JPS62139340A - ウエ−ハ搬送装置 - Google Patents
ウエ−ハ搬送装置Info
- Publication number
- JPS62139340A JPS62139340A JP60278977A JP27897785A JPS62139340A JP S62139340 A JPS62139340 A JP S62139340A JP 60278977 A JP60278977 A JP 60278977A JP 27897785 A JP27897785 A JP 27897785A JP S62139340 A JPS62139340 A JP S62139340A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- housing
- belt
- chambers
- vacuum
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、ウェーハの搬送装置に係り、特にウェーハを
ベルト機構を用いて搬送するウェーハ搬送装置に関する
ものである。
ベルト機構を用いて搬送するウェーハ搬送装置に関する
ものである。
ウェーハの搬送装置には、ベルト搬送式、空気搬送式、
チャッキング搬送式およびウオーキングビームトランス
ポート式など、各種の方式があるが、ウェーハを大気側
から真空側へ、あるいは真空側から大気側へと搬送する
場合は、それぞれに得失がある。−搬には搬送の確実性
が高く、異物発生も少ないベルト搬送式がよく用いられ
る。
チャッキング搬送式およびウオーキングビームトランス
ポート式など、各種の方式があるが、ウェーハを大気側
から真空側へ、あるいは真空側から大気側へと搬送する
場合は、それぞれに得失がある。−搬には搬送の確実性
が高く、異物発生も少ないベルト搬送式がよく用いられ
る。
このベルト搬送方式では、耐真空室内に一対のチャンバ
が設けられており、それぞれに搬送ベルトが取りつけら
れている。二つの搬送ベルトは窩さが同じに揃えられ、
それぞれチャンバの周囲を回転している。またチャンバ
の中間には上下動して両チャンバの大気側と真空側を遮
断するゲートバルブが設けられている。
が設けられており、それぞれに搬送ベルトが取りつけら
れている。二つの搬送ベルトは窩さが同じに揃えられ、
それぞれチャンバの周囲を回転している。またチャンバ
の中間には上下動して両チャンバの大気側と真空側を遮
断するゲートバルブが設けられている。
ウェーハはこのゲートバルブが開放状態で下降したとき
、一方の搬送ベルトに乗せられて他方のベルトに送られ
るのであるが、このゲートバルブの間を通ってウェーハ
を搬送するとき、これまでは前後の搬送ベルトの間隔が
ウェーハの口径に比べて大きいため、ウェーハの受は渡
しができず、ウェーハが落下してしまうという問題があ
った。
、一方の搬送ベルトに乗せられて他方のベルトに送られ
るのであるが、このゲートバルブの間を通ってウェーハ
を搬送するとき、これまでは前後の搬送ベルトの間隔が
ウェーハの口径に比べて大きいため、ウェーハの受は渡
しができず、ウェーハが落下してしまうという問題があ
った。
本発明の目的は、ベルト式搬送装置において広範囲にわ
たるサイズのウェーハを連続して搬送可能とする、ウェ
ーハ搬送装置を提供するにある。
たるサイズのウェーハを連続して搬送可能とする、ウェ
ーハ搬送装置を提供するにある。
本発明は、真空状態に保持することができ、それぞれ同
じ高さを有する搬送ベルトが設けられている一対のチャ
ンバと、このチャンバ間に設けられ、両チャンバ間を上
下に移動して大気側と真空側とを遮断するゲートバルブ
とを有するウェーハ搬送装置において、前記ゲートバル
ブが、その頭部に、このゲートバルブの開放時、前記搬
送ベルトと同じ高さとなる位置に回転リングベルトが設
けてあることを特徴とする。
じ高さを有する搬送ベルトが設けられている一対のチャ
ンバと、このチャンバ間に設けられ、両チャンバ間を上
下に移動して大気側と真空側とを遮断するゲートバルブ
とを有するウェーハ搬送装置において、前記ゲートバル
ブが、その頭部に、このゲートバルブの開放時、前記搬
送ベルトと同じ高さとなる位置に回転リングベルトが設
けてあることを特徴とする。
半導体製造装置においては、素子の加工にイオン折込み
、電子ビーム露光など高真空を必要とするものがある。
、電子ビーム露光など高真空を必要とするものがある。
特に真空中でウェーハ加工を行なうイオン打込み装置を
用いる太陽電池セルの製造には、ウェーハの高速連続搬
送が重要である。本発明は、真空ゲートバルブに回転す
るリングベルトを装着し、ウェーハの連続搬送を可能と
