JPS62140639A - 超高真空用密封構造 - Google Patents
超高真空用密封構造Info
- Publication number
- JPS62140639A JPS62140639A JP28223185A JP28223185A JPS62140639A JP S62140639 A JPS62140639 A JP S62140639A JP 28223185 A JP28223185 A JP 28223185A JP 28223185 A JP28223185 A JP 28223185A JP S62140639 A JPS62140639 A JP S62140639A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flange
- metal gasket
- annular
- flanges
- elastic core
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/03—Pressure vessels, or vacuum vessels, having closure members or seals specially adapted therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は弾性コアとこれを被覆する軟質材とで形成こ
れ次メタルガスケットを対向するフランジ間に介装ζせ
た超高真空用密封構造に関する。
れ次メタルガスケットを対向するフランジ間に介装ζせ
た超高真空用密封構造に関する。
対向するフランジ間に、弾性コアとこれを被すする軟質
材とで形成する環状メタルガスケツ）Ｔｈ介装させた超
高真空用密封構造において、＠叱環状メタルガスケット
ヲ複数の止め根で固着し、対向するフランジの締メ付は
時に、一方のフランジに形成された突出した軸を、他方
のフランス３穴に挿入することにより、対向するフラン
ジの締付力の軽減と、超高真空の密封性の信頼性を増す
ことを可能とし友ものである。
材とで形成する環状メタルガスケツ）Ｔｈ介装させた超
高真空用密封構造において、＠叱環状メタルガスケット
ヲ複数の止め根で固着し、対向するフランジの締メ付は
時に、一方のフランジに形成された突出した軸を、他方
のフランス３穴に挿入することにより、対向するフラン
ジの締付力の軽減と、超高真空の密封性の信頼性を増す
ことを可能とし友ものである。
従来、弾性コアとこれ全被俺する軟悄材（たとえばＡ／
、、ＡＰ）とで形成された円環メタルガスケットを使用
する超高真空密封構造は、特開昭５７−３２２６０号公
報により開示されている。
、、ＡＰ）とで形成された円環メタルガスケットを使用
する超高真空密封構造は、特開昭５７−３２２６０号公
報により開示されている。
しかしながら、環状メタルガスケットの被覆が軟質材で
あるため前記被覆にキズがつきやすく、対向−ｊるフラ
ンジを締メ付ける時に、）（０心の注意を必要とした６
たとえば、フランジに形成されたシール溝に環状メタル
ガスケツｌ−に設６ｔするだけでは、フランジを締メ付
ける際の撮（（の等により、メタルガスケットがｌｉφ
きやすく、又、対向するフランジの横ズレがあるため、
フランジシ一ル面により、メタルガスケットの軟質材で
形成これている外側被覆がこすられ、キズがつき、リー
ク発生の原因になっていた。又、微細なキズの場合は、
密封性を得るため、過大なフランジ締付力を要した。
あるため前記被覆にキズがつきやすく、対向−ｊるフラ
ンジを締メ付ける時に、）（０心の注意を必要とした６
たとえば、フランジに形成されたシール溝に環状メタル
ガスケツｌ−に設６ｔするだけでは、フランジを締メ付
ける際の撮（（の等により、メタルガスケットがｌｉφ
きやすく、又、対向するフランジの横ズレがあるため、
フランジシ一ル面により、メタルガスケットの軟質材で
形成これている外側被覆がこすられ、キズがつき、リー
ク発生の原因になっていた。又、微細なキズの場合は、
密封性を得るため、過大なフランジ締付力を要した。
上記の問題点を解決するため１本発明は環状メタルガス
ケットＴｈ押着する複数の止メ機ヲ有するとともに、対
向する一方のフランジにフランジ面よη突出した軸と、
他方のフランジに、前記軸を緩合させる穴を設けること
により、対向するフランジの締付けの際に、環状メタル
ガスケットの軟責材外側被々にキズをつけない様にし、
フランジ締付力の軽減と、超高真空の密封性の信頼性を
増す様にした。
ケットＴｈ押着する複数の止メ機ヲ有するとともに、対
向する一方のフランジにフランジ面よη突出した軸と、
他方のフランジに、前記軸を緩合させる穴を設けること
により、対向するフランジの締付けの際に、環状メタル
ガスケットの軟責材外側被々にキズをつけない様にし、
フランジ締付力の軽減と、超高真空の密封性の信頼性を
増す様にした。
上汀己のように、環状メタルガスケットを複数の止メ叡
によ、り対向する一方のフランジの乎清なシール面に押
着させて、メタルガスケットが動かない様にし、かつ、
対向するフランジを装着する際に、−万のフランジに形
成された突出した軸を、他方フランジに形成され友穴に
緩合ζぜる構造にすることによ、す、環状メタルガスケ
ットの軟質材で形成された被覆のキズ付けを防止するこ
とができる。
によ、り対向する一方のフランジの乎清なシール面に押
着させて、メタルガスケットが動かない様にし、かつ、
対向するフランジを装着する際に、−万のフランジに形
成された突出した軸を、他方フランジに形成され友穴に
緩合ζぜる構造にすることによ、す、環状メタルガスケ
ットの軟質材で形成された被覆のキズ付けを防止するこ
とができる。
第１図から第３図に本発明による実施例を示す。
第１０及び第２図は本発明による環状メタルガスケット
の押着構造を示す図である、１は弾性コアとこれを被覆
する軟質材とで形成された環状メタルガスケットである
。該環状メタルガスケット１ば、フランジ２に形成され
た平滑な底面を持つ溝３に設置される。環状メタルガス
