JPS61173059U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61173059U JPS61173059U JP5482285U JP5482285U JPS61173059U JP S61173059 U JPS61173059 U JP S61173059U JP 5482285 U JP5482285 U JP 5482285U JP 5482285 U JP5482285 U JP 5482285U JP S61173059 U JPS61173059 U JP S61173059U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- titania layer
- oxygen sensor
- alumina substrate
- coated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
第1図A,Bは夫々本考案に係わる酸素センサ
の一実施例を示す全体断面図及び部分拡大断面図
、第2図A,Bは夫々従来の酸素センサの一例を
示す断面図及び平面図、第3図はチタニアの抵抗
値と酸素濃度との関係を示すグラフである。 1……アルミナ基板、2,3……電極、4……
チタニア層、5……断面くさび状部分、6……溝
。
の一実施例を示す全体断面図及び部分拡大断面図
、第2図A,Bは夫々従来の酸素センサの一例を
示す断面図及び平面図、第3図はチタニアの抵抗
値と酸素濃度との関係を示すグラフである。 1……アルミナ基板、2,3……電極、4……
チタニア層、5……断面くさび状部分、6……溝
。
Claims (1)
- アルミナ基板の一側に所定の間隔をあけて2つ
の電極を装着し、該2つの電極を包覆する形でチ
タニア層をコーテイングしてなり、2つの電極間
に介在するチタニア層の電気抵抗変化によつて酸
素濃度を検出するようにした酸素センサにおいて
、前記アルミナ基板のチタニア層コーテイング面
を、断面くさび状部分を多数設けた形状に形成し
たことを特徴とする酸素センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5482285U JPS61173059U (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5482285U JPS61173059U (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61173059U true JPS61173059U (ja) | 1986-10-28 |
Family
ID=30576927
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5482285U Pending JPS61173059U (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61173059U (ja) |
-
1985
- 1985-04-15 JP JP5482285U patent/JPS61173059U/ja active Pending