したものである。
用いる太陽電池セルの製造には、ウェーハの高速連続搬
送が重要である。本発明は、真空ゲートバルブに回転す
るリングベルトを装着し、ウェーハの連続搬送を可能と
したものである。
以下１本発明の一実施例を第５Ｆ１−１ｐ２図により説
明する。第１図は本発明のウェー／）ｗｌ送装置の一実
施例の説明図で、ゲートバルブを遮断状態を示し、第２
図は同じく開放状態を示す。
明する。第１図は本発明のウェー／）ｗｌ送装置の一実
施例の説明図で、ゲートバルブを遮断状態を示し、第２
図は同じく開放状態を示す。
これらの図において、ｌはハウジングで耐真空構造のも
のである。２および３はチャンバで、それぞれの外周に
は搬送ベルト４および５が取りつけられて回転している
。６はウェーハで、搬送ベルト４に乗せられ搬送ベルト
５側に送り出される。
のである。２および３はチャンバで、それぞれの外周に
は搬送ベルト４および５が取りつけられて回転している
。６はウェーハで、搬送ベルト４に乗せられ搬送ベルト
５側に送り出される。
７．８はそれぞれ搬送ベルト４および５を回転させるプ
ーリ、９および１０はそれぞれチャンバ２および３側の
排気系である。１１はシールベースで、チャンバ２およ
び３の中間にあって駆動治具１２により上下に移動し、
Ｏリング１３．ベローズ１４と共に第１図に示すように
チャンバ２および３の大気側と真空側とを遮断する動作
を行なう。
ーリ、９および１０はそれぞれチャンバ２および３側の
排気系である。１１はシールベースで、チャンバ２およ
び３の中間にあって駆動治具１２により上下に移動し、
Ｏリング１３．ベローズ１４と共に第１図に示すように
チャンバ２および３の大気側と真空側とを遮断する動作
を行なう。
１５は回転リングベルトで、シールベース１１が第２図
に示すように下降したとき、搬送ベルト４および５の中
間にあってウェーハ６の搬送通路の一部として動作する
。１６はストッパで、シールベース１１が上昇したとき
、これを一定位置に停止させるものである。
に示すように下降したとき、搬送ベルト４および５の中
間にあってウェーハ６の搬送通路の一部として動作する
。１６はストッパで、シールベース１１が上昇したとき
、これを一定位置に停止させるものである。
この実施例のウェーハ搬送装置においては、シールベー
ス１１とＯリング１３とにより、ハウジング１内の大気
圧側と真空側の通路を開放、遮断するゲートバルブとし
ての動作を行なう。
ス１１とＯリング１３とにより、ハウジング１内の大気
圧側と真空側の通路を開放、遮断するゲートバルブとし
ての動作を行なう。
第１図において駆動治具１２を押し上げると、シールベ
ース１１はハウジング１内の開口部の位置まで上昇する
が、ここでストッパ１６により、シールベース１１の角
部分にシールベース１１をハウジング１の側壁方向に押
しつける力が生じ。
ース１１はハウジング１内の開口部の位置まで上昇する
が、ここでストッパ１６により、シールベース１１の角
部分にシールベース１１をハウジング１の側壁方向に押
しつける力が生じ。
Ｏリング１３がハウジング１の内面に圧着されて同図に
示す状態となる。この状態でチャンバ３側を排気系１０
で真空排気すると、チャンバ２側とチャンバ３側とは、
シールベース１１とＯリング１３とベローズ１４とによ
り遮断分離され、チャンバ２側は大気圧となり、チャン
バ３側は高真空となる。
示す状態となる。この状態でチャンバ３側を排気系１０
で真空排気すると、チャンバ２側とチャンバ３側とは、
シールベース１１とＯリング１３とベローズ１４とによ
り遮断分離され、チャンバ２側は大気圧となり、チャン
バ３側は高真空となる。
次に排気系９によりチャンバ２側を真空排気し、駆動治
具１２を下げると、シールベース１１が下降し、リング
ベルト１５の位置がベルト４およびベルト５と同一高さ
となり、第２図に示す状態となる。この状態がウェーハ
６をベルト４よりベルト５に移送する状態である。すな
わちウェーハ６は、チャンバ２とチャンバ３側が共に真
空のとき搬送されることになる。
具１２を下げると、シールベース１１が下降し、リング
ベルト１５の位置がベルト４およびベルト５と同一高さ
となり、第２図に示す状態となる。この状態がウェーハ
６をベルト４よりベルト５に移送する状態である。すな
わちウェーハ６は、チャンバ２とチャンバ３側が共に真
空のとき搬送されることになる。
次に第２図によりウェーハ６の搬送と各部の寸法関係に
ついて説明する。
ついて説明する。
ウェーハ６がベルト４に乗って運搬されプーリ７を通過
するとき、従来は回転リングベルト１５がなかったので
、ウェーハ６は口径の約１／２以上プーリ７を出ると落
下してしまうおそれがあった。落下する前に次のベルト