ケット１の軟質材にて形成された被椀には開口部を持ち
、前記開口部に、止メ版４の一端を挿入し、他端を止メ
ネジ５にてフランジ２に固着し、７う／ジに形成された
溝３に、環状ガスケット５を密着させる。なお、フラン
ジ２には、止メ叡４の回転防止用溝５と、フランジ７に
は、止メ機４の止メふジ５の頭ニゲが形成されている。
の押着構造を示す図である、１は弾性コアとこれを被覆
する軟質材とで形成された環状メタルガスケットである
。該環状メタルガスケット１ば、フランジ２に形成され
た平滑な底面を持つ溝３に設置される。環状メタルガス
ケット１の軟質材にて形成された被椀には開口部を持ち
、前記開口部に、止メ版４の一端を挿入し、他端を止メ
ネジ５にてフランジ２に固着し、７う／ジに形成された
溝３に、環状ガスケット５を密着させる。なお、フラン
ジ２には、止メ叡４の回転防止用溝５と、フランジ７に
は、止メ機４の止メふジ５の頭ニゲが形成されている。
第３図は、対向するフランジが横ズレなく装着出来る構
造を示す断面図である。
造を示す断面図である。
環状メタルガスケット１が止メ数４にて押着されたフラ
ンジ２には、突出しｆＣ＠８が形成され、前記軸８が、
対向するフランジ７ＶＣ形成された穴？に緩合きれてい
る。突出した軸８に、フランジ２にビンを打込んで形成
し−でもよい。ざらに、軸８けフランジ７に形成しても
よいが、その場合はフランジ２に穴９を設けることＶＣ
なる６フランジ７に、７ランン２を装置する時、環状メ
タルガスケット１の上面が、フランジ７にル成された碑
６のシール面に当る同に、軸８が、穴９に緩合されるの
で、フランジ２と７との横ズレがなく、環状メタルガス
ケット１の上面を、プランジ７Ｖｃ形成された溝３がこ
することもなく、密着させることが出来る。
ンジ２には、突出しｆＣ＠８が形成され、前記軸８が、
対向するフランジ７ＶＣ形成された穴？に緩合きれてい
る。突出した軸８に、フランジ２にビンを打込んで形成
し−でもよい。ざらに、軸８けフランジ７に形成しても
よいが、その場合はフランジ２に穴９を設けることＶＣ
なる６フランジ７に、７ランン２を装置する時、環状メ
タルガスケット１の上面が、フランジ７にル成された碑
６のシール面に当る同に、軸８が、穴９に緩合されるの
で、フランジ２と７との横ズレがなく、環状メタルガス
ケット１の上面を、プランジ７Ｖｃ形成された溝３がこ
することもなく、密着させることが出来る。
本発明は以上のべたように、弾性コアとそれを被覆する
軟質材とで形成され之環状メタルガスケットを複数の止
メ板にフランジに形成されたシール面に押着させ、対向
する一方のフランジに突出した軸を設け、他方のフラン
ジに＠記動が緩合する穴を形成し九簡単な構造で、対向
するフランジの装着時に、環状メタルガスケットのキズ
付けを防止し、フランジ締付は力の軽減と、超高真空の
密封性をより確実なものとし、信頼性を増すという効果
をもたらす。
軟質材とで形成され之環状メタルガスケットを複数の止
メ板にフランジに形成されたシール面に押着させ、対向
する一方のフランジに突出した軸を設け、他方のフラン
ジに＠記動が緩合する穴を形成し九簡単な構造で、対向
するフランジの装着時に、環状メタルガスケットのキズ
付けを防止し、フランジ締付は力の軽減と、超高真空の
密封性をより確実なものとし、信頼性を増すという効果
をもたらす。
第１図は本発明によるメタルガスケットの押着信造を示
す断面図、第２図は第１図のＡカラ見り平面図、第５図
は本発明による対向するフランジを摸催した断面である
。 １・・・環状メタル力ヌケット ４・・・止メ仮 ８・・・軸 ？・・・穴 以上 出願人 セイコー市子工業株式会社 代理人 弁坤士 最 上 務 １ （他１名）゛
す断面図、第２図は第１図のＡカラ見り平面図、第５図
は本発明による対向するフランジを摸催した断面である
。 １・・・環状メタル力ヌケット ４・・・止メ仮 ８・・・軸 ？・・・穴 以上 出願人 セイコー市子工業株式会社 代理人 弁坤士 最 上 務 １ （他１名）゛
Claims (1)
- 弾性コアとこれを被覆する軟質材とで形成された環状メ
タルガスケットを、対向するフランジ間に介装する超高
真空密封構造において、前記環状メタルガスケットを押
着する複数の止メ板を有するとともに、対向する一方の
フランジにフランジ面より突出した軸と、他方のフラン
ジに、前記軸を緩合させる穴を設けたことを特徴とする
超高真空用密封構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28223185A JPS62140639A (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 | 超高真空用密封構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28223185A JPS62140639A (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 | 超高真空用密封構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62140639A true JPS62140639A (ja) | 1987-06-24 |
Family
ID=17649761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28223185A Pending JPS62140639A (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 | 超高真空用密封構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62140639A (ja) |
-
1985
- 1985-12-16 JP JP28223185A patent/JPS62140639A/ja active Pending
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