JPS6275458U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6275458U JPS6275458U JP16668585U JP16668585U JPS6275458U JP S6275458 U JPS6275458 U JP S6275458U JP 16668585 U JP16668585 U JP 16668585U JP 16668585 U JP16668585 U JP 16668585U JP S6275458 U JPS6275458 U JP S6275458U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- titania
- electrodes
- alumina
- pair
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims 2
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
第１図は本考案の第１実施例を示し、Ａは要部
平面図、ＢはＡの−矢視断面図、ＣはＡの
′−′矢視断面図、第２図は本考案の第２実施
例を示し、Ａは要部平面図、ＢはＡの−矢視
断面図、第３図は従来例を示し、Ａは要部断面図
、ＢはＡの−矢視断面図を示す。 １１……アルミナ基板、１２，１３……電極、
１５……チタニア層、１５ａ……チタニア層露出
部、１６……アルミナ層。
平面図、ＢはＡの−矢視断面図、ＣはＡの
′−′矢視断面図、第２図は本考案の第２実施
例を示し、Ａは要部平面図、ＢはＡの−矢視
断面図、第３図は従来例を示し、Ａは要部断面図
、ＢはＡの−矢視断面図を示す。 １１……アルミナ基板、１２，１３……電極、
１５……チタニア層、１５ａ……チタニア層露出
部、１６……アルミナ層。
Claims (1)
- 一対の電極間に介在されるチタニアの電極抵抗
変化によつて酸素濃度を検出するようにした酸素
センサにおいて、アルミナ基板上に前記一対の電
極を設け、該一対の電極上に前記チタニアを積層
し、かつ該チタニア層の上に当該チタニア層の一
部を露出させてアルミナを積層しアルミナ基板と
アルミナ層とでチタニア層を挟持する構成とした
ことを特徴とする酸素センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16668585U JPS6275458U (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16668585U JPS6275458U (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6275458U true JPS6275458U (ja) | 1987-05-14 |
Family
ID=31097898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16668585U Pending JPS6275458U (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6275458U (ja) |
-
1985
- 1985-10-31 JP JP16668585U patent/JPS6275458U/ja active Pending