JPS63200756U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63200756U JPS63200756U JP9169087U JP9169087U JPS63200756U JP S63200756 U JPS63200756 U JP S63200756U JP 9169087 U JP9169087 U JP 9169087U JP 9169087 U JP9169087 U JP 9169087U JP S63200756 U JPS63200756 U JP S63200756U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- electrodes
- oxygen sensor
- sensor element
- catalyst
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
第１図ａ及びｂは其々本考案の一実施例の酸素
センサ素子を示す断面図及び平面図、第２図は酸
化物半導体型酸素センサの一例の検出回路図、第
３図及び第４図は一実施例の素子を用いた酸素セ
ンサの出力電圧と応答時間の関係を、比較例のそ
れと対比して示すグラフであつて、第３図はリツ
チからリーンへの変化時を、第４図はリーンから
リツチへの変化時を示すグラフ、第５図ａ及びｂ
は其々従来の酸素センサ素子の一例を示す断面図
及び平面図である。 図中、１……触媒担持チタニア層、２，３……
電極、４……アルミナ基板。
センサ素子を示す断面図及び平面図、第２図は酸
化物半導体型酸素センサの一例の検出回路図、第
３図及び第４図は一実施例の素子を用いた酸素セ
ンサの出力電圧と応答時間の関係を、比較例のそ
れと対比して示すグラフであつて、第３図はリツ
チからリーンへの変化時を、第４図はリーンから
リツチへの変化時を示すグラフ、第５図ａ及びｂ
は其々従来の酸素センサ素子の一例を示す断面図
及び平面図である。 図中、１……触媒担持チタニア層、２，３……
電極、４……アルミナ基板。
Claims (1)
- 断面凹状の溝を有する耐熱絶縁性基板の溝内側
両側面部に電極を設け、その電極間に触媒担持酸
化物半導体層を設けたことを特徴とする酸素セン
サ素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9169087U JPS63200756U (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9169087U JPS63200756U (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63200756U true JPS63200756U (ja) | 1988-12-23 |
Family
ID=30952707
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9169087U Pending JPS63200756U (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63200756U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5361395A (en) * | 1976-11-15 | 1978-06-01 | Nippon Soken | Gas component detector |
| JPS5723847A (en) * | 1980-07-17 | 1982-02-08 | Fuigaro Giken Kk | Waste gas sensor and its manufacture |
-
1987
- 1987-06-15 JP JP9169087U patent/JPS63200756U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5361395A (en) * | 1976-11-15 | 1978-06-01 | Nippon Soken | Gas component detector |
| JPS5723847A (en) * | 1980-07-17 | 1982-02-08 | Fuigaro Giken Kk | Waste gas sensor and its manufacture |