JPS62132456U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62132456U JPS62132456U JP1881686U JP1881686U JPS62132456U JP S62132456 U JPS62132456 U JP S62132456U JP 1881686 U JP1881686 U JP 1881686U JP 1881686 U JP1881686 U JP 1881686U JP S62132456 U JPS62132456 U JP S62132456U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- pair
- oxide layer
- titanium oxide
- heater
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 4
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す概略構成図、
第２図は第１図の―矢視断面図、第３図は従
来例の概略構成図、第４図は第３図の―矢視
断面図、第５図は第４図の部分拡大路を示す。 １……基板、２，３……電極、４……酸化チタ
ン層、７……ヒータ、７ａ……高電位ヒータ部、
７ｂ……低電位ヒータ部、１１……アース線。
第２図は第１図の―矢視断面図、第３図は従
来例の概略構成図、第４図は第３図の―矢視
断面図、第５図は第４図の部分拡大路を示す。 １……基板、２，３……電極、４……酸化チタ
ン層、７……ヒータ、７ａ……高電位ヒータ部、
７ｂ……低電位ヒータ部、１１……アース線。
Claims (1)
- ヒータを埋設した基板の一側に、前記ヒータ印
加電圧より低い電圧が印加される一対の電極を並
設し、該一対の電極上に酸化チタン層を積層して
なり、前記並設した電極間に介在する酸化チタン
層の電気抵抗変化に基づいて酸素濃度を検出する
構成の酸素センサにおいて、前記一対の電極近傍
に配置されたヒータの電極電位より高い部位に沿
つて電極電位より低い電位部を設けたことを特徴
とする酸素センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1881686U JPS62132456U (ja) | 1986-02-14 | 1986-02-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1881686U JPS62132456U (ja) | 1986-02-14 | 1986-02-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62132456U true JPS62132456U (ja) | 1987-08-21 |
Family
ID=30812836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1881686U Pending JPS62132456U (ja) | 1986-02-14 | 1986-02-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62132456U (ja) |
-
1986
- 1986-02-14 JP JP1881686U patent/JPS62132456U/ja active Pending