JPS58136006A - 薄膜レンズ - Google Patents
薄膜レンズInfo
- Publication number
- JPS58136006A JPS58136006A JP1833482A JP1833482A JPS58136006A JP S58136006 A JPS58136006 A JP S58136006A JP 1833482 A JP1833482 A JP 1833482A JP 1833482 A JP1833482 A JP 1833482A JP S58136006 A JPS58136006 A JP S58136006A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- lens
- optical transmission
- optical
- lenses
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/124—Geodesic lenses or integrated gratings
- G02B6/1245—Geodesic lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は薄膜光集積回路内のレンズに関するものであ
る。
る。
従来の薄膜レンズは薄膜光伝送路の膜厚を各種レンズの
形状に変える事により等側屈折率を変えてレンズ作用全
実現させていたが、この方法では薄膜光伝送路の膜厚が
波長程度に限定されて余り厚い物には応用できない欠点
があり、寸た表面が平面で無くなるためレンズ部分の表
面を充分滑らかに刀目工する事が困難で光の散乱損失が
大きいという問題もあった。そこでこの発明は任意の膜
厚の薄膜光伝送路に応用でさて光の散乱損失の小さい薄
膜レンズを実現する事を目的としており、そのための手
段として透明誘電体基板の表面に形成した薄膜光伝送路
に、表面よりマスク全通して拡散法やイオン注入法によ
り屈折率を変化させる物質を各種レンズの形状に分布さ
せている。この方法によればマスクの形状を任意に設定
できるので非球面レンズのような無収差の物も容易に製
造可能であり、また表面が常に平面状であるから研磨加
工や電極の蒸着等が簡単である。
形状に変える事により等側屈折率を変えてレンズ作用全
実現させていたが、この方法では薄膜光伝送路の膜厚が
波長程度に限定されて余り厚い物には応用できない欠点
があり、寸た表面が平面で無くなるためレンズ部分の表
面を充分滑らかに刀目工する事が困難で光の散乱損失が
大きいという問題もあった。そこでこの発明は任意の膜
厚の薄膜光伝送路に応用でさて光の散乱損失の小さい薄
膜レンズを実現する事を目的としており、そのための手
段として透明誘電体基板の表面に形成した薄膜光伝送路
に、表面よりマスク全通して拡散法やイオン注入法によ
り屈折率を変化させる物質を各種レンズの形状に分布さ
せている。この方法によればマスクの形状を任意に設定
できるので非球面レンズのような無収差の物も容易に製
造可能であり、また表面が常に平面状であるから研磨加
工や電極の蒸着等が簡単である。
以下図面に従ってこの発明の説明を行なう。
第１図と第２図はこの発明の一実施例であり、超音波光
変調器への応用例である。第１図においてＬｉＮｂ０．
単結晶の基板〕の表面にはｋ Ｎ ｂＯ）単結晶薄膜の
光伝送路２が形成されており、その光伝送路２の途中に
はレンズ３・４の形状にチタン５を拡散させである。捷
た表面中央部の端には弾性波トランスデユーサ−６が蒸
着により取付けられている。第１図のＡ−Ａ部分の厚さ
方向は第２図に示すような状態になっており、チタン５
は光伝送路２のＦの基板］の部分１で深く拡散されてい
る。第」図において基板ｌの両方の端をエツチングによ
り部分的に除去して、一方に半導体レーザ素子７、他方
に光ファイバ８・９全それぞれ配置し、半導体レーザ素
子７から出たレーザ光１０を光伝送路２に結合して伝搬
させ、レンズ３により平面方向のみ平行光線に変換する
。レンズ３はチタン５の拡散により作られているため、
屈折率は境界で連続的に変化しており、レーザ光］０は
境界で無反射になる利点がある。従ってレンズ３の数音
何段にも増やしても反射による損失が無いので、焦点距
離の短かい組合せレンズを容易に作れる。弾性波トラン
スデユーサ６より発生した弾性波］」は光伝送路２全伝
搬し、レーザ光１０を回折させて進行方向をわずかに変
える作用をするので、弾性波トランスデユーサ６に印加
する高周波電気信号によリレーザ光］０を変調できる。
変調器への応用例である。第１図においてＬｉＮｂ０．
