JPH112328A - Ｏリング及びこれを具備する装置 - Google Patents
Ｏリング及びこれを具備する装置Info
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- JPH112328A JPH112328A JP15406797A JP15406797A JPH112328A JP H112328 A JPH112328 A JP H112328A JP 15406797 A JP15406797 A JP 15406797A JP 15406797 A JP15406797 A JP 15406797A JP H112328 A JPH112328 A JP H112328A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】耐反応性に富みシールドの良いＯリング及びこ
れを具備するＯリングを備えた装置を提供する。 【解決手段】平面形状は環状である弾性体で断面形状は
円形であるＯリングを備えた装置において、断面形状が
円形で合成ゴムからなるＯリング表面の少なくとも反応
性の高い雰囲気となる表面側に環状の耐腐食性材料の部
位を配置し、その他の部位を合成ゴム製の部位空構成す
る。 【効果】耐薬品・耐プラズマ性を有しかつ高いのシール
ド効果を有するＯリングを提供できるとともに、このよ
うなＯリングを備えた装置ではＯリングの劣化によるパ
ーティクルの発生を抑え真空の保持等にも優れた特性を
得られる。
れを具備するＯリングを備えた装置を提供する。 【解決手段】平面形状は環状である弾性体で断面形状は
円形であるＯリングを備えた装置において、断面形状が
円形で合成ゴムからなるＯリング表面の少なくとも反応
性の高い雰囲気となる表面側に環状の耐腐食性材料の部
位を配置し、その他の部位を合成ゴム製の部位空構成す
る。 【効果】耐薬品・耐プラズマ性を有しかつ高いのシール
ド効果を有するＯリングを提供できるとともに、このよ
うなＯリングを備えた装置ではＯリングの劣化によるパ
ーティクルの発生を抑え真空の保持等にも優れた特性を
得られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｏリング、特に、
真空装置、薬品の容器等に使用されるＯリングと、この
ようなＯリングを具備した装置に関する。
真空装置、薬品の容器等に使用されるＯリングと、この
ようなＯリングを具備した装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】部材と部材を組み合わせて真空容器等を
構成する場合、メンテナンス等を考慮しＯリングを介し
て密閉性を確保している。このとき、Ｏリングは弾性体
で断面形状は円形のものが用いられる。図２０に従来の
Ｏリングを示す。図２０（ａ）はＯリングを具備する装
置を上面からみた上面図で、図２０（ｂ）はＯリングを
具備する装置の断面図である。その構成を説明すると、
１０１はベースプレート、１０２は容器、１０３はベー
スプレート１０１に設置されたＯリング枠、２００はＯ
リング、２０１はＯリングの合成ゴム製の部位をそれぞ
れ示している。
構成する場合、メンテナンス等を考慮しＯリングを介し
て密閉性を確保している。このとき、Ｏリングは弾性体
で断面形状は円形のものが用いられる。図２０に従来の
Ｏリングを示す。図２０（ａ）はＯリングを具備する装
置を上面からみた上面図で、図２０（ｂ）はＯリングを
具備する装置の断面図である。その構成を説明すると、
１０１はベースプレート、１０２は容器、１０３はベー
スプレート１０１に設置されたＯリング枠、２００はＯ
リング、２０１はＯリングの合成ゴム製の部位をそれぞ
れ示している。
【０００３】容器内部に反応性の高い物質が有る場合材
質には、合成ゴム製のＯリングに代えて、フッ素系の高
分子材料を用いている。例えば、プラズマエッチング装
置では真空中に反応ガスを導入し高周波印加によりプラ
ズマ化するが、真空のシールドに合成ゴム製のＯリング
を用いた場合、プラズマに曝された部分は徐々に劣化し
パーティクルを生じ、最後には亀裂が生じ真空を維持で
きなくなるからである。
質には、合成ゴム製のＯリングに代えて、フッ素系の高
分子材料を用いている。例えば、プラズマエッチング装
