JPS61170061U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61170061U JPS61170061U JP5211585U JP5211585U JPS61170061U JP S61170061 U JPS61170061 U JP S61170061U JP 5211585 U JP5211585 U JP 5211585U JP 5211585 U JP5211585 U JP 5211585U JP S61170061 U JPS61170061 U JP S61170061U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recess
- electrodes
- oxygen sensor
- alumina substrate
- narrow opening
- Prior art date
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- Pending
Links
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
第１図は本考案に係わる酸素センサの一実施例
を示す断面図、第２図Ａ，Ｂは夫々従来の酸素セ
ンサの一例を示す断面図及び平面図、第３図はチ
タニアの抵抗値と酸素濃度との関係を示すグラフ
である。 １……アルミナ基板、２，３……電極、４……
チタニア層、５……凹所。
を示す断面図、第２図Ａ，Ｂは夫々従来の酸素セ
ンサの一例を示す断面図及び平面図、第３図はチ
タニアの抵抗値と酸素濃度との関係を示すグラフ
である。 １……アルミナ基板、２，３……電極、４……
チタニア層、５……凹所。
Claims (1)
- ２つの電極間に介在するチタニア層の電気抵抗
変化によつて酸素濃度を検出するようにした酸素
センサにおいて、アルミナ基板の一側に開口部が
すぼまつた凹所を設け、該凹所底面に所定の間隔
をあけて２つの電極を装着し、該２つの電極を包
覆する形でチタニア層を前記凹所に形成したこと
を特徴とする酸素センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5211585U JPS61170061U (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5211585U JPS61170061U (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61170061U true JPS61170061U (ja) | 1986-10-22 |
Family
ID=30571774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5211585U Pending JPS61170061U (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61170061U (ja) |
-
1985
- 1985-04-10 JP JP5211585U patent/JPS61170061U/ja active Pending