JPS62141505A - 光導波路装置 - Google Patents

光導波路装置

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Publication number
JPS62141505A
JPS62141505A JP28191885A JP28191885A JPS62141505A JP S62141505 A JPS62141505 A JP S62141505A JP 28191885 A JP28191885 A JP 28191885A JP 28191885 A JP28191885 A JP 28191885A JP S62141505 A JPS62141505 A JP S62141505A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
optical waveguide
grooves
lens
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP28191885A
Other languages
English (en)
Inventor
Masayuki Takami
昌之 高見
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP28191885A priority Critical patent/JPS62141505A/ja
Publication of JPS62141505A publication Critical patent/JPS62141505A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G02B6/124Geodesic lenses or integrated gratings
    • G02B6/1245Geodesic lenses

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明は光集積回路を実現するのに好適な光導波路装置
に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
近時ガラスその他の基板上に光導波路を設けその基板上
に例えば光導波路レンズ等の光学素子を集積化した光集
積回路を実現しようとする試みが盛んに行なわれている
第3図はその一例を示すもので弾性表面波による光波の
回折を利用してR,F信号の周波数スペクトラムを解析
する集積化光学式スペクトラムアナライザ装置の構成図
である。
この装置は基板(1)上に屈折率が基板(1)より大き
い圧電性をMする薄膜の光導波路(2)が形成され。
この光導波路(2)の一方の端部には半導体レーザ(6
)が結合され、他方の端部にはフォトダイオードアレイ
(7)が結合されている。又基板上には半導体レーザ(
6)からの光波をコリメートするコリメーションレンズ
(3)とこれによるコリメート光を回折させるための弾
性表面波電極(5)と、これによる回折光をフーリエ変
換しフォトダイオードアレイ(7)の少なくとも一部に
収束するフーリエ変換レンズ(4)が形成されている。
即ち半導体レーザ(6)の出力光は光導波路(2)内に
導かれコリメーションレンズ(3)により平行光となる
一方、解析すべ、きRFgI号は必要に応じて増幅され
た後弾性表面波電極(5)に印加され弾性表Ifi彼(
f#波ンとなって先導波路(2)内を伝毅する。この時
光導波路(2)中を伝搬する音響波により、導彼略の屈
折率は変化しRP便号の周波数に対応した周期で屈折率
の大小すなわち回折格子が形成されることになる。
従りて弾性表面波の伝搬する方向を前記平行光の伝搬方
向に対してブラック回折が生ずるよう所定の角度にあら
かじめ設定しておくことにより。
前記平行光は弾性表面波の周期に対応して回折される。
すなわちRF傷信号周波数が変化すると弾性表面波の同
期が変化するため平行光の回折角度が変化、する。この
回折光をフーリエ変換レンズ(4)によりフォトダイオ
ードアレイ(7)に収束かつ受光されるようフーリエ変
換され、この空間的フーリエ変換像を読み出すことによ
り未知のR,PI!!号の周波数解析が行なわれている
従来上記光学式スペクトラムアナライザは弾性表面波電
極(5)による弾性表面波を効率よく励振するため1例
えばLiNb0.にオブはリチウム)からなる基板(1
)を用いている。
コリメーションレンズ(3)、フーリエ変換レンズ(4
)は例えば、第5〜図に示すように基板(1)に予め凹
面を形成しておき、この上に光導彼ViI層(2)を形
成して得られるジオデシックレンズである。このレンズ
は凹面を元が通過する時の光路差によりレンズ効果を与
えられるものである。このジオデシックレンズは、加工
上の制約から軸0−0′を中心に回転対称に形成される
のが一般的であり、その焦点位置はレンズ中心軸O−0
′を中心とした円状をなす。また第5図(b)の断面図
に示すように、レンズ凹面は平面上の光導波路層と滑ら
かに接続されるように、中心部の有効レンズ領域とその
外側のレンズ部と平面部とを接続する領域とからなる。
中心部の有効レンズ領域の外側を通る光は礪めて収差が
大きくなるため、光は必ず有効レンズ領域を通過するよ
うに構成される。
この光学式スペクトラムアナライザにおいて重要な特性
にダイナミックレンジと、8波数分解能がある。これは
前述した従来列において検出すべきRF傷信号よって生
ずる弾性表面波で回折された光のフーリエ変換レンズを
通過した後のレンズ焦点位置での像の明晰さによって決
定される。逆に言えば、呻折された光以外の光が謂れ込
むと光スペアナのダイナミックレンジ、周波溶分解能が
劣化してしまう。
従来この不要な光の漏洩を遮断することを目的として第
4図に示した如く%苓仮(1)の光導波路(2)を形成
した面の反対儒から溝(12)を形成して遮光物質(1
3)を埋め込み基[11)中へ漏洩し九不要元を除くこ
とが行なわれている。しかしながらこの方法では基板中
−漏洩した光を遮断することはできる炉光源と光導波路
装置部で生じる横方向への光導波路中の散乱光或は基板
に漏洩した光のうち再度光導波路へ結合して伝搬する部
分等に関してはこれを除去することができないという問
題がある。
〔発明の目的〕
本発明は上述の従来例の欠点を考慮して為されたもので