置では真空中に反応ガスを導入し高周波印加によりプラ
ズマ化するが、真空のシールドに合成ゴム製のＯリング
を用いた場合、プラズマに曝された部分は徐々に劣化し
パーティクルを生じ、最後には亀裂が生じ真空を維持で
きなくなるからである。
【０００４】また、特開平４−１９３９７０号公報の図
１では、真空容器とこれに覗き窓を組合わせた装置を開
示しており、真空容器の覗き窓に接触する面に切られた
溝部にゴム製のＯリング１２を配置し、かつ、容器の覗
き窓と接する内壁のテーパ部に金属製リングあるいは耐
腐食性の高い材料からなるリングを配置するようにし
て、Ｏリングがプラズマエッチングガス等から保護する
ことを記載している。
１では、真空容器とこれに覗き窓を組合わせた装置を開
示しており、真空容器の覗き窓に接触する面に切られた
溝部にゴム製のＯリング１２を配置し、かつ、容器の覗
き窓と接する内壁のテーパ部に金属製リングあるいは耐
腐食性の高い材料からなるリングを配置するようにし
て、Ｏリングがプラズマエッチングガス等から保護する
ことを記載している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、一般
に用いられる合成ゴム系のＯリングは柔軟な弾性体であ
り容器の外気遮断性に富む反面、耐薬品・耐プラズマ性
が低い。合成ゴム系のＯリングにかえて、耐腐食性を有
するフッ素樹脂からなるＯリングを使用した場合には、
弾性が低く外気遮断性が低くなってしまう。そのためフ
ッ素含有の合成ゴム等も開発されているが、高価であっ
たり、物理的な強度も低かったりする。容器内部に反応
性の高い物質が有る場合Ｏリングの材質は限られ、フッ
素系の合成ゴムを用いる場合等があるが通常の合成ゴム
系のＯリングに比べ１００倍から１０００倍ものコスト
がかかる。また、耐熱性に劣る物が多く交換品度も多く
なる等の問題点を有していた。
に用いられる合成ゴム系のＯリングは柔軟な弾性体であ
り容器の外気遮断性に富む反面、耐薬品・耐プラズマ性
が低い。合成ゴム系のＯリングにかえて、耐腐食性を有
するフッ素樹脂からなるＯリングを使用した場合には、
弾性が低く外気遮断性が低くなってしまう。そのためフ
ッ素含有の合成ゴム等も開発されているが、高価であっ
たり、物理的な強度も低かったりする。容器内部に反応
性の高い物質が有る場合Ｏリングの材質は限られ、フッ
素系の合成ゴムを用いる場合等があるが通常の合成ゴム
系のＯリングに比べ１００倍から１０００倍ものコスト
がかかる。また、耐熱性に劣る物が多く交換品度も多く
なる等の問題点を有していた。
【０００６】さらに、特開平４−１９３９７０号公報に
記載した方法では金属製あるいは耐腐食性の高い材料か
らなるＯリングを容器内壁に保持する方法が困難であ
る。
記載した方法では金属製あるいは耐腐食性の高い材料か
らなるＯリングを容器内壁に保持する方法が困難であ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のＯリングを備え
た装置は、平面形状は環状で断面形状は円形でかつ弾性
を有するＯリングを備えた装置であって、前記Ｏリング
は表面に配置される耐腐食性材料の部位と、その他の部
位に配置される合成ゴムの部位とからなることを特徴と
する。また、前記耐腐食性材料の部位が、前記Ｏリング
の内周側あるいは外周側表面に環状に配置されているこ
とを特徴とする。
た装置は、平面形状は環状で断面形状は円形でかつ弾性
を有するＯリングを備えた装置であって、前記Ｏリング
は表面に配置される耐腐食性材料の部位と、その他の部
位に配置される合成ゴムの部位とからなることを特徴と
する。また、前記耐腐食性材料の部位が、前記Ｏリング
の内周側あるいは外周側表面に環状に配置されているこ
とを特徴とする。
【０００８】本発明のＯリングは、平面形状は環状で断
面形状は円形でかつ弾性を有するＯリングであって、前
記Ｏリングは表面に配置される耐腐食性材料の部位と、
その他の部位に配置される合成ゴムの部位とからなるこ
とを特徴とする。また、前記耐腐食性材料の部位が、前
記Ｏリングの内周側あるいは外周側表面に環状に配置さ
れていることを特徴とする。
面形状は円形でかつ弾性を有するＯリングであって、前
記Ｏリングは表面に配置される耐腐食性材料の部位と、
その他の部位に配置される合成ゴムの部位とからなるこ