単結晶の基板〕の表面にはｋ Ｎ ｂＯ）単結晶薄膜の
光伝送路２が形成されており、その光伝送路２の途中に
はレンズ３・４の形状にチタン５を拡散させである。捷
た表面中央部の端には弾性波トランスデユーサ−６が蒸
着により取付けられている。第１図のＡ−Ａ部分の厚さ
方向は第２図に示すような状態になっており、チタン５
は光伝送路２のＦの基板］の部分１で深く拡散されてい
る。第」図において基板ｌの両方の端をエツチングによ
り部分的に除去して、一方に半導体レーザ素子７、他方
に光ファイバ８・９全それぞれ配置し、半導体レーザ素
子７から出たレーザ光１０を光伝送路２に結合して伝搬
させ、レンズ３により平面方向のみ平行光線に変換する
。レンズ３はチタン５の拡散により作られているため、
屈折率は境界で連続的に変化しており、レーザ光］０は
境界で無反射になる利点がある。従ってレンズ３の数音
何段にも増やしても反射による損失が無いので、焦点距
離の短かい組合せレンズを容易に作れる。弾性波トラン
スデユーサ６より発生した弾性波］」は光伝送路２全伝
搬し、レーザ光１０を回折させて進行方向をわずかに変
える作用をするので、弾性波トランスデユーサ６に印加
する高周波電気信号によリレーザ光］０を変調できる。
この回折光１２および残りのレーザ光１０はレンズ４に
より平面方向のみ集光され、光ファイバ８および光ファ
イバ９にそれぞれ結合される。
より平面方向のみ集光され、光ファイバ８および光ファ
イバ９にそれぞれ結合される。
このような弾性波による光の回折全利用した素子（３）
ライザにも応用できる。丑だ基板の材料として（］ａＡ
ｓなども使用でき、半導体レーザ素子全内部に直接形成
した構造にする事も１’ｉＪ能である。
ｓなども使用でき、半導体レーザ素子全内部に直接形成
した構造にする事も１’ｉＪ能である。
以上のようにこの発明によれば、薄膜光伝送路内に容易
にレンズを形成する事ができ、しかも境界における光の
反射が；切いので反射防止膜も不要である利点がある。
にレンズを形成する事ができ、しかも境界における光の
反射が；切いので反射防止膜も不要である利点がある。
寸だレンズの形状や位置や数量はマスクにより任意に設
定でき、しかもマスクのパターンが同一であれば同一性
能の物を容易に量産できる１、レンズの屈折率は使用す
る物質のノフ〈定により大きくする事も小さくする事も
でき、光伝送路の下の基板の屈折率も同率で変化するの
で両者の比屈折率差は一定に保たれる。これは従来の光
伝送路の１ｉさを変える方法と犬きく異なる点であり、
伝搬Ｉ″ＩＪ能なモード数は変わらないので境界におけ
るモード変換が発生しない長所もある。
定でき、しかもマスクのパターンが同一であれば同一性
能の物を容易に量産できる１、レンズの屈折率は使用す
る物質のノフ〈定により大きくする事も小さくする事も
でき、光伝送路の下の基板の屈折率も同率で変化するの
で両者の比屈折率差は一定に保たれる。これは従来の光
伝送路の１ｉさを変える方法と犬きく異なる点であり、
伝搬Ｉ″ＩＪ能なモード数は変わらないので境界におけ
るモード変換が発生しない長所もある。
この薄膜レンズはこの応用しｌの超音波光変調器の他に
、回折格子を表面に形成して光分波器や光フィルタとし
たり、フーリエ変換器に応用する事が（４） 可能であり、非常に広い分野で応用できる。
、回折格子を表面に形成して光分波器や光フィルタとし
たり、フーリエ変換器に応用する事が（４） 可能であり、非常に広い分野で応用できる。
第１図はこの発明の一実施例の平面図であり、第２図は
そのＡ−Ａ部分の側断面図である。 Ｊ−ｍ−基板、２−ｍ−光伝送路、３・４−ｍ−レンズ
、５−ｍ−チタン、６−−−弾性波弾性波トスランスデ
ューサ−−半導体レーザ素子、８・９−−一光ファイバ
、１０−−−レ特許出願人 蓮見律男 第 １ｒ４ 第 ２ 図
そのＡ−Ａ部分の側断面図である。 Ｊ−ｍ−基板、２−ｍ−光伝送路、３・４−ｍ−レンズ
、５−ｍ−チタン、６−−−弾性波弾性波トスランスデ
ューサ−−半導体レーザ素子、８・９−−一光ファイバ
、１０−−−レ特許出願人 蓮見律男 第 １ｒ４ 第 ２ 図
Claims (1)
- 透明誘電体基板の表面に形成した薄膜光伝送路に、表面
よりマスクを通して拡散法やイオン注入法により屈折率
を変化させる物質を各種レンズの形状に分布させた事を
特徴とする光学素子
