JPS62123432A - 導波型光スイツチ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は導波路中を進む光の進行方向を電気的に偏向
する光スィッチ、特に２×２型光スイッチに関する。

（従来の技術） 従来、３本の導波路をｑｉ行に並べて２　Ｘ　２　型の
光スィッチとして構成された３導波略語合器型の光スィ
ッチが文献工　［アプライド　オブティクス（Ａｐｐｌ
ｉｅｄ　０ｐｔｉｃｓ）　２４　［９］（１９８５−５
−１）Ｐ、１２ｆｉＯ−１２８４Ｊに提案されている。

このような３導波路型詰合器型光スイッチは曲がり部を
有さない直線導波路を以って光でトリクススイッチを構
成することが出来る。このため、’ｉｌ！Ｆビームによ
り８鶏に精度の良い導波路パターンを形成することが出
来ること、また曲がり部を有する導波路から成る光スィ
ッチのように曲がり部での光損失を設計り考慮する、と
いう必要がないこと簿の利点を有する。

文献Ｉに開示される従来の３導波路型光スイツヂを第５
図（Ａ）及び（Ｂ）に示す、第５図（Ａ）は光スイフチ
の斜視図及び（Ｂ）図はモ面図で、それぞれ概略的に示
１．である。　１１は誘電体基板であり。

この基板りには直線の導波路１３ａ−１３ｅが各々平行
に形成されている。導波路１３ａ及び＋３ｃは入出力用
導波路であり、１３ｂは中央導波路である。導波路１３
ａ　ｔには制御′電極部＋５ａ及び＋５ｂから成る制御
電極が設けられ、導波路＋３ｂ　Ｆ、にはアース電極１
５ｃが設けられている。また、導波路１３ｃ［−には制
御電極部＋５ｄ及び１５ｅから成る制御電極が設けられ
ている。このような構成の光スィッチを２×２型光スイ
ッチとして動作させた場合にクロス（Ｃｒ　ｏ　ｓ　ｓ
）状態を得るためには、２本の平行導波路で構成された
方向性結合基の光スィッチと同様、結合長と素子長とを
−・致させる惑星がある。このため２分割された制御電
Ｊ４ｉ　（ｆ５ａ　、　１５ｂ）及び（１５ｄ、　Ｕ５
ｅ）を入出力用導波路１３ａ及び１３ｅに設けた構造と
していた。これら電極のうち電極（１５ａ、　１５ｄ）
及び（１５ｂ、　１５ｅ）を　・対として電圧を印加す
ると電気光学効果により導波路の等両層折率が変化する
。この電気光学効果を利用して等両層折率を電気的に調
整し、素子−長と結合長とを・致させ２×２型の光スィ
ッチとして動作させることが出来る。このように２分割
の制御電極で光スィッチの動作調整を行う方法は、２本
の上行導波路から成る反転Δβ電極型光スイッチと同様
である。

この従来の光スィッチの電極構成において例えば電極１
５ａ、１５ｅに正電圧及び電極１５ｂ　、　１５ｄに負
電圧を印加し素子長と結合長とが−・致するように等両
層折率を調整すれば、素子長及び結合長の不一致を解消
してクロス（Ｃｒ　ｏ　ｓ　ｓ）状態、バー（Ｂａｒ）
状態を得ることが出来る。第５図（Ｂ）において制御電
極の北側端縁を導波の始点（入カポ−Ｉ・）、及び制御
電極のド側端縁を導波の終点（出力ポート）とすれば、
クロス状７，３では導波路１３ａ（１３ｃ）（７）入力
ボート（伝搬孔＠　ｚ　＝　Ｏ）に入力された光が導波
路１３ｃ（１３ａ）の出力ポート（伝搬距離２＝Ｌ）か
ら出力される。また、バー状態では導波路＋３ａ　　（
１３ｃ）の入力ポート（Ｚ＝Ｏ）に入力された光が導波
路＋３ａ（１３ｃ）の出力ポート（Ｚ＝Ｌ）に出力され
る。このようなりロス状態及びバー状態が２×２型光ス
イッチの動作である。