とを特徴とする。また、前記耐腐食性材料の部位が、前
記Ｏリングの内周側あるいは外周側表面に環状に配置さ
れていることを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明によれば、容器内・外部に反応性の高い
物質が有る場合でも、Ｏリングの耐腐食性材料部がＯリ
ングの合成ゴム部を保護するために、腐食に強くかつ弾
力性に優れ気密性を高くできるという効果を奏する。
物質が有る場合でも、Ｏリングの耐腐食性材料部がＯリ
ングの合成ゴム部を保護するために、腐食に強くかつ弾
力性に優れ気密性を高くできるという効果を奏する。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１乃至図１９において、同様の
構成を示すものには、同じ符号を付けくり返しの説明を
省略する。
に基づいて説明する。図１乃至図１９において、同様の
構成を示すものには、同じ符号を付けくり返しの説明を
省略する。
【００１１】図１乃至図８において、図１、図３、図
５、図７はＯリングを備えた装置、図２、図４、図６、
図８はＯリングを示す。図１乃至図８においては、図の
左側がＯリングの内周側として説明していく。
５、図７はＯリングを備えた装置、図２、図４、図６、
図８はＯリングを示す。図１乃至図８においては、図の
左側がＯリングの内周側として説明していく。
【００１２】図１乃至図４を用いて本願の第１の実施例
について説明する。図２はＯリングを上面からみた上面
図、図４はＯリングを断面からみた断面図を示す。２０
０はＯリングで、斜線部分がＯリングの合成ゴム製の部
位、黒色で示した部分がＯリングの耐腐食性材料の部
位、２０１はＯリングの合成ゴム製の部位、２０２は耐
腐食性材料の部位をそれぞれ示している。図２および図
４のＯリングでは、Ｏリングの内周側表面が耐腐食性材
料から構成されている。
について説明する。図２はＯリングを上面からみた上面
図、図４はＯリングを断面からみた断面図を示す。２０
０はＯリングで、斜線部分がＯリングの合成ゴム製の部
位、黒色で示した部分がＯリングの耐腐食性材料の部
位、２０１はＯリングの合成ゴム製の部位、２０２は耐
腐食性材料の部位をそれぞれ示している。図２および図
４のＯリングでは、Ｏリングの内周側表面が耐腐食性材
料から構成されている。
【００１３】図１は、Ｏリングを備えた装置を上面から
みた上面図、図３はＯリングを備えた装置を断面からみ
た断面図であって、図２および図４に示したＯリングを
備えた装置を示している。１０１はベースプレート、１
０２は容器、１０３はベースプレート１０１に設置され
たＯリング枠である。
みた上面図、図３はＯリングを備えた装置を断面からみ
た断面図であって、図２および図４に示したＯリングを
備えた装置を示している。１０１はベースプレート、１
０２は容器、１０３はベースプレート１０１に設置され
たＯリング枠である。
【００１４】図１、図２、図３、図４では図中Ａ−Ａ’
のＡ側あるいは図の左側に反応性の雰囲気が有る場合を
示している。
のＡ側あるいは図の左側に反応性の雰囲気が有る場合を
示している。
【００１５】一般に、合成ゴム系のＯリングは柔軟な弾
性体であり、容器の外気遮断性に富む反面、耐薬品・耐
プラズマ性が低い。また、フッ素樹脂等の耐腐食性の材
料は弾性が低く外気遮断性が低い。本実施例において
は、Ｏリングを、反応性の高い雰囲気側のＯリング表面
に配置された耐腐食性材料の部位と、Ｏリング内周表面
以外に配置された合成ゴム製の部位から構成しているた
め、外気遮断性を確保しつつ、耐薬品・耐プラズマ性に
富んだＯリング、あるいはこのＯリングを備えた装置を
提供することが可能となる。
性体であり、容器の外気遮断性に富む反面、耐薬品・耐
プラズマ性が低い。また、フッ素樹脂等の耐腐食性の材
料は弾性が低く外気遮断性が低い。本実施例において
は、Ｏリングを、反応性の高い雰囲気側のＯリング表面
に配置された耐腐食性材料の部位と、Ｏリング内周表面
以外に配置された合成ゴム製の部位から構成しているた
め、外気遮断性を確保しつつ、耐薬品・耐プラズマ性に
富んだＯリング、あるいはこのＯリングを備えた装置を
提供することが可能となる。
【００１６】また、コスト的にもフッ素樹脂等の耐腐食
性・耐プラズマ性を有する樹脂自体は手に入りやすい価
格であり、２０ｃｍの環状リングで合成ゴムと組み合わ