５にウェーハ６が達していなければならないから、プー
リ７とプーリ８の中心に距離はウェーハ６の口径の１／
２よす小さくなければならない。しかしシールベース１
１とハウジング１の内側寸法は、大気−真空間の耐強度
、チャンバ２、チャンバ３の取付裕度およびシールベー
ス１１の駆動裕度などからみて、実際的寸法として３０
〜４０ｗｏが限度である。シールベース１１としては、
大気圧に十分耐える強度とするには、１０ｍ以下の寸法
とすることはできない。またプーリ７およびプーリ８の
回転半径は、ベルト４および５の太さからＬｏａｎ〜２
０ｍが必要である。したがってプウーリ４とプーリ５の
間隔は５０〜６０１１１が最少となる。以上の各部の寸
法から、搬送可能なウェーハ６の口径としては、１００
〜１２０ｍ＋以上のものでなければならず、停止精度な
どを含めると、これまで１５０■以下のウェーハを搬送
することは困難であった。
するとき、従来は回転リングベルト１５がなかったので
、ウェーハ６は口径の約１／２以上プーリ７を出ると落
下してしまうおそれがあった。落下する前に次のベルト
５にウェーハ６が達していなければならないから、プー
リ７とプーリ８の中心に距離はウェーハ６の口径の１／
２よす小さくなければならない。しかしシールベース１
１とハウジング１の内側寸法は、大気−真空間の耐強度
、チャンバ２、チャンバ３の取付裕度およびシールベー
ス１１の駆動裕度などからみて、実際的寸法として３０
〜４０ｗｏが限度である。シールベース１１としては、
大気圧に十分耐える強度とするには、１０ｍ以下の寸法
とすることはできない。またプーリ７およびプーリ８の
回転半径は、ベルト４および５の太さからＬｏａｎ〜２
０ｍが必要である。したがってプウーリ４とプーリ５の
間隔は５０〜６０１１１が最少となる。以上の各部の寸
法から、搬送可能なウェーハ６の口径としては、１００
〜１２０ｍ＋以上のものでなければならず、停止精度な
どを含めると、これまで１５０■以下のウェーハを搬送
することは困難であった。
本実施例においてはシールベース１１の頭部に回転リン
グベルト１５を設け、かつその位置をベルト４および５
と同一高さとしであるので、ベルト４および５の間の搬
送可能距離をこれまでの倍にすることができ、ウェーハ
６をベルト４から回転リングベルト１５に移し、その後
ベルト５に安定に移送することができる。
グベルト１５を設け、かつその位置をベルト４および５
と同一高さとしであるので、ベルト４および５の間の搬
送可能距離をこれまでの倍にすることができ、ウェーハ
６をベルト４から回転リングベルト１５に移し、その後
ベルト５に安定に移送することができる。
このようにして本実施例では、ウェーハ６の口径が５０
ｍｍの小口径のものから大口径のものまで連続的に搬送
することが可能になる。
ｍｍの小口径のものから大口径のものまで連続的に搬送
することが可能になる。
ウェーハ６が回転リングベルト１５およびベルト５をへ
てチャンバ３側に移送が完了すると、シールベース１１
は第２図より第１図の状態に戻り、チャンバ２側は再び
大気圧となり、大気圧に置がれた次のウェーハ６がベル
ト４に乗せられ、続いて第２図の状態に入り、以後前述
と同様の操作がくり返される。
てチャンバ３側に移送が完了すると、シールベース１１
は第２図より第１図の状態に戻り、チャンバ２側は再び
大気圧となり、大気圧に置がれた次のウェーハ６がベル
ト４に乗せられ、続いて第２図の状態に入り、以後前述
と同様の操作がくり返される。
なお１回転リングベルト１５を他の駆動系を用い、独立
して回転するようにすることにより、ゲートバルブに大
型のものを使用することができ。
して回転するようにすることにより、ゲートバルブに大
型のものを使用することができ。
ウェーハの搬送能力および搬送精度を向上することがで
き、ウェーハの搬送能力および搬送精度を向上すること
ができ、ウェーハの搬送能力および搬送精度を向上する
ことができる。
き、ウェーハの搬送能力および搬送精度を向上すること
ができ、ウェーハの搬送能力および搬送精度を向上する
ことができる。
以上のように、ウェーハの大気−真空間の搬送に本発明
による回転リングベルトを用いたベルト搬送機構を用い
ることにより、大口径よりこれまで搬送が困難であった
小口径のウェーハまで連続的に搬送することが可能とな
り、小形で搬送能力が大きい生産用設備とすることがで
きる。特に枚葉式のイオン打込み装置において、各種サ
イズのウェーハが高速、連続に搬送可能となり、大容量
機器を対象としたウェーハの処理能力の向上に極めて有
効である。
による回転リングベルトを用いたベルト搬送機構を用い
ることにより、大口径よりこれまで搬送が困難であった
小口径のウェーハまで連続的に搬送することが可能とな