ありその目的とするところは光導波路中を伝搬する不要
光を簡易な方法で除去しフォトダイオードアレイに到達
しないようにして高性能fヒを図った光導波路装置を提
供することにある。
〔発明の概要〕
この発明は基板に設けt凹状のジオデシックレンズを横
切るよう光導波W&層の側から#lを設けてその溝中な
光吸収媒質で埋めるようにして1光導#L路中を伝搬す
る散乱光を遮へいするようにしtものである。
〔発明の効果〕
本発明によれば、光導波路中を伝搬する不4Jlな散乱
光を除去できるため、広いダイナミックレンジを有し、
かつ測定すべきRF傷信号周波微分解能の良好な光導波
%装置を実現することが可能となる。
〔発明の実権例〕
以下本発明を図面を参照して詳細に説明する。
第1図(a)は本発明の一実施例を示す斜視用、第1図
rb)は第1図(1)のA−A’断面図であり、従来装
置と同じ部5分には同じ符号を付して示しである。
この実施例の特徴とするところはコリメーションレンズ
(3)フーリエ変換レンズ(4)を横切るよう溝(8)
 、 +9)が形成されこの溝(8) 、 (9)を遮
光特性をMする物質(10) 、 (1υで埋めたとこ
ろにある。
この溝(8) 、 (9)は、光導波路(2)部を遮断
でき、さらにコリメーションレンズ(3)フーリエ変換
レンズ(4)中の元が仏滅する領域、すなわち前述した
ジオデシックレンズの収差の小さい中心部近傍の領域に
は到らない程度の深さに選ぶが、例えば通常の半導体作
製に用いるようなダイシング装置により容易に形成でき
る。
又溝(8) 、 +9)の厚さはその中に埋める遮光物
質αω。
(11)によって光が十分遮へいされる程度でよく、4
Flえば黒色エポキシ樹脂等を用いる時には200μm
程度で良い。
この構成をとることによりてもこの光スペクトラムアナ
ライザの機能は全< 4’、@ f、にわれることはな
い。しかも従来の方法では除去できなかつ九光導波路内
を伝搬する不要散乱光を容易に除去できることになる。
従って、特に困難を要さずに元スペアナのダイナミック
レンジ周波数分解能の改善が図られる。
次に本発明の第2の実施列を第2図に示す。同様に第2
図(a)は斜視図、第2図(b)は第2図(a)のA−
A’  断面図である。この実施例の′#徴とするとこ
ろは遮光特性を肩する物’R(to)、Ql)として遮
光板を用いこれをip、(8) 、 (9)に埋め込ん
だことにある。
この遮光板としては用いる光源の波長でIA失の大きい
ものであればより、例えば波長0.85μmではシリコ
ン板等でよい。
この構成をとっても全く同様の効果が得られることは容
易に類推できる。さらにこの構成によれば光導波路の上
部空間を伝搬する光の遮蔽も町時に行なうことができる
きいう付随する効果もある。
又上記実施例においてはt板上の2つのレンズに各々溝
を設は遮光したが、いずれか1つのレンズにのみ設けて
も効果がある。又、溝は伝搬する信号成分の党略を損な
わないように設ければよぐ。
その形成する角度等は制約されない。
【図面の簡単な説明】
第114は本発明の第1の実B列を示す図、第2図は本
発明の呵2の実施例を示す図、第3図は従来例である光
スペクトラムアナライザの構成図。 第4図は従来例の不要散乱光を除去する方法を示す1′
項、第5図は光スペクトラムアナライザに甲いるレンズ
の構成を示す図である。 l・・・等仮、2・・・光導波路、3・・・コリメーシ
ョンレンズ% 4・・・フーリエ変換レンズ、8.9・
・・溝。 in、11・・・遮光物質。 代即人 弁理士   則 近 !! 右向     竹
 花 番久男 第  1  図 第  2 図 第  3 図 第  4 図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 基板の少なくとも一方の面に光導波路及び光導波路レン
    ズを形成してなる光導波路装置において、前記光導波路
    レンズは前記基板に凹面を設けてなるジオデシックレン
    ズであり、該ジオデシックレンズを通る光を基板上方か
    ら見たとき、その光軸に対して傾き、かつ前記ジオデシ
    ックレンズの凹面を横切るように前記基板の前記光導波
    路を設けるべき面から溝が形成され、該溝には遮光特性
    を有する遮光体を埋め込んでなることを特徴とする光導
    波路装置。
JP28191885A 1985-12-17 1985-12-17 光導波路装置 Pending JPS62141505A (ja)

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JP28191885A JPS62141505A (ja) 1985-12-17 1985-12-17 光導波路装置

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JP28191885A Pending JPS62141505A (ja) 1985-12-17 1985-12-17 光導波路装置

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JP (1) JPS62141505A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7690663B2 (en) 1998-07-29 2010-04-06 Angela Kate Haire Vehicle suspension with linked air bags
US7740257B2 (en) 1998-07-29 2010-06-22 Angela Kate Haire Vehicle suspension with linked air bags

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7690663B2 (en) 1998-07-29 2010-04-06 Angela Kate Haire Vehicle suspension with linked air bags
US7740257B2 (en) 1998-07-29 2010-06-22 Angela Kate Haire Vehicle suspension with linked air bags

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