せた場合フッ素含有ゴムの２から３桁安価に用意でき
る。
性・耐プラズマ性を有する樹脂自体は手に入りやすい価
格であり、２０ｃｍの環状リングで合成ゴムと組み合わ
せた場合フッ素含有ゴムの２から３桁安価に用意でき
る。
【００１７】例えば、プラズマエッチング装置では真空
中に反応ガスを導入し高周波印加によりプラズマ化する
が、本実施例によるＯリングを配し、圧力２Ｔｏｒｒで
酸素１３００ＳＣＣＭを導入しマイクロ波９００Ｗで励
起した場合、使用半年後でもパーティクルの発生はな
く、容器の真空シールドは保たれ真空の保持が十分行え
た。
中に反応ガスを導入し高周波印加によりプラズマ化する
が、本実施例によるＯリングを配し、圧力２Ｔｏｒｒで
酸素１３００ＳＣＣＭを導入しマイクロ波９００Ｗで励
起した場合、使用半年後でもパーティクルの発生はな
く、容器の真空シールドは保たれ真空の保持が十分行え
た。
【００１８】図５乃至図８を用いて、本願発明の第２の
実施例を説明する。第１の実施例と異なる点は、Ｏリン
グの外周側に耐腐食性材料の部位が配置される点であ
る。図６はＯリングを上面からみた上面図、図８はＯリ
ングを断面からみた断面図を示す。２００はＯリング
で、斜線部分がＯリングの合成ゴム製の部位、黒色で示
した部分がＯリングの耐腐食性材料の部位、２０１はＯ
リングの合成ゴム製の部位、２０２は耐腐食性材料の部
位をそれぞれ示している。図６および図８のＯリングで
は、Ｏリングの外周側表面が耐腐食性材料から構成され
ている。
実施例を説明する。第１の実施例と異なる点は、Ｏリン
グの外周側に耐腐食性材料の部位が配置される点であ
る。図６はＯリングを上面からみた上面図、図８はＯリ
ングを断面からみた断面図を示す。２００はＯリング
で、斜線部分がＯリングの合成ゴム製の部位、黒色で示
した部分がＯリングの耐腐食性材料の部位、２０１はＯ
リングの合成ゴム製の部位、２０２は耐腐食性材料の部
位をそれぞれ示している。図６および図８のＯリングで
は、Ｏリングの外周側表面が耐腐食性材料から構成され
ている。
【００１９】図５は、Ｏリングを備えた装置を上面から
みた上面図、図７はＯリングを備えた装置を断面からみ
た断面図であって、図６および図８に示したＯリングを
備えた装置を示している。１０１はベースプレート、１
０２は容器、１０３はベースプレート１０１に設置され
たＯリング枠である。
みた上面図、図７はＯリングを備えた装置を断面からみ
た断面図であって、図６および図８に示したＯリングを
備えた装置を示している。１０１はベースプレート、１
０２は容器、１０３はベースプレート１０１に設置され
たＯリング枠である。
【００２０】図５乃至図８では図中Ａ−Ａ’のＡ’側あ
るいは図の右側に反応性の雰囲気が有る場合を示してい
る。
るいは図の右側に反応性の雰囲気が有る場合を示してい
る。
【００２１】第２の実施例でも、第１の実施例と同様
に、耐腐食性の材料としてフッ素樹脂等を反応性の高い
雰囲気側に配置することで、耐腐食性を実現しつつＡ−
Ａ’間の分離を実現できる。
に、耐腐食性の材料としてフッ素樹脂等を反応性の高い
雰囲気側に配置することで、耐腐食性を実現しつつＡ−
Ａ’間の分離を実現できる。
【００２２】図９乃至図１２を用いて、本願発明の第３
の実施例を説明する。第１および第２の実施例と異なる
点は、Ｏリングの内外周側表面に耐腐食性材料の部位が
配置される点である。図１０はＯリングを上面からみた
上面図、図１２はＯリングを断面からみた断面図を示
す。２００はＯリングで、斜線部分がＯリングの合成ゴ
ム製の部位、黒色で示した部分がＯリングの耐腐食性材
料の部位、２０１はＯリングの合成ゴム製の部位、２０
２は耐腐食性材料の部位をそれぞれ示している。図１０
および図１２のＯリングでは、Ｏリングの内周側表面と
外周側表面が耐腐食性材料から構成されている。
の実施例を説明する。第１および第２の実施例と異なる
点は、Ｏリングの内外周側表面に耐腐食性材料の部位が
配置される点である。図１０はＯリングを上面からみた
上面図、図１２はＯリングを断面からみた断面図を示
す。２００はＯリングで、斜線部分がＯリングの合成ゴ
ム製の部位、黒色で示した部分がＯリングの耐腐食性材
料の部位、２０１はＯリングの合成ゴム製の部位、２０
２は耐腐食性材料の部位をそれぞれ示している。図１０