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1833482A JPS58136006A (ja) | 1982-02-08 | 1982-02-08 | 薄膜レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1833482A JPS58136006A (ja) | 1982-02-08 | 1982-02-08 | 薄膜レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58136006A true JPS58136006A (ja) | 1983-08-12 |
Family
ID=11968739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1833482A Pending JPS58136006A (ja) | 1982-02-08 | 1982-02-08 | 薄膜レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58136006A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60170729A (ja) * | 1984-02-15 | 1985-09-04 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | スペクトルアナライザ |
| JPS61156206A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-15 | Omron Tateisi Electronics Co | 光学装置 |
-
1982
- 1982-02-08 JP JP1833482A patent/JPS58136006A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60170729A (ja) * | 1984-02-15 | 1985-09-04 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | スペクトルアナライザ |
| JPS61156206A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-15 | Omron Tateisi Electronics Co | 光学装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6317554B1 (en) | Self-waveguide optical circuit | |
| US6212312B1 (en) | Optical multiplexer/demultiplexer using resonant grating filters | |
| JPH09503077A (ja) | 理想に近い帯域特性を有する音響光学フィルタ | |
| SE469453B (sv) | Optisk kopplingsanordning | |
| JP3488776B2 (ja) | テーパ導波路およびそれを用いた光導波路素子 | |
| JPS58136006A (ja) | 薄膜レンズ | |
| JPH08286160A (ja) | 音響光学フィルタ | |
| JPS626210A (ja) | 光分波器 | |
| JPS6362916B2 (ja) | ||
| JPS6033531A (ja) | 光導波路レンズ | |
| JP3555888B2 (ja) | 自己導波光回路 | |
| JP2679760B2 (ja) | 光導波路 | |
| JPS63132205A (ja) | 光ファイバ・デバイス | |
| JPH0315831A (ja) | 光偏向素子 | |
| JPS5938706A (ja) | 光フアイバ−コリメ−タ | |
| JPS5821211A (ja) | 集積光学構造体の薄膜レンズ | |
| JPS6134646B2 (ja) | ||
| JPH0261005B2 (ja) | ||
| JPH07270736A (ja) | 導波路型音響光学素子 | |
| JPH03182705A (ja) | 光学素子及びその製造方法 | |
| JPS6311903A (ja) | 光学装置 | |
| JPS6234126A (ja) | 光導波型デイバイス | |
| Pitt | Use of thin films in optical waveguiding devices—a case study | |
| JPS62229890A (ja) | 可変波長半導体光源 | |
| JPH06337446A (ja) | 導波路型音響光学素子 |