JPS62128143A - 半導体基板カセツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体プロセスの自動装置に関し、特に半導
体基板を収納するカセッ）Ｋ関する。

〔従来の技術〕

従来、半導体基板（以下基板と記す）１／ｉ洗浄。

レジスト塗布、プレベーク、露光、現像、ポストベーク
、エツチング、剥離等さまざまなプロセス処理を行ない
半導体に加工される。このプロセス処理は色々な使用目
的にあわせて行なわれるため、カセットごとにその使用
条件を記した管理票や磁気テープ等をつけて管理してい
た。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、この管理票や磁気カード等はカセットの
数だけ必要であり、カセットが色々な工程を経るごとに
そのカセットに合った管理票や磁気カード等をカセット
とともに移動させている。

近年、半導体の生産量は増加しており、管理するのが非
常に難かしいものとなっている。管理票や磁気カード等
の移動は人間による作業であり、カセットと管理票や磁
気カード等とを取り違えて工程に送り込み、間違ったｆ
＋：１セス処理を行ない、不良品を発生させてしまうと
いう欠点があった。

本発明は膨大な数の基板を使用目的にあった製品にする
までの管理を正確に簡単に、迅速に行ない、管理票や磁
気カード等を必要としないカセットを提供するものであ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は半導体基板の収納用カセット本体の外面一部に
機械的、電気的又は光学的に検知可能な識別用マークを
設けたことを特徴とする半導体基板カセットである。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図によシ説明する。

第１図において、２本のピンｌａ、ｌａで連結された平
行な枠板１，１と、一定ピツチで基板保持用の切欠き２
ａ＋・・・・・・を設けた４本の基板支持棒２とからカ
セット本体３が構成され、基板はその周縁部が４本の支
持棒２の同じ高さ位置の切欠き２ａに嵌合支持され、上
下複数段に収容される。

本実施例はカセット本体３の枠板１の一辺に沿って切込
みを入れて２進法で表わされた識別番号４を設けたもの
である。尚、識別マークは２進法による識別番号に限ら
ず、コンビーータが識別できるものならなんでもよい。

このカセットをプロセス装置にセットし、光センサーや
カセット番号読み取り謂等を介してコンビーータによシ
機械的、電気的又は光学的にカセット番号４を識別する
。

このカセット１にはいっている基板のデータを前もって
入力しておき、プロセス装置の受は側の後段のカセット
に、前段のカセットのデータが伝送されるシステムにし
ておけば、プロセス装置間をコ°ンピ一一夕で結ぶこと
によって、次々にカセットからカセットへデータが移り
、管理票や磁気テープ等なしにカセットだけで管理する
ことができる。

〔発明の効果〕

以上詳細に説明したように本発明によれば、管理票や磁
気カード等が必要なく、基板が増加しても間違えること
なく、使用目的にあった半導体を正確に迅速に生産する
ことができる効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のカセットを示す斜視図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体基板の収納用カセット本体の外面一部に機
   械的、電気的又は光学的に検知可能な識別用マークを設
   けたことを特徴とする半導体基板カセット。