および図１２のＯリングでは、Ｏリングの内周側表面と
外周側表面が耐腐食性材料から構成されている。
【００２３】図９は、Ｏリングを備えた装置を上面から
みた上面図、図１１はＯリングを備えた装置を断面から
みた断面図であって、図１０および図１２に示したＯリ
ングを備えた装置を示している。１０１はベースプレー
ト、１０２は容器、１０３はベースプレート１０１に設
置されたＯリング枠である。
みた上面図、図１１はＯリングを備えた装置を断面から
みた断面図であって、図１０および図１２に示したＯリ
ングを備えた装置を示している。１０１はベースプレー
ト、１０２は容器、１０３はベースプレート１０１に設
置されたＯリング枠である。
【００２４】図９乃至図１２では図中Ａ−Ａ’の両側あ
るいは図の両側が反応性の雰囲気となる可能性が有る場
合を示している。
るいは図の両側が反応性の雰囲気となる可能性が有る場
合を示している。
【００２５】第３の実施例でも、第１及び第２の実施例
と同様に、耐腐食性の材料としてフッ素樹脂等を反応性
の高い雰囲気側に配置することで、耐腐食性を実現しつ
つＡ−Ａ’間の分離を実現できる。
と同様に、耐腐食性の材料としてフッ素樹脂等を反応性
の高い雰囲気側に配置することで、耐腐食性を実現しつ
つＡ−Ａ’間の分離を実現できる。
【００２６】また、第１乃至第３の実施例に示した構造
は、図１３乃至図１６のように配置することも可能であ
る。図１３乃至図１６では、図の上部あるいは上下部に
反応性の高い雰囲気がある場合である。すなわち、耐腐
食性の部位はＯリングの上部、下部、あるいは上下部の
いずれに配置されてもよい。ようは、耐腐食性の部位
が、反応性の高い雰囲気側に配置されることで本発明の
目的が達成される。
は、図１３乃至図１６のように配置することも可能であ
る。図１３乃至図１６では、図の上部あるいは上下部に
反応性の高い雰囲気がある場合である。すなわち、耐腐
食性の部位はＯリングの上部、下部、あるいは上下部の
いずれに配置されてもよい。ようは、耐腐食性の部位
が、反応性の高い雰囲気側に配置されることで本発明の
目的が達成される。
【００２７】図１７乃至図１９には、本発明のＯリング
の他の形態を示す。図１７は、合成ゴム製の部位と耐腐
食性材料の部位との結合性、密着性を高くするために、
耐腐食性材料の部位に矢印上の突起部を設けた構成を示
している。図１８も、密着性を考慮して、Ｏリングの半
分を耐腐食性材料部位で構成した例である。さらに、図
１９は、加工性を考慮して、耐腐食性材料部を断面円形
状の合成ゴム性部位を覆うように構成した例である。
の他の形態を示す。図１７は、合成ゴム製の部位と耐腐
食性材料の部位との結合性、密着性を高くするために、
耐腐食性材料の部位に矢印上の突起部を設けた構成を示
している。図１８も、密着性を考慮して、Ｏリングの半
分を耐腐食性材料部位で構成した例である。さらに、図
１９は、加工性を考慮して、耐腐食性材料部を断面円形
状の合成ゴム性部位を覆うように構成した例である。
【００２８】これらの構造でも、合成ゴムの弾力性によ
り容器に押しつぶされ気密性が高いことが確認された。
り容器に押しつぶされ気密性が高いことが確認された。
【００２９】ここではプラズマ装置について説明してい
るが、一例でありこれらに限られるわけではなく薬品の
容器や真空容器等、様々な応用が可能である。
るが、一例でありこれらに限られるわけではなく薬品の
容器や真空容器等、様々な応用が可能である。
【００３０】また、従来のＯリングと同じ大きさに設計
することで、既存のＯリング用溝をそのまま使用でき装
置の改造が必要ない。
することで、既存のＯリング用溝をそのまま使用でき装
置の改造が必要ない。
【００３１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のＯリング及
びＯリングを備えた装置によれば、耐薬品・耐プラズマ
性の高いのシールドが実現でき、Ｏリングの劣化による
パーティクルの発生を抑え、真空の保持等にも優れた特
性を得られる。
びＯリングを備えた装置によれば、耐薬品・耐プラズマ
性の高いのシールドが実現でき、Ｏリングの劣化による
パーティクルの発生を抑え、真空の保持等にも優れた特
性を得られる。
【図１】本発明の一実施の形態を示すＯリングを備えた
装置の上面図。
装置の上面図。