この従来構成の光スィッチにおいて２×２型光スイッチ
の理想的動作状態を得るために必要な重要の条件は、導
波路１３ａ〜１３ｃそれぞれの等両層折率と、導波路間
（１３ａと１３ｂ間及び１３ｂと１３ａ間）の結合係数
との間の関係が存しないこと即ち等両層折率を変化させ
ても結合係数が実質的に変化しないこと、中央及び入出
力用導波路間（１３ｂ及び１３ａ間、及び１３ｂ及び１
３ａ間）の等両層折率差がともに等しいこと、また、ｆ
Ｆ′１１ｔＪＪｉＡが設計通りの電極部ｌに設けられて
いて制御電極に電圧を印加した場合に、１価屈折率の変
化が入出力導波路１３ａと１３ｅとで相等しいこと等で
ある。

このため従来の光スィッチでは制御Ｉｔ極に電圧を印加
しさらにバイアス電圧をかけて中央及び入出力用導波路
間の等両層折率の調整を行っていた。

さらに従来の光スィッチでは、制御電極が中央導波路に
対して対称に設けられていないため設計位置からずれた
状態にあるときにも５等価屈折率の変化が入出力導波路
１３ａと１３ｃとで相τしくなるように／バイアス電圧
をかけて調整を行っていた。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、現実に従来構成の光スィッチを動作させ
るため制御電極に電圧を印加して等側屈折率が大きくな
るように変化させた場合と、小さくなるように変化させ
た場合とでは、一般に前者の場合に中央及び入出力用導
波路１１！＋の結合係数が大きくなるという関係がある
。すなわち従来の光スィッチでは等側屈折率を変化させ
たときに結合係数が実質的に変化してしまう、このよう
な関係が各導波路の等側屈折率と、中央及び入出力用導
波路間の結合係数との間に存するため、以下説明するよ
うに、従来の光スィッチでは２Ｘ２型の光スィッチとし
て理想的な動作をさせることが出来なかった。

以ド、第６図（Ａ）及びＣＢ）を参照して説明する。第
６図（Ａ）及び（Ｂ）は横軸に伝書距ｇｌＺをとり縦軸
に各導波路の相対光パワーをとって従来の光スィッチの
クロス状態における動作特性を示した線図である。この
図はΔβを（導波路１３ａと１３ｃとの伝搬定数の差）
Ｘｉ／２とし、Δβｂを入出力用導波路１３ａと１３ｃ
の伝搬定数の両者を平均した値と、中央導波路１３ｂの
伝搬定数との差とし、さらに（結合係数の差）＝２文Ｘ
Δβ（但し文は係数）、結合長文ｃ＝（π／２）／Ｋｏ
（但しＫｏはΔβ＝０のときの結合係数）として結合方
程式 ％式％ ただし。

Ｋ＝Ｋｏ　＋ｄ＋　Ｘｉ、Ｋ゛＝に、＋ｄ２：１１１ｄ
ｌ　＝Δβ＋Δβｂ　、　　ｄ２　＝−Δβ＋Δβｂａ
、ｂ、ｃは各導波路１３ａ、１３ｂ、１３ｃの光の強さ
を用いてより現実に近い光スィッチの動作を数値解析し
た結果を示したものである。なお、伝・搬定数＝等両層
折率Ｘ光の波数であり、また係数文は従来の光スィッチ
の動作特性を理解しやすくするため大きめにとってあり
、現象を強調して図を示した。

第６図（Ａ）及び（Ｂ）において曲線工、■及び■は伝
搬距離ｚに対する各導波路１３ａ　、　１３ｂ及び１３
ｃの相対光パワーの変化をそれぞれ示す曲線である。第
６図（Ａ）は制御電極に電圧を印加したことにより入力
ポート（ｚ＝ｏ）で等側屈折率が高くなっている導波路
１３ａに光を入射した場合であり、第６図（Ｂ）は制御
電極に電圧を印加したことにより入力ポート（ｚ＝０）
で等側屈折率が低くなっている導波路１３ｃに光を入射
した場合である。第６図（Ａ）の曲線■及び第６図（Ｂ
）の曲線ｍ理解出来るように、光を入力した入出力用導
波路１３ａ　（１３ｃ）における相対光パワーは出力ポ
ート（ｚ＝Ｌ）で零となっており、従ってこの導波路１
３ａ　（１３ｃ）の入力ポートに入力された光が残光と
ならず、従って導波路１３ａ　（１３ｃ）の出力ポート
から光は出力されない。このようにクロス状態を得るた
めに最適なΔβ及びΔβｂの値が存在することが理解出
来る。しかしながらこの場合でも中央導波路１３ｂにお
ける光の伝搬状態が、光を入出力用導波路１３ａ及び＋
３ｃのどちらの入力ポートに入力したかによって大きく
異なっている。第６図（Ａ）において、光を導波路＋３
ａの入力ポートから入力した場合に出力ポート（Ｚ＝Ｌ
）における相対光パワーは導波路１３Ｃ（曲線Ｉ）で１
．中央導波路１３ｂ（曲線■）で０となっており導波路
１３ａから入力された光は入出力用導波路１３ｃの出力
ポートから損失なく出力されている。一方第６図゛（Ｂ
）において、光を導波路１３ｃの入力ボートから入力し
た場合にはｚ＝Ｌでの相対光パワーは入出力用導波路１
３ａでは約０．４．中央導波路１３ｂでは約０．６とな
っている。このように従来の光スィッチでは中央導波路
１３ｂに残光が生じこれが光の損失となる。

