシックレンズを通る光を基板上方か
ら見たとき、その光軸に対して傾き、かつ前記ジオデシ
ックレンズの凹面を横切るように前記基板の前記光導波
路を設けるべき面から溝が形成され、該溝には遮光特性
を有する遮光体を埋め込んでなることを特徴とする光導
波路装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28191885A JPS62141505A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | 光導波路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28191885A JPS62141505A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | 光導波路装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62141505A true JPS62141505A (ja) | 1987-06-25 |
Family
ID=17645767
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28191885A Pending JPS62141505A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | 光導波路装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62141505A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7690663B2 (en) | 1998-07-29 | 2010-04-06 | Angela Kate Haire | Vehicle suspension with linked air bags |
US7740257B2 (en) | 1998-07-29 | 2010-06-22 | Angela Kate Haire | Vehicle suspension with linked air bags |
-
1985
- 1985-12-17 JP JP28191885A patent/JPS62141505A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7690663B2 (en) | 1998-07-29 | 2010-04-06 | Angela Kate Haire | Vehicle suspension with linked air bags |
US7740257B2 (en) | 1998-07-29 | 2010-06-22 | Angela Kate Haire | Vehicle suspension with linked air bags |
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