【図２】本発明の一実施の形態を示すＯリングの上面
図。
図。
【図３】本発明の一実施の形態を示すＯリングを備えた
装置の断面図。
装置の断面図。
【図４】本発明の一実施の形態を示すＯリングの断面
図。
図。
【図５】本発明の一実施の形態を示すＯリングを備えた
装置の上面図。
装置の上面図。
【図６】本発明の一実施の形態を示すＯリングの上面
図。
図。
【図７】本発明の一実施の形態を示すＯリングを備えた
装置の断面図。
装置の断面図。
【図８】本発明の一実施の形態を示すＯリングの断面
図。
図。
【図９】本発明の一実施の形態を示すＯリングを備えた
装置の上面図。
装置の上面図。
【図１０】本発明の一実施の形態を示すＯリングの上面
図。
図。
【図１１】本発明の一実施の形態を示すＯリングを備え
た装置の断面図。
た装置の断面図。
【図１２】本発明の一実施の形態を示すＯリングの断面
図。
図。
【図１３】本発明の一実施の形態を示すＯリングを備え
た装置の上面図。
た装置の上面図。
【図１４】本発明の一実施の形態を示すＯリングの上面
図。
図。
【図１５】本発明の一実施の形態を示すＯリングを備え
た装置の断面図。
た装置の断面図。
【図１６】本発明の一実施の形態を示すＯリングの断面
図。
図。
【図１７】本発明の一実施の形態を示すＯリングの断面
図。
図。
【図１８】本発明の一実施の形態を示すＯリングの断面
図。
図。
【図１９】本発明の一実施の形態を示すＯリングの断面
図。
図。
【図２０】従来の形態を示すＯリングの上面図。
１０１．ベースプレート １０２．容器 １０３．Ｏリング枠 ２００．Ｏリング ２０１．Ｏリングの合成ゴム製の部位Ｏリング ２０２．Ｏリングの耐腐食性材料の部位
Claims (4)
- 【請求項１】平面形状は環状で断面形状は円形でかつ弾
性を有するＯリングを備えた装置であって、前記Ｏリン
グは表面に配置される耐腐食性材料の部位と、その他の
部位に配置される合成ゴムの部位とからなることを特徴
とするＯリングを備えた装置。 - 【請求項２】前記耐腐食性材料の部位が、前記Ｏリング
の内周側あるいは外周側表面に環状に配置されているこ
とを特徴とする請求項1記載のＯリングを備えた装置。 - 【請求項３】平面形状は環状で断面形状は円形でかつ弾
性を有するＯリングであって、前記Ｏリングは表面に配
置される耐腐食性材料の部位と、その他の部位に配置さ
れる合成ゴムの部位とからなることを特徴とするＯリン
グ。 - 【請求項４】前記耐腐食性材料の部位が、前記Ｏリング
の内周側あるいは外周側表面に環状に配置されているこ
とを特徴とする請求項1記載のＯリング。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15406797A JPH112328A (ja) | 1997-06-11 | 1997-06-11 | Ｏリング及びこれを具備する装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15406797A JPH112328A (ja) | 1997-06-11 | 1997-06-11 | Ｏリング及びこれを具備する装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH112328A true JPH112328A (ja) | 1999-01-06 |
Family
ID=15576179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15406797A Withdrawn JPH112328A (ja) | 1997-06-11 | 1997-06-11 | Ｏリング及びこれを具備する装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH112328A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005330988A (ja) * | 2004-05-18 | 2005-12-02 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | シール材 |
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