上述したように従来構成の導波型光スイッチでは実際に
動作させた場合に入出力用導波路１３ａ。

１３ｃのどちらの入力ポートから光を入力をするかで光
スィッチとしての動作特性が大きく異なってしまう、そ
のため理想的な２×２型光スイッチとして動作せず厳密
には１×２型光スイッチとしてしか使えないという問題
点があった。尚、パー状態については２×２型光スイッ
チとして動作させた場合に問題なく動作させることが出
来る。

この発明の目的は以上述べた欠点を除去し光スィッチと
して実際に動作させた場合に、従来より光の損失を減少
することが出来て、かつ理想的な２×２型光スイッチと
して動作することの出来る導波型光スイッチを提供する
ことにある。

また、この発明の他の目的は従来より理想的な２×２型
光スイッチの動作特性を有し、しかも。

ゆるやかな作製条件で作製できる導波型光スイッチを提
供することにある。

ｃ問題点を解決するための１段） この目的の達成を図るためこの発明の導波型光スイッチ
によれば、基板上、基板トに平行に順次に並べて設けら
れた第一、第二及び第三直線導波路上、第・、第二及び
第三直線導波路に関連させて設けられたアース’ｉｌｔ
極及び制御電極とを具える２Ｘ２型光スイッチにおいて
、制御電極を少なくとも三個の制御電極部を以って構成
して成ることを特徴とする。

この発明の好適実施例においては、制御電極部を第一及
び第三直線導波路−ににそれぞれ対となして設けると共
に、アース屯極を、ＥＦ！二導波路１−に設けて成るこ
とが出来る。

この場合、このアース屯極を素子−の入力端から出力端
まで延在させて構成するのが好適である。

また、このアース電極を、少なくとも三個のアース電極
部を以って構成するのが好適である。

さらに、この発明の好適実施例においては、第一・、第
一及び第三直線導波路外であって当該導波路の側部の基
板面部分に、制御電極の少なくとも三個の制御電極部及
びアース′ｊヒ極を、前記直線導波路に沿って、設ける
ことが出来る。

この場合、このアース電極を、少なくとも三個の電極部
を以って構成するのが好適である。

さらに前記アース電極を、素子の入力端から出力端まで
延在させて構成するのが好適である。

（作用） この発明の導波型光スイッチによれば制御電極を少なく
とも３分割した電極部で構成し、この制ｕ４電極部に交
配に極性の異なる電圧を印加して光スイフチの動作を制
御するので、従来のように光をどの入力ボートに入力し
たかで光の伝書状態が大きく異なってしまうことがなく
なり、これがため２×２型光スイッチとしての動作特性
を改善することが出来る。すなわち従来構成の光スィッ
チでは、素子−長と結合長を一致させるため結合係数を
−・定に保ったまま等価屈折率のみを変化させる必要が
あったが、現実には等価屈折率を変化させると結合係数
が変化してまい理想的な２×２型の動作が得られなかっ
た。しかし、この発明の構成によれば１等価屈折率を変
化させた場合に結合係数が変化しても２×２型の光スィ
ッチの理想的な動作を得ることが出来る。

また、この発明の導波型光スイッチによれば。

従来と同様に設計及び作製の段階で素り長と結合長とを
厳格に一致させる必要がないので作製条件がゆるやかで
あって、しかも、従来より理想的な２×２型光スインチ
の動作を行わせることが出来る。