り、小形で搬送能力が大きい生産用設備とすることがで
きる。特に枚葉式のイオン打込み装置において、各種サ
イズのウェーハが高速、連続に搬送可能となり、大容量
機器を対象としたウェーハの処理能力の向上に極めて有
効である。
本発明によれば、ベルト式搬送装置において広範囲にわ
たるサイズのウェーハを連続して搬送可能とする。ウェ
ーハ搬送装置を提供することができる。
たるサイズのウェーハを連続して搬送可能とする。ウェ
ーハ搬送装置を提供することができる。
第１図は本発明のウェーハ搬送装置の一実施例における
ゲートバルブ遮断時の説明図、第２図は同じくゲートバ
ルブ開放時の説明図である。
ゲートバルブ遮断時の説明図、第２図は同じくゲートバ
ルブ開放時の説明図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、真空状態に保持することができ、それぞれ同じ高さ
を有する搬送ベルトが設けられている一対のチャンバと
、該チャンバ間に設けられ、両チャンバ間を上下に移動
して大気側と真空側とを遮断するゲートバルブとを有す
るウェーハ搬送装置において前記ゲートバルブが、その
頭部に、該ゲートバルブの開放時、前記搬送ベルトと同
じ高さとなる位置に回転リングベルトが設けてあること
を特徴とするウェーハ搬送装置。 ２、前記リングベルトが、駆動装置により回転されるも
のである特許請求の範囲第１項記載のウェーハ搬送装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60278977A JPS62139340A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | ウエ−ハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60278977A JPS62139340A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | ウエ−ハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62139340A true JPS62139340A (ja) | 1987-06-23 |
Family
ID=17604704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60278977A Pending JPS62139340A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | ウエ−ハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62139340A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04226048A (ja) * | 1990-04-19 | 1992-08-14 | Applied Materials Inc | 二重カセット装填ロック装置 |
-
1985
- 1985-12-13 JP JP60278977A patent/JPS62139340A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04226048A (ja) * | 1990-04-19 | 1992-08-14 | Applied Materials Inc | 二重カセット装填ロック装置 |
| EP0452939B1 (en) * | 1990-04-19 | 2000-11-02 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for loading workpieces in a processing system |
| US6454508B2 (en) | 1990-04-19 | 2002-09-24 | Applied Materials, Inc. | Dual cassette load lock |
| US6454519B1 (en) | 1990-04-19 | 2002-09-24 | Applied Materials, Inc. | Dual cassette load lock |
| US6599076B2 (en) | 1990-04-19 | 2003-07-29 | Applied Materials, Inc. | Dual cassette load lock |
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