（実施例） 以ド、図面を参照しながらこの発明の′実施例につき説
明する。

第１図（Ａ）はこの発明の第・の実施例を概略的に示す
上面図である。この図において、２１ａ及び２１ｃは第
一及び第三導波路で入出力用直線導波路である。また、
２１ｂは第一導波路であり中央直線導波路である。これ
ら導波路２１ａ〜２１ｃは、例えばＬｉＮＣｈ−Ｚ板の
ように、深さ方向（図の紙面に垂直な方向）の電場に対
してポッケルス効果の大きい結晶から成る基板にＴ１を
拡散して形成する。導波路２１ａ〜２１ｃは、ｑ：いに
平行となるように離間して設ける。この実施例では、導
波路間（２１ａと２１ａ間）及び（２１ｂと２１ｃ間〕
の間隔を同一・とじた。また電極部（２３ａ〜２３ｃ）
及び（２３ｅ〜２３ｇ）は電圧を印加して光スィッチの
動作制御を行うためのそれぞれ１組の制御電極であり、
第一・及び第三導波路２１ａ及び２１ｃｈにそれぞれ設
ける。また２３ｄはアース電極であり、このアース屯極
２３ｄをこの光スィッチ（素Ｆ）の入力端（入力ポート
）から出力端（出力ボート）まで延在させて第一導波路
２１ｂ　ヒに設ける。電圧は、相対向する制御電極部（
２３ａ、２３ｅ　）　、　　（２３ｂ、２３ｆ）及び（
２３ｃ　、　２３Ｆ　）をそれぞれ対となして各対毎に
（＋、−）、（＝、＋）及び（＋、−）の電位関係とな
るように交互に極性を変えて印加する。極性には（−１
＋）、（＋、−）及び（−１＋）としても良い、この実
施例では、制御電極２３ａ〜２３ｃ及び２３ｅ〜２３ｇ
をそれぞれ等分に３分割した電極を以って構成し、それ
ぞれの電極の長さを同一とした。また、入出力用導波路
２１ａ及び２１ｃは同一の幅とした。中央導波路の幅は
導波路２１ａ及び２１ｃの幅と同一か好ましくは広くす
るのが良い、アース電極２３ｄの幅は中央導波路上同一
でなくとも良い、アース電極２３ｄの幅は中央導波路よ
り幅広としても良い。

この実施例の光スイッチ素Ｆの動作を、従来例と同様の
結合方程式を用いて数値解析した。この数個解析は各導
波路の等両底折率と、中央及び入出力用導波路間の結合
係数との間に関係がある場合の結合方程式によって得た
ものである。この解析結果を第２図（Ａ）及び（Ｂ）に
示す。７ｆＳ２図（Ａ）及び（Ｂ）は、ＥＦＳ６図（Ａ
）及び（Ｂ）の場合と同様、光スィッチのクロス状態に
おける動作特性図である。これら動作特性図は、横軸に
伝搬距ｇＩＺをとり縦軸に各導波路の相対光パワーをと
って示しである。また、素子長及び結合長（π／２）／
Ｋ。

を第６図（Ａ）及び（Ｂ）の場合と同一とじ、しかもこ
の実施例の電極構造において２×２型光スイッチとして
動作するに適したΔβ及びΔβｂの（ｉｌｔ設定して、
第２図（Ａ）及び（Ｂ）に動作特性図を示した。第６図
（Ａ）及び（Ｂ）及び第２図（Ａ）及び（Ｂ）の動作特
性図を比較すると第６図（Ａ）及び（Ｂ）の結果では、
中央導波路２１ｂを伝搬する光の相対光パワーの状態が
、光を導波路の２１ａ及び２１ｃのどちらの入力ポート
から入射するかによって大さく異なっており、動作特性
が良くなかった。これに対し、第２図（Ａ）及び（Ｂ）
の結果では動作特性が大幅に改再され、導波路の２１ａ
及び２１ｃのどちらから光を入力するかによる動作特性
の違いが減少していることが理解できる。特に。

第６図（Ｂ）及び第２図（Ｂ）との比較ではｚ＝Ｌにお
いて従来の光スィッチの中央導波路１２ｂに光が残り、
これが２×２型光スイッチの動作を行なわせた場合に、
損失となっていた。ところが、この実施例の光スィッチ
では、中央導波路２１ｂに、光が残らない（残光がない
）、このようなΔβ及び　′Δβｉの値は他のＫＯ及び
立に対しても存在する。以Ｅ述べてきたように、この実
施例によれば第２図（Ａ）及び（Ｂ）から理解出来るよ
うに２×２型光スイッチとして従来より理想的な動作を
行わせることが出来る。これにより２×２型光ス・イッ
チとして動作させた場合に、光の挿入損失を従来よりも
改涛することが出来ると共に、消光比の改暦も望める。

この実施例では光の挿入損失を従来に比して１ｄＢ以ト
改寿することが可能である。

また、この実施例によれば、従来よりも理想的な２×２
型光スイッチの動作が行え、しかも従来と同様に素り長
と結合長を一致させる必要がないのでゆるやかな作製条
件で作製することが出来る。

第１図（Ｂ）にこの発明の第一〕の実施例を示す。

この実施例は、第一の実施例においてアース電極を３等
分した電極部２５ａ、２５ｂ及び２５ｃで以って構成し
たものである。このように構成すれば、電極ずれしてい
る場合に等両底折率の変化が入出力導波路１３ａと１３
ｃとで根笠しくなるようにバイアス電圧を印加して調整
することが容易となる。

第３図（Ａ）にこの発明の第三の実施例を示す。

この実施例は例えばＬｉＮＯ３−Ｙ板のように基板表面
に平行な電場に対して電気光学効果の大きい基板を用い
た場合の構成である。この実施例では相互に平行な第一
、第一及び第三導波路３１ａ。

３１ｂ及び３１ｃを電場に対して直交する方向に設ける
。また、電極部（３３ａ、３３ｂ、３３ｃ）及び（３３
ｊ、３３ｋ。

３３１）を以って制御電極を構成し、電極部（３３ｄ。

３３ｅ、３３ｆ）及び（３３ｇ、３３ｈ、　３３ｉ）を
以ッテアース御電極を構成した。第一の実施例と同様、
制御電極部（３３ａ、３３ｊ）　、　（３３ｂ、３３ｋ
）及び（３３ｃ、３３１）に（＋。

−）　、　（−、＋）及び（＋、−）という極性或はそ
れぞれ逆の極性で電圧を印加すれば良い。このように構
成することによりバイアス電圧の微調整が容易に行える
。

第３図ＣＢ）〜（Ｅ）はこの発明の他の実施例を示す線
図である。これらの実施例では第三の実施例に比し外部
電気回路への接続が筒中となる。

第３図（Ｂ）に示す実施例は、第一の実施例においてア
ース電極を光スィッチの入力ポートから出力ポートまで
延在させた２木の電極３５ａ及び３５ｂで以って構成し
たものである。このように構成しても第三の実施例と同
様にこの発明の目的を達成することが出来る。

同様に第３図（Ｃ）に示すように２本のアース電極を入
力ポートから出力ポートまで延在させた電極３７ａ及び
３７ｈを以って構成し、制御電極を３等分した電極部３
７ｂ〜３７ｄ及び３７ｅ〜３７ｇで以って構成すること
も出来る。

また、第３図（Ｄ）に示すように制御電極を電極部３９
ａ　〜３９ｃ、３９ｄ　〜３９Ｆ及び３９ｇ　〜３９ｉ
を以って構成し、アース電極を入力ポートから出力ポー
トまで延在させた１本のｉｌｊ　８ｉ３９　ｊ　で以っ
て構成することも出来る。

ざらに第３図（Ｅ）に他の構成例を示す。この実施例の
ように制御′電極を３笠分した″を極部４１ａ〜４１ｃ
及び４１ｄ〜４ｉｆを以って構成し、アース゛ｉｌｉ極
を、入力ボートから出力ポートまで延在させた電極４３
ａ及び４３ｂ　ｌ以って構成することも出来る。

尚、谷考として数値解析に用いた結合方程式において結
合係数と１価屈折率との間に関係がない場合の動作条件
の図（クロス状態或はバー状ｙ５を得るための素ｒ−長
し、伝搬定数、結合長文Ｃ）を示す（第一の実施例につ
いての動作条件図）、この場合に２×２型の光スィッチ
としての動作を得るに必要なΔβの値はこの図を基に決
定することが出来る。

（発明の効果） 」二連した説明からも明らかなように、この発明の導波
型光スイッチによれば、従来より理想的な２Ｘ２型光ス
イッチの動作を行わせることが出来る。

また、この発明の導波型光スイッチは、従来と同様に設
計及び作製の段階で素子長と結合長を厳格に一致させる
必要がなく、これがためゆるやかな作製条件で作製出来
、しかも、従来より理想的な２×２型光スイッチの動作
を行うことが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）及び（Ｂ）は、この発明の第一及び第二の
実施例の構成を示す線図、 第２図は（Ａ）及び（Ｂ）は第一・の実施例の動作特性
を示す線図、 第］：Ｗ（Ａ）はこの発明の第一ミの実施例の構成を示
す線図、第３図ＣＢ）〜（Ｅ）は０′Ｓ′Ｅ、の実施例
の変形例の構成を示す線図、 第４図は第一の実施例の動作条件を示す線図。 帛５図は従来構成を示す線図。 第６図（Ａ）及び（Ｂ）は従来の導波型光スイッチの動
作特性を示す線図である。 ２１ａ　、２１ｃ・・・入出力用導波路２１ｂ・・・中
央導波路 ２３ａ〜２３ｃ　、２３ｅ〜２３ｇ・・・制８電極２３
ｄ・・・アース電極 ３１ａ、３１ｃ・・・入出力用導波路 ３１ｂ・・・中央導波路 ３３ａ　〜３３ｃ、３３ｊ　〜３３１−・制御電極３３
ｄ〜３３ｆ、３３ｇ〜３３１・・・アース′ｉ肛極３５
ａ、３５ｂ　−アース電極 ３７ｂ　〜３７ｄ、３７ｅ　〜３７ｇ　・−・制御電極
３７ａ、３７ｈ・・・アース電極 ３９ａ　〜３９ｃ、３９ｄ　〜３９Ｆ、３９ｇ　〜３９
ｉ−制御電極３９ｊ・・・アース電極 ４１ａ　〜４Ｌｅ、４１ｄ　〜４１ｆ　−・−制御電極
４３ａ、４１ｂ・・・アース電極 特許出願人　　　沖電気り業株式会社 ゛）・／−’ こめ発日月の光スィッチ ”／Ｊｃ＝１３　　ｉｓβｘ　’／ｒｃ　＝　０．Ｑ６
１；θ、／？　　ムβυ×囁２θ・３４イデミづ≠鴫ヒ
ン１巨、亀　２ 実施葎Ｉの動作特性図 笛９Ｍ 二の光１月の九スイッ号 第３図 このを１月り九ス４．／づ− 第３図 ３ｆｄ　　３ｆｂ　　３ｆｃ この発明の九スイヅナ ｓ３図 θ　　　２　　４　　６ イ云掲少定（交差Ｘ素子長／円用車 （ΔβＸり情、） 動作条件図 第４図 ／３Ｃ イ芝来の先スイッチ 第５図 Ｌ／’１２ｃ　＝　／、Ｊ　　４ρｘＬ／／ｙｃ；θ３
６第６図 手続７山正書 昭和６１年１０Ｊ］１４１１

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板と、該基板上に平行に順次に並べて設けられ
   た第一、第二及び第三直線導波路と、該第一、第二及び
   第三直線導波路に関連させて設けられたアース電極及び
   制御電極とを具える２×２型光スイッチにおいて、 前記制御電極を少なくとも三個の制御電極部を以って構
   成して成ることを特徴とする導波型光スイッチ。
2. （２）前記制御電極部を、前記第一及び第三直線導波路
   上にそれぞれ対となして設けると共に、前記アース電極
   を、第二導波路上に設けて成ることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載の導波型光スイッチ。
3. （３）前記アース電極を素子の入力端から出力端まで延
   在させて成ることを特徴とする特許請求の範囲第１項又
   は第２項記載の導波型光スイッチ。
4. （４）前記アース電極を、少なくとも三個のアース電極
   部を以って構成して成ることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項又は第２項記載の導波型光スイッチ。
5. （５）前記第一、第二及び第三直線導波路外であって当
   該導波路の側部の基板面部分に、前記制御電極の少なく
   とも三個の制御電極部及び前記アース電極を、前記直線
   導波路に沿って設けて成ることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の導波型光スイッチ。
6. （６）前記アース電極を、少なくとも三個の電極部を以
   って構成して成ることを特徴とする特許請求の範囲第５
   項記載の導波型光スイッチ。
7. （７）前記アース電極を、素子の入力端から出力端まで
   延在させて成ることを特徴とする特許請求の範囲第５項
   記載の導波型光スイッチ。